JP2004144699A - 振動ジャイロ及び角速度センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる振動ジャイロ1は、長手方向の両端部が中間部材2を介して厚み方向に固定された一対の矩形板状の振動体3からなり、全体的には前記振動体3の厚み方向への両端開放の2次屈曲振動が可能な構成として支持された振動子4と、前記振動体3のそれぞれを逆方向へと座屈振動させる駆動手段12,13と、前記振動子4の2次屈曲振動の大きさを検出する検出手段14,15,16とを具備しており、前記2次屈曲振動の共振周波数は前記座屈振動の周波数と近接させられていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は振動ジャイロ及び角速度センサーにかかり、詳しくは、低背化が可能な振動ジャイロの構造と、この振動ジャイロを備えてなる角速度センサーの構造とに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、自動車におけるナビゲーションシステムや車体制御システムでは、自動車のヨーイング方向、つまり、車体旋回方向を確認する必要があるため、走行面(地面)と直交する垂直軸を中心とした回転角速度を検出することが行われる。そして、回転角速度を検出する場合には振動ジャイロを備えた角速度センサーが利用されており、このような振動ジャイロとしては、音片型や音叉型といわれる振動子を具備したものが一般的である(例えば、特許文献1や特許文献2を参照)。
【0003】
また、回転角速度を検出する振動ジャイロを備えて構成された角速度センサーは、ビデオカメラの手振れを補正するためにも利用されており、この際における振動ジャイロによっては、CCD面と平行な面上で直交しあう2軸のそれぞれを中心とした回転角速度が検出されることになっている。
【0004】
【特許文献1】
特開平8−292033号公報
【特許文献2】
特開平10−307029号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記従来の形態にかかる角速度センサーは自動車の内部で走行面と平行となるように配置されるのが一般的であり、そのため、振動ジャイロを搭載する実装基板も走行面と平行な状態で配置されている。一方、振動ジャイロが具備している音片型や音叉型といわれる振動子は、その長手方向と一致する軸(検出軸)を中心として作用する回転角速度を検出することが可能となっている。
【0006】
従って、走行面と平行な状態で配置された実装基板に対して従来の振動ジャイロを搭載する場合は、振動子の長手方向が実装基板の垂直方向と合致するようにして搭載することが必要となる。ところが、このような構成とした際には、全長の長い振動子を具備した振動ジャイロのみが他の部品よりも実装基板の上方まで突出してしまうという不都合が生じる。なお、この時、振動子の長手方向に沿う全長を短くすることも考えられるが、振動子の全長を短くすると、共振周波数が上昇して感度及びS/Nが劣化するため、回転角速度を精度よく検出することができなくなる。
【0007】
また、従来の振動ジャイロを利用してビデオカメラの手振れ補正を行うに際しても、メイン基板の搭載面がCCD面と直交している場合には、振動ジャイロが具備する1つの振動子の長手方向をカメラ本体のメイン基板と直交する方向に一致させておく必要があるので、振動ジャイロが他の部品よりも突出してしまう。なお、この際には、振動ジャイロが搭載される基板をメイン基板とは別体とし、フレキシブル基板などを使用して配線することも考えられるが、このような構成としたのでは、部品点数が増加して複雑化する結果、コストアップを招くことが避けられない。
【0008】
本発明はこれらの不都合に鑑みて創案されたものであって、低背化を実現することが可能な構成とされた振動ジャイロの提供と、この振動ジャイロを備えてなる角速度センサーの提供とを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明にかかる振動ジャイロは、長手方向の両端部がそれぞれ中間部材を介して厚み方向に固定された一対の矩形板状の振動体からなり、全体的には前記振動体の厚み方向への両端開放の2次屈曲振動が可能な構成として支持された振動子と、前記振動体のそれぞれを互いに逆方向へと座屈振動させる駆動手段と、前記振動子の2次屈曲振動の大きさを検出する検出手段とを具備しており、前記2次屈曲振動の共振周波数は前記座屈振動の周波数と近接させられていることを特徴とする。
【0010】
請求項2の発明にかかる振動ジャイロは請求項1に記載したものであって、前記振動子の長手方向に沿っては前記2次屈曲振動の3つのノード点が存在しており、前記振動子は前記ノード点のうちの両端側の2つでもって支持されていることを特徴とする。
【0011】
請求項3の発明にかかる振動ジャイロは請求項1または請求項2に記載したものであり、前記振動体はユニモルフ構造であることを特徴としている。
【0012】
請求項4の発明にかかる振動ジャイロは請求項1または請求項2に記載したものであり、前記振動体はバイモルフ構造であることを特徴としている。
【0013】
請求項5の発明にかかる振動ジャイロは請求項1〜請求項4のいずれかに記載したものであって、前記振動体それぞれの外表面上には互いに対向して電極が形成されており、これらの電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする。
【0014】
請求項6の発明にかかる振動ジャイロは請求項1〜請求項4のいずれかに記載したものであって、前記振動体のうちの一方側の外表面上には一対の電極が長手方向の一端側と他端側とに離間して形成されており、これらの電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする。
【0015】
請求項7の発明にかかる振動ジャイロは請求項1〜請求項4のいずれかに記載したものであって、前記振動体のうちの一方側の外表面上には一対の電極が長手方向の一端側と他端側とに離間して形成されており、これらの電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする。
【0016】
請求項8の発明にかかる角速度センサーは3つの振動ジャイロが同一の平面上に配設されてなるものであり、前記平面と直交する垂直軸を回転軸とする回転角速度を検出する振動ジャイロは請求項1〜請求項7のいずれかに記載したものであることを特徴としている。
【0017】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1は実施の形態1にかかる振動ジャイロの全体構成を示す斜視図、図2は振動ジャイロが具備している振動子の全体構成を示す斜視図であり、図3は駆動検出回路をも含んだ振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。そして、図4は振動ジャイロの動作を模式化して示す平面図であり、図5は振動子における座屈振動の共振周波数と2次屈曲振動の共振周波数との関係を示す説明図である。
【0018】
また、図6〜図10のそれぞれは、実施の形態1にかかる振動ジャイロの第1〜第4の変形例構成を示す説明図である。さらにまた、図11は、実施の形態1にかかる振動ジャイロを備えて構成された角速度センサーの要部構成を示す説明図である。
【0019】
実施の形態1にかかる振動ジャイロ1は、図1で示すように、長手方向Xの両端部が金属製の中間部材2を介して固定され、その中央部同士が対向しあって配置された一対の矩形板状の振動体3からなる振動子4を具備している。そして、これら振動体3のそれぞれは、図2で示すように、長手方向Xに沿う略1/3ずつの範囲内ごとに分極方向(図中、矢印で示す)が反転させられた圧電セラミック板5と金属平板6とが対面接合されてなるユニモルフ構造を有しており、圧電セラミック板5の各々は振動子4の外側位置に配置されている。
【0020】
この振動子4を構成している振動体3のそれぞれは、その長手方向Xの両端部が中間部材2を介して固定されあったものであり、振動子4の内側位置に配置された金属平板6の中央部間には、振動体3それぞれの座屈振動、つまり、その厚み方向Yと一致したうえで互いに逆方向へと向かう各振動体3の座屈振動を可能とする中空部7が形成されている。また、この時、各振動体3を構成している圧電セラミック板5それぞれの外表面上には、駆動用電極8と検出用電極9とが長手方向Xの一端側と他端側とに離間した状態で形成されている。
【0021】
さらに、対向配置された一対の振動体3からなる振動子4は、その全体が各振動体3の厚み方向Yへの両端開放の2次屈曲振動が可能な構成とされており、具体的には、長手方向Xに沿って存在する2次屈曲振動の3つのノード点のうちの両端部に位置するノード点付近それぞれが、導電性及びバネ性を有する一対ずつ合計4つの支持部材10でもって支持されている。そして、この時、2次屈曲振動の共振周波数は、座屈振動の周波数と近接させられている。
【0022】
すなわち、この際における振動子4は各振動体3の短手方向Z、つまり、中空部7内を貫通する軸と一致している方向が実装基板11の表面と直交する向きとなるようにし、かつ、その下側端縁が実装基板11の表面から少し浮き上がった状態となるようにしたうえで各支持部材10により支持されている。なお、これらの支持部材10は駆動用電極8及び検出用電極9と駆動手段及び検出手段(後述する)との接続用を兼ねたものであり、ただ単に振動子4の両端部を挟持して導通しただけの状態、あるいは、半田や導電性接着剤などを使用して接合されたうえで導通した状態のいずれであってもよい。
