JP2005189166A - 音叉形圧電振動ジャイロ - Google Patents
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Abstract
【課題】 耐熱性に優れ、簡素な構成でありながら、感度劣化の少ない、小型化に適した、量産性に優れる音叉形圧電振動ジャイロを提供する
【解決手段】 振動子形状として、比較的支持が容易で共振周波数を低く設計できる音叉形状を選び、振動子材料には、比較的キュリー点が高く、結合係数の大きいLiTaO3またはLiNbO3圧電単結晶を選択する。さらに、振動子の結晶方位は、振動子の長手方向を結晶のY軸がX軸に関して40°回転した軸と平行にしたLiTaO3圧電単結晶X板、または、振動子の長手方向を結晶のY軸がX軸に関して50°回転した軸と平行にしたLiNbO3圧電単結晶X板とすることで、振動子の幅方向の電界による圧電横効果を大きくし、電極を振動子の1側面だけで構成できるようにする。
【選択図】 図2
Description
2,3 アーム
4 モニタ電極
5,6 駆動電極
7,10 検出電極
8,9 基準電位電極
11,12 オペアンプ
13,14 抵抗器
100 移相回路
101 加算回路
102 自励発振回路
103 同期検波回路
104 ローパスフィルタ
105 差動回路
Claims (11)
- 第1および第2のアームと前記アームを接続したベースが圧電単結晶にて一体的に形成され、前記第1および第2のアームに駆動および検出用の電極が施された音叉形振動子を用いる音叉形圧電振動ジャイロであって、前記第1のアームには、第1のアームの主面に、前記アームの主面と垂直な前記音叉形振動子の対称面近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記第2のアームには、第1のアームの主面と同一側の第2のアームの主面に、前記対称面近傍から順に、第1、第2および第3の帯状電極、もしくは第1のアームの主面と反対側の第2のアームの主面に、前記対称面近傍から順に、第3、第2および第1の帯状電極の少なくともどちらか一方が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記主面と平行でかつ、前記アームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記音叉形振動子の音叉振動および前記音叉振動と直交した面外振動を励振および検出することを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記圧電単結晶からなる前記音叉形振動子は、その主面と平行な方向に前記圧電単結晶の分極軸を向けたことを特徴とする請求項1記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームの主面と対向する他方の主面にも、前記アームの主面と垂直な前記音叉形振動子の対称面近傍から順に、各々第3、第2および第1の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成されたことを特徴とする請求項1記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記音叉形振動子は、LiTaO3圧電単結晶で形成され、前記音叉形振動子の主面は、前記LiTaO3圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記音叉形振動子の長手方向は、前記LiTaO3圧電単結晶のY軸がX軸に関して40±20°回転した軸と平行であることを特徴とする請求項1記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記音叉形振動子は、LiNbO3圧電単結晶で形成され、前記音叉形振動子の主面は、前記LiNbO3圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記音叉形振動子の長手方向は、前記LiNbO3圧電単結晶のY軸がX軸に関して50±20°回転した軸と平行であることを特徴とする請求項1記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第3の帯状電極を検出電極、前記第2のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第3の帯状電極を検出電極として用い、前記第1のアームの駆動電極と前記第2のアームの駆動電極には、振幅および周波数が同じで、互いに逆位相の駆動信号を印加し、前記2つの検出電極には、電荷または電流検出回路を接続し、前記2つの検出電極の電位が基準電位に仮想接地されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第1の帯状電極を検出電極、前記第2のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第1の帯状電極を検出電極として用い、前記第1のアームの駆動電極と前記第2のアームの駆動電極には、振幅および周波数が同じで、互いに逆位相の駆動信号を印加し、前記2つの検出電極には、電荷または電流検出回路を接続し、前記2つの検出電極の電位が基準電位に仮想接地されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を検出電極、前記第3の帯状電極を駆動電極、前記第2のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を検出電極、前記第3の帯状電極を駆動電極として用いることを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を検出電極、前記第1の帯状電極を駆動電極、前記第2のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を検出電極、前記第1の帯状電極を駆動電極として用いることを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第3の帯状電極を検出電極、前記第2のアームに配置された前記第1の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極をモニタ電極、前記第3の帯状電極を検出電極として用い、前記モニタ電極の信号により駆動モードの自励発振を安定化し、前記2つの検出電極には、電荷または電流検出回路を接続し、前記2つの検出電極の電位が基準電位に仮想接地されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
- 前記第1のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極を駆動電極、前記第1の帯状電極を検出電極、前記第2のアームに配置された前記第3の帯状電極を基準電位電極、前記第2の帯状電極をモニタ電極、前記第1の帯状電極を検出電極として用い、前記モニタ電極の信号により駆動モードの自励発振を安定化し、前記2つの検出電極には、電荷または電流検出回路を接続し、前記2つの検出電極の電位が基準電位に仮想接地されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかひとつに記載の音叉形圧電振動ジャイロ。
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JP2008175578A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Nec Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用振動子 |
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