JP4144495B2 - 角速度センサ - Google Patents
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- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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Description
2 音叉型振動子
3 支持基板
4 筺体
5 脚部
6 支持台
10 第1のスリット
11 基板部分
S 非振動部分
Claims (4)
- 並列に配置された一対の脚部それぞれの端部が固定されて基端部とされる音叉型振動子と、前記脚部の長手方向及び並列方向に拡がった前記音叉型振動子の主面と主面同士が対向する状態で前記音叉型振動子が実装され、前記基端部を介して前記脚部のそれぞれを振動可能に支持する支持基板と、この支持基板を介して前記音叉型振動子を収納する筺体とを備えている角速度センサであって、
前記支持基板は、前記音叉型振動子の脚部の長手方向と直交する2つの端面のうちの一方の略中央付近で開口し、前記脚部の長手方向と合致する方向に形成されて支持基板全体を前記脚部のそれぞれと対応する基板部分ごとに区分する一端開口形の第1のスリットを有しており、かつ、前記基板部分のそれぞれは、前記脚部の長手方向と合致した2つの端面それぞれにおける非振動部分を介して前記筺体に固定されることを特徴とする角速度センサ。 - 前記支持基板は、前記第1のスリットの長手方向の略中央付近に形成され、前記音叉型振動子の脚部の並列方向と合致した方向に沿って前記第1のスリットを横切る第1の切欠きを有していることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。
- 前記基板部分のそれぞれは前記第1のスリットと並列して形成された一端開口形の第2のスリットを有しており、これら第2のスリットは前記支持基板における前記第1のスリットが開口した端面と対向する他方の端面に開口していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角速度センサ。
- 前記基板部分のそれぞれは、前記第2のスリットの長手方向の略中央付近に形成され、前記音叉型振動子の脚部の並列方向と合致した方向に沿って前記第2のスリットを横切る第2の切欠きを有していることを特徴とする請求項3に記載の角速度センサ。
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