JP5407259B2 - 角速度センサ素子 - Google Patents
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Description
9 固定部
10 錘部
11 駆動アーム
11a,11b アーム辺
12 駆動電極
13 検出電極
Claims (3)
- 固定部と、この固定部に一端が支持された駆動アームと、この駆動アームの他端に支持された錘部と、前記駆動アームに設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を振動させる駆動電極と、前記駆動アームに設けられてこの駆動アームに加わる角速度を検出する検出電極とを備え、前記駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とするとともに、一つの錘部に対して一対の駆動アームを並設し、さらに、一方の駆動アームの形状を他方の駆動アームの対称形状とするとともに、駆動電極を検出電極が設けられたアーム辺とは異なるアーム辺に設け、前記アーム辺の延伸方向の中心軸に対して偏芯した位置に配置したことを特徴とする角速度センサ素子。
- 駆動電極を2領域に分割するとともにアーム辺を縦横の中心軸により4分割し、前記4分割した領域の対角領域に駆動電極を配置したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 駆動電極をそれぞれの駆動アームの錘部側のアーム辺に配置し、固定部から前記駆動電極に対する駆動信号の入力経路を一方の駆動アーム側から行い、検出電極を他方の駆動アームの固定部側のアーム辺に配置し、前記検出電極から前記固定部に出力される検出信号の出力経路を他方の駆動アーム側から行うことを特徴とした請求項1に記載の角速度センサ素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008260525A JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
EP09818962A EP2330381A4 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT, ANGULAR SPEED SENSOR, AND ANGULAR SPEED SENSOR UNIT USING ALL OF THE ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT, AND SIGNAL DETECTION METHOD FOR ANGULAR SPEED SENSOR UNIT |
US13/122,445 US8561467B2 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit |
PCT/JP2009/005177 WO2010041422A1 (ja) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサと角速度センサユニット及びその信号検出方法 |
US14/804,642 USRE46514E1 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008260525A JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012287088A Division JP5849243B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
JP2012287087A Division JP5786141B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010091364A JP2010091364A (ja) | 2010-04-22 |
JP5407259B2 true JP5407259B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=42254230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008260525A Expired - Fee Related JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5407259B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5652117B2 (ja) * | 2010-10-21 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP6582234B2 (ja) * | 2015-02-26 | 2019-10-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度センサ素子 |
EP3872878B1 (en) * | 2018-11-30 | 2023-04-19 | Kyocera Corporation | Multi-axial angular velocity sensor |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000074676A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
FR2798993B1 (fr) * | 1999-09-28 | 2001-12-07 | Thomson Csf Sextant | Gyrometre de type diapason |
CN103278147B (zh) * | 2006-01-24 | 2015-11-04 | 松下电器产业株式会社 | 惯性力传感器 |
WO2008023566A1 (fr) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Panasonic Corporation | Capteur de vitesse angulaire |
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2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010091364A (ja) | 2010-04-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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