JP3531295B2 - 振動子及びこれを用いた圧電振動角速度計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は航空機、船舶、自動車等
のナビゲーションシステムやこれらの姿勢制御等、或い
はスチールカメラ、ビデオカメラの手振れや振動感知な
どに使用する圧電振動角速度計及びこれに用いられる振
動子に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】振動角速度計は、振動している物体に回
転角速度が与えられると、その振動方向と垂直な方向に
コリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジャイロ
スコープの一種である。

【０００３】圧電振動角速度計用の振動子として、従来
の音叉型や金属多角柱側面に圧電板を張りつけた振動子
に代わり、本発明者らは、新規で小型化が可能なバイモ
ルフ型の振動子を発明した。

【０００４】このバイモルフ型の振動子１の構造を図７
に示す。図７（ａ）はその斜視図、図７（ｂ）はその正
面図である。

【０００５】振動子１は、圧電材料であるチタン酸ジル
コン酸鉛（ＰＺＴ）からなる直方体形状の第１及び第２
の部材２，３を張り合わせて作製される。第１の部材２
の寸法は、幅１ｍｍ、厚み０．５ｍｍ、長さ９ｍｍであ
る。第１の部材２の第１の側面（図７では下面）の全面
には、銀ペーストにて電極４を形成する。第１の部材２
の前記第１の側面と相対する第２の側面（図７では上
面）における両側位置に、長さ方向に電極５，６をそれ
ぞれ銀ペーストにて形成する。第２の部材３は、第１の
部材２と同寸法である。第２の部材３の第１の側面（図
７では上面）の全面に銀ペーストにて電極４を形成し、
第２の部材３の前記第１の側面に相対する第２の側面
（図７では下面）の全面に銀ペーストにて電極７を形成
する。この第１の部材２と第２の部材３とを電極４を張
り合わせる形で接着剤にて接着する。こうして振動子１
が完成する。なお、第１の部材２の分極方向は図７中の
上方向、第２の部材３の分極方向は図７中の下方向であ
る。

【０００６】この振動子１を用いた圧電振動角速度計を
図８に示す。該圧電振動角速度計は、振動子１の他に、
振動子１を自励振駆動する自励振回路２０と、振動子１
からの信号に基づいて振動子１に作用するコリオリ力に
相当する検出信号を得る検出回路１０と、を備えてい
る。

【０００７】振動子１の電極４が基準電極（アース電
極）として用いられ、自励振回路２０の出力端が電極７
に接続され、自励振回路２０の入力端が電極５に接続さ
れ、検出回路１０の２つの入力端がそれぞれ電極５，６
に接続されている。

【０００８】自励振回路２０により電極４と電極７との
間に励振用電圧（駆動電圧）が印加されると、振動子１
の第２の部材３が電極４，７の面と垂直な方向（図７中
の上下方向）に屈曲振動し、したがって、振動子１の全
体がこの方向に屈曲振動する。部材２，３の長さ方向に
延びた任意の軸を中心として振動子１が回転し角速度が
与えられると、部材２，３の幅方向にコリオリ力が発生
し、このコリオリ力により振動子１がこの方向に屈折振
動が発生する。この屈折振動により、コリオリ力に対応
する信号（電圧）が逆位相でそれぞれ電極５，６に発生
する。電極５，６に発生する電圧には、この信号のみな
らず、電極４，７の面と垂直な方向の振動子１の屈曲振
動（励振）による電圧も含まれる。

【０００９】検出回路１０は、電極５の信号と電極６の
信号との差動をとって励振による成分をキャンセルする
ことにより、コリオリ力に対応する信号のみを得、更に
その差動波形の包絡線を復調し、復調された信号をコリ
オリ力の検出信号として出力する。したがって、振動子
１の回転速度（角速度）を測定することができる。

【００１０】なお、検出回路１０の具体的な回路構成自
体は、周知である。

【００１１】自励振回路２０は、オペアンプ２１及び抵
抗器２２〜２４からなる反転増幅器３０と、抵抗器２
５，２６及びコンデンサ２７，２８からなる２段のＲＣ
フィルタにより構成されたローパスフィルタ３１と、か
ら構成されている。電極５からの出力電圧が反転増幅器
３０により反転増幅され、その増幅された電圧がローパ
スフィルタ３１により位相調整され、その位相調整され
た電圧が駆動電圧として電極７に供給される。これによ
り、ループゲインが１以上となるように正帰還がかけら
れ、振動子１が自励振駆動される。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記振動子１
を用いた圧電振動角速度計では、次のような問題があっ
た。

