JPH0791958A

JPH0791958A - 角速度センサ

Info

Publication number: JPH0791958A
Application number: JP5239666A
Authority: JP
Inventors: Miki Tamura; 美樹田村; Masahiro Fushimi; 正弘伏見; Yoshiki Uda; 芳己宇田; Yoshihisa Sano; 義久左納
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-09-27
Filing date: 1993-09-27
Publication date: 1995-04-07

Abstract

(57)【要約】【目的】小型で、多軸方向の角速度が高精度に検出で
き、かつ、量産性に優れた角速度センサを提供する。【構成】平板状の基板１３の上面には柱状の固定部８
が形成され、固定部８には、円周方向に約９０°の間隔
で支持梁９が形成されている。これらの支持梁９には、
それぞれ等価な４つの、第１乃至第４の質量部１〜４が
基板１３上に空隙を介して円周方向に支持され、連結部
５により一体的に連結されている。そして、基板１３の
上面には、静電容量を検出するための検出電極１４が、
各質量部１〜４にそれぞれ対向して配設されている。各
質量部１〜４の両側面はそれぞれ櫛形形状に形成されて
おり、これら各櫛歯に対向して櫛形形状の駆動電極６が
それぞれ互い違いになるように配設されている。そし
て、各駆動電極６にはそれぞれ電圧印加部７が質量部１
〜４の外周側に引き出して形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は角速度センサに関するも
のであり、特に、振動ジャイロ方式による多軸検知型角
速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、物体の角速度を検出するものとし
て振動ジャイロが知られている。振動ジャイロは一定の
振動数で振動している振動子に角速度が加わった時に該
振動子に生じるコリオリ力を検出することによって加え
られた角速度を検出するものである。

【０００３】従来、振動ジャイロとしては、２つの振動
子を連結部を介して音叉形状に組み立てた音叉型振動ジ
ャイロや、円柱型や多角柱型の振動子からなる音片型振
動ジャイロなどが知られている。

【０００４】しかしながら、これらの振動ジャイロは、
機械加工および機械的組立てによって作製されているた
めに、小型化、高精度化が困難であり、また、量産性に
も問題があった。

【０００５】そこで、これらの問題を解決する方法とし
て、特開昭６１−１３９７１９号公報や特開昭６２−１
８５１１８号公報などに開示されているように、シリコ
ンなどの半導体基板をフォトリソグラフィー技術を用い
て加工することにより、小型の振動ジャイロを作製する
技術が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記半
導体基板を用いた振動ジャイロにおいても以下の問題点
があった。 (1)多軸回りの角速度を検出する場合には、１つの検出
軸に対して１つの振動ジャイロが必要であり、そのため
多軸検知が必要なシステムにおいては復数個の振動ジャ
イロと、多くの実装スペースを要し、システムの小型化
を困難にしていた。 (2)多軸回りの角速度を検出する場合、複数個の振動ジ
ャイロを必要とするが、各振動ジャイロの固有振動数を
一致させ、同一に駆動するのは困難であった。そのた
め、振動数を一致させるための後工程など、工数が増
え、歩留りの低下を招いていた。

【０００７】本発明は、上記問題点を解決するために成
されたものであり、小型で、多軸方向の角速度が高精度
に検出でき、かつ、量産性に優れた角速度センサを提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、振動ジャイロ方式による多軸検知型の角速度
センサであって、円周方向に略９０°の間隔で形成され
た等価な４つの質量部と、前記４つの質量部を一体的に
連結する連結部と、前記４つの質量部を平板基板上に支
持する支持部と、前記４つの質量部を一体的に円周方向
に所定振動数で振動させる振動駆動手段とからなり、前
記振動駆動手段により前記４つの質量部が一体的に振動
している時に任意の検出軸の回りに角速度が加わった
際、前記４つの質量部のうちの、相対する１組あるいは
２組の質量部の平面基板に対する垂直方向の変位量をそ
れぞれ検出する検出手段を備えたことを特徴とするもの
である。

