JPH09166442A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH09166442A JPH09166442A JP7327295A JP32729595A JPH09166442A JP H09166442 A JPH09166442 A JP H09166442A JP 7327295 A JP7327295 A JP 7327295A JP 32729595 A JP32729595 A JP 32729595A JP H09166442 A JPH09166442 A JP H09166442A
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- piezoelectric
- piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動ジャイロの製造工程数を低減して振動ジ
ャイロの製造コストを低減することができる振動ジャイ
ロを提供する。 【解決手段】 半導体基板を異方性エッチング加工して
振動体２、フレーム部３および振動体２とフレーム部３
とを連結する支持部４を一体形成したセンサチップ１を
具備する振動ジャイロにおいて、駆動用圧電素子５およ
び検出用圧電素子６の双方を振動体２の上側或は下側の
何れか一方の側に形成した振動ジャイロ。
ャイロの製造コストを低減することができる振動ジャイ
ロを提供する。 【解決手段】 半導体基板を異方性エッチング加工して
振動体２、フレーム部３および振動体２とフレーム部３
とを連結する支持部４を一体形成したセンサチップ１を
具備する振動ジャイロにおいて、駆動用圧電素子５およ
び検出用圧電素子６の双方を振動体２の上側或は下側の
何れか一方の側に形成した振動ジャイロ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、振動ジャイロに
関し、特に、半導体基板を異方性エッチングにより加工
して振動体、フレーム部、および振動体とフレーム部と
を連結する支持部より成るセンサチップを具備する振動
ジャイロに関する。
関し、特に、半導体基板を異方性エッチングにより加工
して振動体、フレーム部、および振動体とフレーム部と
を連結する支持部より成るセンサチップを具備する振動
ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例を図４および図５を参照して説明
する。図４において、１は半導体基板により構成された
振動ジャイロのセンサチップを示す。このセンサチップ
１は、振動体２、フレーム部３、および振動体２とフレ
ーム部３とを連結する支持部４より成る。振動体２は、
図４においては、その中間部の２箇所において支持部４
により支持されている。支持部４が形成される位置は振
動体２の節点近傍とされる。このセンサチップ１は、半
導体基板を異方性エッチング加工することにより振動体
２、フレーム部３、および支持部４を一体に構成され
る。半導体基板としては、例えば、面方位（１００）の
シリコンウエハが使用され、そのエッチング面としては
（１１１）面が使用される。
する。図４において、１は半導体基板により構成された
振動ジャイロのセンサチップを示す。このセンサチップ
１は、振動体２、フレーム部３、および振動体２とフレ
ーム部３とを連結する支持部４より成る。振動体２は、
図４においては、その中間部の２箇所において支持部４
により支持されている。支持部４が形成される位置は振
動体２の節点近傍とされる。このセンサチップ１は、半
導体基板を異方性エッチング加工することにより振動体
２、フレーム部３、および支持部４を一体に構成され
る。半導体基板としては、例えば、面方位（１００）の
シリコンウエハが使用され、そのエッチング面としては
（１１１）面が使用される。
【０００３】図５は図４のＡ−Ａ線の断面を示す図であ
る。図５における振動体２の断面形状は６角形とされて
いる。振動体２の上面の中央部には駆動用圧電素子５が
形成される。この駆動用圧電素子５は、例えば、ジルコ
ンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の
圧電材料をスパッタリング或は蒸着することにより形成
される。振動体２の下側の斜面の中央部には検出用圧電
素子６ａおよび６ｂが形成される。この検出用圧電素子
６ａおよび６ｂも、駆動用圧電素子５と同様にジルコン
チタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧
電材料をスパッタリング或は蒸着することにより形成さ
れる。
る。図５における振動体２の断面形状は６角形とされて
いる。振動体２の上面の中央部には駆動用圧電素子５が
形成される。この駆動用圧電素子５は、例えば、ジルコ
ンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の
圧電材料をスパッタリング或は蒸着することにより形成
される。振動体２の下側の斜面の中央部には検出用圧電
素子６ａおよび６ｂが形成される。この検出用圧電素子
６ａおよび６ｂも、駆動用圧電素子５と同様にジルコン
チタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧
電材料をスパッタリング或は蒸着することにより形成さ
れる。
【０００４】ここで、図６を参照して駆動用圧電素子お
よび検出用圧電素子の形成の仕方について説明する。図
６（ａ）を参照するに、振動体２の下面全面および下側
