JPH09145381A - 駆動回路及びこれを用いた振動角速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 精度良く角速度を検出する。 【構成】 駆動回路１２は、振動子１１を自励振駆動す
る。駆動回路１２の出力端３２，３３は振動子１１の電
極２４，２５に接続され、駆動回路１２の入力端３１は
振動子１１の電極２６に接続される。駆動回路１２は、
出力端３２，３３間に接続された可変抵抗器６０と、電
極２６の電圧の位相調整を行う移相回路４０と、移相回
路４０の出力を増幅する増幅器５０と、を有する。増幅
器５０の出力側は、可変抵抗器６０の中間に接続され
る。可変抵抗器６０を調整することにより、振動子１１
の駆動方向の振動を理想的な軸Ｃ方向に調整することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動角速度計等の
振動子を自励振駆動する駆動回路及びこれを用いた振動
角速度計に関するものである。

【０００２】

【従来技術】図４に、従来の振動角速度計の一例を示
す。この振動角速度計は、振動子１と、振動子１を自励
振駆動する駆動回路２と、振動子１からの信号に基づい
て振動子１に作用するコリオリ力に相当する信号を検出
する検出回路３と、を備えている。

【０００３】振動子１は、断面が正三角形のエリンバー
合金製の三角柱部材４を有し、該三角柱部材の各側面
に、両面に電極（図示せず）を形成した圧電素子５，
６，７が貼り付けられている。圧電素子５が駆動用とし
て用いられ、圧電素子５，７が検出用及び自励振駆動の
ための帰還用として用いられている。駆動回路２は２つ
の入力端と１つの出力端を有し、駆動回路２の２つの入
力端が圧電素子５，６の外側の電極にそれぞれ接続さ
れ、駆動回路２の１つの出力端が圧電素子７の外側の電
極に接続されている。また、検出回路３は２つの入力端
を有し、この２つの入力端も圧電素子５，６の外側の電
極にそれぞれ接続されている。駆動回路２は、圧電素子
５，６からの２つの信号の和をとることにより振動子１
の振動の励振状態に応じた信号を得、この信号に対して
増幅及び位相調整を行って駆動信号を得、この駆動信号
を圧電素子７に供給する。これにより、ループゲインが
１以上となるように正帰還がかけられ、振動子１は、自
励振駆動されて、図４に示す軸Ｃの方向に単振動する。
この状態において、振動子１の長さ方向の軸Ａ（軸Ａは
軸Ｃと直交している）を中心として回転し角速度が与え
られると、軸Ｂ（軸Ｂは軸Ａ及び軸Ｃと直交している）
の方向にコリオリ力が発生し、このコリオリ力により振
動子１がこの方向に屈曲振動が発生する。この屈曲振動
により、コリオリ力に対応する信号（電圧）が逆相でそ
れぞれ圧電素子５，６に発生する。圧電素子５，６に発
生する電圧には、この信号のみならず、軸Ｃの方向の振
動子１の屈曲振動（励振）による電圧が同相で含まれ
る。検出回路１０は、電極５の信号と電極６の信号との
差動をとって励振による成分をキャンセルすることによ
り、コリオリ力に相当する信号のみを得る。したがっ
て、振動子１の回転速度（角速度）を測定することがで
きる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図１に示し
た従来の振動角速度計では、三角柱部材４に精度良く圧
電素子５，６，７を接着することが困難であり、そのた
め、振動子１の駆動による振動方向（励振方向）が理想
的な軸Ｃの方向からずれてしまい、振動子１の振動にば
らつきが生じ、それに伴って振動子１の回転時の振動状
態の変化もばらついてしまい、精度良く角速度を検出す
ることが困難であった。

【０００５】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、振動子の駆動による振動方向を理想的な振動方向に
設定することができ、精度良く角速度等を検出すること
ができる、駆動回路及びこれを用いた振動角速度計を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の第１の態様による駆動回路は、１つの入力
端と２つの出力端を有し、振動子を自励振駆動する駆動
回路であって、前記２つの出力端間に接続された抵抗器
と、前記１つの入力端に入力された入力信号に対して増
幅及び位相調整を行う回路であって、その出力側が前記
抵抗器の中間に接続された回路と、を備えたものであ
る。

【０００７】本発明の第２の態様による駆動回路は、前
記第１の態様による駆動回路において、前記抵抗器を可
変抵抗器としたものである。

【０００８】本発明の第３の態様による振動角速度計
は、振動子と、該振動子を自励振駆動する駆動回路と、
検出回路とを備える。そして、前記振動子は、第１乃至
第３の電極を有し、前記第１の電極から前記振動子の励
振状態に応じた電圧が得られ、前記第２及び第３の電極
に同相の駆動電圧を印加したときに前記振動子が励振
し、前記第２及び第３の電極から前記振動子に作用する
コリオリ力に応じた電圧がそれぞれ逆相で得られるもの
である。また、前記駆動回路は、前記第１の電極に接続
される１つの入力端と前記第２及び第３の電極にそれぞ
れ接続される２つの出力端を有し、前記２つの出力端間
に接続された抵抗器と、前記１つの入力端に入力された
入力信号に対して増幅及び位相調整を行う回路であっ
て、その出力側が前記抵抗器の中間に接続された回路
と、を備えたものである。さらに、前記検出回路は、前
記第２及び第３の電極に接続された２つの入力端を有
し、該２つの入力端に入力された信号に基づいて前記振
動子に作用するコリオリ力に相当する信号を検出するも
のである。

【０００９】本発明の第４の態様による振動角速度計
は、振動子と、該振動子を自励振駆動する駆動回路と、
検出回路と、を備えたものである。そして、前記振動子
は、圧電材料からなる四角柱形状の第１及び第２の部材
と、前記第１の部材の第１の面と前記第２の部材の第１
の面との間に挟んで形成された第１の電極と、前記第１
の部材の前記第１の面と相対する前記第１の部材の第２
の面に、前記第１の部材の長さ方向に延びるとともに前
記第１の部材の幅方向に互いに間隔をあけて当該幅方向
の両側位置に形成された第２及び第３の電極と、前記第
２の部材の前記第１の面と相対する第２の面に形成され
た第４の電極と、を備えたものである。前記駆動回路
は、前記第４の電極に接続される１つの入力端と前記第
２及び第３の電極にそれぞれ接続される２つの出力端を
有し、前記２つの出力端間に接続された抵抗器と、前記
１つの入力端に入力された入力信号に対して増幅及び位
相調整を行う回路であって、その出力側が前記抵抗器の
中間に接続された回路と、を備える。前記検出回路は、
前記第２及び第３の電極に接続された２つの入力端を有
し、該２つの入力端に入力された信号に基づいて前記振
動子に作用するコリオリ力に相当する信号を検出するも
のである。

【００１０】本発明の第５の態様による振動角速度計
は、前記第３又は第４の態様による振動角速度計におい
て、前記抵抗器を可変抵抗器としたものである。

【００１１】前記第１の態様による駆動回路によれば、
増幅及び位相調整を行う回路の出力側が、２つの出力端
間に接続された抵抗器の中間に接続されているので、増
幅及び位相調整を行う回路の出力側と前記２つの出力端
のうちの一方との間の抵抗値、及び、増幅及び位相調整
を行う回路の出力側と前記２つの出力端のうちの他方と
の間の抵抗値、の少なくとも一方の抵抗値を調整するこ
とにより、駆動回路の２つの出力端にそれぞれ現れる駆
動電圧を調整することができる。このため、前記第３及
び第４の態様のように、振動子及び検出回路と組み合わ
せて振動角速度計を構成すれば、前記抵抗値を調整する
ことにより振動子を理想的に振動させることができる。
その結果、オフセット信号等のノイズが除去でき、回転
による信号のみが検出され、精度良く角速度を検出でき
る。

【００１２】また、前記第２及び第５の態様のように、
抵抗器として可変抵抗器を用いれば、前記抵抗値の調整
が容易になるので、好ましい。

【００１３】さらに、前記第３の態様のように、特別な
構造を有する振動子を用いれば、両面に電極パターンが
形成された圧電板２枚を接合して切断するなどすること
によって、一度に大量の振動子を製造することができる
とともに、反応性エッチング等による電極パターン形
成、精密切断機等による接合板の切断を行うことによっ
て、小型の振動子を再現性良く製造することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明による駆動回路及び
これを用いた振動角速度計について、図面を参照して説
明する。

【００１５】図１は、本発明の一実施の形態による振動
角速度計を示す概略構成図である。本実施の形態による
振動角速度計は、図１に示すように、振動子１１と、該
振動子１１を自励振駆動する駆動回路１２と、振動子１
１からの入力信号に基づいて振動子１１に作用するコリ
オリ力に相当する検出信号を得る検出回路１３と、を備
えている。

