JPH02266214A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH02266214A JPH02266214A JP1089397A JP8939789A JPH02266214A JP H02266214 A JPH02266214 A JP H02266214A JP 1089397 A JP1089397 A JP 1089397A JP 8939789 A JP8939789 A JP 8939789A JP H02266214 A JPH02266214 A JP H02266214A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000570 Cupronickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N copper nickel Chemical compound [Ni].[Cu] YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は振動ジャイロに関し、特に自動振駆動し、た
とえば自動車などに搭載されるナビゲーションシステム
に用いられる、振動ジャイロに関する。
とえば自動車などに搭載されるナビゲーションシステム
に用いられる、振動ジャイロに関する。
(従来技術)
第5図は従来の振動ジャイロの一例を示す図解図である
。この振動ジャイロ1は、振動子2を含む。この振動子
2は、正3角柱状の振動体3を含み、振動体3の1つの
側面に駆動用圧電素子4が形成され、振動体3の他の2
つの側面に帰還用圧電素子5aおよび5bがそれぞれ形
成されている。
。この振動ジャイロ1は、振動子2を含む。この振動子
2は、正3角柱状の振動体3を含み、振動体3の1つの
側面に駆動用圧電素子4が形成され、振動体3の他の2
つの側面に帰還用圧電素子5aおよび5bがそれぞれ形
成されている。
そのため、この振動子2では、帰還用圧電素子5aおよ
び5bと駆動用圧電素子4との間に発振回路6が接続さ
れ、帰還用圧電素子5aおよび5bの出力が発振回路6
を介して駆動用圧電素子4に帰還される。したがって、
この振動子2は自動振駆動する。
び5bと駆動用圧電素子4との間に発振回路6が接続さ
れ、帰還用圧電素子5aおよび5bの出力が発振回路6
を介して駆動用圧電素子4に帰還される。したがって、
この振動子2は自動振駆動する。
そして、この振動ジャイロ1では、帰還用圧電素子5a
および5bからの出力電圧の差を差動回路7で検出する
ことによって、その回転角速度が測定される。
および5bからの出力電圧の差を差動回路7で検出する
ことによって、その回転角速度が測定される。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、上述の振動ジャイロlでは、帰還用圧電素子
5aおよび5bからの出力電圧の差を検出するため、帰
還用のみならず駆動用圧電素子に特性上のばらつきや経
時変化、温度変化があった場合、回転角速度を正確に測
定することが困難であった。
5aおよび5bからの出力電圧の差を検出するため、帰
還用のみならず駆動用圧電素子に特性上のばらつきや経
時変化、温度変化があった場合、回転角速度を正確に測
定することが困難であった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、圧電素子の特性
に影響されることなく回転角速度を正確に測定すること
ができる、振動ジャイロを提供することである。
に影響されることなく回転角速度を正確に測定すること
ができる、振動ジャイロを提供することである。
(課題を解決するための手段χ
この発明は、駆動用の圧電素子の入力側に回転角速度を
検出するための検出用端子を接続した、振動ジャイロで
ある。
検出するための検出用端子を接続した、振動ジャイロで
ある。
(作用)
検出用端子からは、圧電素子を介さずに、回転角速度に
応じた出力が得られる。
応じた出力が得られる。
(発明の効果)
この発明によれば、圧電素子を介さずに回転角速度に応
じた出力が得られるので、圧電素子に特性上のばらつき
や経時変化、温度変化があっても、圧電素子の特性に影
響されることなく回転角速度を正確に測定することがで
きる。
じた出力が得られるので、圧電素子に特性上のばらつき
や経時変化、温度変化があっても、圧電素子の特性に影
響されることなく回転角速度を正確に測定することがで
きる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例)
第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。この