【００１３】すなわち、振動子１にコリオリ力が働く
と、電極５からの出力電圧の振幅がコリオリ力に応じて
変動し、その変動した振動電圧が自励振回路２０に入力
されるため、振動子１の自励振振動が不安定になる。ま
た、電極５が検出回路１０の入力端及び自励振回路２０
の入力端の両方に接続され、電極５の出力電圧がコリオ
リ力検出のための検出回路１０と振動子１の自励振のた
めの自励振駆動回路２０の両方に用いられているので、
両回路１０，２０間に相互作用が存在するのは避けよう
がない。

【００１４】ところで、振動子１からの信号を自励振回
路２０に入力させる方法として、電極５の出力と電極６
の出力の和をとり、この和を自励振回路２０に入力させ
る方法がある。この方法を採用すると、コリオリ力によ
る振幅変化分が電極５と電極６とで互いに逆位相のた
め、互いに打ち消し合うことができるはずである。しか
し、実際には、電極５の面積と電極６の面積の差や、Ｐ
ＺＴの部分的な特性の不均一性のために、電極５，６間
の出力電圧中のコリオリ力による振幅変化分の大きさの
差を完全に零にすることは不可能であり、コリオリ力に
よる振幅変化分を完全にキャンセルすることは不可能で
ある。また、前記方法を採用したとしても、検出回路１
０と自励振回路２０との間の相互作用は同様に存在し、
その影響を無視することはできない。

【００１５】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、振動子の自励振振動を安定させることができるとと
もに、コリオリ力検出のための検出回路と振動子の自励
振のための自励振駆動回路との間の相互作用を防止する
ことができる、振動子及びこれを用いた圧電振動角速度
計を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の第１の態様による振動子は、直方体形状の
圧電材料からなる第１及び第２の部材と、前記第１の部
材の第１の側面と前記第２の部材の第１の側面との間に
挟んで形成された第１の電極と、前記第１の部材の前記
第１の側面に相対する前記第１の部材の第２の側面にお
ける両側位置にそれぞれ形成されるか、あるいは、前記
第１の部材の前記第１の側面と隣合う前記第１の部材の
第３及び第４の側面にそれぞれ形成された第２及び第３
の電極と、前記第１の部材の前記第２の側面の略中央の
位置に形成された第４の電極と、前記第２の部材の前記
第１の側面に相対する前記第２の部材の第２の側面に形
成された第５の電極と、を備えたものである。

【００１７】本発明の第２の態様による振動子は、直方
体形状の圧電材料からなる第１及び第２の部材と、前記
第１の部材の第１の側面と前記第２の部材の第１の側面
との間に挟んで形成された第１の電極と、前記第１の部
材の前記第１の側面に相対する前記第１の部材の第２の
側面における両側位置のうちの一方の位置に形成される
か、あるいは、前記第１の部材の前記第１の側面と隣合
う前記第１の部材の第３及び第４の側面のうちの一方に
形成された第２の電極と、前記第１の部材の前記第２の
側面の略中央の位置に形成された第３の電極と、前記第
２の部材の前記第１の側面に相対する前記第２の部材の
第２の側面に形成された第４の電極と、を備えたもので
ある。

【００１８】本発明の第３の態様による振動子は、前記
第１又は第２の態様による振動子において、前記第１の
電極を挟んだ前記第１及び第２の部材の全体の断面であ
って、前記第１の部材の端面と平行な断面が、略正方形
であるものである。

【００１９】本発明の第４の態様による圧電振動角速度
計は、前記第１の態様による振動子と、該振動子を自励
振駆動する自励振回路と、前記振動子からの信号に基づ
いて前記振動子に作用するコリオリ力に相当する検出信
号を得る検出回路と、を備え、前記検出回路は、前記第
２の電極からの信号及び前記第３の電極の信号に基づい
て前記検出信号を得、前記自励振回路は、前記第４及び
第５の電極のうちの一方からの信号に基づいて駆動信号
を得て該駆動信号を前記第４及び第５の電極のうちの他
方へ供給するものである。

【００２０】本発明の第５の態様による圧電振動角速度
計は、前記第２の態様による振動子と、該振動子を自励
振駆動する自励振回路と、前記振動子からの信号に基づ
いて前記振動子に作用するコリオリ力に相当する検出信
号を得る検出回路と、を備え、前記検出回路は、前記第
２の電極からの信号に基づいて前記検出信号を得、前記
自励振回路は、前記第３及び第４の電極のうちの一方か
らの信号に基づいて駆動信号を得て該駆動信号を前記第
３及び第４の電極のうちの他方へ供給するものである。

【００２１】

【作用】本発明によれば、第１の部材の第２の側面の略
中央の位置に電極を備えている。この電極は略中央の位
置に形成されているので、コリオリ力が振動子に作用し
ても、この電極からの信号の振幅は、コリオリ力により
振幅変調されず、常に一定である。したがって、この電
極を自励振回路用とするとともに、他の所定の電極を検
出回路用とすることによって、振動子の自励振振動を安
定させることができるとともに、コリオリ力検出のため
の検出回路と振動子の自励振のための自励振駆動回路と
の間の相互作用を防止することができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明による振動子及びこれを用いた
圧電振動角速度計について、図面を参照して説明する。

【００２３】まず、本発明の一実施例による振動子４１
について、図１を参照して説明する。図１は本実施例に
よる振動子４１を示す図であり、図１（ａ）はその斜視
図、図１（ｂ）はその正面図である。

【００２４】図１に示すように、振動子４１は、直方体
形状（厳密に直方体でなくてもよい）の圧電材料からな
る第１及び第２の部材４２，４３と、第１の部材４２の
第１の側面（図１では下面）と第２の部材４３の第１の
側面（図１では上面）との間に挟んで形成された電極４
４と、第１の部材４２の前記第１の側面に相対する第１
の部材４２の第２の側面（図１では上面）における両側
位置にそれぞれ形成された電極４５，４６と、第１の部
材４２の前記第２の側面の略中央の位置に形成された電
極４７と、第２の部材４３の前記第１の側面に相対する
第２の部材４３の第２の側面（図１では下面）に形成さ
れた電極４８と、を備えている。

【００２５】本実施例では、第１及び第２の部材４２，
４３は、圧電セラミック（例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛（ＰＺＴ））からなり、それらの厚みは０.５ｍｍ、
幅は１.０ｍｍ、長さは９.０ｍｍとされている。もっと
も、本発明では、このような寸法に限定されるものでは
ない。電極４５，４６は、第１の部材４２の上面の両側
位置に、第１の部材４２の長さ方向に銀ペーストで形成
され、それぞれの幅が０.２ｍｍとされている。電極４
７は、第１の部材４２の上面の幅方向の中央に、第１の
部材４２の長さ方向に銀ペーストで形成され、その幅が
０．２ｍｍとされている。電極４８は、第２の部材４３
の下面の全面に銀ペーストで形成されている。電極４４
は、第１の部材４２の下面の全面に予め形成された銀ペ
ーストと第２の部材４３の上面の全面に予め形成された
銀ペーストとを、エポキシ性接着剤等の接着剤（図示せ
ず）により接合した構造とされている。前記接着剤によ
る振動子の振動への影響を極力なくすために、前記接着
剤として粘度の低いものを用いることが好ましい。な
お、前記接着剤自体が導電性を有していなくても、接着
の際に適当に圧力を加えることにより、第１の部材４２
の下面に形成された銀ペーストと第２の部材４３の上面
に形成された銀ペーストとの間には接着剤が介在せずに
直接接触する多くの微小領域が存在し、両者は電気的に
接続されることになる。もっとも、前記接着剤として導
電性接着剤を用いてもよい。

【００２６】また、第１及び第２の部材４２，４３の分
極方向は、略厚み方向（図１中の上下方向）とされてい
る。第１及び第２の部材４２，４３の分極処理は、例え
ば、前もって部材４２，４３にそれぞれ厚み方向に施し
ておいてもよいし、部材４２，４３の接着後に電極４４
を基準にし、この電極４４と電極４５，４６，４７，４
８との間に電圧を印加して施してもよい。前者の方法に
より分極処理された場合の部材４２，４３の分極の様子
の一例を図２（ａ）に示し、後者の方法により分極処理
された場合の部材４２，４３の分極の様子の一例を図２
（ｂ）に示す。

【００２７】なお、本実施例では、電極４５，４６，４
７の幅は０．２ｍｍと同じであるが、この必要はない。
電極４５，４６の幅は互いに同じであることが好ましい
が、電極４７の幅はこれらの幅より広くても狭くてもか
まわない。