【００１６】まず、振動子１１について、図２を参照し
て説明する。図２は、振動子１１を示す図であり、図２
（ａ）はその斜視図、図２（ｂ）はその正面図である。

【００１７】図２に示すように、振動子１１は、圧電材
料からなる四角柱形状（厳密に四角柱でなくてもよい）
の第１及び第２の部材２１，２２と、第１の部材２１の
第１の面（図２では下面）と第２の部材２２の第１の面
（図２では上面）との間に挟んで形成された第１の電極
２３と、第１の部材２１の前記第１の面に相対する第１
の部材２１の第２の面（図２では上面）に、第１の部材
２１の長さ方向に平行に延びるとともに第１の部材２１
の幅方向（図２（ｂ）中の左右方向）に互いに間隔をあ
けて形成された第２及び第３の電極２４，２５と、第２
の部材２２の前記第１の面に相対する第２の部材２２の
第２の面（図２では下面）に形成された第４の電極２６
と、を備えている。第２及び第３の電極２４，２５は、
第１の部材２１の幅方向の両側位置にそれぞれ形成さ
れ、略同一面積を有している。

【００１８】本実施例では、第１及び第２の部材２１，
２２は、圧電セラミック（例えば、チタン酸ジルコン酸
鉛（ＰＺＴ））からなり、それらの厚みは０.５ｍｍ、
幅は１.０ｍｍ、長さは９.０ｍｍとされている。もっと
も、このような寸法に限定されるものではない。第１の
部材２１の分極方向は図２中の上方向、第２の部材２２
の分極方向は図２中の下方向である。第２及び第３の電
極２４，２５は、第１の部材２１の上面の両側位置に、
第１の部材２１の長さ方向に銀ペーストで形成され、そ
れぞれの幅が０.３ｍｍとされている。第４の電極２６
は、第２の部材２２の下面の全面に銀ペーストで形成さ
れている。第１の電極２３は、第１の部材２１の下面の
全面に予め形成された銀ペーストと第２の部材２２の上
面の全面に予め形成された銀ペーストとを、エポキシ性
接着剤等の接着剤（図示せず）により接合した構造とさ
れている。前記接着剤による振動子の振動への影響を極
力なくすために、前記接着剤として粘度の低いものを用
いることが好ましい。なお、前記接着剤自体が導電性を
有していなくても、接着の際に適当に圧力を加えること
により、第１の部材２１の下面に形成された銀ペースト
と第２の部材２２の上面に形成された銀ペーストとの間
には接着剤が介在せずに直接接触する多くの微小領域が
存在し、両者は電気的に接続されることになる。もっと
も、前記接着剤として導電性接着剤を用いてもよい。

【００１９】振動子１１は、このような構造を有してい
るので、一度に大量に製造することができる。すなわ
ち、例えば、電極２４，２５の電極パターン及び電極２
３の一部を構成する電極パターンを予め多数の振動子１
１の分形成した圧電板と、電極２６の電極パターン及び
電極２３の他の一部を構成する電極パターンを予め多数
の振動子１１の分形成した圧電板とを前記接着剤にて接
合し、この接合板を個々の振動子１１に切断することに
よって、一度に大量の振動子１１を製造することができ
る。また、反応性エッチング等による電極パターン形
成、精密切断機等による接合板の切断を行うことによっ
て、小型の振動子２０を再現性良く製造することができ
る。

【００２０】本実施の形態では、電極２３が基準電極
（アース電極）、電極２４，２５がコリオリ力検出用電
極として、用いられる。また、電極２６が、帰還用電極
として、駆動回路１２の入力信号（振動子１１の励振状
態を示す信号）を取り出すために用いられる。さらに、
電極２３，２４は、振動子励振用電極（駆動電極）とし
ても用いられる。

【００２１】この振動子１１では、電極２３を基準電極
として、電極２４，２５に同相の励振用電圧（駆動電
圧）をそれぞれ印加すると、第１の部材２１が電極２
３，２４，２５の面と垂直な方向（図２中の上下方向）
すなわち図１中の軸Ｃの方向に屈曲振動し、したがっ
て、振動子１１の全体がこの方向に屈曲振動し、振動子
１１が励振される。振動子１１のこの励振状態を示す信
号が電極２６から得られる。この励振状態において、部
材２１，２２の長さ方向に延びた図１中の軸Ａを中心と
して振動子１１が回転したとすると、部材２１，２２の
幅方向すなわち図１中の軸Ｂの方向にコリオリ力が発生
し、このコリオリ力により振動子２０がこの方向に屈曲
振動する。この屈曲振動により、コリオリ力に相当する
信号が逆相でそれぞれ電極２４，２５に発生する。電極
２４，２５の電圧には、この信号のみならず、印加され
た同相の駆動電圧も含まれるが、電極２４の信号と電極
２５の信号との差動をとって駆動電圧の成分をキャンセ
ルすることにより、コリオリ力に相当する信号のみを得
ることができ、したがって、振動子１１の回転速度（角
速度）を測定することができる。

【００２２】なお、部材２１，２２の材料としては、駆
動電圧印加により効果的に振動子１１が振動するため
と、振動子１１の振動による発生電圧が大きく取れるよ
うに、それぞれＱの大きい圧電材料が選択される。ま
た、振動子１１の厚み方向の共振周波数と幅方向の共振
周波数をほぼ一致させることが好ましい。両者を一致さ
せると、振動子１１の断面は、略正方形になる。この周
波数合わせは、例えば、振動子１１を振動させながら側
面をレーザー等で削ることにより共振周波数を調整する
ことによって、行われる。

【００２３】次に、再び図１を参照して、駆動回路１２
について説明する。駆動回路１２は、１つの入力端３１
及び２つの出力端３２，３３を有している。入力端３１
は振動子１１の電極２６に接続され、出力端３２，３３
はそれぞれ振動子１１の電極２４，２５に接続されてい
る。本実施の形態では、駆動回路１２は、その入力側が
入力端３１に接続された移相回路４０と、その入力側が
移相回路４０の出力側に接続された増幅器５０と、可変
抵抗器６０とから構成されている。移相回路４０は、電
極２６から発生する電圧の移相をシフトする回路であ
り、抵抗器４１，４２と、可変抵抗器４３と、コンデン
サ４４と、オペアンプ４５と、を有している。可変抵抗
器４３を調整することにより、移相量の微調整ができる
ようになっている。増幅器５０は、移相回路４０の出力
を反転増幅するものであり、抵抗器５１，５２及びオペ
アンプ５３を有している。可変抵抗器６０は、出力端３
２と出力端３３との間に接続されている。すなわち、可
変抵抗器６０の両端６０ａ，６０ｂがそれぞれ出力端３
２，３３に接続されている。増幅器５０の出力側が可変
抵抗器６０の中間点６０ｃに接続されている。

【００２４】また、検出回路１３は、図１に示すよう
に、２つの入力端７１，７２を有しており、入力端７
１，７２はそれぞれ振動子１１の電極２４，２５に接続
されている。検出回路１３は、その２つの入力側が入力
端７１，７２にそれぞれ接続された差動回路８０を有し
ている。差動回路８０は、抵抗器８１〜８４及びオペア
ンプ８５で構成されている。差動回路８０は、電極２４
の信号と電極２５の信号の差動をとって出力する。既に
振動子１１に関して説明した所から明らかなように、差
動回路８０の出力が、コリオリ力に相当する信号、すな
わち、検出信号となる。

【００２５】本実施の形態によれば、前記駆動回路１２
により電極２４，２５と電極２６との間に帰還ループが
でき、振動子１１が自励振駆動される。すなわち、電極
２６からの出力電圧が移相回路４０により位相調整さ
れ、その位相調整された電圧が増幅器５０により反転増
幅され、その増幅された電圧が可変抵抗器６０を介して
駆動電圧として電極２４，２５にそれぞれ供給される。
これにより、ループゲインが１以上となるように正帰還
がかけられ、振動子１が自励振駆動される。この駆動回
路１２により振動子１１の電極２３，２６の面に対して
垂直な方向（すなわち、図１中の軸Ｃの方向）の凹凸の
屈曲を持つ振動子１の単振動が達成できる。ここで、電
極２６からの出力電圧が最大になるように移相回路４０
内の可変抵抗器４３を調整することにより、自励振動の
周波数を最適にすることが可能である。このとき、振動
子１１が励振により図１中の軸Ｃ方向に理想的に振動し
ていない場合、振動子１１の無回転時においても電極２
４，２５からの出力電圧に誤差（オフセット）が発生し
検出回路１４の出力には誤差を増幅した信号が出力され
る。そこで、可変抵抗器６０の中間点６０ｃの位置を調
整することにより電極２４に印加される駆動電圧の大き
さと電極２５に印加される駆動電圧の大きさを調整して
振動子１１の励振の振動方向を調整することができ、こ
れにより振動子を理想的に駆動させることができ、この
誤差をキャンセルさせることが可能となる。したがっ
て、振動子１１の無回転時に検出回路１３の出力をゼロ
にできる。よって、振動子１１の回転時において、コリ
オリ信号のみを精度良く検出できる。このように可変抵
抗器６０が調整された場合における図１中の各部の波形
を図３に示す。図３（ａ）〜（ｃ）は振動子１１の無回
転時の電極２４，２５及び検出回路１３の出力波形をそ
れぞれ示し、図（ｄ）〜（ｆ）は振動子１１の回転時の
電極２４，２５及び検出回路１３の出力波形をそれぞれ
示す。

【００２６】なお、以上の説明からわかるように、本実
施の形態では、振動子１１の電極２６から振動子１１の
励振状態に応じた電圧が得られ、電極２４，２５に同相
の駆動電圧を印加したときに振動子１１が励振し、電極
２４，２５から振動子１１に作用するコリオリ力に応じ
た電圧がそれぞれ逆相で得られることになる。

【００２７】ところで、前記振動子１１を用いて図５に
示すような振動角速度計を構成することもできる。図５
は、図１に示す振動角速度計と対比される振動角速度計
を示す概略構成図である。図５に示す振動角速度計で
は、前述した従来の振動角速度計における駆動回路２及
び検出回路３と同一の駆動回路２及び検出回路３が用い
られている。

【００２８】図５に示す振動角速度計では、図１に示す
振動角速度計と異なり、振動子１１の電極２３が基準電
極（アース電極）、電極２４，２５がコリオリ力検出用
電極、電極２６が振動子励振用電極（駆動電極）とし
て、用いられている。また、電極２４，２５は、帰還用
として、駆動回路２の入力信号（振動子１１の励振状態
を示す信号）を取り出すためにも用いられている。駆動
回路２は２つの入力端と１つの出力端を有し、駆動回路
２の２つの入力端が電極２４，２５にそれぞれ接続さ
れ、駆動回路２の１つの出力端が電極２６に接続されて
いる。また、検出回路３は２つの入力端を有し、この２
つの入力端も電極２４，２５にそれぞれ接続されてい
る。駆動回路２は、電極２４，２５からの２つの信号の
和をとることにより振動子１１の振動の励振状態に応じ
た信号を得、この信号に対して増幅及び位相調整を行っ
て駆動信号を得、この駆動信号を電極２６に供給する。
これにより、ループゲインが１以上となるように正帰還
がかけられ、振動子１１は、自励振駆動されて、図５に
示す軸Ｃの方向に単振動する。この状態において、図５
中の軸Ａを中心として回転し角速度が与えられると、軸
Ｂの方向にコリオリ力が発生し、このコリオリ力により
振動子１１がこの方向に屈曲振動が発生する。この屈曲
振動により、コリオリ力に対応する信号（電圧）が逆相
でそれぞれ電極２４，２５に発生する。電極２４，２５
に発生する電圧には、この信号のみならず、軸Ｃの方向
の振動子１１の屈曲振動（励振）による電圧が同相で含
まれる。検出回路１０は、電極２４の信号と電極２５の
信号との差動をとって励振による成分をキャンセルする
ことにより、コリオリ力に相当する信号のみを得る。し
たがって、振動子１の回転速度（角速度）を測定するこ
とができる。

【００２９】前記振動子１１ではそれぞれの面の電極２
３〜２６が例えばスパッタリング、蒸着等によって形成
されることから電極２３〜２６の位置精度が比較的良く
ばらつきも少ないために、図５に示す振動角速度計によ
っても、角速度を比較的精度良く検出できる。しかし、
図５に示す振動角速度計では、圧電材料からなる第１及
び第２の部材２１，２２の誘電率のばらつきや厚さのば
らつき等によって、駆動方向の振動が理想的な軸Ｃ方向
からずれてしまうことがある。その結果、電極２４，２
５からの出力にばらつきが生じ、振動子１１の無回転時
においてもオフセット信号として検出されてしまい、角
速度が正確に検出できない。

【００３０】これに対し、前記図１に示す振動角速度計
では、前述したように、可変抵抗器６０を調整すること
により振動子１１の駆動方向の振動を理想的な軸Ｃ方向
に調整することができるので、角速度を正確に検出する
ことができるのである。

