JP2010266321A - 多軸角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる多軸角速度センサに関し、多軸角速度センサを低背化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一端が固定部に接続され他端が錘部に接続された駆動アームからなる多軸角速度センサにおいて、駆動アームの形状を固定部から錘部の方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とし、アーム辺の延出方向に対して検出電極をアーム辺の中央部(撓み変曲点)から対称形状としたものである。
【選択図】図2
【解決手段】本発明は、一端が固定部に接続され他端が錘部に接続された駆動アームからなる多軸角速度センサにおいて、駆動アームの形状を固定部から錘部の方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とし、アーム辺の延出方向に対して検出電極をアーム辺の中央部(撓み変曲点)から対称形状としたものである。
【選択図】図2
Description
本発明は、各種電子機器に用いられる多軸角速度センサに関する。
一般的な角速度センサの構成は、パッケージの内部に角速度を検出する振動型角速度センサ素子と、この角速度センサを制御するICを配置する構成が知られている。また、振動型角速度センサ素子は振動させる駆動アーム部分が音叉型やH型というような角速度の検出軸に平行に配置され、検出軸を中心として加わる角速度に対して駆動アームがコリオリ力により撓み振動が発生し、この撓み振動を電気信号に変換してICに出力する構造が知られている。
また、このような角速度センサに対しては複数の検出軸に対応する構造の検討が始められており、現在においては、2個の振動型角速度センサ素子をそれぞれの検出軸が直交するようにパッケージ内に実装する構造が知られている。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
しかしながら、このような2軸対応の角速度センサにさらに検出軸を増やそうとした場合、つまり互いに直交する3軸を検出軸とした角速度センサを構成する場合、2つの検出軸までは1つの平面内で配置できるのであるが3つ目の検出軸が先の2軸で形成する平面に対して直交してしまうため、3つの振動型角速度センサ素子の内で1つの振動型角速度センサ素子の駆動アームの延出方向が部品高さ方向と一致してしまうことになり角速度センサの低背化が困難な構造となっていた。
そこで、本発明はこのような問題を解決し、多軸角速度センサの低背化を目的とする。
この目的を達成するために本発明は、互いに直交する第1乃至第3の検出軸に対する角速度を検出する多軸角速度センサにおいて、第1の検出軸と振動平面が平行な第1の振動型角速度センサ素子と、第2の検出軸と振動平面が平行な第2の振動型角速度センサ素子と、第3の検出軸と振動平面が直交する第3の振動型角速度センサ素子とを組み合わせた構造としたのである。
この構成により本発明は多軸角速度センサの低背化を実現できるのである。
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。
図1および図2は3つの振動型角速度センサ素子1,2,3とこれら振動型角速度センサ素子1,2,3を制御するIC4をパッケージ5の内部に収納しリッド6で封口した多軸角速度センサの構造を示した図であり、3つの振動型角速度センサ素子1,2,3は互いに直交する3軸(X軸、Y軸、Z軸)を検出軸7,8,9とした角速度情報を電気信号として出力するものである。
また、振動型角速度センサ素子1,2と振動型角速度センサ素子3は検出方式が異なり、振動型角速度センサ素子1,2は図3に示すように、支持部10から検出軸7(8)を中心として対称配置された駆動アーム11上に駆動電極12および検知電極13を設けた音叉型の振動型角速度センサ素子1,2であり、振動型角速度センサ素子3は図4に示すように、破線で囲んだ支持部14を中心として錘部15を対称に配置しこれらを破線で囲んだ蛇行状の駆動アーム16で接続し、この駆動アーム16上に駆動電極17および検知電極18を設けたジャバラ型の振動型角速度センサ素子3を用いている。