【０００９】また、前記角速度センサは、平面基板上に
フォトリソグラフィー技術を用いて形成されたものでも
よい。

【００１０】そして、前記角速度センサにおいて、上記
の４つの質量部、連結部、および支持部は単結晶シリコ
ン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンもしくは金
属からなるものや、前記振動駆動手段は静電駆動を用い
たものや、前記角速度センサにおける、駆動の固有振動
数と検出の固有振動数とをほぼ一致させたものや、前記
角速度センサーは真空中に封止されたものでもよい。

【００１１】本発明において、４つの質量部を振動駆動
させる手段としては静電駆動、磁気駆動、圧電駆動、な
どを用いることができるが、静電駆動がより適してい
る。また、検出手段としては静電容量検出、磁気コイル
による検出、圧電材や歪ゲージによる検出、原子間力や
トンネル電流による検出などの手段を用いることができ
る。

【００１２】

【作用】上記のとおり構成された本発明では、円周方向
に９０°の間隔で形成された等価な４つの質量部が連結
部により一体化されており、この４つの質量部を振動駆
動手段により一体的に円周方向に所定振動数で振動させ
ると、互いに向い合った２組の質量部はそれぞれ対称な
動きで振動する。

【００１３】このように４つの質量部が所定振動数で一
体的に振動している時、任意の検出軸の回りに角速度ω
が加わると、角速度ωに比例したコリオリ力が前記検出
軸の位置に応じて１組あるいは２組のそれぞれの質量部
に互いに逆向きに生じる。これにより、互いに向き合っ
た１組あるいは２組の質量部はそれぞれ平板基板に対し
て垂直方向にシーソのように振動変位する。

【００１４】そして、前記検出軸の位置が１組の質量部
のみを振動変位させる場合は、１組の質量部における変
位量を検出手段により検出し、既知である所定の変位量
に応じた角速度に基づいて換算することにより、検出軸
の回りに加えられた角速度が求まる。また、前記検出軸
の位置が２組の質量部を振動変位させる場合は、各質量
部の振動変位に応じた検出手段からの検出比及び検出量
により加えられた角速度が求まる。このため、多軸回り
の角速度の検知が可能となる。

【００１５】また、上記のような振動駆動手段による振
動の際には向き合った２組の質量部が対称運動するの
で、検出時において重力などの外力は除去され、検出精
度の高いものとなる。

【００１６】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１７】（第１の実施例）図１は本発明の角速度セ
ンサの第１の実施例を示す上面図である。図２は図１の
Ａ−Ａ’線断面図であり、（ａ）は図１に示した角速度
センサの第１の検出軸回りに角速度が加わる前の状態を
示し、（ｂ）は振動している質量部に第１の検出軸回り
の角速度が加わった時の状態を示している。

【００１８】本実施例の角速度センサは、図１および図
２（ａ）に示すように、平板状の基板１３を備えてい
る。基板１３の上面には柱状の固定部８が形成され、固
定部８には、円周方向に約９０°の間隔で支持梁９が形
成されている。これらの支持梁９には、それぞれ等価な
４つの、第１乃至第４の質量部１〜４が基板１３上に空
隙を介して円周方向に支持され、連結部５により一体的
に連結されている。そして、基板１３の上面には、各質
量部との間の静電容量を検出するための検出電極１４
が、各質量部１〜４にそれぞれ対向して配設されてい
る。

【００１９】上記質量部１〜４、連結部５、固定部８お
よび支持梁９は、基板１３上にフォトリソグラフィー技
術を用いて形成され、材質としては単結晶シリコン、多
結晶シリコン、アモルファスシリコン等のシリコンや、
ニッケル、銅等の金属が使用されている。各質量部１〜
４の両側面はそれぞれ櫛形形状に形成されており、これ
ら各櫛歯に対向して櫛形形状の駆動電極６がそれぞれ互
い違いになるように配設されている。そして、各駆動電
極６にはそれぞれ電圧印加部７が質量部１〜４の外周側
に引き出して形成されている。

【００２０】駆動電極６に電圧が印加されると、駆動電
極６と質量部１〜４との間に静電力が働く。このため、
各質量部１〜４のそれぞれ両側面近傍の駆動電極６に印
加する電圧を周期的に交互に切り換えることにより、質
量部１〜４を円周方向（矢印１０方向）に一体的に振動
させることができる。このとき、第１の質量部１と第３
の質量部３、および第２の質量部２と第４の質量部４と
は、それぞれ円の中心点に対して対称的な動きをする。
なお、振動時に櫛歯同士がぶつからないように、櫛歯間
の距離および支持梁９の形状を設計しておく必要があ
る。

【００２１】このように振動している第１乃至第４の質
量部１〜４に第１の検出軸１１回りの角速度ω₁が加わ
ると、図２（ｂ）に示すように、第１の質量部１と第２
の質量部３には、それぞれ垂直方向にコリオリ力Ｆが基
板面に対してに互いに逆向きに生じ、質量部１および質
量部３は、固定部８を中心とした上下方向に回転するよ
うに変位する。その結果、シーソーのように固定部８を
中心にして基板面に対して上下方向に振動する。

【００２２】次に、本実施例の角速度センサが備える検
出手段の構成について説明する。

【００２３】図３は、第１の質量部１および第３の質量
部３における検出部を模式的に表わした等価回路図であ
る。

【００２４】第１の質量部１および第３の質量部３は、
図３に示すように固定部８を通じて接地され、検出電極
１４は第１の質量部１および第３の質量部３にそれぞれ
対向した電極としてコンデンサＣ₁、Ｃ₃を構成してい
る。第１の質量部１、第３の質量部３は、第１の検出軸
１１回りの角速度ω₁によりコリオリ力を受けて変位す
ると、コンデンサＣ₁、Ｃ₃の容量が変化するようになっ
ている。

【００２５】また同様に、第２の質量部２および第４の
質量部４に関し、それぞれ検出電極１４との間にコンデ
ンサＣ₂、Ｃ₄が構成されている。軸１２回りの角速度ω
₂が加わると、第２の質量部２および第４の質量部４に
は基板面に対して垂直方向にコリオリ力が互いに逆向き
に生じる。そして、第２の質量部２および第４の質量部
４がコリオリ力を受けて変位すると、コンデンサＣ₂、
Ｃ₄の容量が変化するようになっている。

【００２６】図４は本発明の角速度センサの第１の実施
例が備える検出回路の構成図であり、コンデンサＣ₁と
コンデンサＣ₃に抵抗Ｒ₁、Ｒ₂が接続され、コンデンサ
Ｃ₂、コンデンサＣ₄に抵抗Ｒ₂、Ｒ₄が接続されて、それ
ぞれにブリッジ回路が構成されている。更に、ブリッジ
回路には発振器２１と不平衡電圧検出回路２２、２３が
接続されている。これらの不平衡電圧検出回路２２、２
３は全波整流回路、ローパスフィルタおよび作動増幅器
から構成され、高周波の振幅値を抽出して不平衡電圧を
増幅するものである。

【００２７】このような構成において、第１乃至第４の
質量部１〜４が振動している際、図１に示したような軸
１１回りの角速度ω₁が加わると、質量部１および質量
部３はシーソーのように固定部８を中心にして回動し、
コンデンサＣ₁およびコンデンサＣ₃の容量が変化する。
このとき、コンデンサＣ₁とコンデンサＣ₃とでは容量は
逆相に変化する。このため、発振器２１からブリッジ回
路に振幅一定の高周波が印加されると、コンデンサＣ₁
およびコンデンサＣ₃のインピーダンス変化による不平
衡電圧が不平衡電圧検出回路２２に入力され、第１の質
量部１および第３の質量部３の変化が効率良く検出さ
れ、不平衡電圧検出回路２２の出力が角速度に換算され
る。また同様に、軸１２回りに角速度ω₂が加わると、
コンデンサＣ₂とコンデンサＣ₄の容量は逆相に変化す
る。このため、同様に発振器２１からブリッジ回路に振
幅一定の高周波が印加されると、コンデンサＣ₂および
コンデンサＣ₄のインピーダンス変化による不平衡電圧
が不平衡電圧検出回路２３に入力され、その出力が角速
度に換算される。このようにして、加えられた角速度を
検出することができる。

