JP4694380B2 - 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 - Google Patents
薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4694380B2 JP4694380B2 JP2006028230A JP2006028230A JP4694380B2 JP 4694380 B2 JP4694380 B2 JP 4694380B2 JP 2006028230 A JP2006028230 A JP 2006028230A JP 2006028230 A JP2006028230 A JP 2006028230A JP 4694380 B2 JP4694380 B2 JP 4694380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- vibrator
- film
- type bending
- fork type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 80
- 238000005452 bending Methods 0.000 title claims description 49
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical group C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 25
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 25
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 14
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 13
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 13
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H2003/026—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks the resonators or networks being of the tuning fork type
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
これまでの代表的な製造方法が、水晶は上述の方法であるため、小型化に限界がある。又、固有振動周波数を高くすると、小型に作成する必要があり、上述工程での製造は困難である。更に、帯域幅が狭く、且つ固有振動周波数のプロセス変動が大きい。
(1)本発明の代表的な形態は、音叉型形状であり且つ複数の振動部を有する圧電体膜と、圧電体膜の第一の面に形成された第一の金属電極と、前記圧電体膜における、前記圧電体膜の第一の面と反対側の第二の面に形成された第二の金属電極とを有する音叉型屈曲振動子であって、前記音叉型屈曲振動子は、少なくとも表面の一部を絶縁膜で覆われた非金属基板に、少なくても一点で固定されており、前記圧電体膜と前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、成膜法で形成された薄膜であり、前記圧電体膜の第一の面と前記第二の面は前記非金属基板の表面と平行であり、前記第一の金属電極は、前記圧電体膜上に成膜されており、前記圧電体膜は、前記第二の金属電極を覆って成膜されていることを特徴とする薄膜音叉型屈曲振動子である。
(2)本発明の別な形態は、音叉型形状の前記圧電体膜は、少なくとも振動部、支持部、及び台座部を有し、前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、少なくとも前記台座部の一部と前記振動部の一部上に形成されており、且つ前記振動部の上に形成された前記第一及び第二の金属電極は、前記振動部の根元から2/3の位置より根元側に配置されていることを特徴とするに前項(1)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(3)前記第一の金属電極が、複数の電極膜で構成されており、前記第二の金属電極が単一の電極膜で構成されていることを特徴とする前項(2)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(4)前記複数の振動部の少なくとも一者は、その側面に凹部を有する第1の形態、その側面に凸部を有する第2の形態及び前記振動部の前記第一の面と前記第二の面との間に貫通する穴を有する第3の形態の群から選ばれた少なくとも一者を有することを特徴とする前項(2)又は(3)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(5)前記複数の振動部の全てが、前記振動部に対する第1、第2及び第3の形態の少なくとも二者を有することを特徴とする前項(4)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(6)前項(1)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子と、半導体基板に少なくとも一つの電子的能動素子とを、少なくとも有し、前記薄膜音叉型屈曲振動子が固定されている前記非金属基板と、前記半導体基板とが、同一の台に固定されていることを特徴とする電気信号処理素子。
(7)前記電気信号処理素子は、前記非金属基板に、前記薄膜音叉型屈曲振動子が複数固定されていても良い。
(8)前記電気信号処理素子は、前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記電子的能動素子が少なくても一つ形成されている半導体基板を、前記非金属基板として、固定されていても良い。
更に、支持部1−4には配線3が施されており、振動子1の電極とシリコン基板上のポート4−1、4−2との間を電気的に接続している(図1を参酌)。図1では、シリコン基板2上にCMOSインバータを用いた発振器(後述の図17を参酌)が形成されているが、他の電気パーツとしてトランジスタ、インダクタ、コンデンサ、抵抗、FETなどのスイッチ、及び各種端子が配線3により、互いに電気的に接続されている場合もある。
次に、圧電体の加工精度に伴う振動周波数のズレに関係を考察する。
現在主流である0.35μmCMOSプロセスでの加工精度は、70nm程度である。図11に圧電体の太り量と振動周波数のズレ量との関係を示す。点線の特性が従来型の振動子の特性例、実線の特性が、本発明の例の特性である。従来型の振動子では、圧電体が1nm太ると発振周波数は28ppmシフトした。プロセス精度が70nm程度であるため、結局1960ppm(=28ppm/nm×70nm)程度の周波数バラツキが発生する。本発明の構成では、図11に例示するように、プロセスばらつきに起因して、発振周波数は420ppm(=6ppm/nm×70nm)程度の周波数バラツキに抑えることができる。
一方、基準信号発生器の発振器は、プロセスに起因する周波数ばらつき以上に発振周波数を可変できる必要がある。後述する図17の代表的なコルピッツ型発振器の場合、発振周波数fは、振動子の静電容量Co、振動子の帯域幅Δ、振動子の直列共振周波数fs、直列接続する可変容量の容量値Cv、及び容量素子12とトランジスタで決まるベースインピーダンスの複素成分Imag(Zosc)との間に、次式の関係がある。
一方、図2、3に示す従来の振動子では、5−1−1と5−2−1がポート4−1に、5−1−2と5−2−2がポート4−2に接続されていた。一方、本発明第一の実施形態では5−1−1がポート4−1に、5−1−2がポート4−2に接続されている。5−2は、5−1−1と5−1−2との中間の電位になる。このため、本発明第一の実施形態下部電極を単一電極にしたにもかかわらず、図2、3に示す従来の振動子と電界を同じ方向にすることができる。
上部電極5−1が図9の断面図に示すように、図4に示す安価なプロセスで、圧電薄膜の形状を長方形にすることができ、図6に示す励振効率の劣化を防ぐことが出来る。更に、浮き電極5−2は、電気的に鏡面として機能するため、擬似的に、浮き電極上方に存在する圧電薄膜と電極の像が浮き電極下方に存在することと等価になる。その結果上下方向の電気的対称性が成り立ち、帯域幅の減少を防止する効果もある。さらに同じ理由で圧電薄膜の側面のテーパーに起因する上下対称性の崩れの影響も低減する。
本発明のこの観点により、窒素化アルミニウムのパターニングにおけるエッチングバラツキに起因する振動子の振動周波数バラツキをほぼゼロにすることができ、量産時の歩留り向上、及びレーザートリミング工程を省略することが出来、大幅に低コスト化できる効果がある。
Claims (11)
- 音叉型形状であり且つ複数の振動部を有する圧電体膜と、
圧電体膜の第一の面に形成された第一の金属電極と、
前記圧電体膜における、前記圧電体膜の第一の面と反対側の第二の面に形成された第二の金属電極とを有する音叉型屈曲振動子であって、
前記音叉型屈曲振動子は、少なくとも表面の一部を絶縁膜で覆われた非金属基板に、少なくても一点で固定されており、
前記圧電体膜と前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、成膜法で形成された薄膜であり、
前記圧電体膜の第一の面と前記第二の面は前記非金属基板の表面と平行であり、
前記第一の金属電極は、前記圧電体膜上に成膜されており、
前記圧電体膜は、前記第二の金属電極を覆って成膜されていることを特徴とする薄膜音叉型屈曲振動子。 - 音叉型形状の前記圧電体膜は、少なくとも振動部、支持部、及び台座部を有し、
前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、少なくとも前記台座部の一部と前記振動部の一部上に形成されており、且つ前記振動部の上に形成された前記第一及び第二の金属電極は、前記振動部の根元から2/3の位置より根元側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。 - 前記第一の金属電極が、複数の電極膜で構成されており、前記第二の金属電極が単一の電極膜で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 前記複数の振動部の少なくとも一者は、その側面に凹部を有する第1の形態、その側面に凸部を有する第2の形態及び前記振動部の前記第一の面と前記第二の面との間に貫通する穴を有する第3の形態の群から選ばれた少なくとも一者を有することを特徴とする請求項2及び請求項3のいずれかに記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 前記複数の振動部の全てが、前記振動部に対する第1、第2及び第3の形態の少なくとも二者を有することを特徴とする請求項4に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子と、半導体基板に少なくとも一つの電子的能動素子とを、少なくとも有し、前記薄膜音叉型屈曲振動子が固定されている前記非金属基板と、前記半導体基板とが、同一の台に固定されていることを特徴とする電気信号処理素子。
- 前記非金属基板に、請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子が複数固定されていることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記電子的能動素子が少なくても一つ形成されている半導体基板を、前記非金属基板として、固定されていることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006028230A JP4694380B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 |
US11/670,081 US7915793B2 (en) | 2006-02-06 | 2007-02-01 | Thin film tuning-fork type inflection resonator and electric signal processing element |
US13/036,318 US8102102B2 (en) | 2006-02-06 | 2011-02-28 | Thin film tuning-fork type inflection resonator and electric signal processing element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006028230A JP4694380B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007208890A JP2007208890A (ja) | 2007-08-16 |
JP4694380B2 true JP4694380B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=38333348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006028230A Expired - Fee Related JP4694380B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7915793B2 (ja) |
JP (1) | JP4694380B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4687643B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2011-05-25 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP5662160B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2015-01-28 | ムラタ エレクトロニクス オサケユキチュア | 微小機械式共振器 |
WO2011036732A1 (ja) * | 2009-09-28 | 2011-03-31 | 株式会社 東芝 | 共振器および発振器 |
US8610549B2 (en) * | 2009-10-16 | 2013-12-17 | Immersion Corporation | Systems and methods for providing haptic feedback at multiple resonance frequencies |
JP2012175673A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
JP2013253895A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、電子機器、移動体、および電子デバイスの製造方法 |
CN110534858B (zh) * | 2019-07-26 | 2024-06-04 | 苏州诺泰信通讯有限公司 | 一种滤波器的转接机构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003289236A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Humo Laboratory Ltd | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP2006030062A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Nec Tokin Corp | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3766616A (en) * | 1972-03-22 | 1973-10-23 | Statek Corp | Microresonator packaging and tuning |
JPS50105082A (ja) * | 1974-01-23 | 1975-08-19 | ||
JPS5397794A (en) * | 1977-02-08 | 1978-08-26 | Nec Corp | Crystal vibrator |
JPS5492091A (en) * | 1977-12-28 | 1979-07-20 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type crystal oscillator |
JPS5538785A (en) * | 1978-09-12 | 1980-03-18 | Murata Mfg Co Ltd | Voltage tuning fork |
JPS5573121A (en) * | 1978-11-27 | 1980-06-02 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type oscillating element |
JPS58186213A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-10-31 | Citizen Watch Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
US4930351A (en) * | 1988-03-24 | 1990-06-05 | Wjm Corporation | Vibratory linear acceleration and angular rate sensing system |
CN100535595C (zh) * | 2002-08-07 | 2009-09-02 | 松下电器产业株式会社 | 角速度传感器 |
JP4144495B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2008-09-03 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
JP4277818B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
-
2006
- 2006-02-06 JP JP2006028230A patent/JP4694380B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-02-01 US US11/670,081 patent/US7915793B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-28 US US13/036,318 patent/US8102102B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003289236A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Humo Laboratory Ltd | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP2006030062A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Nec Tokin Corp | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007208890A (ja) | 2007-08-16 |
US20070182291A1 (en) | 2007-08-09 |
US8102102B2 (en) | 2012-01-24 |
US20110148257A1 (en) | 2011-06-23 |
US7915793B2 (en) | 2011-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10009008B2 (en) | Bulk acoustic wave (BAW) device having roughened bottom side | |
JP4694380B2 (ja) | 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 | |
US5260596A (en) | Monolithic circuit with integrated bulk structure resonator | |
JP3954395B2 (ja) | 圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法 | |
US7944132B2 (en) | Tuning-fork resonator with grooves on principal surfaces | |
JP4026074B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 | |
TWI408969B (zh) | 用於能量限制之積體聲能帶隙裝置及其製造方法 | |
JP5534828B2 (ja) | 音叉型屈曲水晶振動素子 | |
US8164393B2 (en) | Vibrating reed, vibrator, oscillator, and electronic device | |
WO2004013893A2 (en) | Piezo electric on seminconductor on- insulator resonator | |
JP2008124747A (ja) | 薄膜圧電振動子及び薄膜圧電バルク波共振器及びそれを用いた高周波フィルタ | |
KR101074975B1 (ko) | 굴곡 진동편, 굴곡 진동자, 및 전자 디바이스 | |
JP2007208771A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP2012257141A (ja) | 水晶振動片、ジャイロセンサー、電子機器、水晶振動片の製造方法 | |
US9331668B2 (en) | Vibrator with a beam-shaped portion above a recess in a substrate, and oscillator using same | |
US20230208388A1 (en) | Vibrator device and method for manufacturing vibrator device | |
JP5154977B2 (ja) | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 | |
JP2007135248A (ja) | 圧電薄膜共振子およびフィルタ | |
US20120256692A1 (en) | Oscillator | |
US11757409B2 (en) | Oscillator | |
WO2023026835A1 (ja) | 水晶振動素子及び水晶デバイス | |
US11764729B2 (en) | Oscillator | |
US7564161B1 (en) | Self-powered crystal resonator | |
JP2023003011A (ja) | 振動素子、振動子および電子デバイス | |
JP4411496B2 (ja) | 水晶発振器を搭載した携帯機器とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110208 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110223 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |