JP2010091364A - 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサ - Google Patents
角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010091364A JP2010091364A JP2008260525A JP2008260525A JP2010091364A JP 2010091364 A JP2010091364 A JP 2010091364A JP 2008260525 A JP2008260525 A JP 2008260525A JP 2008260525 A JP2008260525 A JP 2008260525A JP 2010091364 A JP2010091364 A JP 2010091364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- drive
- arm
- velocity sensor
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部9に接続され他端が錘部10に接続された駆動アーム11からなる角速度センサにおいて、駆動アーム11の形状を固定部9と錘部10を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺11a,11bの折り返し構造としたものである。
【選択図】図2
Description
9 固定部
10 錘部
11 駆動アーム
11a,11b アーム辺
12 駆動電極
13 検出電極
Claims (10)
- 固定部と、この固定部に一端が支持された駆動アームと、この駆動アームの他端に支持された錘部と、前記駆動アームに設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を振動させる駆動電極と、前記駆動アームに設けられてこの駆動アームに加わる角速度を検出する検出電極とを備え、前記駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたことを特徴とする角速度センサ素子。
- 一つの錘部に対して一対の駆動アームを並設するとともに、一方の駆動アームの形状を他方の駆動アームの対称形状としたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 固定部を一方の駆動アームの接続部分と他方の駆動アームの接続部分とで分割したことを特徴とする請求項2に記載の角速度センサ素子。
- アーム辺の折り返し部分における角部をフィレット形状としたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 検出電極は、アーム辺の延伸方向の中心軸に対して偏芯した位置に配置したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 検出電極をアーム辺の延出方向において前記アーム片の撓みの変曲点に対して対称形状としたことを特徴とする請求項5に記載の角速度センサ素子。
- 一つの錘部に対して一対の駆動アームを並設するとともに、一方の駆動アームの形状を他方の駆動アームの対称形状とするとともに、駆動電極を検出電極が設けられたアーム辺とは異なるアーム辺に設け、前記アーム辺の延伸方向の中心軸に対して偏芯した位置に配置したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。
- 駆動電極を2領域に分割するとともにアーム辺を縦横の中心軸により4分割し、前記4分割した領域の対角領域に駆動電極を配置したことを特徴とする請求項7に記載の角速度センサ素子。
- 駆動電極をそれぞれの駆動アームの錘部側のアーム辺に配置し、固定部から前記駆動電極に対する駆動信号の入力経路を一方の駆動アーム側から行い、検出電極を他方の駆動アームの固定部側のアーム辺に配置し、前記検出電極から前記固定部に出力される検出信号の出力経路を他方の駆動アーム側から行うことを特徴とした請求項7に記載の角速度センサ素子。
- 請求項1乃至9記載の角速度センサ素子と、この角速度センサ素子に設けられた駆動電極に駆動信号を印加する駆動制御回路と、前記角速度センサ素子の検出電極から出力された検出信号を処理する検出回路を備えたことを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008260525A JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
EP09818962A EP2330381A4 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT, ANGULAR SPEED SENSOR, AND ANGULAR SPEED SENSOR UNIT USING ALL OF THE ANGULAR SPEED SENSOR ELEMENT, AND SIGNAL DETECTION METHOD FOR ANGULAR SPEED SENSOR UNIT |
PCT/JP2009/005177 WO2010041422A1 (ja) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサと角速度センサユニット及びその信号検出方法 |
US14/804,642 USRE46514E1 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit |
US13/122,445 US8561467B2 (en) | 2008-10-07 | 2009-10-06 | Angular velocity sensor element, angular velocity sensor and angular velocity sensor unit both using angular velocity sensor element, and signal detecting method for angular velocity sensor unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008260525A JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012287088A Division JP5849243B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
JP2012287087A Division JP5786141B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 角速度センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010091364A true JP2010091364A (ja) | 2010-04-22 |
JP5407259B2 JP5407259B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=42254230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008260525A Expired - Fee Related JP5407259B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | 角速度センサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5407259B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012088245A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2016156775A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度センサ素子 |
CN113169265A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-07-23 | 京瓷株式会社 | 多轴角速度传感器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000074676A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003510592A (ja) * | 1999-09-28 | 2003-03-18 | タレス アヴィオニクス ソシエテ アノニム | 音叉タイプ・ジャイロメータ |
WO2007086337A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 慣性力センサ |
WO2008023566A1 (fr) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Panasonic Corporation | Capteur de vitesse angulaire |
-
2008
- 2008-10-07 JP JP2008260525A patent/JP5407259B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000074676A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2003510592A (ja) * | 1999-09-28 | 2003-03-18 | タレス アヴィオニクス ソシエテ アノニム | 音叉タイプ・ジャイロメータ |
WO2007086337A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 慣性力センサ |
WO2008023566A1 (fr) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Panasonic Corporation | Capteur de vitesse angulaire |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012088245A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2016156775A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度センサ素子 |
CN113169265A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-07-23 | 京瓷株式会社 | 多轴角速度传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5407259B2 (ja) | 2014-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9835641B2 (en) | Angular velocity detection device and angular velocity sensor including the same | |
JP5807344B2 (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP6031682B2 (ja) | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 | |
WO2010041422A1 (ja) | 角速度センサ素子およびこれを用いた角速度センサと角速度センサユニット及びその信号検出方法 | |
JP5407259B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
WO2018003692A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP6074629B2 (ja) | 角速度センサ素子及び角速度センサ | |
JP5849243B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5786141B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP5849190B2 (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2010266321A (ja) | 多軸角速度センサ | |
JP6740965B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2012112819A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP6733621B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2011209270A (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP2010181179A (ja) | 角速度検出装置 | |
WO2018092449A1 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
WO2014061247A1 (ja) | 角速度センサ | |
WO2023090349A1 (ja) | ジャイロセンサ素子 | |
WO2017204057A1 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP5471217B2 (ja) | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 | |
JP2010169498A (ja) | 角速度センサ素子 | |
JP6702053B2 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
WO2019230552A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP2006105756A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111005 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20111114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20121214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131021 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5407259 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |