JP4044519B2 - 音叉形圧電振動ジャイロ - Google Patents
音叉形圧電振動ジャイロ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4044519B2 JP4044519B2 JP2003432823A JP2003432823A JP4044519B2 JP 4044519 B2 JP4044519 B2 JP 4044519B2 JP 2003432823 A JP2003432823 A JP 2003432823A JP 2003432823 A JP2003432823 A JP 2003432823A JP 4044519 B2 JP4044519 B2 JP 4044519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- arm
- vibrator
- main surface
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 74
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 68
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 13
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 20
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 229910012672 LiTiO Inorganic materials 0.000 description 4
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
2,3 アーム
4 モニタ電極
5,6 駆動電極
7,10 検出電極
8,9 基準電位電極
11,12 オペアンプ
13,14 抵抗器
100 移相回路
101 加算回路
102 自励発振回路
103 同期検波回路
104 ローパスフィルタ
105 差動回路
Claims (2)
- 第1および第2のアームと前記第1および第2のアームを互いに接続するベースとが圧電単結晶にて一体的に形成され、
前記第1および第2のアームに駆動および検出用の電極が施された音叉形振動子を用いる音叉形圧電振動ジャイロであって、
前記第1のアームの一方の主面に、前記アームの主面と垂直な前記音叉形振動子の対称面の近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極が前記第1のアームの長手方向と平行に形成され、
前記第1のアームの一方の主面と同一側の前記第2のアームの一方の主面に、前記対称面の近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成されるか、もしくは前記第1のアームの一方の主面と反対側の前記第2のアームの一方の主面に、前記対称面の近傍から順に、第3、第2および第1の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、
前記音叉形振動子を形成する前記圧電単結晶は、LiTaO3圧電単結晶で形成され、前記音叉形振動子の主面は、前記LiTaO3圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記音叉形振動子の長手方向は、前記LiTaO3圧電単結晶のY軸がX軸に関して40±20°回転した軸と平行であり、
前記第1のアームの一方の主面と平行でかつ、前記第1のアームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記音叉形振動子の音叉振動および前記音叉振動と直交した面外振動を励振および検出することを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロ。 - 第1および第2のアームと前記第1および第2のアームを互いに接続するベースとが圧電単結晶にて一体的に形成され、
前記第1および第2のアームに駆動および検出用の電極が施された音叉形振動子を用いる音叉形圧電振動ジャイロであって、
前記第1のアームの一方の主面に、前記アームの主面と垂直な前記音叉形振動子の対称面の近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極が前記第1のアームの長手方向と平行に形成され、
前記第1のアームの一方の主面と同一側の前記第2のアームの一方の主面に、前記対称面の近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成されるか、もしくは前記第1のアームの一方の主面と反対側の前記第2のアームの一方の主面に、前記対称面の近傍から順に、第3、第2および第1の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、
前記音叉形振動子を形成する前記圧電単結晶は、LiTaO3圧電単結晶で形成され、前記音叉形振動子の主面は、前記LiTaO3圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記音叉形振動子の長手方向は、前記LiTaO3圧電単結晶のY軸がX軸に関して40±20°回転した軸と平行であり、
前記第1のアームの一方の主面と平行でかつ、前記第1のアームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記音叉形振動子の音叉振動および前記音叉振動と直交した面外振動を励振および検出することを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003432823A JP4044519B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 音叉形圧電振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003432823A JP4044519B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 音叉形圧電振動ジャイロ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005189166A JP2005189166A (ja) | 2005-07-14 |
JP4044519B2 true JP4044519B2 (ja) | 2008-02-06 |
Family
ID=34790412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003432823A Expired - Fee Related JP4044519B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 音叉形圧電振動ジャイロ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4044519B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008096139A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサ及びその駆動方法 |
JP2008175578A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Nec Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用振動子 |
-
2003
- 2003-12-26 JP JP2003432823A patent/JP4044519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005189166A (ja) | 2005-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5837895A (en) | Vibrating gyroscope including a piezoelectric substrate polarized by a polarization inversion phenomenon | |
US8065914B2 (en) | Vibration gyro | |
JP4044519B2 (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP3724403B2 (ja) | 振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 | |
JP2000205861A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3360478B2 (ja) | セラミック圧電複合形角速度センサ | |
JP2006266969A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP4044547B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JP2006284437A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP2005345404A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 | |
JP2005337850A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP3958741B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子 | |
JP3690448B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
JP4309814B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法 | |
JP2590553Y2 (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JP3172943B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
JP3371609B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH1019575A (ja) | 圧電振動体 | |
JP2006084273A (ja) | 圧電振動ジャイロ用音叉形振動子 | |
JP2005321374A (ja) | 音叉型圧電振動ジャイロ | |
JP3640003B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
JP2006322874A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP3211183B2 (ja) | エネルギー閉込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
JP3172944B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |