JP5786141B2 - 角速度センサ素子 - Google Patents
角速度センサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5786141B2 JP5786141B2 JP2012287087A JP2012287087A JP5786141B2 JP 5786141 B2 JP5786141 B2 JP 5786141B2 JP 2012287087 A JP2012287087 A JP 2012287087A JP 2012287087 A JP2012287087 A JP 2012287087A JP 5786141 B2 JP5786141 B2 JP 5786141B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- angular velocity
- drive
- velocity sensor
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
9 固定部
10 錘部
11 駆動アーム
11a,11b アーム辺
12 駆動電極
13 検出電極
Claims (3)
- 固定部と、この固定部に一端が支持された駆動アームと、この駆動アームの他端に支持された錘部と、前記駆動アームに設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を振動させる駆動電極と、前記駆動アームの駆動振動の方向と平行な面に設けられてこの駆動アームに加わる角速度を検出する検出電極とを備え、前記駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とするとともに、前記検出電極はアーム辺の延伸方向の中心軸に対して偏芯した位置に配置し、かつ、前記検出電極は前記中心軸を跨ぐことなく、前記中心軸に対して片側のみに配置したことを特徴とする角速度センサ素子。
- 前記アーム辺の折り返し部分における角部をフィレット形状としたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 検出電極をアーム辺の延伸方向において前記アーム辺の撓みの変曲点に対して対称形状としたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012287087A JP5786141B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012287087A JP5786141B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008260525A Division JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014224878A Division JP5849190B2 (ja) | 2014-11-05 | 2014-11-05 | 角速度センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013079976A JP2013079976A (ja) | 2013-05-02 |
JP5786141B2 true JP5786141B2 (ja) | 2015-09-30 |
Family
ID=48526427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012287087A Expired - Fee Related JP5786141B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5786141B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10141961A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子 |
JP3899637B2 (ja) * | 1997-07-09 | 2007-03-28 | 株式会社デンソー | 角速度センサの製造方法 |
JP4169012B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2008-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロ振動片、ジャイロセンサ、及びジャイロ振動片の製造方法 |
WO2007086337A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 慣性力センサ |
JP2008096138A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサの製造方法および角速度センサ |
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012287087A patent/JP5786141B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013079976A (ja) | 2013-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9835641B2 (en) | Angular velocity detection device and angular velocity sensor including the same | |
JP6031682B2 (ja) | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 | |
JP6620243B2 (ja) | 角速度センサ、センサ素子および多軸角速度センサ | |
WO2010041422A1 (ja) | 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサと角速度センサユニット及びその信号検出方法 | |
JP5407259B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
WO2018003692A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP6074629B2 (ja) | 角速度センサ素子及び角速度センサ | |
JP5786141B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5849243B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5849190B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2010266321A (ja) | 多軸角速度センサ | |
JP6740965B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP6733621B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2011209270A (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2012112819A (ja) | 振動ジャイロ | |
WO2023090349A1 (ja) | ジャイロセンサ素子 | |
WO2014061247A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP6922850B2 (ja) | 物理量センサ | |
JP2010169498A (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5471217B2 (ja) | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 | |
WO2017204057A1 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP2012021964A (ja) | 角速度センサ装置 | |
JP2012237653A (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2016095176A (ja) | 角速度センサ、及びこの角速度センサを用いた電子機器 | |
JP2012163386A (ja) | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131209 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140108 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140418 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140805 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141105 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20141113 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20141222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150216 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5786141 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |