JP5041465B2 - 振動子駆動回路 - Google Patents
振動子駆動回路 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5041465B2 JP5041465B2 JP2006266973A JP2006266973A JP5041465B2 JP 5041465 B2 JP5041465 B2 JP 5041465B2 JP 2006266973 A JP2006266973 A JP 2006266973A JP 2006266973 A JP2006266973 A JP 2006266973A JP 5041465 B2 JP5041465 B2 JP 5041465B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- circuit
- drive
- terminal
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
2,3,103−1,103−2,103−3 電極
4 演算増幅器
5 抵抗器
6,244 差動増幅回路
7 AGC回路
8,243 反転増幅回路
9,9−1,9−2 電流検出駆動回路
106 差動回路
107 同期検出回路
108,247 ローパスフィルタ
109 加算回路
110 発振回路
111 駆動回路
201,202,203,204 駆動電極
205,206,207,208 検出電極
241 比較回路
242 AGC回路
245 位相シフト回路
246 同期検波器
250,251 音叉アーム
Claims (3)
- 分極された振動子に少なくとも2つの端子を有し、前記振動子の対向する両面または片面に、前記端子のうち、第1の端子及び第2の端子が形成され、
前記第2の端子には、演算増幅器の反転入力端子が接続され、
前記反転入力端子と前記演算増幅器の出力端子が抵抗器によって接続され、
前記振動子の共振周波数で自励発振させる振動子駆動回路であって、
前記第1の端子に駆動信号を入力し、
前記演算増幅器の非反転入力端子には、前記駆動信号を反転した信号を入力し、
前記駆動信号の入力により前記第1の端子または前記第2の端子に現れる電流もしくは電荷を検出し、前記電流もしくは電荷の検出信号に所定の信号処理を行い前記駆動信号として帰還するループを有することを特徴とする振動子駆動回路。 - 請求項1に記載の振動子駆動回路において、
前記演算増幅器の出力端子信号と前記非反転入力端子に入力される信号とは差動増幅回路に入力され差動増幅された後、所定の信号処理を施され、前記第1の端子に帰還されることを特徴とする振動子駆動回路。 - 請求項1または2に記載の振動子駆動回路において、前記振動子は振動ジャイロ用の圧電振動子であることを特徴とする振動子駆動回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006266973A JP5041465B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 振動子駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006266973A JP5041465B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 振動子駆動回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008089308A JP2008089308A (ja) | 2008-04-17 |
JP5041465B2 true JP5041465B2 (ja) | 2012-10-03 |
Family
ID=39373635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006266973A Active JP5041465B2 (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 振動子駆動回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5041465B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4963662B2 (ja) * | 2007-10-19 | 2012-06-27 | Necトーキン株式会社 | 振動子駆動回路 |
JP5716843B2 (ja) | 2011-12-09 | 2015-05-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子用駆動回路 |
CN108761128B (zh) * | 2018-09-05 | 2024-04-02 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 压电振动激励自诊断mems加速度计表芯及加速度计 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5047734A (en) * | 1990-05-30 | 1991-09-10 | New Sd, Inc. | Linear crystal oscillator with amplitude control and crosstalk cancellation |
JP3035161B2 (ja) * | 1994-07-04 | 2000-04-17 | 本田技研工業株式会社 | 振動ジャイロスコープ |
JP3265840B2 (ja) * | 1994-07-06 | 2002-03-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子の駆動検出回路 |
JP3531295B2 (ja) * | 1995-06-13 | 2004-05-24 | 株式会社ニコン | 振動子及びこれを用いた圧電振動角速度計 |
JPH11118492A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-04-30 | Miyota Kk | 角速度センサ駆動回路 |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2004279101A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Denso Corp | 振動型角速度センサ |
-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006266973A patent/JP5041465B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008089308A (ja) | 2008-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070163345A1 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2010256332A (ja) | 振動片、振動子および物理量検出装置 | |
JPH07113645A (ja) | 振動ジャイロ | |
WO2005085758A1 (ja) | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 | |
JP4356479B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP5041465B2 (ja) | 振動子駆動回路 | |
JP2000337881A (ja) | ジャイロスコープの駆動検出装置 | |
JP2008256668A (ja) | 角速度センサ | |
JP2009236552A (ja) | センサ感度調整手段及びセンサの製造方法 | |
JP4877322B2 (ja) | 音叉型バイモルフ圧電振動子、それを用いた振動ジャイロモジュールおよび音叉型バイモルフ圧電振動子の製造方法 | |
WO2001036910A1 (en) | Angular speed sensor | |
JP2003114127A (ja) | 振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 | |
JP3360478B2 (ja) | セラミック圧電複合形角速度センサ | |
JP2006266969A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JP2996157B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH08334332A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP4963662B2 (ja) | 振動子駆動回路 | |
JP4044519B2 (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
JPH116738A (ja) | 角速度センサ | |
JP2004279271A (ja) | 圧電材料を利用したセンサ及びジャイロセンサ | |
JP3958741B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子 | |
JPH10288525A (ja) | 角速度センサ | |
JP3861456B2 (ja) | 角速度検出用振動子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120704 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120705 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5041465 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150720 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |