JP5849243B2 - 角速度センサ素子 - Google Patents
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Description
9 固定部
10 錘部
11 駆動アーム
11a,11b アーム辺
12 駆動電極
13 検出電極
Claims (1)
- 固定部と、この固定部に一端が支持された駆動アームと、この駆動アームの他端に支持された錘部と、前記駆動アームに設けられて前記固定部と前記錘部を結ぶ方向に前記錘部を振動させる駆動電極と、前記駆動アームに設けられてこの駆動アームに加わる角速度を検出する検出電極とを備え、前記駆動アームの形状を前記錘部の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とするとともに、一つの錘部に対して一対の駆動アームを並設し、さらに、一方の駆動アームの形状を他方の駆動アームの対称形状とし、前記錘の一つの側面に前記一対の駆動アームが接続されたことを特徴とする角速度センサ素子。
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