JP2006017469A - 圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 圧電体またはその支持体に加工を施さず、低コストで、高精度な圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動ジャイロ用振動子には、電極を振動子の1側面だけで構成できる単結晶の音叉形振動子を採用し、駆動電極、検出電極および基準電位電極が配置された面に対向する面に、予め周波数調整用電極20が全面に形成されており、この周波数調整用電極20は基準電位またはグランドに接続される。さらにレーザトリミング等によりその周波数調整用電極20の一部を分離して浮遊電極となる分割電極41を形成し、この分割電極41の位置と形状を調整することで、音叉振動および面外振動の共振周波数をそれぞれ選択的に調整する。
【選択図】 図4
Description
2,3 アーム
5,6 駆動電極
7,10 検出電極
8,9 基準電位電極
20 周波数調整用電極
41 分割電極
42 分離線
Claims (3)
- 第1および第2のアームと前記アームを接続したベースが圧電単結晶にて一体的に形成され、前記第1、第2のアームおよび前記ベースの1つの主面のみに駆動用および検出用の電極が形成された音叉形振動子を具備し、振動モードの1つの音叉振動と前記音叉振動に直交した面外振動とを励振および検出する音叉形圧電振動ジャイロの製造工程で、前記主面と対向する他の主面には、予め周波数調整用電極が形成されており、前記周波数調整用電極の一部の領域をトリミングにより分割して浮遊電極となる分割電極を形成することで、前記音叉振動と前記面外振動との共振周波数差を調整することを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法。
- 請求項1記載の圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法において、前記音叉振動による前記分割電極の表面に発生する電荷がほぼ零となるか、または正負の電荷が打ち消し合うことで総和がほぼ零となるように、かつ、前記面外振動による発生電荷および前記周波数調整用電極と分割電極の間の静電容量が所望の周波数調整量に対応するように前記分割電極の位置と形状を調整することで前記面外振動の共振周波数を選択的に高める調整を行うことを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法。
- 請求項1記載の圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法において、前記面外振動により前記分割電極の表面に発生する電荷がほぼ零となるか、または正負の電荷が打ち消し合うことで総和がほぼ零となるように、かつ、前記音叉振動による発生電荷および前記周波数調整用電極と分割電極の間の静電容量が所望の周波数調整量に対応するように前記分割電極の位置と形状を調整することで、前記音叉振動の共振周波数を選択的に高める調整を行うことを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法。
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CN103424109A (zh) * | 2012-05-23 | 2013-12-04 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振动片的制造方法、角速度传感器、电子设备、移动体 |
US10001373B2 (en) | 2014-10-29 | 2018-06-19 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, electronic device, electronic apparatus, and moving object |
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