JP2008107084A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】枠体12に連結した2つの駆動アーム2と、枠体12と駆動アーム2とが連結する枠体12の連結部16間に連結した屈曲アーム4とを設け、枠体12は、連結部16間に対向する対向部18と、対向部18と連結部16間とを接続する2つの接続部22を有し、接続部22および駆動アーム2を互いに駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する屈曲アーム4の屈曲振動を検知して角速度を算出し、接続部22に加わる応力に起因して変化する接続部22の駆動振動を検知して加速度を算出する構成である。
【選択図】図1
【解決手段】枠体12に連結した2つの駆動アーム2と、枠体12と駆動アーム2とが連結する枠体12の連結部16間に連結した屈曲アーム4とを設け、枠体12は、連結部16間に対向する対向部18と、対向部18と連結部16間とを接続する2つの接続部22を有し、接続部22および駆動アーム2を互いに駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する屈曲アーム4の屈曲振動を検知して角速度を算出し、接続部22に加わる応力に起因して変化する接続部22の駆動振動を検知して加速度を算出する構成である。
【選択図】図1
Description
本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いる角速度センサおよび加速度センサを複合した複合センサに関するものである。
以下、従来の複合センサについて説明する。
従来の複合センサは、角速度センサと加速度センサとを実装基板に各々実装して、複合センサとしていた。
従来の角速度センサは、例えば、音さ形状やH形状やT形状等、各種の形状の振動子を振動させて、コリオリ力の発生に伴う振動子の歪を電気的に検知して角速度を算出する。
また、従来の加速度センサは、錘部を有し、加速度に伴う錘部の可動を、可動前と比較検知して加速度を算出する。
このような角速度センサや加速度センサは、車両に搭載したナビゲーション装置や車両制御装置等に用いられる。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1および特許文献2が知られている。
特開2001−208546号公報
特開2001−74767号公報
上記構成の複合センサは、角速度センサと加速度センサとを各々実装基板に実装したものであり、角速度センサの実装面積と加速度センサの実装面積とを確保する必要があり、実装基板の小型化を図れないという問題点を有していた。
本発明は上記問題点を解決するために、角速度センサの実装面積と加速度センサの実装面積とを必要とせず、角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
本発明は上記問題点を解決するために、特に、枠体と、前記枠体に連結した少なくとも2つの駆動振動用の駆動アームと、前記枠体と前記駆動アームとが連結する前記枠体の連結部間に連結した屈曲アームとを設け、前記枠体は、前記連結部間に対向する対向部と、前記対向部と前記連結部間とを接続する2つの接続部を有し、前記接続部および前記駆動アームを互いに駆動振動させ、前記角速度センサは、コリオリ力に起因して変化する前記屈曲アームの屈曲振動を検知して角速度を算出し、前記加速度センサは、前記接続部に加わる応力に起因して変化する前記接続部の駆動振動を検知して加速度を算出する構成である。
上記構成により、角速度センサとしては、コリオリ力に起因して変化する屈曲アームの屈曲振動を検知して角速度を算出することができ、加速度センサとしては、接続部に加わる応力に起因して変化する接続部の駆動振動を検知して加速度を算出することができるので、角速度センサと加速度センサとを複合でき、実装面積を低減して実装基板の小型化を図ることができる。
以下、実施の形態を用いて、本発明の全請求項に記載の発明について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の一実施の形態におけるケース未装着の複合センサの斜視図、図2は同複合センサの支持体取付け時における振動子の斜視図、図3は図2におけるA部の拡大平面図、図4は図2におけるB部の拡大平面図、図5は同複合センサの振動子の斜視図、図6は図5におけるA−A断面図、図7は図5におけるB−B断面図、図8は図5におけるC−C断面図である。
図1〜図5において、本発明の一実施の形態における複合センサは、方形状の枠体12と、この枠体12に連結した2つの駆動アーム2と、1つの屈曲アーム4とを有する振動子6を備え、この振動子6を支持体8に取り付けるとともに、互いに略直交するX軸とY軸とZ軸において、X軸とY軸とのXY平面に伏せた状態で基台10に装着配置している。
2つの駆動アーム2は、枠体12の2つの角部14間に連結するとともに、屈曲アーム4は、2つの駆動アーム2と枠体12とが連結する連結部16間に連結している。駆動アーム2と屈曲アーム4とは互いに反対方向に向かって枠体12に連結し、駆動アーム2から枠体12の角部14までの距離(W1)を、駆動アーム2から連結部16間の中心部までの距離(W2)よりも長くするとともに、枠体12の連結部16間の長さ(W3)を屈曲アーム4の幅(W4)と略同等にしている。
また、枠体12は、連結部16間に対向する対向部18と、この対向部18と連結部16間とを接続した2つの接続部22とを有し、枠体12の接続部22はスリット状に形成して3つの線条体24を設け、枠体12の対向部18は振動子6を支持体8に取り付けるための固定基部としている。
そして、上記の接続部22および駆動アーム2を互いに駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する屈曲アーム4の屈曲振動を検知して角速度を算出し、接続部22に加わる応力に起因して変化する接続部22の駆動振動を検知して加速度を算出する。
この振動子6はシリコンからなる基板34上に、駆動アーム2や屈曲アーム4や接続部22に電極を積層して形成している。