【００２８】また、不平衡電圧検出回路２２、２３の両
方の出力値を用いて第１の検出軸１１および第２の検出
軸１２以外の軸回りの角速度を検出することも可能であ
る。すなわち、図１において、第２の検出軸１２と角度
θをなす軸回りに大きさｖの角速度が生じた場合、第１
の検出軸１１回りにｖSINθ、第２の検出軸１２回りに
ｖCOSθの大きさの角速度が加わり、加えられた角速度
に応じたコリオリ力が第１の質量部１と第３の質量部
３、および第２の質量部２と第４の質量部４に働き、第
１の質量部１と第３の質量部３、および第２の質量部２
と第４の質量部４が振動変位する。したがって、不平衡
電圧検出回路２２、２３の出力比より角度θを、また、
これらの出力値より加えられた角速度ｖを求めることが
できる。

【００２９】次に、本実施例の角速度センサの製造工程
について説明する。

【００３０】図５は本発明の角速度センサの第１の実施
例の製造工程を説明するための工程図である。

【００３１】図５（ａ）に示すように、シリコン基板３
１上に熱酸化膜を５０００Å形成し、さらにこの上にＬ
ＰＣＶＤ法によりシリコン窒化膜を１５００Å形成し、
絶縁層３２を形成する。次に、図５（ｂ）に示すよう
に、絶縁層３２の一部をエッチングにより除去し、固定
部形成用の開口部を形成する。エッチングにはＣＦ₄を
反応ガスとして用いた。次に、図５（ｃ）に示すよう
に、５０Åのクロムを下引層とし、１０００Åの金をス
パッタリング法により形成した後、パターニングして検
出用電極３３を形成する。次いで、図５（ｄ）に示すよ
うにスパッタリング法により犠牲層シリコン酸化層３４
を２μｍ形成し、図５（ｅ）に示すようにパターニング
した後、この上に、図５（ｆ）に示すようにリンドーピ
ングポリシリコン層３５をＬＰＣＶＤ法により５μｍ形
成する。リンはイオン注入法によりドーピングしてもよ
い。図５（ｇ）に示すようにポリシリコン層３５をパタ
ーニングして、駆動電極、固定部、支持梁、質量部を形
成し、次に、図５（ｈ）に示すようにフッ酸水溶液によ
り、犠牲層シリコン酸化層３４を除去することにより、
角速度センサを形成した。

【００３２】本実施例では、質量部の内径１５０ｍｍ、
外径５５０ｍｍとし、櫛形電極の数２０、櫛歯間のギャ
ップ２μｍとした。また、駆動方向（質量部の円周方向
の振動）及び検出方向（質量部の基板面に対する上下方
向）の変位量を大きくし、検出感度を高める為、駆動の
固有振動数と、検出の固有振動数を一致させた。また、
同様の目的で角速度センサを真空中に封止した構造とし
た。

【００３３】このような角速度センサを真空中におい
て、交流印加電圧２０Ｖ、駆動周波数１００ＫＨｚで駆
動したところ、１０μｍの駆動振幅が得られた。また、
出力を検出したところ、２つの軸方向に対しては良好に
角速度を検出することができ、１°／ｓｅｃの入力角速
度において、０．１ｍＶの出力を得ることができた。な
お、本実施例においては角速度センサ本体をポリシリコ
ン層で形成したが、ＭＯＣＶＤ法やエピタキシャル成長
法により作製したシリコン層やスパッタリング法、蒸着
法、もしくはメッキ法により作製した金属層を用いても
よい。

【００３４】（第２の実施例）図６は本発明の角速度セ
ンサの第２の実施例の構成を示す上面図である。

【００３５】本実施例の角速度センサにおいては、図６
に示すように、円周方向に約９０°の間隔で形成された
等価な４つの、第１乃至第４の質量部４１〜４４が内周
側に十字型の連結部４５を介して一体的に連結されてい
る。また、第１の実施例と同様に、シリコン等からなる
平板状の基板（不図示）を備えており、この基板上に
は、柱状の固定部４８が前記４つの質量部４１〜４４を
連結した各直線部をそれぞれ挟むように形成されてい
る。前記４つの質量部４１〜４４は、各固定部４８にそ
れぞれ形成された支持梁４９により、前記基板上に空隙
を介して支持されている。

【００３６】各質量部４１〜４４の両側面はそれぞれ櫛
形形状に形成されており、これら各櫛歯に対向して櫛形
形状の駆動電極４６がそれぞれ互い違いになるように配
設されている。そして、各駆動電極４６にはそれぞれ電
圧印加部４７が質量部４１〜４４の外周側に引き出して
形成されている。