なお、駆動電極12,17および検知電極13,18の電極構造は、図5に示すようにAuからなる上部電極19とPtからなる下部電極20と、これらの間に配置されたPZTからなる圧電体層21により形成され、下部電極20をグランド接続した状態で上部電極19に正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、この圧縮力により電極パターンが延びる方向に応力が発生し、これとは逆に負電圧を印加すると電極に引張力が働き、この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生するものである。また、これとは逆に電極が撓み圧縮応力を受けることで負電圧を発生し、電極が延び引張応力を受けることで正電圧を発生させるものである。なお、上部電極19と圧電体層21の間には特に図示していないが層間の密着力を高めるためTiからなる密着層を介在している。
そして、図3に示す音叉型の振動型角速度センサ素子1,2を用いた角速度の検出は、駆動電極12にIC4から駆動電圧を印加することにより駆動アーム11が矢印22で示すよう並設方向に振動し、この振動状態において検出軸7,8回りに角速度が加わることでコリオリ力により駆動アーム11が図3における前後方向(Z軸方向)に撓み振動が生じ、この撓み振動を検知電極13により電気信号に変換しIC4に出力する。
また、図4に示すジャバラ型の振動型角速度センサ素子3を用いた角速度の検出は、駆動電極17にIC4から駆動電圧を印加することにより駆動アーム16を矢印23で示すようジャバラの伸縮方向に振動させ、この振動状態において振動平面(XY平面)に直交する検出軸9回りに角速度が加わることでコリオリ力により駆動アーム16側方(図における上下方向)に撓み振動が生じ、この撓み振動を検知電極18により電気信号に変換しIC4に出力する。
つまり、互いに直交する3軸(X軸、Y軸、Z軸)を検出軸7,8,9とする多軸角速度センサを構成するにあたり、振動平面(XY平面)と検出軸7,8が平行な振動型角速度センサ素子1,2を、検出軸7と検出軸8が直交するようにパッケージ5内に配置するとともに、振動平面(XY平面)と検出軸9が直交する振動型角速度センサ素子3をパッケージ5内に配置することで、3つの振動型角速度センサ素子1,2,3の振動平面が一致もしくは平行な状態でパッケージ5の内部に配置できるので、結果として多軸角速度センサの低背化ができるのである。
また、パッケージ5の内部における振動型角速度センサ素子1,2,3及びIC4の実装レイアウトは、図1,図2に示されるように、パッケージ5の内部に段差5aが設けられ、この段差5aの内側の下段面5bにIC4を実装するとともに、このIC4の上面に振動型角速度センサ素子3を実装し、段差5aの外側の上段面5cに振動型角速度センサ素子1,2を実装した構造としている。
なお、振動型角速度センサ素子3はIC4の上面において駆動アーム16の振動性を確保するため支持部14から延出された接続部14aとIC4の間にスペーサ層(特に図示せず)を介在させ駆動アーム16を浮かせた構造としており、振動型角速度センサ素子1,2は上段面5cに支持部10を実装し駆動アーム11を下段面5bの上方に浮かせその振動性を確保している。
そして、振動型角速度センサ素子1,2は互いの検出軸7,8が直交するように隣接するパッケージ5の内壁に沿った上段面5cに配置されており、パッケージ5における振動型角速度センサ素子1,2の実装ポイントとなる支持部10が物理的に離れた位置に配置しているとともに、それぞれの振動方向(図3における矢印22)が直交することから、振動型角速度センサ素子1,2が相互干渉し難い構造としている。
また、振動型角速度センサ素子1,2と振動型角速度センサ素子3の漏れ振動による相互干渉については、振動型角速度センサ素子1,2がパッケージ5の上段面5cに実装されているのに対して振動型角速度センサ素子3がパッケージ5の下段面5bに実装されたIC4の上面に実装しており、振動型角速度センサ素子1,2と振動型角速度センサ素子3がパッケージ5の内部における異なる面上に実装されたことにより相互干渉を抑制できるとともに、振動型角速度センサ素子3が下段面5bに対してIC4を介して実装しているので、IC4の弾性によるダンパー効果に加え振動型角速度センサ素子1,2に至るまでの延面距離も長くなり振動型角速度センサ素子1,2と振動型角速度センサ素子3の間における漏れ振動による相互干渉を抑制した構造となっている。
また、振動型角速度センサ素子3をIC4に実装する際に接着剤(特に図示せず)を用いて固着させることで接着剤の弾性により相互干渉の抑制効果をさらに高められる。なお、接着剤としては弾性が大きいシリコン系の接着剤を用いることが望ましい。
なお、上述した一実施形態においては検出軸が振動平面(XY平面)と平行な振動型角速度センサ素子として音叉型の振動型角速度センサ素子1,2を挙げ、検出軸が振動平面(XY平面)と直交する振動型角速度センサ素子としてジャバラ型の振動型角速度センサ素子3を挙げて説明したが、本発明はこの一実施形態に限定されるものではなく、図6に示す検出軸24が振動平面(XY平面)と平行なH型の振動型角速度センサ素子25や図7に示すI型の振動型角速度センサ素子26といった検出軸24が振動平面(XY平面)と平行な素子を用いることができ、また、図8に示すよう検出軸27が振動平面(XY平面)と直交する王字型の振動型角速度センサ素子28といった検出軸27が振動平面(XY平面)に直交する素子を用いることで同様の効果を得ることができる。
なお、これらの振動型角速度センサ素子25,26,28を用いた角速度の検出は、振動型角速度センサ素子25,26で有れば上述した振動型角速度センサ素子1,2と同様に、駆動アーム28を矢印29で示すよう側方に振動させコリオリ力による撓み振動を電気信号に変換し出力し、振動型角速度センサ素子28で有れば両外側に位置する駆動アーム30を矢印31で示すよう側方に振動させコリオリ力によって生じる振動モードを検出アーム32で検出し電気信号に変換し出力するものである。
本発明は、多軸角速度センサを低背化出来るという効果を有し、特にナビゲーションシステムなどの低背化が進められる電子機器に用いられる多軸角速度センサにおいて有用となるものである。
1 第1の振動型角速度センサ素子
2 第2の振動型角速度センサ素子
3 第3の振動型角速度センサ素子
4 IC
5 パッケージ
7 第1の検出軸
8 第2の検出軸
9 第3の検出軸
2 第2の振動型角速度センサ素子
3 第3の振動型角速度センサ素子
4 IC
5 パッケージ
7 第1の検出軸
8 第2の検出軸
9 第3の検出軸
Claims (4)
- 互いに直交する第1乃至第3の検出軸に対する角速度を検出する多軸角速度センサであって、前記第1の検出軸に対する角速度を検出する第1の振動型角速度センサ素子と、前記第2の検出軸に対する角速度を検出する第2の振動型角速度センサ素子と、前記第3の検出軸に対する角速度を検出する第3の振動型角速度センサ素子と、前記第1乃至第3の振動型角速度センサ素子を制御するICと、前記第1乃至第3の振動型角速度センサ素子および前記ICを収納するパッケージを備え、
前記第1の振動型角速度センサ素子の振動平面と前記第1の検出軸が平行であり、前記第2の振動型角速度センサ素子の振動平面と前記第2の検出軸が平行であり、前記第3の振動型角速度センサ素子の振動平面と前記第3の検出軸が直交することを特徴とした多軸角速度センサ。 - 第1、第2の振動型角速度センサ素子およびICをパッケージに実装し、第3の振動型角速度センサ素子を前記ICに実装することを特徴とした請求項1に記載の多軸角速度センサ。
- 第3の振動型角速度センサ素子をICの接着剤を用いて実装することを特徴とした請求項2に記載の多軸角速度センサ。
- 接着剤としてシリコン系接着剤を用いたことを特徴とした請求項3に記載の多軸角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009117474A JP2010266321A (ja) | 2009-05-14 | 2009-05-14 | 多軸角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010266321A true JP2010266321A (ja) | 2010-11-25 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009117474A Pending JP2010266321A (ja) | 2009-05-14 | 2009-05-14 | 多軸角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010266321A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9038461B2 (en) | 2011-05-20 | 2015-05-26 | Seiko Epson Corporation | Gyro sensor and electronic device |
US9048418B2 (en) | 2012-03-13 | 2015-06-02 | Seiko Epson Corporation | Sensor element, sensor device, and electronic apparatus |
US9389078B2 (en) | 2012-04-10 | 2016-07-12 | Seiko Epson Corporation | Gyro sensor and electronic apparatus |
-
2009
- 2009-05-14 JP JP2009117474A patent/JP2010266321A/ja active Pending
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