JPWO2007086337A1 - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
2 第1アーム
4 第2アーム
4a 折曲部
4b 端部
6 第1の直交アーム
7 第2の直交アーム
8 支持部
9 基部
10 固定用アーム
10b 端部
12 第3アーム
14 第4アーム
18 錘部
20 慣性力センサ
図1Aは本発明の実施の形態1における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図1Bは図1Aに示す検出素子の動作状態図である。
本発明の実施の形態2による慣性力センサとして、図3に示すような構成であってもよい。実施の形態2による慣性力センサにおいて、実施の形態1による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図4Aは本発明の実施の形態3における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図4Bは、図4Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態3による慣性力センサにおいて、実施の形態1または2による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図6Aは本発明の実施の形態4における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図6Bは図6Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態4による慣性力センサにおいて、実施の形態1から3による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図8Aは本発明の実施の形態5における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図8Bは図8Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態5による慣性力センサにおいて、実施の形態1から4による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図11は本発明の実施の形態6における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図12は図11に示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態6による慣性力センサにおいて、実施の形態1から5による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図1Aは本発明の実施の形態1における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図1Bは図1Aに示す検出素子の動作状態図である。
本発明の実施の形態2による慣性力センサとして、図3に示すような構成であってもよい。実施の形態2による慣性力センサにおいて、実施の形態1による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図4Aは本発明の実施の形態3における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図4Bは、図4Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態3による慣性力センサにおいて、実施の形態1または2による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図6Aは本発明の実施の形態4における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図6Bは図6Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態4による慣性力センサにおいて、実施の形態1から3による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図8Aは本発明の実施の形態5における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図8Bは図8Aに示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態5による慣性力センサにおいて、実施の形態1から4による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
図11は本発明の実施の形態6における慣性力センサに用いられる検出素子の平面図であり、図12は図11に示す検出素子の動作状態図である。なお、実施の形態6による慣性力センサにおいて、実施の形態1から5による慣性力センサと同様の構成については、同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
2 第1アーム
4 第2アーム
4a 折曲部
4b 端部
6 第1の直交アーム
7 第2の直交アーム
8 支持部
9 基部
10 固定用アーム
10b 端部
12 第3アーム
14 第4アーム
18 錘部
20 慣性力センサ
Claims (34)
- 慣性力を検出するための検出素子を備え、
前記検出素子は、
第1アームと第2アームとを有し、前記第1アームと前記第2アームとが実質的に直交方向に連結されて形成された2つの第1の直交アームと、
前記第1アームを支持する支持部と、を有し、
前記第2アームは、前記第2アームが折曲される折曲部を有する、
慣性力センサ。 - 前記第2アームが前記折曲部で折曲されて、前記第1アームと対向する、
請求項1に記載の慣性力センサ。 - 前記第1アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置された、
請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームは、前記第1アームと対向する方向に前記第2アームの端部が駆動振動され、
前記第1アームまたは前記第2アームの歪を検知することによって、角速度を検出する、
請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記第1アームまたは前記第2アームの歪を検知することによって、加速度を検出する、
請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記第2アームの端部に形成された錘部を、さらに備えた、
請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームの端部がメアンダー状に折曲された、
請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記支持部に連結されるとともに、前記検出素子が実装される実装基板に固定される2つの固定用アームをさらに有し、
前記固定用アームは、
第3アームと第4アームとを有し、前記第3アームと前記第4アームとが実質的に直交方向に連結されて形成された第2の直交アームであって、
前記第3アームが前記支持部によって支持され、
前記固定用アームが前記第4アームによって前記実装基板に固定された、
請求項1に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームが前記折曲部で折曲されて、前記第2アームと対向する、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 前記第1アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置され、
前記第3アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置され、
前記第1アームと前記第3アームとが互いに実質的に直交方向に配置された、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームは、前記第1アームと対向する方向に前記第2アームの端部が駆動振動され、
少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記第3アームと前記第4アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、角速度を検出する、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記第3アームと前記第4アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、加速度を検出する、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記第2アームの端部に形成された錘部を、さらに備えた、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームの端部がメアンダー状に折曲された、
請求項8に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記支持部に連結されるとともに、前記検出素子が実装される実装基板に固定される2つの固定用アームをさらに有し、
前記第2アームが前記折曲部で折曲されて、前記第2アームと対向する、
請求項1に記載の慣性力センサ。 - 前記第1アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置され、
前記固定用アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置され、
前記第1アームと前記固定用アームとが互いに実質的に直交方向に配置された、
請求項15に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームは、前記第2アームと対向する方向に前記第2アームの端部が駆動振動され、
少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記固定用アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、角速度を検出する、
請求項15に記載の慣性力センサ。 - 少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記固定用アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、加速度を検出する、
請求項15に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記第2アームの端部に形成された錘部を、さらに備えた、
請求項15に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームの端部がメアンダー状に折曲された、
請求項15に記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記支持部に連結されるとともに、前記検出素子が実装される実装基板に固定される2つの固定用アームをさらに有し、
前記固定用アームは、
第3アームと第4アームとを有し、前記第3アームと前記第4アームとが実質的に直交方向に連結されて形成された第2の直交アームであって、
前記第3アームの少なくとも一部が前記第1アームを兼ねており、
前記固定用アームが前記第4アームによって前記実装基板に固定された、
請求項1に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームが前記折曲部で折曲されて、前記第2アームと対向する、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 前記第3アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置された、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームは、前記第2アームと対向する方向に前記第2アームの端部が駆動振動され、
少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記第3アームと前記第4アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、角速度を検出する、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記第3アームと前記第4アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、加速度を検出する、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記第2アームの端部に形成された錘部を、さらに備えた、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームの端部をメアンダー状に折曲された、
請求項21記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記支持部に連結されるとともに、前記検出素子が実装される実装基板に固定される2つの固定用アームをさらに有し、
前記固定用アームは、
前記固定用アームの少なくとも一部が前記第1アームを兼ねた、
請求項1に記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームが前記折曲部で折曲されて、前記第2アームと対向する、
請求項28記載の慣性力センサ。 - 前記固定用アームと前記支持部とが実質的に同一直線上に配置された、
請求項28記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームは、前記第2アームと対向する方向に前記第2アームの端部が駆動振動され、
少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記固定用アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、角速度を検出する、
請求項28記載の慣性力センサ。 - 少なくとも前記第1アームと前記第2アームと前記固定用アームとのいずれか1つのアームの歪を検知することによって、加速度を検出する、
請求項28記載の慣性力センサ。 - 前記検出素子は、
前記第2アームの端部に形成された錘部を、さらに備えた、
請求項28記載の慣性力センサ。 - 前記第2アームの端部をメアンダー状に折曲された、
請求項28記載の慣性力センサ。
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