面全面に圧電膜６０を被着形成する。図６（ｂ）を参照
するに、振動体２の上面全面および上側面全面に圧電膜
６１を被着形成する。ここで、振動体２の全表面に圧電
膜が被着形成されたことになる。
よび検出用圧電素子の形成の仕方について説明する。図
６（ａ）を参照するに、振動体２の下面全面および下側
面全面に圧電膜６０を被着形成する。図６（ｂ）を参照
するに、振動体２の上面全面および上側面全面に圧電膜
６１を被着形成する。ここで、振動体２の全表面に圧電
膜が被着形成されたことになる。
【０００５】図６（ｃ）を参照するに、振動体２の下側
面に形成された圧電膜６０表面に検出用圧電素子電極８
ａおよび検出用圧電素子電極８ｂを被着形成する。図６
（ｄ）を参照するに、振動体２の上面に形成された圧電
膜６１表面に駆動用圧電素子電極７を被着形成する。な
お、圧電素子として動作するところは圧電膜の内の電極
が被着形成された領域であり、従って電極が被着形成さ
れた領域が駆動用圧電素子であり、或は検出用圧電素子
であることになる。
面に形成された圧電膜６０表面に検出用圧電素子電極８
ａおよび検出用圧電素子電極８ｂを被着形成する。図６
（ｄ）を参照するに、振動体２の上面に形成された圧電
膜６１表面に駆動用圧電素子電極７を被着形成する。な
お、圧電素子として動作するところは圧電膜の内の電極
が被着形成された領域であり、従って電極が被着形成さ
れた領域が駆動用圧電素子であり、或は検出用圧電素子
であることになる。
【０００６】図７は振動ジャイロの回路構成を示す。駆
動用圧電素子電極７および共通電極９は発振回路１０に
接続せしめられる。この発振回路１０の発振振動数或は
周波数は振動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動
数の駆動信号を発生する。駆動用圧電素子５にはこの発
振回路１０により振動体２の駆動方向の固有振動数と同
一の振動数の駆動信号が印加され、これに起因して振動
体２は支持部４を節としてＺ軸方向に屈曲振動せしめら
れる。検出用圧電素子６ａおよび検出用圧電素子６ｂ
は、振動体２のＺ軸方向の歪みの大きさおよび振動数に
対応する電圧出力を発生する。
動用圧電素子電極７および共通電極９は発振回路１０に
接続せしめられる。この発振回路１０の発振振動数或は
周波数は振動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動
数の駆動信号を発生する。駆動用圧電素子５にはこの発
振回路１０により振動体２の駆動方向の固有振動数と同
一の振動数の駆動信号が印加され、これに起因して振動
体２は支持部４を節としてＺ軸方向に屈曲振動せしめら
れる。検出用圧電素子６ａおよび検出用圧電素子６ｂ
は、振動体２のＺ軸方向の歪みの大きさおよび振動数に
対応する電圧出力を発生する。
【０００７】ここで、振動体２がＺ軸方向に振動してい
る時に入力軸であるＸ軸回りの角速度が入力されると、
Ｙ軸方向にコリオリ力が生じて振動体２にはＹ軸方向の
力が作用する。このコリオリ力により振動体２の振動方
向がずれるところから、検出用圧電素子６の出力電圧は
変化する。この場合、検出用圧電素子６ａおよび６ｂの
内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧
電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子
６の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量
を検出回路１１により測定して入力軸であるＸ軸回りの
入力角速度を検出することができる。
る時に入力軸であるＸ軸回りの角速度が入力されると、
Ｙ軸方向にコリオリ力が生じて振動体２にはＹ軸方向の
力が作用する。このコリオリ力により振動体２の振動方
向がずれるところから、検出用圧電素子６の出力電圧は
変化する。この場合、検出用圧電素子６ａおよび６ｂの
内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧
電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子
６の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量
を検出回路１１により測定して入力軸であるＸ軸回りの
入力角速度を検出することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上の振動ジャイロ
は、図６を参照して説明された通り、駆動用圧電素子５
と検出用圧電素子６とをセンサチップ１の振動体２に形
成するに際して、圧電膜および電極の形成工程をそれぞ
れ上面側および下面側から２工程づつ必要とされるもの
である。即ち、圧電膜の形成について、振動体２の下面
全面および下側面全面に圧電膜６０を被着形成し、次い
で、振動体２の上面全面および上側面全面に圧電膜６１
を被着形成する小計２工程を必要とする。そして、電極
の形成について、振動体２の下側面に形成された圧電膜
６０表面に検出用圧電素子電極８ａおよび検出用圧電素
子電極８ｂを被着形成し、次いで、振動体２の上面に形
成された圧電膜６１表面に駆動用圧電素子電極７を被着
形成する小計２工程を必要とする。駆動用圧電素子５お
よび検出用圧電素子６を形成するのに、合計４工程を必
要とする。
は、図６を参照して説明された通り、駆動用圧電素子５
と検出用圧電素子６とをセンサチップ１の振動体２に形
成するに際して、圧電膜および電極の形成工程をそれぞ
