JP2012237653A - 角速度センサ素子 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、出力感度が大きくなる角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、第１の検出電極振動体３４と第１の連接梁２８との接続部に第１の屈曲部３２を設け、この第１の屈曲部３２の上面に第１の屈曲部検出電極３３を設け、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第１の駆動電極振動体３６の長手方向に働くと、第１の屈曲部３２に曲げ応力が加わることとなるから、第１の屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度が向上する構成としたものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサに使用される角速度センサ素子に関するものである。

従来のこの種の角速度センサ素子は図５に示すような構成となっていた。

図５は従来の角速度センサ素子の斜視図である。

図５において、１は直方体形状の固定部である。２は圧電単結晶からなる第１の検出電極振動体で、この第１の検出電極振動体２は、前記固定部１に一端が接続されるとともに、上面に検出電極（図示せず）を設けている。３は圧電単結晶からなる第２の検出電極振動体で、この第２の検出電極振動体３は固定部１に一端が接続されるとともに、前記第１の検出電極振動体２と反対側に延出され、さらに上面に検出電極（図示せず）を設けている。４は第１の屈曲部で、この第１の屈曲部４は前記第１の検出電極振動体２から垂直左方向に延出されている。５は第１の連接梁で、この第１の連接梁５は、一端を前記第１の屈曲部４と接続されるとともに、Ｘ軸方向に垂直に折り曲げられている。６は圧電単結晶からなる第１の駆動電極振動体で、この第１の駆動電極振動体６は一端を第１の連接梁５と接続されるとともに上面に駆動電極（図示せず）を設けている。７は第２の屈曲部で、この第２の屈曲部７は前記第１の検出電極振動体２から垂直右方向に延出されている。８は第２の連接梁で、この第２の連接梁８は、一端を前記第２の屈曲部７と接続されるとともに、Ｘ軸方向に垂直に折り曲げられている。９は圧電単結晶からなる第２の駆動電極振動体で、この第２の駆動電極振動体９は一端を前記第２の連接梁８と接続されるとともに、上面に駆動電極（図示せず）を設けている。１０は第３の屈曲部で、この第３の屈曲部１０は前記第２の検出電極振動体３から垂直左方向に延出されている。１１は第３の連接梁で、この第３の連接梁１１は一端を前記第３の屈曲部１０と接続されるとともに、Ｘ軸方向に垂直に折り曲げられており、さらに、この第３の連接梁１１の他端を前記第１の駆動電極振動体６の他端と接続している。１４は第４の屈曲部で、この第４の屈曲部１４は前記第２の検出電極振動体３から垂直右方向に延出されている。１５は第４の連接梁で、この第４の連接梁１５は一端を前記第４の屈曲部１４と接続されるとともに、Ｘ軸方向に垂直に折り曲げられており、さらに、この第４の連接梁１５の他端を前記第２の駆動電極振動体９の他端と接続している。

以上のように構成された従来の角速度センサ素子について、次にその動作を説明する。

第１の駆動電極振動体６および第２の駆動電極振動体９のそれぞれの駆動電極（図示せず）に交流電圧を印加することにより、駆動方向に速度Ｖで駆動振動する。そして、この第１の駆動電極振動体６および第２の駆動電極振動体９が駆動振動している状態において、角速度センサ素子を設けた平面と垂直な方向であるＺ軸を中心軸として角速度ωで回転すると、第１の駆動電極振動体６および第２の駆動電極振動体９にＦ＝２ｍｖ×ωのコリオリ力が発生する。そして、このコリオリ力を第１の連接梁５、第２の連接梁８、第１の屈曲部４および第２の屈曲部７を介して第１の検出電極振動体２に伝えるとともに、第３の連接梁１１、第４の連接梁１５、第３の屈曲部１０および第４の屈曲部１４を介して第２の検出電極振動体３に伝えることにより、第１の検出電極振動体２および第２の検出電極振動体３の上面に設けた検出電極（図示せず）から角速度に応じた出力信号を出力するものであった。

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。

特開平１１−２８１３７２号公報

しかしながら、上記従来の構成においては、第１の駆動電極振動体６および第２の駆動電極振動体９と第１の検出電極振動体２および第２の検出電極振動体３とが互いに平行に配設されているため、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第１の駆動電極振動体６および第２の駆動電極振動体９の長手方向に働き、第１の検出電極振動体２および第２の検出電極振動体３を座屈させる方向であり、これにより、第１の検出電極振動体２および第２の検出電極振動体３が変形しにくいから、出力信号の感度が低下してしまうという課題を有していた。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、出力信号の感度が向上した角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。

本発明の請求項１に記載の発明は、固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたため、駆動電極振動体と屈曲部とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが駆動電極振動体の長手方向に働くと、屈曲部に曲げ応力が加わることとなるから、屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度が向上するという作用効果を有するものである。

本発明の請求項２に記載の発明は、特に、検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けたため、固定部は、駆動電極振動体の駆動振動時に、振動しないため、固定部に設けた電極ランドと外部回路との信号の入出力をワイヤ線を介して容易に行うことができるという作用効果を有するものである。

本発明の請求項３に記載の発明は、特に、駆動電極振動体の他端に錘部を設けたもので、この構成によれば、駆動電極振動体の他端に錘部を設けたため、錘部の質量によりコリオリ力が増加することとなり、これにより、出力信号の感度がさらに向上するという作用効果を有するものである。

本発明の請求項４に記載の発明は、特に、固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成としたもので、この構成によれば、固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合したため、各々の駆動電極振動体の固定部に対する重量バランスが確保できることとなり、これにより、駆動電極振動体を正確に駆動振動させることができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。

本発明の請求項５に記載の発明は、特に、固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成としたもので、この構成によれば、固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合したため、角速度によるコリオリ力発生時に、各々の駆動電極振動体が点対称に変形することとなり、これにより、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。

以上のように本発明の角速度センサ素子は、固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたもので、この構成によれば、検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けたため、駆動電極振動体と屈曲部とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが駆動電極振動体の長手方向に働くと、屈曲部に曲げ応力が加わることとなるから、屈曲部が撓み易くなり、出力信号の感度の向上した角速度センサ素子を提供することができるという効果を有するものである。

本発明の一実施形態における角速度センサ素子の上面図 同角速度センサ素子の組立工程図 同角速度センサ素子が駆動振動する状態を示す斜視図 同角速度センサ素子にコリオリ力が発生することにより動作する状態を示す斜視図 従来の角速度センサ素子の斜視図

以下、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の一実施の形態における角速度センサ素子の上面図である。

図１において、２１は直方体形状のＳｉからなる固定部で、この固定部２１の上面には第１の駆動電極ランド２２、第２の駆動電極ランド２３、第１の検出電極ランド２４、第２の検出電極ランド２５、モニター電極ランド２６およびＧＮＤ電極ランド２７を設けている。

２８はＳｉからなる第１の連接梁で、この第１の連接梁２８は、前記固定部２１に一端が接続されるとともに、上面にＰｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状に積層させた配線パターン２９を設けている。また、前記第１の連接梁２８の上面には、上面にＰｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させたモニター電極３０を設けており、このモニター電極３０を前記固定部２１におけるモニター電極ランド２６と配線パターン２９により電気的に接続している。３１はＳｉからなる第２の連接梁で、この第２の連接梁３１は、前記固定部２１に一端が接続されるとともに、前記第１の連接梁２８と反対側に延出され、さらに上面にＰｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状に積層させた配線パターン２９を設けている。３２は第１の屈曲部で、この第１の屈曲部３２は前記第１の連接梁から垂直左方向に延出されるとともに、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第１の屈曲部検出電極３３を設けており、この第１の屈曲部検出電極３３を配線パターン２９を介して、固定部２１における第１の検出電極ランド２４と電気的に接続している。

そして、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第１の検出電極振動体３４と第１の連接梁２８との接続部に第１の屈曲部３２を設け、この第１の屈曲部３２の上面に第１の屈曲部検出電極３３を設けたため、第１の駆動電極振動体３６と第１の屈曲部３２とが互いに垂直に配設されていることとなり、これにより、角速度により生じるコリオリ力のベクトルが第１の駆動電極振動体３６の長手方向に働くと、第１の屈曲部３２に曲げ応力が加わることとなるから、第１の屈曲部３２が撓み易くなり、出力信号の感度が向上するという作用効果を有するものである。

３４は第１の検出電極振動体で、この第１の検出電極振動体３４は、一端を前記第１の屈曲部３２と接続されるとともに、上面にＰｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第１の検出電極３５を設けており、この第１の検出電極３５を第１の屈曲部３２における第１の屈曲部検出電極３３および配線パターン２９を介して固定部２１における第１の検出電極ランド２４と電気的に接続している。

３６はＳｉからなる第１の駆動電極振動体で、この第１の駆動電極振動体３６は一端を前記第１の検出電極振動体３５と接続されるとともに、第２の屈曲部３７で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第１の駆動電極３８と第２の駆動電極３９とを互いに並設するように設けている。そして、前記第１の駆動電極振動体３６における第１の駆動電極３８を配線パターン２９を介して、固定部２１における第１の駆動電極ランド２２と電気的に接続させるとともに、第２の駆動電極３９を配線パターン２９を介して第２の駆動電極ランド２３と電気的に接続している。４０は第１の錘部で、この第１の錘部４０は前記第１の駆動電極振動体３６の他端に接続されている。４１は第３の屈曲部で、この第３の屈曲部４１は前記第１の連接梁２８から垂直右方向に延出されるとともに、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第２の屈曲部検出電極４２を設けており、この第２の屈曲部検出電極４２を配線パターン２９を介して、固定部２１における第２の検出電極ランド２５と電気的に接続している。４３は第２の検出電極振動体で、この第２の検出電極振動体４３は、一端を前記第３の屈曲部４１と接続されるとともに、上面にＰｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第２の検出電極４４を設けており、この第２の検出電極４４を第３の屈曲部４１における第２の屈曲部検出電極４２および配線パターン２９を介して固定部２１における第２の検出電極ランド２５と電気的に接続している。４５はＳｉからなる第２の駆動電極振動体で、この第２の駆動電極振動体４５は一端を前記第２の検出電極振動体４３と接続されるとともに、第４の屈曲部４６で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第３の駆動電極４７と第４の駆動電極４８とを互いに並設するように設けている。そして、前記第２の駆動電極振動体４５における第３の駆動電極４７を配線パターン２９を介して、固定部２１における第１の駆動電極ランド２２と電気的に接続させるとともに、第４の駆動電極４８を配線パターン２９を介して第２の駆動電極ランド２３と電気的に接続している。５０は第２の錘部で、この第２の錘部５０は前記第２の駆動電極振動体４５の他端に接続されている。５１は第５の屈曲部で、この第５の屈曲部５１は前記第２の連接梁３１から垂直左方向に延出されるとともに、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状に積層させた配線パターン２９を設けている。５２は第３の駆動電極振動体で、この第３の駆動電極振動体５２は、一端を前記第５の屈曲部５１と接続されるとともに、第６の屈曲部５３および第７の屈曲部５４で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第５の駆動電極５５と第６の駆動電極５６とを互いに並設するように設けている。そして、第５の駆動電極５５を配線パターン２９を介して第１の駆動電極ランド２２に電気的に接続するとともに、第６の駆動電極５６を配線パターン２９を介して第２の駆動電極ランド２３に電気的に接続している。また、第３の駆動電極振動体５２の他端と、前記第１の駆動電極振動体３６の他端とは、一直線上に設けられており、前記第１の錘部４０を、第３の駆動電極振動体５２の他端に設けている。５７は第８の屈曲部で、この第８の屈曲部５７は前記第２の連接梁３１から垂直右方向に延出されるとともに、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状に積層させた配線パターン２９を設けている。５８は第４の駆動電極振動体で、この第４の駆動電極振動体５８は、一端を前記第８の屈曲部５７と接続されるとともに、第９の屈曲部５９および第１０の屈曲部６０で折り曲げて構成されており、さらに上面に、Ｐｔ、ＰＺＴ、ＴｉおよびＡＵを層状かつ幅広に積層させた第７の駆動電極６１と第８の駆動電極６２とを互いに並設するように設けている。そして、第７の駆動電極６１を配線パターン２９を介して第１の駆動電極ランド２２に電気的に接続するとともに、第８の駆動電極６２を配線パターン２９を介して第２の駆動電極ランド２３に電気的に接続している。また、第４の駆動電極振動体５８の他端と、前記第２の駆動電極振動体４５の他端とは、一直線上に設けられており、前記第２の錘部５０を、第４の駆動電極振動体５８の他端に設けている。

そして、前記第３の駆動電極振動体５２は前記固定部２１に対して、前記第１の駆動電極振動体３６の駆動振動方向と垂直な方向の線対象の位置に設けられるとともに、第４の駆動電極振動体５８は固定部２１に対して第２の駆動電極振動体４５の駆動振動方向の線対称の位置に設けられている。また、固定部２１、第１の連接梁２８、第１の屈曲部３２、第１の検出電極振動体３４、第２の屈曲部３７、第１の駆動電極振動体３６、第３の駆動電極振動体５２、第７の屈曲部５４、第３の駆動電極振動体５２、第６の屈曲部５３、第５の屈曲部５１および第２の連接梁３１で環状に結合する構成とされている。