【００３１】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではな
い。

【００３２】例えば、本発明では、図１に示す振動角速
度計において、振動子１１の代わりに、図４中の振動子
１を用いてもよい。このとき、駆動回路１２の入力端３
１を振動子１の圧電素子７の外側の電極に接続し、駆動
回路１２の出力端３２，３３を圧電素子５，６の外側の
電極にそれぞれ接続すればよい。この場合、圧電素子７
の外側の電極から振動子１の励振状態に応じた電圧が得
られ、圧電素子５，６の外側の電極に同相の駆動電圧を
印加したときに振動子１が励振し、圧電素子５，６の外
側の電極から振動子１に作用するコリオリ力に応じた電
圧がそれぞれ逆相で得られることになる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、振動子の駆動による振
動方向を理想的な振動方向に設定することができ、精度
良く角速度等を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による振動角速度計を示
す概略構成図である。

【図２】振動子の一例を示す図であり、図２（ａ）はそ
の斜視図、図２（ｂ）はその正面図である。

【図３】振動子の無回転時及び回転時における図１中の
各部の波形を示す図である。

【図４】従来の振動角速度計の一例を示す概略構成図で
ある。

【図５】本発明と対比される振動角速度計を示す概略構
成図である。

【符号の説明】

１１ 振動子 １２ 駆動回路 １３ 検出回路 ２１ 第１の部材 ２２ 第２の部材 ２３，２４，２５，２６ 電極 ４０ 移相回路 ５０ 増幅器 ６０ 可変抵抗器

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １つの入力端と２つの出力端を有し、振
   動子を自励振駆動する駆動回路であって、前記２つの出
   力端間に接続された抵抗器と、前記１つの入力端に入力
   された入力信号に対して増幅及び位相調整を行う回路で
   あって、その出力側が前記抵抗器の中間に接続された回
   路と、を備えたことを特徴とする駆動回路。
2. 【請求項２】 前記抵抗器が可変抵抗器であることを特
   徴とする請求項１記載の駆動回路。
3. 【請求項３】 第１乃至第３の電極を有する振動子であ
   って、前記第１の電極から前記振動子の励振状態に応じ
   た電圧が得られ、前記第２及び第３の電極に同相の駆動
   電圧を印加したときに前記振動子が励振し、前記第２及
   び第３の電極から前記振動子に作用するコリオリ力に応
   じた電圧がそれぞれ逆相で得られる振動子と、 前記第１の電極に接続される１つの入力端と前記第２及
   び第３の電極にそれぞれ接続される２つの出力端を有
   し、前記振動子を自励振駆動する駆動回路であって、前
   記２つの出力端間に接続された抵抗器と、前記１つの入
   力端に入力された入力信号に対して増幅及び位相調整を
   行う回路であって、その出力側が前記抵抗器の中間に接
   続された回路と、を備えた駆動回路と、 前記第２及び第３の電極に接続された２つの入力端を有
   し、該２つの入力端に入力された信号に基づいて前記振
   動子に作用するコリオリ力に相当する信号を検出する検
   出回路と、 を備えたことを特徴とする振動角速度計。
4. 【請求項４】 圧電材料からなる四角柱形状の第１及び
   第２の部材と、前記第１の部材の第１の面と前記第２の
   部材の第１の面との間に挟んで形成された第１の電極
   と、前記第１の部材の前記第１の面と相対する前記第１
   の部材の第２の面に、前記第１の部材の長さ方向に延び
   るとともに前記第１の部材の幅方向に互いに間隔をあけ
   て当該幅方向の両側位置に形成された第２及び第３の電
   極と、前記第２の部材の前記第１の面と相対する第２の
   面に形成された第４の電極と、を備えた振動子と、 前記第４の電極に接続される１つの入力端と前記第２及
   び第３の電極にそれぞれ接続される２つの出力端を有
   し、前記振動子を自励振駆動する駆動回路であって、前
   記２つの出力端間に接続された抵抗器と、前記１つの入
   力端に入力された入力信号に対して増幅及び位相調整を
   行う回路であって、その出力側が前記抵抗器の中間に接
   続された回路と、を備えた駆動回路と、 前記第２及び第３の電極に接続された２つの入力端を有
   し、該２つの入力端に入力された信号に基づいて前記振
   動子に作用するコリオリ力に相当する信号を検出する検
   出回路と、 を備えたことを特徴とする振動角速度計。
5. 【請求項５】 前記抵抗器が可変抵抗器であることを特
   徴とする請求項３又は４記載の振動角速度計。