この駆動アーム2は、図6に示すように、駆動用電極28で挟んだPZT等の圧電膜30をシリコンからなる基板34に積層している。
また、屈曲アーム4は、図7に示すように、コリオリ力に起因した屈曲アーム4の歪みを検知する歪検知用電極36で挟んだPZT等の圧電膜30をシリコンからなる基板34に積層している。
さらに、接続部22は、図8に示すように、駆動用電極28で挟んだPZT等の圧電膜30をシリコンからなる基板34に積層している。
これらの駆動アーム2および接続部22は、シリコンが共振する共振周波数の交流電圧を駆動用電極28に印加することにより圧電膜30を伸縮させて駆動振動させている。
次に上記の振動子6の駆動状態および屈曲状態について説明する。
まず、角速度検出時における振動子6の駆動状態および屈曲状態について説明する。
図9は駆動アームが駆動振動する状態を示す振動子の斜視図、図10は屈曲アームが屈曲振動する状態を示す振動子の斜視図、図11はZ軸の左周りに角速度が生じた場合の図10におけるC部の拡大図、図12はZ軸の右周りに角速度が生じた場合の図10におけるC部の拡大図である。
図9に示すように、駆動アーム2は、互いに略直交するX軸とY軸とZ軸において、X軸方向に対して、互いに反対方向(矢印方向)へ交互に駆動振動させる。この駆動振動は、図6における圧電膜30を挟んだ駆動用電極28に電圧を印加して、圧電膜30を歪ませることにより、基板34をX軸方向に駆動させて行う。
上記のように駆動アーム2を駆動振動させた状態において、Z軸の周りに角速度が生じると、図10(a)、(b)に示すように、一方の駆動アーム2と他方の駆動アーム2は、Y軸方向に対して、互いに反対方向(矢印方向)へコリオリ力に起因した力を受け、これに伴って、屈曲アーム4がX軸方向の矢印方向に歪む。この際、2つの駆動アーム2がX軸方向に対して互いに内側に駆動する場合(図10(a))と、互いに外側に駆動する場合(図10(b))において、屈曲アーム4はX軸方向に対して互いに反対方向に歪むために屈曲アーム4が屈曲振動する。
Z軸に対して左周りであるか右周りであるかは、2つの駆動アーム2がX軸方向に対して互いに内側に駆動する場合と、互いに外側に駆動する場合において、X軸方向に対する屈曲アーム4の歪方向が反対となるために判断できる。図11および図12に示すように、2つの駆動アーム2が互いに内側に駆動した際、屈曲アーム4の歪方向は互いに反対方向(矢印方向)となり、屈曲アーム4の歪を電圧変化として検知すれば、左周りまたは右周りの角速度として算出することができる。
次に、加速度検出時における振動子6の駆動状態および屈曲状態について説明する。
図13は接続部22が駆動振動する状態を示す図2におけるB部の拡大斜視図である。
図13に示すように、接続部22の3つの線条体24を矢印方向に互いに駆動振動させる。3つの線条体24は、隣接する線条体24の駆動方向を互いに逆方向にしており、3つの線条体24をZ軸方向に対して互いに反対方向に交互に繰り返すように駆動振動させる。この駆動振動をさせた状態で、接続部22に加わる応力に起因して変化する接続部22の駆動振動を検知して加速度を算出する。
例えば、図13において、X軸方向へ加速度が生じると、図2における振動子6全体の重量に起因して、接続部22には圧縮方向または引張方向に応力が生じる。この際、2つの接続部22には、互いに異なる方向に応力が生じており、一方の接続部22には圧縮方向に応力が生じ、他方の接続部22には引張方向に応力が生じる。
すなわち、2つの接続部22の駆動振動数が、加速度の生じる前の状態と比較すると変化する(圧縮方向に応力が生じると駆動振動数が低くなり、引張方向に応力が生じると駆動振動数が高くなる)ので、この駆動振動数の差を検知すれば加速度を算出することができる。駆動振動数の差の検知としては、加速度の生じる前後において、2つの接続部22の各々の駆動振動数の差を検知したり、一方の接続部22と他方の接続部22との駆動振動数の差を検知したりすればよい。
上記構成により、角速度センサと加速度センサとを複合でき、実装面積を低減して実装基板の小型化を図った複合センサを提供することができる。
特に、互いに略直交したX軸とY軸とZ軸において、X軸とY軸とのXY平面と対向するように振動子6を伏せた場合でも、角速度と加速度を算出でき、低背化を図った複合センサを提供することができる。
また、枠体12の連結部16間と対向する枠体12の対向部18を固定用の固定基部とするので、駆動アーム2が駆動振動し、屈曲アーム4とが屈曲振動する際に、ロスが少なくなり特性を向上できる。通常、駆動アーム2や屈曲アーム4の振動は、基台10に振動子6を装着するための固定基部を通じて、基台10やケース等に漏れやすいため、この漏れ振動を低減することが必要であるが、上記構成によれば、この漏れ振動を低減して特性を向上できる。この際、屈曲アーム4を固定基部に向かって連結し、駆動アーム2と屈曲アーム4とを互いに反対方向に連結しても同様の効果を得ることができる。さらに、枠体12を方形状とし、駆動アーム2は枠体12の2つの角部14間に設け、枠体12の連結部16間の長さを屈曲アーム4の幅と略同等にしても同様の効果を得ることができる。
なお、本発明の一実施の形態では、駆動アーム2から角部14までの距離と、駆動アーム2から連結部16間の中心部までの距離とを略同等にしていないが、略同等にしてもよい。この場合、各々の駆動アーム2を中心にして、枠体12の角部14と連結部16の中心部までが線対称となり、駆動振動時における左右の駆動振動のバランスを同等にでき、駆動振動の精度を向上できる。
さらに、振動子6の形状としては図14〜図16に示すものでもよい。
図14は、屈曲アーム4の端部に錘部38を設けたものであって、コリオリ力に起因する屈曲アーム4の歪の変化量を大きくするので、角速度の検知感度を向上できる。錘部38の形態は各種の形状があるが、U形状やコ形状にして、U形状やコ形状の窪み部分の中央に接続するとよい。
図15は、枠体12の角部14にU形状やコ形状の錘部38を設けたものであり、加速度に伴う接続部22の駆動振動数の変化量を大きくするので、加速度の検知感度を向上できる。
図16は、図1に示す振動子の駆動アーム2と屈曲アーム4の連結方向を反対にし、屈曲アーム4の端部にU形状やコ形状の錘部38を設けたものであり、コリオリ力に起因する屈曲アーム4の歪の変化量を大きくするとともに、加速度に伴う接続部22の駆動振動数の変化量を大きくするので、角速度および加速度の検知感度を向上できる。
なお、錘部38はシリコンからなる基板34で一体形成すればよく、図14〜図16の構成を組み合わせたものでもよい。
以上のように、本発明にかかる角速度センサは、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いることができる。
2 駆動アーム
4 屈曲アーム
6 振動子
8 支持体
10 基台
12 枠体
14 角部
16 連結部
18 対向部
22 接続部
24 線条体
28 駆動用電極
30 圧電膜
34 基板
36 歪検知用電極
38 錘部
4 屈曲アーム
6 振動子
8 支持体
10 基台
12 枠体
14 角部
16 連結部
18 対向部
22 接続部
24 線条体
28 駆動用電極
30 圧電膜
34 基板
36 歪検知用電極
38 錘部
Claims (10)
- 角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、枠体と、前記枠体に連結した少なくとも2つの駆動振動用の駆動アームと、前記枠体と前記駆動アームとが連結する前記枠体の連結部間に連結した屈曲アームとを設け、前記枠体は、前記連結部間に対向する対向部と、前記対向部と前記連結部間とを接続する2つの接続部を有し、前記接続部および前記駆動アームを互いに駆動振動させ、前記角速度センサは、コリオリ力に起因して変化する前記屈曲アームの屈曲振動を検知して角速度を算出し、前記加速度センサは、前記接続部に加わる応力に起因して変化する前記接続部の駆動振動を検知して加速度を算出する複合センサ。
- 前記加速度センサは、前記接続部の駆動振動に伴う駆動振動数を検知して加速度を算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記加速度センサは、前記接続部の駆動振動に伴う駆動振動数の差を検知して加速度を算出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記枠体に錘部を連結した請求項1記載の複合センサ。
- 前記錘部は、両端部間に湾曲部を有するU字形状であって、前記錘部の端部を前記枠体の連結部間の両側部に連結した請求項4記載の複合センサ。
- 前記枠体は方形状であって、前記駆動アームは前記枠体の2つの角部間に設けた請求項1記載の複合センサ。
- 前記錘部は、両端部間に湾曲部を有するU字形状であって、前記錘部の端部を前記枠体の2つの角部に連結した請求項6記載の複合センサ。
- 前記駆動アームから前記角部までの距離と、前記駆動アームから前記連結部間の中心部までの距離とを略同等にした請求項6記載の角速度センサ。
- 前記枠体の連結部間の長さは前記屈曲アームの幅と略同等にした請求項1記載の角速度センサ。
- 前記屈曲アームの端部に錘部を設けた請求項1記載の角速度センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027570A JP2008107084A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 複合センサ |
PCT/JP2006/301274 WO2006082752A1 (ja) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | 複合センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027570A JP2008107084A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 複合センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008107084A true JP2008107084A (ja) | 2008-05-08 |
Family
ID=36777139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005027570A Pending JP2008107084A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 複合センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008107084A (ja) |
WO (1) | WO2006082752A1 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09145736A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度と角速度の複合センサ |
JP2000074673A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-14 | Miyota Kk | 複合運動センサ |
JP2003042768A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Microstone Corp | 運動センサ |
-
2005
- 2005-02-03 JP JP2005027570A patent/JP2008107084A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-27 WO PCT/JP2006/301274 patent/WO2006082752A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006082752A1 (ja) | 2006-08-10 |
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