すなわち、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、固定部２１に対して第１の駆動電極振動体３６の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に第３の駆動電極振動体５２を設け、環状に結合したため、第１の駆動電極振動体３６および第３の駆動電極振動体５２の固定部２１に対する重量バランスが確保できることとなり、これにより、第１の駆動電極振動体３６および第３の駆動電極振動体５２を正確に駆動振動させることができるから、出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。

同様に、固定部２１、第１の連接梁２８、第３の屈曲部４１、第２の検出電極振動体４３、第４の屈曲部４６、第２の駆動電極振動体４５、第４の駆動電極振動体５８、第１０の屈曲部６０、第４の駆動電極振動体５８、第８の屈曲部５７および第２の連接梁３１で環状に結合する構成とされている。

さらに、前記第４の駆動電極振動体５８は固定部２１に対して第１の駆動電極振動体３６と点対称の位置に設けられるとともに、第３の駆動電極振動体５２は固定部２１に対して、第２の駆動電極振動体４５と点対称の位置に設けられることにより、第１の駆動電極振動体３６、第２の駆動電極振動体４５、第４の駆動電極振動体５８および第３の駆動電極振動体５２により、環状に結合する構成とされている。

すなわち、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、固定部２１に対して第１の駆動電極振動体３６と点対称の位置に第４の駆動電極振動体５８を設け、環状に結合したため、角速度によるコリオリ力発生時に、第１の駆動電極振動体３６および第４の駆動電極振動体５８が点対称に変形することとなり、これにより、さらに出力信号の精度が向上するという作用効果を有するものである。

以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、次に、その組立方法を説明する。

まず、予め準備した図２（ａ）に示すＳｉからなる基材７１の上面に図２（ｂ）に示すように、ＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極７２を蒸着により形成し、その後、図２（ｃ）に示すように、共通ＧＮＤ電極７２の上面にＰＺＴ薄膜からなる圧電層７３を蒸着により形成する。

次に、図２（ｄ）に示すように、圧電層７３の上面にＴｉとＡｕの合金薄膜からなる形成途上電極７４を蒸着により形成し、その後、所定の形状になるように、共通ＧＮＤ電極７２、圧電層７３および形成途上電極７４の不要な箇所を除去し、圧電層７３の上面に第１の駆動電極３８、第２の駆動電極３９、第３の駆動電極４７、第４の駆動電極４８、第５の駆動電極５５、第６の駆動電極５６、第７の駆動電極６１、第８の駆動電極６２、第１の屈曲部検出電極３３、第２の屈曲部検出電極４２、第１の検出電極３５、および第２の検出電極４４を形成する。

次に、共通ＧＮＤ電極７２側に電圧を印加するとともに、第１の駆動電極３８、第２の駆動電極３９、第３の駆動電極４７、第４の駆動電極４８、第５の駆動電極５５、第６の駆動電極５６、第７の駆動電極６１、第８の駆動電極６２、第１の屈曲部検出電極３３、第２の屈曲部検出電極４２、第１の検出電極３５、および第２の検出電極４４を接地することにより、圧電層７３を分極する。

次に、基材７１における不要な箇所を除去することにより、個片の角速度センサ素子を形成する。

以上のようにして組み立てられた本発明の一実施の形態における角速度センサ素子について、次にその動作を説明する。

第１の駆動電極振動体３６、第２の駆動電極振動体４５、第３の駆動電極振動体５２および第４の駆動電極振動体５８の各々の第１の駆動電極３８、第２の駆動電極３９、第３の駆動電極４７、第４の駆動電極４８、第５の駆動電極５５、第６の駆動電極５６、第７の駆動電極６１および第８の駆動電極６２に交流電圧を印加すると、電圧を印加する方向と分極の方向とが同一の場合には、第１の駆動電極３８、第２の駆動電極３９、第３の駆動電極４７、第４の駆動電極４８、第５の駆動電極５５、第６の駆動電極５６、第７の駆動電極６１および第８の駆動電極６２に引張応力が発生し、一方、電圧を印加する方向と分極の方向とが反対の場合には、圧縮応力が発生する。そうすると、交流電圧の位相に応じて、図３に示すように、第１の駆動電極振動体３６と第２の駆動電極振動体４５とが互いに反対の方向に振動駆動するとともに、第３の駆動電極振動体５２と第４の駆動電極振動体５８とが互いに反対の方向に速度Ｖで駆動振動する。そして、角速度センサ素子を設けた平面と垂直な方向を中心軸として角速度センサ素子が角速度ωで回転すると、図４に示すように、第１の検出電極振動体３４および第２の検出電極振動体４３にＦ＝２ｍｖ×ωのコリオリ力が発生し、そして、このコリオリ力により、第１の屈曲部３２および第３の屈曲部４１に曲げモーメントが発生する。そして、第１の屈曲部３２における第１の屈曲部検出電極３３に発生する電荷を固定部２１における第１の検出電極ランド２４を介して外部に出力するとともに、第３の屈曲部４１における第２の屈曲部検出電極４２に発生する電荷を固定部２１における第２の検出電極ランド２５を介して外部に出力することにより、角速度を検出するものである。

そして、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第１の検出電極振動体３４における第１の検出電極３５と第１の駆動電極振動体３６における第１の駆動電極３８、第２の駆動電極３９と、第１の屈曲部３２における第１の屈曲部検出電極３３に電気的に接続される第１の駆動電極ランド２２、第２の駆動電極ランド２３、第１の検出電極ランド２４を固定部２１に設けたため、固定部２１は、第１の駆動電極振動体３６の駆動振動時に、振動しないため、固定部２１に設けた第１の駆動電極ランド２２、第２の駆動電極ランド２３、第１の検出電極ランド２４と外部回路（図示せず）との信号の入出力をワイヤ線（図示せず）を介して容易に行うことができるという作用効果を有するものである。

また、同様に、コリオリ力により、第１の検出電極振動体３４および第２の検出電極振動体４３に引張力あるいは圧縮力が発生する。そして、第１の検出電極振動体３４における第１の検出電極３５に発生する電荷を固定部２１における第１の検出電極ランド２４を介して外部に出力するとともに、第２の検出電極振動体４３における第２の検出電極４４に発生する電荷を固定部２１における第２の検出電極ランド２５を介して外部に出力することにより、角速度を検出するものである。

そしてまた、本発明の一実施の形態における角速度センサ素子においては、第１の駆動電極振動体３６、第２の駆動電極振動体４５、第３の駆動電極振動体５２および第４の駆動電極振動体５８の他端に第１の錘部４０および第２の錘部５０を設けたため、第１の錘部４０および第２の錘部５０の質量によりコリオリ力が増加することとなり、これにより、出力信号の感度がさらに向上するという作用効果を有するものである。

本発明に係る角速度センサ素子は、出力感度の大きな角速度センサ素子を提供することができるという効果を有するものであり、特に各種電子機器に用いられる角速度センサに使用される角速度センサ素子として有用なものである。

２１ 固定部
２２，２３，２４，２５，２６，２７ 電極ランド
２８，３１ 連接梁
２９ 配線パターン
３２，４１ 屈曲部
３３，４２ 屈曲部検出電極
３４，４３ 検出電極振動体
３５，４４ 検出電極
３６，４５，５２，５８ 駆動電極振動体
３８，３９，４７，４８，５５，５６，６１，６２ 駆動電極
４０，５０ 錘部

Claims (5)

1. 固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に配線パターンを設けた連接梁と、この連接梁の他端に接続されるとともに前記連接梁の配線パターンと電気的に接続された少なくとも一つの検出電極を設けた検出電極振動体と、
   一端が前記検出電極振動体の他端に接続されるとともに上面に少なくとも一対の駆動電極を設けた駆動電極振動体とを備え、前記検出電極振動体と連接梁との接続部に屈曲部を設け、この屈曲部の上面に屈曲部検出電極を設けた角速度センサ素子。
2. 検出電極振動体における検出電極と駆動電極振動体における駆動電極と屈曲部における屈曲部検出電極に電気的に接続される電極ランドを固定部に設けた請求項１記載の角速度センサ素子。
3. 駆動電極振動体の他端に錘部を設けた請求項１記載の角速度センサ素子。
4. 前記固定部に対して駆動電極振動体の駆動振動方向と垂直な方向の線対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成とした請求項１記載の角速度センサ素子。
5. 前記固定部に対して駆動電極振動体と点対称の位置に別個の駆動電極振動体を設け、環状に結合する構成とした請求項１記載の角速度センサ素子。

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