振動ジャイロIOは、特別な構造の振動子12を含むの
で、この実施例では、まず、その振動子12について詳
細に説明する。
振動ジャイロIOは、特別な構造の振動子12を含むの
で、この実施例では、まず、その振動子12について詳
細に説明する。
振動子12は、たとえば正3角柱状の振動体14を含む
。この振動体14は、たとえばエリンバ、鉄−ニッケル
合金1石英、ガラス、水晶、セラミックなど、−船釣に
機械的な振動を生じる材料で形成される。
。この振動体14は、たとえばエリンバ、鉄−ニッケル
合金1石英、ガラス、水晶、セラミックなど、−船釣に
機械的な振動を生じる材料で形成される。
この振動体14には、その3つの側面の中央部にそれぞ
れ圧電素子16a、16bおよび16cが形成される。
れ圧電素子16a、16bおよび16cが形成される。
圧電素子16aは、たとえばセラミックからなる圧電層
18aを含み、圧電層18aの両主面にはそれぞれ電極
20aおよび22aが形成される。なお、これらの電極
20aおよび22aは、たとえば金、銀、アルミニウム
、ニッケル、銅−ニッケル合金(モネルメタル)などの
電極材料で、たとえばスパッタリング、蒸着等の薄膜技
術であるいはその材料によっては印刷技術で形成される
。同様に、他の圧電素子16bおよび16cも、それぞ
れ、たとえばセラミックからなる圧電層18bおよび1
8cを含み、それらの圧電層18bと18cとの両主面
にも、電極20bおよび22cと20bおよび22cと
が、それぞれ形成されている。そして、これらの圧電素
子16a〜16cの一方の電極20a〜20cは、たと
えば接着剤で振動体I4に接着される。
18aを含み、圧電層18aの両主面にはそれぞれ電極
20aおよび22aが形成される。なお、これらの電極
20aおよび22aは、たとえば金、銀、アルミニウム
、ニッケル、銅−ニッケル合金(モネルメタル)などの
電極材料で、たとえばスパッタリング、蒸着等の薄膜技
術であるいはその材料によっては印刷技術で形成される
。同様に、他の圧電素子16bおよび16cも、それぞ
れ、たとえばセラミックからなる圧電層18bおよび1
8cを含み、それらの圧電層18bと18cとの両主面
にも、電極20bおよび22cと20bおよび22cと
が、それぞれ形成されている。そして、これらの圧電素
子16a〜16cの一方の電極20a〜20cは、たと
えば接着剤で振動体I4に接着される。
なお、振動体14をたとえばエリンバ、鉄−ニッケル合
金などの金属からなる振動材料で形成すれば、圧電素子
162〜16Cの一方の電極203〜20cは形成され
なくてもよい。なぜなら、振動体14がそれらの電極2
0a〜20Cを兼ねるからである。この場合、圧電層1
8a〜18cは、たとえばPZT(ジルコン・チタン酸
鉛)。
金などの金属からなる振動材料で形成すれば、圧電素子
162〜16Cの一方の電極203〜20cは形成され
なくてもよい。なぜなら、振動体14がそれらの電極2
0a〜20Cを兼ねるからである。この場合、圧電層1
8a〜18cは、たとえばPZT(ジルコン・チタン酸
鉛)。
ZnO(酸化鉛)などの圧電材料でたとえばスパッタリ
ング、蒸着などの薄膜技術によって形成されてもよい。
ング、蒸着などの薄膜技術によって形成されてもよい。
この振動子12では、圧電素子16a〜16cのうち任
意の2つが駆動用に用いられ、他の1つが帰還用に用い
られる。この実施例では、たとえば、圧電素子16aお
よび16bが駆動用に用いられ、他の圧電素子16cが
帰還用に用いられる。
意の2つが駆動用に用いられ、他の1つが帰還用に用い
られる。この実施例では、たとえば、圧電素子16aお
よび16bが駆動用に用いられ、他の圧電素子16cが
帰還用に用いられる。
そのため、この振動子12には、帰還用の圧電素子16
cと駆動用の圧電素子16aおよび16bとの間に、振
動子12を自動振駆動するための帰還ループとして発振
回路24などが接続される。
cと駆動用の圧電素子16aおよび16bとの間に、振
動子12を自動振駆動するための帰還ループとして発振
回路24などが接続される。
すなわち、帰還用の圧電素子16Cの電極22Cは、発
振回路240入力端に接続される。そして、この発振回
路24の出力端は、固定抵抗器26aを介して駆動用の
圧電素子16aの電士画22aと固定抵抗器26bを介
して駆動用の圧電素子16bの電極22bとに接続され
る。そのため、帰還用の圧電素子16cの出力は発振回
路24などを介して2つの駆動用の圧電素子16aおよ
び16bに帰還され、この振動子12は自動振駆動する
。この場合、振動子12の振動体14は、2つの駆動用
の圧電素子16aおよび16bによる2つの駆動方向を
合成した方1iiJ 4こ振動する。したがって、この
実施例では、1つの駆動用圧電素子で駆動する従来例に
比べて、振動体14の振幅が大きくなる。しかも、たと
えば経時変化、温度変化、取付は角度の変化、自重(重
心位置)の変化などによる機械的な状態変化に対して、
振動体14の振動姿勢が安定である。
振回路240入力端に接続される。そして、この発振回
路24の出力端は、固定抵抗器26aを介して駆動用の
圧電素子16aの電士画22aと固定抵抗器26bを介
して駆動用の圧電素子16bの電極22bとに接続され
る。そのため、帰還用の圧電素子16cの出力は発振回
路24などを介して2つの駆動用の圧電素子16aおよ
び16bに帰還され、この振動子12は自動振駆動する
。この場合、振動子12の振動体14は、2つの駆動用
の圧電素子16aおよび16bによる2つの駆動方向を
合成した方1iiJ 4こ振動する。したがって、この
実施例では、1つの駆動用圧電素子で駆動する従来例に
比べて、振動体14の振幅が大きくなる。しかも、たと
えば経時変化、温度変化、取付は角度の変化、自重(重
心位置)の変化などによる機械的な状態変化に対して、
振動体14の振動姿勢が安定である。
一方、駆動用の圧電素子16aおよび16bの入力側の
電極22aおよび22bには、検出用端子28aおよび
28bが、それぞれ接続される。
電極22aおよび22bには、検出用端子28aおよび
28bが、それぞれ接続される。
これらの検出用端子28aおよび28bは、振動ジャイ
ロ10の回転角速度に応じて変化する駆動用の圧電素子
16aおよび16bのインピーダンス変化を検出するた
めのものである。
ロ10の回転角速度に応じて変化する駆動用の圧電素子
16aおよび16bのインピーダンス変化を検出するた
めのものである。
これらの検出用端子28aおよび28bは、差動回路3
0の2つの入力端に、それぞれ接続される。この差動回
路30では、駆動用の圧電素子16aおよび16bのイ
ンピーダンス変化が、それらの電極22aおよび22b
間の電位差として検出される。したがって、差動回路3
0からの出力によって、振動ジャイロIOの回転角速度
を知ることができる。
0の2つの入力端に、それぞれ接続される。この差動回
路30では、駆動用の圧電素子16aおよび16bのイ
ンピーダンス変化が、それらの電極22aおよび22b
間の電位差として検出される。したがって、差動回路3
0からの出力によって、振動ジャイロIOの回転角速度
を知ることができる。
この振動ジャイロ10では、検出専用圧電素子は用いず
駆動用の圧電素子16aおよび16bの電ff122a
および22b間の電位差、すなわち駆動用の圧電素子の
入力側の電位差を検出することによって回転角速度を測
定するため、それらの圧電素子16a〜16cに特性上
のばらつきや経時変化、温度変化があっても、圧電素子
の特性やそれらの共振周波数のずれに影響されることな
く駆動電圧の共通化、安定化に伴い回転角速度を正確に
測定することができる。
駆動用の圧電素子16aおよび16bの電ff122a
および22b間の電位差、すなわち駆動用の圧電素子の
入力側の電位差を検出することによって回転角速度を測
定するため、それらの圧電素子16a〜16cに特性上
のばらつきや経時変化、温度変化があっても、圧電素子
の特性やそれらの共振周波数のずれに影響されることな
く駆動電圧の共通化、安定化に伴い回転角速度を正確に
測定することができる。
さらに、この振動ジャイOIOでは、第5図に示す従来
例に比べて、振幅の大きい特別な構造の振動子12が用
いられているため回転角速度の感度がよくなる。しかも
、たとえば経時変化などによる機械的な状態変化に対し
て、振動体14の振動姿勢が安定であるので、回転角速
度を安定的に測定することができる。
例に比べて、振幅の大きい特別な構造の振動子12が用
いられているため回転角速度の感度がよくなる。しかも
、たとえば経時変化などによる機械的な状態変化に対し
て、振動体14の振動姿勢が安定であるので、回転角速
度を安定的に測定することができる。
第2図はこの発明の他の実施例を示す図解図である。こ
の実施例では、特に、振動体14が正4角柱状に形成さ
れ、振動体14の4つの側面に、それぞれ圧電素子16
a、16b、16cおよび16dが形成される。そして
、たとえば、隣接する2つの圧電素子16aおよび16
bが駆動用に用いられ、他の2つの圧電素子16Cおよ
び16dが帰還用に用いられる。そのため、この実施例
でも、検出用端子28aおよび28bは、駆動用の圧電
素子16aおよび16bの入力側の電極22aおよび2
2bに接続される。
の実施例では、特に、振動体14が正4角柱状に形成さ
れ、振動体14の4つの側面に、それぞれ圧電素子16
a、16b、16cおよび16dが形成される。そして
、たとえば、隣接する2つの圧電素子16aおよび16
bが駆動用に用いられ、他の2つの圧電素子16Cおよ