【００２８】また、部材４２，４３の材料としては、駆
動電圧印加により効果的に振動子４１が振動するため
と、振動子４１の振動による発生電圧が大きく取れるよ
うに、それぞれＱの大きい圧電材料が選択される。ま
た、振動子４１の厚み方向の共振周波数と幅方向の共振
周波数をほぼ一致させることが好ましい。両者を一致さ
せると、振動子４１の断面（すなわち、電極４４を挟ん
だ部材４２，４３の全体の断面であって、部材４２の端
面と平行な断面）は、略正方形になる。この周波数合わ
せは、例えば、振動子４１を振動させながら側面をレー
ザー等で削ることにより共振周波数を調整することによ
って、行われる。

【００２９】振動子４１は、前述したような構造を有し
ているので、一度に大量に製造することができる。すな
わち、電極４５，４６，４７の電極パターン及び電極４
４の一部を構成する電極パターンを予め多数の振動子４
１の分形成した圧電板と、電極４８の電極パターン及び
電極４４の他の一部を構成する電極パターンを予め多数
の振動子４１の分形成した圧電板とを前記接着剤にて接
合し、この接合板を個々の振動子４１に切断することに
よって、一度に大量の振動子４１を製造することができ
る。また、反応性エッチング等による電極パターン形
成、精密切断機等による接合板の切断を行うことによっ
て、小型の振動子４１を再現性良く製造することができ
る。

【００３０】次に、前記振動子４１を用いた圧電振動角
速度計の一例を、図３に示す。該圧電振動角速度計は、
振動子４１の他に、振動子４１を自励振駆動する自励振
回路６０と、振動子１からの信号に基づいて振動子１に
作用するコリオリ力に相当する検出信号を得る検出回路
５０と、を備えている。

【００３１】振動子４１の電極４４が基準電極（アース
電極）として用いられ、自励振回路６０の出力端が電極
４８に接続され、自励振回路６０の入力端が電極４７に
接続され、検出回路５０の２つの入力端がそれぞれ電極
４５，４６に接続されている。

【００３２】自励振回路６０により電極４４と電極４８
との間に励振用電圧（駆動電圧）が印加されると、振動
子４１の第２の部材４３が電極４４，４８の面と垂直な
方向（図１中の上下方向）に屈曲振動し、したがって、
振動子４１の全体がこの方向に屈曲振動する。すなわ
ち、振動子４１が自励振を起こす。この状態において、
部材４２，４３の長さ方向に延びた任意の軸を中心とし
て振動子４１が回転し角速度が与えられると、部材４
２，４３の幅方向（図１（ｂ）中の左右方向）にコリオ
リ力が発生し、このコリオリ力により振動子４１がこの
方向に屈折振動が発生する。

【００３３】図４には、振動子４１が電極４４，４８の
面と垂直な方向（図１中の上下方向）に自励振を起こし
ているときに、振動子４１がその長さ方向に平行な軸の
回りに角速度をもって回転し、振動子４１の幅方向（図
１（ｂ）中の左右方向）にコリオリ力による屈曲振動が
発生したときの、電極４５，４６，４７からの出力の波
形を示す。図４（ａ）は電極４７の出力を示し、図４
（ｂ）は電極４５の出力を示し、図４（ｃ）は電極４６
の出力を示す。電極４７の出力は、図４（ａ）に示すよ
うに、自励振の周波数を持つ振幅が一定の正弦波とな
る。電極４７は第１の部材４２の上面における幅方向の
略中央に配置されているため、電極４７の出力は振動子
４１の自励振による電極４４，４８の面と垂直な方向
（図１中の上下方向）の屈曲振動にのみ対応したものと
なり、電極４７の出力の振幅はコリオリ力によって変化
しない。一方、電極４５，４６の出力は、振動子４１の
自励振による電極４４，４８の面と垂直な方向（図１中
の上下方向）の屈曲振動（励振）のみならずコリオリ力
による振動子４１の幅方向（図１（ｂ）中の左右方向）
の屈曲振動にも対応したものとなり、発生するコリオリ
力により互いに逆位相の振幅変調を受け、振幅が変化す
る。