【００３７】本実施例においても、第１乃至第４の質量
部４１〜４４が円周方向に振動している際、第１の検出
軸５１回りに角速度ω₁が加えられると、対称構造であ
る第１の質量部４１および第３の質量部４３に互いに逆
向きに、前記角速度ω₁に比例したコリオリ力が生じ、
第１の質量部４１および第３の質量部４３はこれらの中
心点を挟んでシーソーのように変位する。同様に、第２
の検出軸５２回りに角速度ω₂が加わると、対称構造で
ある第２の質量部４２および第４の質量部４４はこれら
の中心点を挟んでシーソーのように変位する。このよう
な変位量を検出することにより、加えられた角速度を求
めることができる。

【００３８】本実施例における駆動方法、検出方法、製
造方法などは第１の実施例と同様である。

【００３９】（第３の実施例）図７は本発明の角速度セ
ンサの第３の実施例の構成を示す上面図である。

【００４０】本実施例の角速度センサにおいては、図７
に示すように、円周方向に約９０°の間隔で形成された
等価な４つの、第１乃至第４の質量部６１〜６４が、連
結部６６により各質量部６１〜６４の回りを所定の間隔
のスリット６５を介して囲み、各質量部６１〜６４の内
周側の一部位同士を連結して一体化されている。このよ
うなスリット６５を設けたことにより、各質量部６１〜
６４はそれぞれ検出方向すなわち基板面（不図示）に垂
直な方向に変位しやすい形状となり、検出感度を向上さ
せることが可能となる。また、第１の実施例と同様に、
シリコン等からなる平板状の基板（不図示）を備えてお
り、この基板の、前記４つの質量部６１〜４４の中心側
となる上面には、２つの固定部６７が、前記４つの質量
部６１〜６４の中心に対称にして形成されている。そし
て、前記４つの質量部６１〜６４は、一方の固定部から
第１と第４の質量部の間の連結部６６に、もう一方の固
定部から第２と第３の質量部の間の連結部６６にかけ
て、それぞれ互いに渦巻状にして形成された支持梁６８
により、前記基板上に空隙を介して支持されている。

【００４１】さらに、第１と第４の質量部の間の連結部
６６および第２と第３の質量部の間の連結部は、それぞ
れ第１乃至第４の質量部６１〜６４の外周側に突出して
いるとともに櫛形形状に形成されており、これら各櫛歯
に対向して櫛形形状の駆動電極６９がそれぞれ互い違い
になるように配設されている。

【００４２】本実施例においても、第１乃至第４の質量
部６１〜６４が円周方向に振動している際、第１の検出
軸７１回りに角速度ω₁が加えられると、対称構造であ
る第２の質量部６２および第４の質量部６４に互いに逆
向きに、前記角速度ω₁に比例したコリオリ力が生じ、
第１の質量部６１および第３の質量部６３はこれらの中
心点を挟んでシーソーのように変位する。同様に、第２
の検出軸７２回りに角速度ω₂が加わると、対称構造で
ある第１の質量部６１および第３の質量部６３はこれら
の中心点を挟んでシーソーのように変位する。このよう
な変位量を検出することにより、加えられた角速度を求
めることができる。

【００４３】本実施例における駆動方法、検出方法、製
造方法などは第１の実施例と同様である。

【００４４】上記第１乃至第３の実施例においては、櫛
形電極を用いた静電駆動により円周方向に第１乃至第４
の質量部を振動させているが、本発明は特にこれに限定
されるものではない。

【００４５】図８は、本発明の角速度センサにおける他
の静電駆動方式を示す斜視図であり、（ａ）および
（ｂ）は質量部および駆動電極の一部を示している。

【００４６】図８（ａ）に示すように駆動電極７５に電
圧を印加することにより、質量部７３との間に静電力が
働き、矢印方向に第１乃至第３の実施例と同様の方向に
駆動させることができる。また、図８（ｂ）に示すよう
に、積層形の電極としてもよい。

【００４７】また、検出方式も特に限定されるものでは
なく、第１乃至第４の質量部の先端もしくは下部にＳＴ
Ｍ用のチップやＡＦＭ用のチップを形成し、ＳＴＭ方
式、ＡＦＭ方式による検出を行ってもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、等価な４
つの質量部を円周方向に９０°の間隔で形成し、これら
の４つの質量部を連結部にて一体化して平面基板上に支
持部により支持し、かつ前記一体化された４つの質量部
を所定振動数で振動させる振動駆動手段と、前記振動駆
動手段により前記４つの質量部が一体的に振動している
時に検出軸の回りに角速度が加わった際、前記４つの質
量部のうちの、相対する１組または２組の質量部の平面
基板に対する垂直方向の変位量をそれぞれ検出する検出
手段を設けた構成にした事により、簡易な構成にて多数
の軸回りの角速度の検出が可能となり、システムの小型
化が容易となる。また、連結部によって４つの質量部を
一体化した構成であるので、４つの質量部全体が同一振
動を励起することができる。さらに、向い合った２つの
質量部は対称運動するため、重力などの外力の影響を除
去することができ、高精度に角速度が検出できる。

【００４９】さらに、本発明は、シリコン、ガラス等の
平面基板上にフォトリソグラフィー技術を用いて作製し
たことにより、量産性に優れた角速度センサを提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の角速度センサの第１の実施例の構成を
示す上面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図であり、（ａ）は図１に
示した角速度センサの第１の検出軸回りに角速度が加わ
る前の状態を示し、（ｂ）は振動している質量部に第１
の検出軸回りの角速度が加わった時の状態を示してい
る。

【図３】第１の質量部および第３の質量部における検出
部を模式的に表わした等価回路図である。

【図４】本発明の角速度センサの第１の実施例が備える
検出回路の構成図である。

【図５】本発明の角速度センサの第１の実施例の製造工
程を説明するための工程図である。

【図６】本発明の角速度センサの第２の実施例の構成を
示す上面図である。

【図７】本発明の角速度センサの第３の実施例の構成を
示す上面図である。

【図８】本発明の角速度センサにおける他の静電駆動方
式を示す斜視図であり、（ａ）および（ｂ）は質量部お
よび駆動電極の一部を示している。

【符号の説明】

１，４１，６１第１の質量部２，４２，６２第２の質量部３，４３，６３第３の質量部４，４４，６４第４の質量部５，４５，６６連結部６，４６，６９，７５駆動電極７，４７電圧印加部８，４８，６７固定部９，４９，６８，７４支持梁１０，５０，７０振動方向１１，５１，７１第１の検出軸１２，５２，７２第２の検出軸１３基板１４検出電極２１発振器２２，２３不平衡電圧検出回路３１シリコン基板３２絶縁層３３検出用電極３４犠牲層シリコン酸化層３５リンドーピングポリシリコン層６５スリット７３質量部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者左納義久東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動ジャイロ方式による多軸検知型の角
速度センサであって、円周方向に略９０°の間隔で形成された等価な４つの質
量部と、前記４つの質量部を一体的に連結する連結部と、前記４つの質量部を平板基板上に支持する支持部と、前記４つの質量部を一体的に円周方向に所定振動数で振
動させる振動駆動手段とからなり、前記振動駆動手段により前記４つの質量部が一体的に振
動している時に検出軸の回りに角速度が加わった際、前
記４つの質量部のうちの、相対する１組または２組の質
量部の平面基板に対する垂直方向の変位量をそれぞれ検
出する検出手段を備えたことを特徴とする角速度セン
サ。
【請求項２】請求項１記載の角速度センサは、平面基
板上にフォトリソグラフィー技術を用いて形成されたも
のであることを特徴とする角速度センサ。
【請求項３】請求項１記載の角速度センサにおいて、
前記４つの質量部、連結部、および支持部は単結晶シリ
コン、多結晶シリコン、アモルファスシリコンもしくは
金属からなることを特徴とする角速度センサ。
【請求項４】請求項１記載の角速度センサにおいて、前記振動駆動手段は静電駆動を用いたことを特徴とする
角速度センサ。
【請求項５】請求項１記載の角速度センサにおいて、駆動の固有振動数と検出の固有振動数とをほぼ一致させ
たことを特徴とする角速度センサ。
【請求項６】請求項１記載の角速度センサーは真空中
に封止されたものであることを特徴とする角速度セン
サ。