【0023】
さらにまた、実装基板11の表面上には、図3で回路構成を示すように、振動子4の駆動手段として振動体3の各々を逆向きに座屈振動させる和動回路12及びオートマチックゲインコントール(AGC)回路13と、2次屈曲振動の大きさを検出するための検出手段として機能する差動回路14、検波回路15、直流(DC)アンプ16とが配設されている。そして、駆動手段であるAGC回路13は各振動体3の駆動用電極8と接続されて自励振回路を構成する一方、和動回路12及び差動回路14のそれぞれは対向配置された振動体3それぞれの検出用電極9と各別に接続されており、DCアンプ16からは検出された2次屈曲振動の大きさに基づく信号が出力されることになっている。
【0024】
なお、ユニモルフ構造の振動体3からなる振動子4では、中間部材2と接している振動体3それぞれの中間電極(図示省略)が常に2枚両側で同電位であるよう導通されていることが必要である。勿論、基準電位に接続しておいてもよい。
【0025】
つぎに、本実施の形態にかかる振動ジャイロ1の動作及び作用を説明する。まず、上記構成とされた振動ジャイロ1では、振動子4を構成している振動体3のそれぞれが互いに逆方向へと座屈振動させられる。そして、このような状態下において、図4(a)で示すように、座屈振動している振動子4の振動体3それぞれの短手方向Zと一致する軸、例えば、振動子4の中空部7内を貫通している軸(検出軸)Lを中心とした回転角速度Mが作用すると、各振動体3の厚み方向Yへと向かう両端開放の2次屈曲振動でもって振動子4が振動し始める。
【0026】
すなわち、この際にあっては、座屈振動している振動体3のそれぞれに対して回転角速度Mの作用に伴って発生したコリオリ力が現れる。そして、現れたコリオリ力は座屈振動の駆動力とは直交する向き、具体的には、振動体3それぞれの長手方向Xと平行でありながらも各振動体3ごとに逆方向となる向きでもって各振動体3に作用する。
【0027】
従って、各振動体3における座屈振動のピーク点Pは、図4(b)で示すように、コリオリ力の影響でもって互いに相反する方向へと位置ずれさせられることになり、座屈振動している振動体4の振動形状はコリオリ力の影響を受けて変形させられる。この時、振動子4の重心位置は、各振動体3の長手方向及び厚み方向に関してアンバランスな状態となる。そして、この振動子4においては、2次屈曲振動の共振周波数と座屈振動の周波数とが近接させられているので、コリオリ力の影響を受けて変形させられた振動子4には、図4(c)で示すように、2次屈曲振動モードの振動が励振される。
【0028】
その結果、対向配置された振動体3それぞれの検出用電極9からは、座屈振動による信号と2次屈曲振動による信号とが出力されてくる。ところが、この際、各振動体3における圧電セラミック板5それぞれの分極方向と屈曲方向とが同じであるため、座屈振動による信号は同相となるのに対し、分極方向は同じであるものの、屈曲方向が逆向きであるため、2次屈曲振動による信号は逆相となっている。
【0029】
そこで、検出手段を構成する差動回路14によって各振動体3の検出用電極9から出力されてきた2次屈曲振動による信号の逆相成分を検出すると、その大きさ、ひいては、検出軸Lを中心とする回転角速度Mの作用に伴って現れたコリオリ力の大きさが分かる。その結果、実装基板11の表面と平行に配設された振動ジャイロ1が具備している振動子4を構成する振動体3それぞれの短手方向Zに沿う軸、つまり、取り付け平面と直交する垂直軸を中心として作用する回転角速度Mの大きさが分かることになる。
【0030】
なお、この時、駆動手段を構成している和動回路12では、各振動体3の検出用電極9から出力されてきた検出信号が加算される。そして、加算された検出信号は、AGC回路13を通じて振動子4へとフィードバックされる。
【0031】
ところで、本実施の形態にかかる振動子4における座屈振動の共振周波数と2次屈曲振動の共振周波数との関係は図5で示すようになり、この振動子4を構成している各振動体3の座屈振動モードは中空部7の長手方向Xに沿う長さの影響を受けるにも拘わらず、振動子4そのものの2次屈曲振動モードは振動子4自体の長手方向Xに沿う長さには影響を受けないこととなっている。そこで、振動子4における座屈振動及び2次屈曲振動それぞれの共振周波数をより近接させる必要がある際には、振動子4の長手方向の両端部をトリミングして全長を短くし、2次屈曲振動の共振周波数を上昇させることによって座屈振動の共振周波数と近接させることが行われる。
【0032】
さらに、本実施の形態にかかる振動ジャイロ1が上記した構成のみに限定されず、以下に説明する第1〜第4のような各種の変形例構成とされたものであってもよいことは勿論である。まず、第1の変形例構成にかかる振動体20では、図6で示すように、振動体3同士の端部間に介装された中間部材2それぞれから導電性の支持ピン21を延出することとし、これを上下反転させて支持部材10を使用しないまま、これらの支持ピン21で振動子3を直立させる構成が採用されている。このような構成である際には、支持ピン21を通じて各振動体3の中間電極を基準電位とすることが可能になる。
【0033】
なお、本実施の形態における振動体3それぞれの圧電セラミック板5では、略1/3ずつの範囲内ごとに分極方向を反転させるとともに、その外表面上に駆動用電極8及び検出用電極9を離間して形成することが実行されている。しかしながら、図7(a)で示す第2の変形例構成にかかる振動子22のように、略1/3ずつの範囲内ごとに分極方向が反転させられた圧電セラミック板5の外表面上に駆動用及び検出用である全面電極23を形成してもよい。
【0034】
そして、図7(a)で示した第2の変形例構成とされた振動子22を具備してなる振動ジャイロ1の駆動検出回路をも含んだ要部構成は、図8で示すようになる。また、この場合にあっては、図7(b)で示すように、全体が同一の分極方向とされた圧電セラミック板5それぞれの外表面上における中央部のみに対し、駆動用及び検出用の全面電極24を形成した構成とすることも可能である。
【0035】
さらに、本実施の形態にかかる振動ジャイロ1では、一方側の振動体3を励振用とし、他方側の振動体3を検出用とした変形例構成、例えば、図9で示す第3の変形例構成のように、振動子25が具備した他方側の振動体3を構成する圧電セラミック板5の全体を同一の分極方向とし、この圧電セラミック板5の外表面上に一対の検出用電極26,27を離間した状態で形成しておいたうえ、これらの検出用電極26,27から出力されてくる検出信号の差動をとるようにしてもよい。なお、この時、中間部材2と接している振動体3それぞれの中間電極(図示省略)は基準電位であってもよいし、フローティング状態であってよい。
【0036】
すなわち、この第3の変形例構成にかかる振動子25では、他方側の振動体3の外表面上に一対の検出用電極26,27が長手方向Xの一端側と他端側とに離間して形成されている。この時、検出用電極26,27から出力されてくる座屈振動による信号は、圧電セラミック板5の分極方向と屈曲方向とが同じであるために同相となる。これに対し、検出用電極26,27から出力されてくる2次屈曲振動による信号は、分極方向が同じであるものの、屈曲方向が逆向きであるために逆相となり、この2次屈曲振動による信号の逆相成分は、検出手段を構成する差動回路14によって検出される。
【0037】
また、一方側の振動体3を励振用とし、かつ、他方側の振動体3を検出用とした振動ジャイロ1としては、図10で示すような第4の変形例構成にかかる振動子30を具備したものがあり、この振動子30では、他方側の振動体3を構成している圧電セラミック板5の長手方向Xに沿う略1/2ずつの範囲内ごとで分極方向が反転させられている。そして、この他方側の圧電セラミック板5における外表面上には検出用の全面電極31が形成されており、このような変形例構成であれば、電極構造が簡単であるため、コストダウンを実現しやすくなる。
【0038】
この振動子30にあっては、他方側の振動体3を構成している圧電セラミック板5の長手方向Xに沿う略1/2ずつの範囲内ごとで分極方向が反転しており、かつ、その外表面上の一端側から他端側にかけて全面電極31が形成されているため、座屈振動による信号は振動子30の一端側と他端側とで逆相となり、互いに相殺される結果として出力されない。ところが、この際における2次屈曲振動による信号は、振動子30の一端側と他端側とで屈曲方向が逆となるため、同相となって検出用の全面電極31から出力されてくる。
【0039】
なお、これら第3及び第4の変形例構成における一方側の振動体3を構成している圧電セラミック板5は、その長手方向Xに沿う略1/3ずつの範囲内ごとで分極方向が反転させられたものであり、その外表面上には駆動用の全面電極28が形成されている。また、図9中の符号14は差動回路を示しており、図9及び図10中の符号32は検波回路及びDCアンプ、また、符号33は発振回路及びAGC回路をそれぞれ示している。
【0040】
さらにまた、本実施の形態にかかる振動ジャイロ1は、自動車におけるナビゲーションシステムや車体制御システム、あるいは、ビデオカメラの手振れ補正などで利用される角速度センサー35、つまり、図11で示すように、3つの振動ジャイロ1,36,37がともに同一の平面上に配設されてなる角速度センサー35を構成する場合に使用される。すなわち、この角速度センサー35が備えている2つの振動ジャイロ36,37は、従来の形態と同様、配設された平面上の直交しあう2軸、つまり、その長手方向と一致する検出軸の各々を中心として作用する回転角速度をそれぞれ検出する構成とされている。
