JP4694380B2 - 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 - Google Patents
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Description
これまでの代表的な製造方法が、水晶は上述の方法であるため、小型化に限界がある。又、固有振動周波数を高くすると、小型に作成する必要があり、上述工程での製造は困難である。更に、帯域幅が狭く、且つ固有振動周波数のプロセス変動が大きい。
(1)本発明の代表的な形態は、音叉型形状であり且つ複数の振動部を有する圧電体膜と、圧電体膜の第一の面に形成された第一の金属電極と、前記圧電体膜における、前記圧電体膜の第一の面と反対側の第二の面に形成された第二の金属電極とを有する音叉型屈曲振動子であって、前記音叉型屈曲振動子は、少なくとも表面の一部を絶縁膜で覆われた非金属基板に、少なくても一点で固定されており、前記圧電体膜と前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、成膜法で形成された薄膜であり、前記圧電体膜の第一の面と前記第二の面は前記非金属基板の表面と平行であり、前記第一の金属電極は、前記圧電体膜上に成膜されており、前記圧電体膜は、前記第二の金属電極を覆って成膜されていることを特徴とする薄膜音叉型屈曲振動子である。
(2)本発明の別な形態は、音叉型形状の前記圧電体膜は、少なくとも振動部、支持部、及び台座部を有し、前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、少なくとも前記台座部の一部と前記振動部の一部上に形成されており、且つ前記振動部の上に形成された前記第一及び第二の金属電極は、前記振動部の根元から2/3の位置より根元側に配置されていることを特徴とするに前項(1)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(3)前記第一の金属電極が、複数の電極膜で構成されており、前記第二の金属電極が単一の電極膜で構成されていることを特徴とする前項(2)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(4)前記複数の振動部の少なくとも一者は、その側面に凹部を有する第1の形態、その側面に凸部を有する第2の形態及び前記振動部の前記第一の面と前記第二の面との間に貫通する穴を有する第3の形態の群から選ばれた少なくとも一者を有することを特徴とする前項(2)又は(3)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(5)前記複数の振動部の全てが、前記振動部に対する第1、第2及び第3の形態の少なくとも二者を有することを特徴とする前項(4)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子である。
(6)前項(1)に記載の薄膜音叉型屈曲振動子と、半導体基板に少なくとも一つの電子的能動素子とを、少なくとも有し、前記薄膜音叉型屈曲振動子が固定されている前記非金属基板と、前記半導体基板とが、同一の台に固定されていることを特徴とする電気信号処理素子。
(7)前記電気信号処理素子は、前記非金属基板に、前記薄膜音叉型屈曲振動子が複数固定されていても良い。
(8)前記電気信号処理素子は、前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記電子的能動素子が少なくても一つ形成されている半導体基板を、前記非金属基板として、固定されていても良い。
更に、支持部1−4には配線3が施されており、振動子1の電極とシリコン基板上のポート4−1、4−2との間を電気的に接続している(図1を参酌)。図1では、シリコン基板2上にCMOSインバータを用いた発振器(後述の図17を参酌)が形成されているが、他の電気パーツとしてトランジスタ、インダクタ、コンデンサ、抵抗、FETなどのスイッチ、及び各種端子が配線3により、互いに電気的に接続されている場合もある。
次に、圧電体の加工精度に伴う振動周波数のズレに関係を考察する。
現在主流である0.35μmCMOSプロセスでの加工精度は、70nm程度である。図11に圧電体の太り量と振動周波数のズレ量との関係を示す。点線の特性が従来型の振動子の特性例、実線の特性が、本発明の例の特性である。従来型の振動子では、圧電体が1nm太ると発振周波数は28ppmシフトした。プロセス精度が70nm程度であるため、結局1960ppm(=28ppm/nm×70nm)程度の周波数バラツキが発生する。本発明の構成では、図11に例示するように、プロセスばらつきに起因して、発振周波数は420ppm(=6ppm/nm×70nm)程度の周波数バラツキに抑えることができる。