び16dが帰還用に用いられる。そのため、この実施例
でも、検出用端子28aおよび28bは、駆動用の圧電
素子16aおよび16bの入力側の電極22aおよび2
2bに接続される。
なお、この実施例では、2つの帰還用の圧電素子16c
および16dの電極22cおよび22dは可変抵抗器3
2の2つの固定端子32aおよび32bにそれぞれ接続
され、可変抵抗器32の可動端子32cは発振回路24
の入力端に接続される。したがって、この実施例では、
2つの帰還用の圧電素子16Cおよび16dからの出力
が合成された形で2つの駆動用の圧電素子16aおよび
!、 6 bに帰還される。
および16dの電極22cおよび22dは可変抵抗器3
2の2つの固定端子32aおよび32bにそれぞれ接続
され、可変抵抗器32の可動端子32cは発振回路24
の入力端に接続される。したがって、この実施例では、
2つの帰還用の圧電素子16Cおよび16dからの出力
が合成された形で2つの駆動用の圧電素子16aおよび
!、 6 bに帰還される。
第3図はこの発明のさらに他の実施例を示す図解図であ
る。この実施例では、振動体14が正3角柱状に形成さ
れ、振動体14の2つの側面に、圧電素子16aおよび
16bがそれぞれ形成される。そして、一方の圧電素子
16aが駆動用に用いられ、他方の圧電素子16bが帰
還用に用いられる。そのため、駆動用の圧電素子16a
の入力側の電極22aに、回転角速度を検出するための
検出用端子28が接続される。
る。この実施例では、振動体14が正3角柱状に形成さ
れ、振動体14の2つの側面に、圧電素子16aおよび
16bがそれぞれ形成される。そして、一方の圧電素子
16aが駆動用に用いられ、他方の圧電素子16bが帰
還用に用いられる。そのため、駆動用の圧電素子16a
の入力側の電極22aに、回転角速度を検出するための
検出用端子28が接続される。
なお、この実施例では、帰還用の圧電素子16bの電極
22bは発振回路24の入力端に接続され、発振回路2
4の出力端は固定抵抗器26を介して駆動用の圧電素子
16aの電極22aに接続される。
22bは発振回路24の入力端に接続され、発振回路2
4の出力端は固定抵抗器26を介して駆動用の圧電素子
16aの電極22aに接続される。
第4図はこの発明の別の実施例を示す図解図である。こ
の実施例では、振動体14が正4角柱状に形成され、振
動体14の対向する2つの側面に、圧電素子16aおよ
び16bがそれぞれ形成される。そして、一方の圧電素
子16aが駆動用に用いられ、他方の圧電素子16bが
帰還用に用いられる。そのため、この実施例でも、第3
図に示す実施例と同様に、駆動用の圧電素子16aの入
力側の電極22aに、回転角速度を検出するための検出
用端子28が接続され、帰還用の圧電素子16bと駆動
用の圧電素子16aとの間に、直列接続された発振回路
24および固定抵抗器26が接統される。
の実施例では、振動体14が正4角柱状に形成され、振
動体14の対向する2つの側面に、圧電素子16aおよ
び16bがそれぞれ形成される。そして、一方の圧電素
子16aが駆動用に用いられ、他方の圧電素子16bが
帰還用に用いられる。そのため、この実施例でも、第3
図に示す実施例と同様に、駆動用の圧電素子16aの入
力側の電極22aに、回転角速度を検出するための検出
用端子28が接続され、帰還用の圧電素子16bと駆動
用の圧電素子16aとの間に、直列接続された発振回路
24および固定抵抗器26が接統される。
なお、上述の各実施例では、振動子12の振動体14が
正3角柱状あるいは正4角柱状に形成されているが、こ
の発明では、振動体14は、正3角柱状、正4角柱状以
外の多角柱状に形成されてもよい。この場合も、検出用
端子は、振動体の側面に形成される駆動用の圧電素子の
入力側に接続されればよい。
正3角柱状あるいは正4角柱状に形成されているが、こ
の発明では、振動体14は、正3角柱状、正4角柱状以
外の多角柱状に形成されてもよい。この場合も、検出用
端子は、振動体の側面に形成される駆動用の圧電素子の
入力側に接続されればよい。
第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。
第2図はこの発明の他の実施例を示す図解図である。
第3図はこの発明のさらに他の実施例を示す図解図であ
る。 第4図はこの発明の別の実施例を示す図解図である。 第5図は従来の振動ジャイロの一例を示す図解図である
。 図において、10は振動ジャイロ、12は振動子、14
は振動体、16a、16bおよび16cは圧電素子、2
8aおよび28bは検出用端子を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 図 第 図 第 図 第 図
る。 第4図はこの発明の別の実施例を示す図解図である。 第5図は従来の振動ジャイロの一例を示す図解図である
。 図において、10は振動ジャイロ、12は振動子、14
は振動体、16a、16bおよび16cは圧電素子、2
8aおよび28bは検出用端子を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 図 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 駆動用の圧電素子の入力側に回転角速度を検出するため
の検出用端子を接続したことを特徴とする、振動ジャイ
ロ。
Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8939789A JPH063455B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 振動ジャイロ |
GB8918103A GB2223309B (en) | 1988-08-12 | 1989-08-08 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
DE3943787A DE3943787C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Differentialverstärker |
DE3943805A DE3943805C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
DE19893926504 DE3926504C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
DE3943788A DE3943788C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Lageraufbau für einen Schwinger eines Schwingkreisels |
GB9301204A GB2262343A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
GB9301203A GB2262342A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
US08/044,630 US5349857A (en) | 1988-08-12 | 1993-04-12 | Vibratory gyroscope |
US08/263,894 US5505085A (en) | 1988-08-12 | 1994-06-22 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8939789A JPH063455B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 振動ジャイロ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4328476A Division JPH0765898B2 (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02266214A true JPH02266214A (ja) | 1990-10-31 |
JPH063455B2 JPH063455B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=13969516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8939789A Expired - Fee Related JPH063455B2 (ja) | 1988-08-12 | 1989-04-06 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH063455B2 (ja) |
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---|---|
JPH063455B2 (ja) | 1994-01-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090112 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090112 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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