【0041】
これに対し、これらの振動ジャイロ36,37と同一の平面上に配設され、この平面と直交する垂直軸を中心として作用する回転角速度を検出する振動ジャイロ1は、実施の形態1で説明したような構成を有するものとなっている。このような全体構成とされた角速度センサー35では、取り付け平面と直交する垂直軸を中心として作用する回転角速度が振動ジャイロ1によって検出されるため、長手方向と一致する検出軸を中心として作用する回転角速度を検出する振動ジャイロ36,37と同様の振動ジャイロを使用しなくても済むこととなり、低背化が可能となる。
【0042】
ところで、本発明の発明者は特開2000−304546号公報で開示された発明を出願しており、周縁部同士が固定された2枚の屈曲板を中空状態として重ね合わせた構成を採用すると、振動子と平行であって互いに直交しあった2軸を中心として作用する回転角速度の検出が可能であることを既に開示している。しかしながら、先の発明はあくまでも振動子と平行で直交しあう2つの検出軸周りに作用する回転角速度それぞれを検出するものであるに過ぎず、実装基板11と平行に配設された振動ジャイロ1の振動子4そのものと直交する軸、つまり、取り付け平面に対する垂直軸を中心として作用する回転角速度を検出する本発明とは構成及び作用が異なる。
【0043】
(実施の形態2)
図12は実施の形態2にかかる振動ジャイロの駆動検出回路をも含んだ要部構成を示す説明図、図13は振動子の製造工程を示す説明図であり、図14〜図18のそれぞれは、実施の形態2にかかる振動ジャイロの第1〜第5の変形例構成を示す説明図である。
【0044】
実施の形態2にかかる振動ジャイロの全体構成は、振動子40を構成している振動体41のそれぞれがバイモルフ構造とされている点を除くと、図1で示した実施の形態1にかかる振動ジャイロ1と基本的に異ならないので、ここでの詳しい説明は省略する。なお、説明の都合上から必要がある場合には、図12〜図18において、図1〜図11と同一または相当する部品、部分に同一符号を付すこととする。
【0045】
本実施の形態にかかる振動ジャイロは、長手方向Xの両端部が金属製の中間部材2を介して固定され、その中央部同士が対向しあって配置された一対の矩形板状の振動体41からなる振動子40を具備しており、この際における振動体41のそれぞれは、長手方向Xに沿う略1/3ずつの範囲内ごとの分極方向(図中、矢印で示す)が反転させられ、かつ、互いの分極方向が逆方向とされた一対の圧電セラミック板42,43を対面接合してなるバイモルフ構造を有している。
【0046】
すなわち、これら振動体41の各々は、その長手方向Xの両端部が中間部材2を介して固定されあったものであり、振動子40の外側位置に配置された圧電セラミック板42の外表面上には駆動用電極44と検出用電極45とが長手方向Xの一端側と他端側とに離間した状態で形成されている。その一方、振動子40の内側位置に配置された圧電セラミック板43の外表面上には、中間電極となる全面電極46が形成されている。なお、これらの全面電極46は中間部材2と接触しあっており、同電位であるが、フローティング状態となっている。当然のことながら、基準電位と接続されていてもよい。
【0047】
そして、振動子40の内側位置に配置された圧電セラミック板43同士の中央部間には、振動体3それぞれの座屈振動、つまり、その厚み方向Yと一致したうえで逆方向に向かって座屈振動する各振動体41の座屈振動を可能とする中空部7が形成されている。
【0048】
ところで、このような構成とされた振動子40、つまり、バイモルフ構造とされた振動体41を対向配置してなる振動子40である場合には、図13で製造工程の途中過程を示すように、多数の振動子40となる半製品48を用意しておいたうえ、この半製品48をカットラインCに従って切断することにより多数の振動子40を一括的に作製し得るという利点が確保される。なお、この際における中間部材49は、一方側の振動体41となる部材の片側部分を削り込んで一体的に形成されたものであってもよい。
【0049】
また、バイモルフ構造の振動体41が対向配置されてなる振動子40は、その全体が各振動体41の厚み方向Yに沿う両端開放の2次屈曲振動が可能な構成、つまり、各振動体41の短手方向Zと一致する軸(検出軸)を中心として作用する回転角速度を検出することが可能とされている。この時、具体的には、長手方向Xに沿って存在する2次屈曲振動の3つのノード点のうちの両端部に位置するノード点付近それぞれが、実装基板上で支持された構成を有している。さらに、この際における2次屈曲振動の共振周波数は、座屈振動の周波数と互いに近接させられている。