【００３４】コリオリ力により電極４５の出力と電極４
６の出力が互いに逆位相の振幅変調を受けるのは、次の
理由による。すなわち、コリオリ力により振動子４１が
図１（ｂ）中の左右方向に凹凸するように振動子が振動
すると、電極４４と電極４５との間に圧縮応力（又は引
っ張り応力）が働くときに、電極４４と電極４６との間
には逆に引っ張り応力（又は圧縮応力）が働くことにな
り、コリオリ力による発生する電極４５の電荷の符号と
電極４６の電荷の符号とが逆になるためである。このこ
とは、図２に関連して既に説明したように、部材１，２
の分極方向が厚み方向となっていることにより保証され
る。

【００３５】検出回路５０は、電極４５の信号と電極４
６の信号との差動をとって励振による成分をキャンセル
することにより、コリオリ力に対応する信号のみを得、
更にその差動波形の包絡線を復調し、復調された信号を
コリオリ力の検出信号として出力する。したがって、振
動子４１の回転速度（角速度）を測定することができ
る。なお、検出回路５０の具体的な回路構成自体は、周
知である。

【００３６】自励振回路６０は、オペアンプ５１及び抵
抗器５２〜５４からなる反転増幅器７０と、抵抗器５
５，５６及びコンデンサ５７，５８からなる２段のＲＣ
フィルタにより構成されたローパスフィルタ７１と、か
ら構成されている。もっとも、自励振回路６０の構成
は、このような構成に限定されるものではない。電極４
７からの出力電圧が反転増幅器７０により反転増幅さ
れ、その増幅された電圧がローパスフィルタ７１により
位相調整され、その位相調整された電圧が駆動電圧とし
て電極４８に供給される。これにより、これにより、ル
ープゲインが１以上となるように正帰還がかけられ、振
動子４１が自励振駆動される。

【００３７】図３に示す圧電振動角速度計によれば、振
動子４１が電極４７を備え、自励振回路６０の入力とし
て、コリオリ力により振幅が変化することがない振動子
４１の電極４７の出力を用いているので、振動子４１の
自励振振動を安定させることができる。また、自励振回
路６０の入力用として用いられている電極４７は、コリ
オリ力検出用として用いられている電極４５，４６と独
立しているので、検出回路５０と自励振回路６０との間
の相互作用を防止することができる。

【００３８】次に、図１に示す振動子４１を用いた圧電
振動角速度計の他の例について、図５を参照して説明す
る。

【００３９】図５において、図３中の構成要素と同一構
成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。

【００４０】図５に示す圧電振動角速度計が前述した図
３に示す圧電振動角速度計と異なる所は、図３に示す圧
電振動角速度計では、自励振回路６０の出力端が振動子
４１の電極４８に接続されるとともに自励振回路６０の
入力端が電極４７に接続されていたのに対し、図５に示
す圧電振動角速度計では、逆に、自励振回路６０の入力
端が振動子４１の電極４８に接続されるとともに自励振
回路６０の出力端が電極４７に接続されている点のみで
ある。

【００４１】図５に示す圧電振動角速度計では、図３に
示す圧電振動角速度計の場合と振動子４１の電極４８の
機能と電極４７の機能が逆になるが、両者は実質的に等
価である。

【００４２】なお、図５に示す圧電振動角速度計と図３
に示す圧電振動角速度計とでは、電極４８の面積と電極
４７の面積とが異なることから、振動子４１が自励振し
た際に自励振回路６０の反転増幅器７０への入力電圧の
大きさが異なるが、自励振の周波数は同じであるので、
自励振回路６０の回路構成は同じでよい。

【００４３】次に、本発明の他の実施例による振動子１
００について、図６を参照して説明する。図６は振動子
１００を示し、図６（ａ）はその斜視図、図６（ｂ）は
その正面図である。図６において、図１中の構成要素と
同一又は対応する構成要素には同一符号を付し、その説
明は省略する。

【００４４】この振動子１００が図１に示す前記振動子
４１と異なる所は、電極４５，４６が、第１の部材４２
の上面（第２の側面）にではなく、第１の部材４２の第
１の側面（下面）と隣合う第１の部材４２の第３及び第
４の側面にそれぞれ形成されている点のみである。しか
しながら、振動子１００が振動子４１と実質的に等価で
あることは明白であり、図３や図５に示す圧電振動角速
度計において、振動子４１の代わりに振動子１００を用
いることができる。

【００４５】また、以上説明した実施例では、振動子４
１，１００は電極４５及び電極４６の両方を有していた
が、本発明では、そのうちの一方を取り除いてもよい。
このような振動子を用いて圧電振動角速度計を構成する
場合には、例えば、残りの電極４５（又は電極４６）を
検出回路の入力側に接続し、該検出回路において、電極
４５の出力を半波整流回路及び平滑回路等により直流電
圧に変換し、該直流電圧と所定レベルの定電圧（コリオ
リ力が発生していない場合に相当するレベルの定電圧）
との差動をとり、その差動出力をコリオリ力の検出信号
とすることができる。その他の点については、図３や図
５の場合と同様である。

【００４６】以上、本発明の各実施例について説明した
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
振動子の自励振振動を安定させることができるととも
に、コリオリ力検出のための検出回路と振動子の自励振
のための自励振駆動回路との間の相互作用を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による振動子を示す図であ
り、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその正面図である。

【図２】振動子の分極の様子を説明する説明図である。

【図３】本発明の一実施例による圧電振動角速度計を示
す図である。

【図４】振動子の各電極の出力波形を示す波形図であ
る。

【図５】本発明の他の実施例による圧電振動角速度計を
示す図である。

【図６】本発明の他の実施例による振動子を示す図であ
り、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその正面図である。

【図７】本発明の基礎となった振動子を示す図であり、
（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその正面図である。

【図８】本発明の基礎となった圧電振動角速度計を示す
図である。

【符号の説明】

４１，１００ 振動子 ４２ 第１の部材 ４３ 第２の部材 ４４，４５，４６，４７，４８ 電極 ５０ 検出回路 ６０ 自励振回路

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−332988（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−338731（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−296770（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−122082（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−38513（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直方体形状の圧電材料からなる第１及び
   第２の部材と、 前記第１の部材の第１の側面と前記第２の部材の第１の
   側面との間に挟んで形成された第１の電極と、 前記第１の部材の前記第１の側面に相対する前記第１の
   部材の第２の側面における両側位置にそれぞれ形成され
   るか、あるいは、前記第１の部材の前記第１の側面と隣
   合う前記第１の部材の第３及び第４の側面にそれぞれ形
   成された第２及び第３の電極と、 前記第１の部材の前記第２の側面の略中央の位置に形成
   された第４の電極と、 前記第２の部材の前記第１の側面に相対する前記第２の
   部材の第２の側面に形成された第５の電極と、 を備えたことを特徴とする振動子。
2. 【請求項２】 直方体形状の圧電材料からなる第１及び
   第２の部材と、 前記第１の部材の第１の側面と前記第２の部材の第１の
   側面との間に挟んで形成された第１の電極と、 前記第１の部材の前記第１の側面に相対する前記第１の
   部材の第２の側面における両側位置のうちの一方の位置
   に形成されるか、あるいは、前記第１の部材の前記第１
   の側面と隣合う前記第１の部材の第３及び第４の側面の
   うちの一方に形成された第２の電極と、 前記第１の部材の前記第２の側面の略中央の位置に形成
   された第３の電極と、 前記第２の部材の前記第１の側面に相対する前記第２の
   部材の第２の側面に形成された第４の電極と、 を備えたことを特徴とする振動子。
3. 【請求項３】 前記第１の電極を挟んだ前記第１及び第
   ２の部材の全体の断面であって、前記第１の部材の端面
   と平行な断面が、略正方形であることを特徴とする請求
   項１又は２記載の振動子。
4. 【請求項４】 請求項１記載の振動子と、該振動子を自
   励振駆動する自励振回路と、前記振動子からの信号に基
   づいて前記振動子に作用するコリオリ力に相当する検出
   信号を得る検出回路と、を備え、 前記検出回路は、前記第２の電極からの信号及び前記第
   ３の電極の信号に基づいて前記検出信号を得、 前記自励振回路は、前記第４及び第５の電極のうちの一
   方からの信号に基づいて駆動信号を得て該駆動信号を前
   記第４及び第５の電極のうちの他方へ供給する、 ことを特徴とする圧電振動角速度計。
5. 【請求項５】 請求項２記載の振動子と、該振動子を自
   励振駆動する自励振回路と、前記振動子からの信号に基
   づいて前記振動子に作用するコリオリ力に相当する検出
   信号を得る検出回路と、を備え、 前記検出回路は、前記第２の電極からの信号に基づいて
   前記検出信号を得、 前記自励振回路は、前記第３及び第４の電極のうちの一
   方からの信号に基づいて駆動信号を得て該駆動信号を前
   記第３及び第４の電極のうちの他方へ供給する、 ことを特徴とする圧電振動角速度計。