一方、基準信号発生器の発振器は、プロセスに起因する周波数ばらつき以上に発振周波数を可変できる必要がある。後述する図17の代表的なコルピッツ型発振器の場合、発振周波数fは、振動子の静電容量Co、振動子の帯域幅Δ、振動子の直列共振周波数fs、直列接続する可変容量の容量値Cv、及び容量素子12とトランジスタで決まるベースインピーダンスの複素成分Imag(Zosc)との間に、次式の関係がある。
一方、図2、3に示す従来の振動子では、5−1−1と5−2−1がポート4−1に、5−1−2と5−2−2がポート4−2に接続されていた。一方、本発明第一の実施形態では5−1−1がポート4−1に、5−1−2がポート4−2に接続されている。5−2は、5−1−1と5−1−2との中間の電位になる。このため、本発明第一の実施形態下部電極を単一電極にしたにもかかわらず、図2、3に示す従来の振動子と電界を同じ方向にすることができる。
上部電極5−1が図9の断面図に示すように、図4に示す安価なプロセスで、圧電薄膜の形状を長方形にすることができ、図6に示す励振効率の劣化を防ぐことが出来る。更に、浮き電極5−2は、電気的に鏡面として機能するため、擬似的に、浮き電極上方に存在する圧電薄膜と電極の像が浮き電極下方に存在することと等価になる。その結果上下方向の電気的対称性が成り立ち、帯域幅の減少を防止する効果もある。さらに同じ理由で圧電薄膜の側面のテーパーに起因する上下対称性の崩れの影響も低減する。
本発明のこの観点により、窒素化アルミニウムのパターニングにおけるエッチングバラツキに起因する振動子の振動周波数バラツキをほぼゼロにすることができ、量産時の歩留り向上、及びレーザートリミング工程を省略することが出来、大幅に低コスト化できる効果がある。
Claims (11)
- 音叉型形状であり且つ複数の振動部を有する圧電体膜と、
圧電体膜の第一の面に形成された第一の金属電極と、
前記圧電体膜における、前記圧電体膜の第一の面と反対側の第二の面に形成された第二の金属電極とを有する音叉型屈曲振動子であって、
前記音叉型屈曲振動子は、少なくとも表面の一部を絶縁膜で覆われた非金属基板に、少なくても一点で固定されており、
前記圧電体膜と前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、成膜法で形成された薄膜であり、
前記圧電体膜の第一の面と前記第二の面は前記非金属基板の表面と平行であり、
前記第一の金属電極は、前記圧電体膜上に成膜されており、
前記圧電体膜は、前記第二の金属電極を覆って成膜されていることを特徴とする薄膜音叉型屈曲振動子。 - 音叉型形状の前記圧電体膜は、少なくとも振動部、支持部、及び台座部を有し、
前記第一の金属電極と前記第二の金属電極は、少なくとも前記台座部の一部と前記振動部の一部上に形成されており、且つ前記振動部の上に形成された前記第一及び第二の金属電極は、前記振動部の根元から2/3の位置より根元側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。 - 前記第一の金属電極が、複数の電極膜で構成されており、前記第二の金属電極が単一の電極膜で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 前記複数の振動部の少なくとも一者は、その側面に凹部を有する第1の形態、その側面に凸部を有する第2の形態及び前記振動部の前記第一の面と前記第二の面との間に貫通する穴を有する第3の形態の群から選ばれた少なくとも一者を有することを特徴とする請求項2及び請求項3のいずれかに記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 前記複数の振動部の全てが、前記振動部に対する第1、第2及び第3の形態の少なくとも二者を有することを特徴とする請求項4に記載の薄膜音叉型屈曲振動子。
- 請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子と、半導体基板に少なくとも一つの電子的能動素子とを、少なくとも有し、前記薄膜音叉型屈曲振動子が固定されている前記非金属基板と、前記半導体基板とが、同一の台に固定されていることを特徴とする電気信号処理素子。
- 前記非金属基板に、請求項1に記載の薄膜音叉型屈曲振動子が複数固定されていることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記電子的能動素子が少なくても一つ形成されている半導体基板を、前記非金属基板として、固定されていることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
- 前記薄膜音叉型屈曲振動子が、前記請求項2に記載の薄膜音叉型屈曲振動子であることを特徴とする請求項6に記載の電気信号処理素子。
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