【0050】
さらにまた、振動子40が搭載される実装基板の表面上には、この振動子40の駆動手段として振動体41のそれぞれを逆向きに座屈振動させる和動回路12及びAGC回路13と、2次屈曲振動の大きさを検出する検出手段として機能する差動回路14、検波回路15、DCアンプ16とが配設されている。そして、駆動手段であるAGC回路13は各振動体41の駆動用電極44と接続される一方、和動回路12及び差動回路14のそれぞれは各振動体41の検出用電極45と各別に接続されており、DCアンプ16からは検出された2次屈曲振動の大きさに基づく信号が出力されることになっている。
【0051】
実施の形態2にかかる振動ジャイロは以上説明したような構成であるため、実施の形態1にかかる振動ジャイロ1と同様の動作を行うこととなり、同様の作用を奏する。ところで、本実施の形態にかかる振動ジャイロが、以下に説明する第1〜第5のような各種の変形例構成とされたものであってもよい。
【0052】
まず、本実施の形態における振動体41の各々では、外側位置に配置される圧電セラミック板42の外表面上に対して駆動用電極44及び検出用電極45を形成しているが、図14で示す第1の変形例構成にかかる振動子50のように、駆動用及び検出用である全面電極51を形成してもよい。また、図15で示す第2の変形例構成にかかる振動子55のように、内側位置に配置された圧電セラミック板43の外表面上に形成された中間電極である全面電極46を、外側位置に配置された圧電セラミック板42の外表面上にまで回り込ませたうえ、基準電位に落として駆動する構成としてもよい。
【0053】
さらに、図16で示す第3の変形例構成にかかる振動子56のように、外側に位置する圧電セラミック板42それぞれの分極方向を同一としたうえ、一方側の圧電セラミック板42の外表面上に一対の検出用電極57,58を長手方向Xの一端側と他端側とに離間した状態で形成し、かつ、他方側の圧電セラミック板42の外表面上に駆動用の全面電極59を形成してもよい。この時、中間部材2と接している中間電極46は、同電位の導通状態でありながらも、フローティング状態となる。
【0054】
さらにまた、図17で示す第4の変形例構成にかかる振動子60のように、外側位置に配置される圧電セラミック板42の外表面上に駆動用電極61と検出用電極62とを長手方向Xの一端側と他端側とに離間した状態で形成し、かつ、振動子60の一方側の端面上に端面電極63を形成してもよい。あるいは、図18で示す第5の変形例構成にかかる振動子65のように、一方側の振動体41を構成する圧電セラミック板42の外表面上に一対の検出用電極66,67を離間した状態で形成し、かつ、他方側の振動体41を構成する圧電セラミック板42の外表面上に駆動用の全面電極68を形成するとともに、振動子65の一方側の端面上に端面電極69を形成した構成とすることも可能である。
【0055】
これら第4及び第5の変形例構成とされた振動ジャイロにあっては、外側に位置する圧電セラミック板42それぞれの分極方向が逆方向とされており、中間部材2と接している中間電極46が同電位の導通状態であり、かつ、基準電位に落とされるか、駆動電圧の反転信号が供給されることになっている。なお、以上説明した実施の形態2にかかる振動ジャイロを使用することによっても、実施の形態1の場合と同様の角速度センサー35が構成される。
【0056】
【発明の効果】
本発明にかかる振動ジャイロは、座屈振動する一対の矩形板状の振動体からなり、かつ、全体的には振動体の厚み方向へと向かう両端開放の2次屈曲振動が可能な振動子を具備している。そして、この際における2次屈曲振動の共振周波数は、座屈振動の周波数と近接させられている。
【0057】
この振動ジャイロであれば、各振動体の短手方向と一致する検出軸、つまり、振動子が配設された平面と直交する検出軸を中心として作用する回転角速度の検出が可能となり、この検出軸と一致している方向における振動子の高さは低くて済む。従って、振動ジャイロの低背化を容易に実現でき、その結果として平面上に配設された他の部品よりも振動ジャイロが突出することを有効に防止できるという効果が得られる。
【0058】
本発明にかかる角速度センサーでは、同一平面上に配設された3つの振動ジャイロのうちの2つが平面上の互いに直交しあう2軸、つまり、その長手方向と一致する検出軸の各々を中心として作用する回転角速度を検出するものであり、他の1つが平面と直交する垂直軸を中心として作用する回転角速度を検出するものとされている。そして、この振動ジャイロが低背化されたものであるため、角速度センサー自体も低背化されることとなり、この角速度センサーが他の部品よりも突出することが有効に防止されるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1にかかる振動ジャイロの全体構成を示す斜視図である。
【図2】実施の形態1にかかる振動ジャイロが具備している振動子の全体構成を示す斜視図である。
【図3】駆動検出回路をも含んだ実施の形態1にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図4】実施の形態1にかかる振動ジャイロの動作を模式化して示す平面図である。
【図5】振動子における座屈振動の周波数と2次屈曲振動の共振周波数との関係を示す説明図である。
【図6】実施の形態1にかかる振動子の第1の変形例構成を示す斜視図である。
【図7】実施の形態1にかかる振動子の第2の変形例構成を示す平面図である。
【図8】駆動検出回路をも含んだ第2の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図9】駆動検出回路をも含んだ第3の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図10】駆動検出回路をも含んだ第4の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図11】実施の形態1にかかる振動ジャイロを備えて構成された角速度センサーの要部構成を示す説明図である。
【図12】実施の形態2にかかる振動ジャイロの駆動検出回路をも含んだ要部構成を示す説明図である。
【図13】振動子の製造工程を示す説明図である。
【図14】実施の形態2にかかる振動子の第1の変形例構成を示す平面図である。
【図15】駆動検出回路をも含んだ第2の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図16】駆動検出回路をも含んだ第3の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図17】駆動検出回路をも含んだ第4の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【図18】駆動検出回路をも含んだ第5の変形例構成にかかる振動ジャイロの要部構成を示す説明図である。
【符号の説明】
1 振動ジャイロ
2 中間部材
3 振動体
4 振動子
12 和動回路(駆動手段)
13 AGC回路(駆動手段)
14 差動回路(検出手段)
15 検波回路(検出手段)
16 DCアンプ(検出手段)
Claims (8)
- 長手方向の両端部がそれぞれ中間部材を介して厚み方向に固定された一対の矩形板状の振動体からなり、全体的には前記振動体の厚み方向への両端開放の2次屈曲振動が可能な構成として支持された振動子と、前記振動体のそれぞれを互いに逆方向へと座屈振動させる駆動手段と、前記振動子の2次屈曲振動の大きさを検出する検出手段とを具備しており、前記2次屈曲振動の共振周波数は前記座屈振動の周波数と近接させられていることを特徴とする振動ジャイロ。
- 前記振動子の長手方向に沿っては前記2次屈曲振動の3つのノード点が存在しており、前記振動子は前記ノード点のうちの両端側の2つでもって支持されていることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。
- 前記振動体はユニモルフ構造であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動ジャイロ。
- 前記振動体はバイモルフ構造であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動ジャイロ。
- 前記振動体それぞれの外表面上には互いに対向して電極が形成されており、これらの電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の振動ジャイロ。
- 前記振動体のうちの一方側の外表面上には一対の電極が長手方向の一端側と他端側とに離間して形成されており、これらの電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の振動ジャイロ。
- 前記振動体それぞれの外表面上には互いに対向して電極が形成されており、その一方側の電極を通じて前記2次屈曲振動の大きさが検出される構成であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の振動ジャイロ。
- 3つの振動ジャイロが同一の平面上に配設されてなる角速度センサーであって、
前記平面と直交する垂直軸を回転軸とする回転角速度を検出する振動ジャイロは請求項1〜請求項7のいずれかに記載したものであることを特徴とする角速度センサー。
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