れ上面側および下面側から２工程づつ必要とされるもの
である。即ち、圧電膜の形成について、振動体２の下面
全面および下側面全面に圧電膜６０を被着形成し、次い
で、振動体２の上面全面および上側面全面に圧電膜６１
を被着形成する小計２工程を必要とする。そして、電極
の形成について、振動体２の下側面に形成された圧電膜
６０表面に検出用圧電素子電極８ａおよび検出用圧電素
子電極８ｂを被着形成し、次いで、振動体２の上面に形
成された圧電膜６１表面に駆動用圧電素子電極７を被着
形成する小計２工程を必要とする。駆動用圧電素子５お
よび検出用圧電素子６を形成するのに、合計４工程を必
要とする。
【０００９】この発明は、駆動用圧電素子５と検出用圧
電素子６とをセンサチップ１の振動体２に一方の側から
形成して製造工程数を減少した振動ジャイロを提供する
ものである。
電素子６とをセンサチップ１の振動体２に一方の側から
形成して製造工程数を減少した振動ジャイロを提供する
ものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】半導体基板を異方性エッ
チング加工して振動体２、フレーム部３および振動体２
とフレーム部３とを連結する支持部４を一体形成したセ
ンサチップ１を具備する振動ジャイロにおいて、駆動用
圧電素子５および検出用圧電素子６の双方を振動体２の
上側或は下側の何れか一方の側に形成した振動ジャイロ
を構成した。
チング加工して振動体２、フレーム部３および振動体２
とフレーム部３とを連結する支持部４を一体形成したセ
ンサチップ１を具備する振動ジャイロにおいて、駆動用
圧電素子５および検出用圧電素子６の双方を振動体２の
上側或は下側の何れか一方の側に形成した振動ジャイロ
を構成した。
【００１１】そして、振動体２の断面形状は振動体の上
下方向の対称面を有する断面形状である振動ジャイロを
構成した。また、振動体２の断面形状は６角形、或は５
角形である振動ジャイロを構成した。
下方向の対称面を有する断面形状である振動ジャイロを
構成した。また、振動体２の断面形状は６角形、或は５
角形である振動ジャイロを構成した。
【００１２】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１ない
し図３を参照して説明する。図１において、１は半導体
基板により構成された振動ジャイロのセンサチップを示
す。このセンサチップ１は、振動体２、フレーム部３、
および振動体２とフレーム部３とを連結する支持部４よ
り成る。振動体２は、図１においては、その中間部の２
箇所において支持部４により支持されている。支持部４
が形成される位置は振動体２の節点近傍とされる。この
センサチップ１は、半導体基板を異方性エッチング加工
することにより振動体２、フレーム部３、および支持部
４を一体に構成されている。半導体基板としては、例え
ば、面方位（１００）のシリコンウエハが使用され、そ
のエッチング面としては（１１１）面が使用される。
し図３を参照して説明する。図１において、１は半導体
基板により構成された振動ジャイロのセンサチップを示
す。このセンサチップ１は、振動体２、フレーム部３、
および振動体２とフレーム部３とを連結する支持部４よ
り成る。振動体２は、図１においては、その中間部の２
箇所において支持部４により支持されている。支持部４
が形成される位置は振動体２の節点近傍とされる。この
センサチップ１は、半導体基板を異方性エッチング加工
することにより振動体２、フレーム部３、および支持部
４を一体に構成されている。半導体基板としては、例え
ば、面方位（１００）のシリコンウエハが使用され、そ
のエッチング面としては（１１１）面が使用される。
【００１３】図２は図１のＡ−Ａ線の断面を示す図であ
る。図２における振動体２の断面形状は６角形とされて
いるが、これは５角形その他の形状とすることもでき
る。そして、振動体２は、これを上側或いは下側の何れ
か一方の側から視て、少なくとも、視線と直交する面お
よびこの面に接続すると共にＸＺ軸を共有する面を対称
面とする２面を有するものであることを必要とする。振
動体２の断面形状は振動体の上下方向であるＺ軸方向の
対称面を有する６角形、５角形の場合、圧電膜および電
極薄膜を被着形成するに際して好適な形状であるし、振
動ジャイロの検出感度を向上する点から観ても好適な形
状である。振動体２の上面の中央部には駆動用圧電素子
５が形成され、振動体２の上側斜面の中央部には検出用
圧電素子６ａおよび６ｂが形成される。
る。図２における振動体２の断面形状は６角形とされて
いるが、これは５角形その他の形状とすることもでき
る。そして、振動体２は、これを上側或いは下側の何れ
か一方の側から視て、少なくとも、視線と直交する面お
よびこの面に接続すると共にＸＺ軸を共有する面を対称
面とする２面を有するものであることを必要とする。振
動体２の断面形状は振動体の上下方向であるＺ軸方向の
対称面を有する６角形、５角形の場合、圧電膜および電
極薄膜を被着形成するに際して好適な形状であるし、振
動ジャイロの検出感度を向上する点から観ても好適な形
状である。振動体２の上面の中央部には駆動用圧電素子
５が形成され、振動体２の上側斜面の中央部には検出用
圧電素子６ａおよび６ｂが形成される。
【００１４】ここで、図３を参照してこの発明による駆
動用圧電素子および検出用圧電素子の形成の仕方につい
て説明する。図３（ａ）を参照するに、振動体２の上側
から振動体２に対してジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、
酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧電材料を直接にスパッタ
リング或は蒸着することにより、振動体２の上面全面に
圧電膜６１を被着形成する。
動用圧電素子および検出用圧電素子の形成の仕方につい
て説明する。図３（ａ）を参照するに、振動体２の上側
から振動体２に対してジルコンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、
酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧電材料を直接にスパッタ
リング或は蒸着することにより、振動体２の上面全面に
圧電膜６１を被着形成する。
【００１５】図３（ｂ）を参照するに、振動体２の上側
から振動体２に対して金属電極材料を振動体２の上面の
中央部の圧電膜６１表面にスパッタリング或は蒸着して
駆動用圧電素子電極７を被着形成することにより、駆動
用圧電素子５を構成する。検出用圧電素子６ａおよび検
出用圧電素子６ｂも、駆動用圧電素子５と同様に、振動
体２の上側から振動体２に対して金属電極材料を振動体
２の上側斜面の中央部の圧電膜６１表面にスパッタリン
グ或は蒸着して検出用圧電素子電極８を被着形成するこ
とにより構成する。
から振動体２に対して金属電極材料を振動体２の上面の
中央部の圧電膜６１表面にスパッタリング或は蒸着して
駆動用圧電素子電極７を被着形成することにより、駆動
用圧電素子５を構成する。検出用圧電素子６ａおよび検
出用圧電素子６ｂも、駆動用圧電素子５と同様に、振動
体２の上側から振動体２に対して金属電極材料を振動体
２の上側斜面の中央部の圧電膜６１表面にスパッタリン
グ或は蒸着して検出用圧電素子電極８を被着形成するこ
とにより構成する。
【００１６】以上の通りの製造工程数は、振動体２の上
側から実施される圧電膜の形成の１工程、および同様に
振動体２の上側から実施される圧電素子電極の形成の１
工程の合計２工程である。ところで、この振動ジャイロ
の回路構成は、検出用圧電素子６が振動体２の下側斜面
ではなくして上側斜面に形成されているところを除い
て、先に説明された図７に示される回路構成と異なると
ころはない。駆動用圧電素子５、検出用圧電素子６ａお
よび検出用圧電素子６ｂは、それぞれ、半導体基板より
成る振動体２に被着形成せしめられて電気的機械的に結
合しており、これら結合面を各圧電素子の下側電極とし
ている。センサチップ１は一体形成されているので、フ
レーム部３に１個の電極を形成してこれを下側電極を電
気回路に接続する共通電極９としている。駆動用圧電素
子電極７および共通電極９は発振回路１０に接続せしめ
られる。この発振回路１０の発振振動数或は周波数は振
動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信
号を発生する。駆動用圧電素子５にはこの発振回路１０
により振動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動数
の駆動信号が印加され、これに起因して振動体２は支持
部４を節としてＺ軸方向に屈曲振動せしめらる。検出用
圧電素子６ａおよび検出用圧電素子６ｂは、振動体２の
Ｚ軸方向の歪みの大きさおよび振動数に対応する電圧出
力を発生する。
側から実施される圧電膜の形成の１工程、および同様に
振動体２の上側から実施される圧電素子電極の形成の１
工程の合計２工程である。ところで、この振動ジャイロ
の回路構成は、検出用圧電素子６が振動体２の下側斜面
ではなくして上側斜面に形成されているところを除い
て、先に説明された図７に示される回路構成と異なると
ころはない。駆動用圧電素子５、検出用圧電素子６ａお
よび検出用圧電素子６ｂは、それぞれ、半導体基板より
成る振動体２に被着形成せしめられて電気的機械的に結
合しており、これら結合面を各圧電素子の下側電極とし
ている。センサチップ１は一体形成されているので、フ
レーム部３に１個の電極を形成してこれを下側電極を電
気回路に接続する共通電極９としている。駆動用圧電素
子電極７および共通電極９は発振回路１０に接続せしめ
られる。この発振回路１０の発振振動数或は周波数は振
動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信
号を発生する。駆動用圧電素子５にはこの発振回路１０
により振動体２の駆動方向の固有振動数と同一の振動数
の駆動信号が印加され、これに起因して振動体２は支持
部４を節としてＺ軸方向に屈曲振動せしめらる。検出用
圧電素子６ａおよび検出用圧電素子６ｂは、振動体２の
Ｚ軸方向の歪みの大きさおよび振動数に対応する電圧出
力を発生する。
【００１７】ここで、振動体２がＺ軸方向に振動してい
る時に入力軸であるＸ軸回りの角速度が入力されると、
Ｙ軸方向にコリオリ力が生じて振動体２にはＹ軸方向の
力が作用する。このコリオリ力により振動体２の振動方
向がずれるところから、検出用圧電素子６の出力電圧は
変化する。この場合、検出用圧電素子６ａおよび６ｂの
内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧
電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子
６の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量
を検出回路１１により測定して入力軸であるＸ軸回りの
入力角速度を検出することができる。
る時に入力軸であるＸ軸回りの角速度が入力されると、
Ｙ軸方向にコリオリ力が生じて振動体２にはＹ軸方向の
力が作用する。このコリオリ力により振動体２の振動方
向がずれるところから、検出用圧電素子６の出力電圧は
変化する。この場合、検出用圧電素子６ａおよび６ｂの
内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧
電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子
６の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量
を検出回路１１により測定して入力軸であるＸ軸回りの
入力角速度を検出することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明による振
動ジャイロの製造工程数は、振動体の一方の側である上
側から実施される圧電膜の形成の１工程、および同様に
振動体の上側から実施される圧電素子電極の形成の１工
程の合計２工程であり、従来例における４工程と比較し
て半減している。これにより振動ジャイロの製造コスト
を低減することができる。
動ジャイロの製造工程数は、振動体の一方の側である上
側から実施される圧電膜の形成の１工程、および同様に
振動体の上側から実施される圧電素子電極の形成の１工
程の合計２工程であり、従来例における４工程と比較し
て半減している。これにより振動ジャイロの製造コスト
を低減することができる。
【図１】実施例の斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図。
【図３】実施例の製造工程を説明する図。
【図４】従来例の斜視図。
【図５】図４のＡ−Ａ線における断面図。
【図６】製造工程の従来例を説明する図。
【図７】振動ジャイロの回路構成を説明する図。
１ センサチップ ２ 振動体 ３ フレーム部 ４ 支持部 ５ 駆動用圧電素子 ６ａ 検出用圧電素子 ６ｂ 検出用圧電素子
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体基板を異方性エッチング加工して
振動体、フレーム部および振動体とフレーム部とを連結
する支持部を一体形成したセンサチップを具備する振動
ジャイロにおいて、 駆動用圧電素子および検出用圧電素子の双方を振動体の
上側或は下側の何れか一方の側に形成したことを特徴と
する振動ジャイロ。 - 【請求項２】 請求項１に記載される振動ジャイロにお
いて、 振動体の断面形状は振動体の上下方向の対称面を有する
断面形状であることを特徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項３】 請求項２に記載される振動ジャイロにお
いて、 振動体の断面形状は６角形或は５角形であることを特徴
とする振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7327295A JPH09166442A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7327295A JPH09166442A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09166442A true JPH09166442A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18197540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7327295A Withdrawn JPH09166442A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09166442A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006234443A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電振動型慣性センサ及びその製造方法 |
| JP2010187196A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Epson Toyocom Corp | 振動片、振動片の製造方法および振動子 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP7327295A patent/JPH09166442A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006234443A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電振動型慣性センサ及びその製造方法 |
| JP4599510B2 (ja) * | 2005-02-22 | 2010-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 圧電振動型慣性センサ及びその製造方法 |
| JP2010187196A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Epson Toyocom Corp | 振動片、振動片の製造方法および振動子 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |