JP2006284437A

JP2006284437A - 音叉形圧電振動ジャイロ

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Publication number: JP2006284437A
Application number: JP2005106344A
Authority: JP
Inventors: Koichi Shuda; 浩一習田; Mitsuharu Chiba; 光晴千葉; Akiko Oshima; 亜希子大島; Takeshi Mizuno; 豪水野
Original assignee: NEC Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 2005-04-01
Filing date: 2005-04-01
Publication date: 2006-10-19

Abstract

【課題】耐熱性に優れ、簡素な構成でありながら、感度劣化の少ない、小型化に適した、量産性に優れる音叉形圧電振動ジャイロの提供すること。
【解決手段】中心となる対称面の両側に位置する２つのアームが設けられ、アーム３の主面には、外側からアーム２の側へ順に、検出電極７、基準電位電極５、検出電極８が前記アームの長手方向と平行に形成され、アーム３の主面と略同一平面にあるアーム２の主面には、アーム３の側から順に、基準電位電極９、駆動電極６、基準電位電極１０が前記アームの長手方向と平行に形成された音叉形振動子を備える音叉形圧電振動ジャイロにおいて、駆動電極６には駆動信号を入力し、検出電極７，８には、電荷または電流の検出回路を接続し、検出電極７，８の電位をそれぞれ基準電位に仮想接地するとともに、差動増幅回路１０１を経由させて、回転角速度の検出出力を得る回路を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、主として、自動車のナビゲーションシステム、姿勢制御装置、カメラ一体型ＶＴＲの手振れ防止装置等に用いられるジャイロスコープに関し、特に圧電振動ジャイロに関するものである。

ジャイロスコープは、速度を持つ物体に角速度が与えられると、その物体自身に速度方向と直角な方向にコリオリ力が発生するという力学現象を利用した角速度センサである。振動ジャイロでは、電気的な信号を印加することで機械的な振動（駆動モード）を励起させることができ、かつ、駆動振動と直交する方向の機械的な振動（検出モード）の大きさを電気的に検出可能とした系において、あらかじめ、駆動モードを励振した状態で、駆動モードの振動面と検出モードの振動面との交線に平行な軸を中心とした角速度を与えると、前述のコリオリ力の作用により、検出モードの振動が発生し、出力電圧として検出される。検出された出力電圧は、駆動モードの大きさおよび角速度に比例するため、駆動モードの大きさを一定にした状態では、出力電圧の大きさから角速度の大きさを求めることができる。振動ジャイロの中でも、電気的信号と機械的振動の変換を圧電効果で行うものを圧電振動ジャイロと呼ぶ。

現在、圧電振動ジャイロに用いられる振動子としては、振動子本体が圧電体からなる構造のものが生産性および精度に優れるためよく利用されている。同時に、これまで更なる生産性向上や高精度化を目的とし、様々な振動子の構造が提案されてきた。特に、小形・安価を目的とする場合、振動子の構造は、よりシンプルであった方が生産性上好ましい場合が多く、こうした観点から提案された構造も少なくない。また、近年、圧電振動ジャイロの小型化が進むにつれ、圧電振動ジャイロのシステムへの取りつけ方法においても手半田付け実装から生産性に優れるリフロー半田実装に見直されるようになり、リフロー実装時における２６０℃程度の全体加熱に対し性能や信頼性が損なわれることが無いよう、圧電振動ジャイロの耐熱性の向上が必要になってきた。したがって、小形・安価な圧電振動ジャイロに用いる振動子としては、構造がより簡素で、耐熱性に優れたものが必要とされる。

簡素な振動子構造としては、既に本出願人によって提案されている特許文献１の技術がある。図５は、その圧電振動ジャイロの振動子の説明図であり、図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は断面内の分極方向を示す模式図である。圧電セラミクスからなる柱状体５０の一側面に、駆動電極５２と検出電極５１および５３とを備え、図５（ｂ）に示す矢印方向に分極処理することで、図５（ｂ）で縦の方向への駆動振動の励振と横方向への検出振動の検出を可能とし、圧電振動ジャイロとしての機能を満たすものである。一側面に全ての電極が備えられていることから、複数の側面に電極が備えられているものと比較して生産性に優れる。

同様に、簡素な振動子構造としては、振動子および電極構成が図５とほぼ同じであるが、あらかじめ電極面と平行に分極処理されたことを特徴とする特許文献２の技術がある。図１０に、その振動子構成を示した。圧電セラミクスからなる柱状体３０１の一側面に、駆動電極３０３と検出電極３０２および３０４とを備え、電極面と平行にあらかじめ分極処理することで、駆動振動の励振と駆動振動に直交する検出振動の検出を可能としている。製造時に板状の圧電セラミクスに対して分極処理、電極形成を行った後に、所定の振動子形状に切断することで量産を行うことができ、生産性に優れる。

また、簡素な音叉形振動子構造としては、既に本出願人によって提案されている特許文献３の技術がある。図９は、その圧電振動ジャイロの振動子構造を示す斜視図である。ＰＺＴ等の圧電セラミクス２００からなる音叉型の圧電振動子２０７の一側面に、帯状電極２０１，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６およびランド２０８が形成されている。振動子の分極処理は、帯状電極２０２および２０５と帯状電極２０１，２０３，２０４および２０６とを２端子として直流の高電圧を印加して行う。帯状電極２０２と２０４には、互いに逆位相の駆動電圧を印加し、面外振動モードを励振する。帯状電極２０１，２０６，２０３，２０４は電流検出回路に接続され、コリオリ力によって生じる音叉振動モードの検出を、帯状電極２０１および２０６と帯状電極２０３および２０４との信号差を用いて行う。一側面に全ての電極が備えられていることから、複数の側面に電極が備えられているものと比較して生産性に優れる。さらに、特許文献１および２に比べ、対称な構成により振動漏れが少なく、安定化が実現できる。

また、耐熱性に優れた構成としては、振動子に単結晶を用いた特許文献４の技術がある。図６は、その音叉形圧電振動ジャイロの構成を示し、図６（ａ）はその正面図、図６（ｂ）は側面図、図６（ｃ）は平面図である。アーム２０とアーム２２がベース２４に接続された音叉形状の振動子であり、ＬｉＴａＯ_３圧電単結晶のＸ軸４０°回転Ｚ板または、ＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶のＸ軸５０°回転Ｚ板で形成されている。２つのアームの内側には、駆動電極４８ａ，４８ｂが配置され、音叉振動モードを励振し、２つのアームの外側には、検出電極４６ａ〜４６ｃおよび４７ａ〜４７ｃが配置され、音叉振動モードと直交する面外振動モードを検出する。一般に圧電単結晶材料のキュリー点は、圧電セラミクスに比べ非常に高く、２６０℃程度の全体加熱に対して振動子特性は劣化し難い。また、対称な電極構成により振動漏れが少なく、高安定化が実現できる。さらに、ＬｉＴａＯ_３やＬｉＮｂＯ_３の材料特性により高感度化が実現できる。

特許第３１２２９２５号公報特開平１１−８３４９５号公報特開平９−１２６７８３号公報特開２００３−１５６３３８号公報

しかしながら、特許文献１および２の構成では、圧電セラミクスのキュリー点の低さから、リフロー実装時における２６０℃程度の全体加熱に対し性能や信頼性が損なわれる可能性がある。さらに、柱状の振動子では、同一の長さの音叉に比べ、屈曲振動モードの共振周波数が高くなる。共振周波数の高周波数化は、ジャイロの感度を劣化させる要因となる。また、柱状の振動子の材料をキュリー点の高い単結晶とした場合は、耐熱性の点において改善が見込めるが、一般に単結晶のＱ値は、数万と非常に高く、理想的なノード点の存在しない柱状の振動子では、支持点から振動が漏れ、高いＱ値を維持できない。仮に、高いＱ値を維持できる支持構造を構成することができたとしても、支持ワイヤ等の複雑で大きな支持構造が必要となり、振動子を小型化しても実質的に小型化できない。

また、特許文献３の構成では、特許文献１、２の例と同様に圧電セラミクスのキュリー点の低さから、リフロー実装時における２６０℃程度の全体加熱に対し性能や信頼性が損なわれる可能性がある。さらに、帯状電極間で分極処理が必要となるため、振動子を小型化することによって電極間隔も狭くなり、分極処理で高電圧を印加した際に放電等の不良を発生し、歩留まりを低下させる可能性が高い。

また、特許文献４の構成では、少なくとも電極を２つ以上の側面に施す必要があるため、その点においては、先行文献１、２および３に示した構成と比較し生産性で劣る。より安価な製品を供給するためには、より簡素な構成の提案が必要である。

そこで、本発明は、上記問題を解決し、耐熱性に優れ、簡素な構成でありながら、感度劣化の少ない、小型化に適した、量産性に優れる音叉形圧電振動ジャイロの提供を課題としている。

上記目的を達成するため、振動子形状は、比較的支持が容易で共振周波数を低く設計できる音叉形状を選び、振動子材料には、比較的キュリー点が高く、結合係数の大きい圧電単結晶を選んだ。圧電単結晶としては、ＬｉＴａＯ_３またはＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶が望ましい。さらに、振動子の結晶方位は、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ_３圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶Ｘ板とすることで、振動子の幅方向の電界による圧電横効果を大きくし、電極を振動子の一側面だけで構成できるようにした。

すなわち、本発明は、中心となる対称面の両側に対称に位置する第１および第２のアームと前記アームを接続したベースとが圧電単結晶にて一体的に形成され、前記第１および第２のアームには駆動用、検出用および基準電位用に電極が形成された音叉形振動子を備え、前記第１のアームの主面には、外側から前記第２のアームの側へ向かって順に番号づけて、第１、第２および第３の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記第１のアームの主面と略同一平面にある前記第２のアームの主面には、前記第１のアームの側から順に番号づけて、第４、第５および第６の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記主面と平行かつ前記アームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記音叉形振動子の音叉振動および前記音叉振動と直交した面外振動を励振および検出して回転角速度を検出する音叉形圧電振動ジャイロにおいて、前記第２、第４および第６の帯状電極を基準電位電極とし、前記第５の帯状電極を駆動信号が入力される駆動電極とし、前記第１および第３の帯状電極を２つの検出電極とし、前記２つの検出電極には、電荷または電流の検出回路を接続し、前記２つの検出電極の電位をそれぞれ基準電位に仮想接地するとともに、前記電荷または電流の検出回路によって変換された２つの電圧に差動増幅回路を経由させて、回転角速度検出の出力を得る回路を備えることを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロである。本発明によれば振動子の幅方向の電界による圧電横効果を利用することで、音叉振動と面外振動を励振および検出することができ、両アーム共に一側面のみの電極構成が可能となり、さらに、外部からの電磁ノイズの影響を受けにくい検出回路でジャイロを構成できる。

本発明によれば、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ_３圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶Ｘ板等の圧電単結晶およびその結晶方位を用いることで、振動子の表裏面のうちの一面のみの電極配置でも十分な感度を得られる圧電振動ジャイロを構成できる。さらに、振動子に高いキュリー点を持つ材料を採用することで、リフロー実装等によりジャイロ本体が２６０℃程度の高温にさらされても性能劣化が圧電セラミクスより少ない。すなわち、本発明の効果は、電極形成や組み立て時の入出力配線等が容易で生産性の高い、小形化に適した、安価で耐熱性に優れ、外部からの電磁ノイズの影響を受けにくい、特性安定な音叉形圧電振動ジャイロを提供できることである。

以下に、本発明による音叉形圧電振動ジャイロの実施の形態を、詳細に説明する。まず、本発明の音叉形圧電振動ジャイロの基本的な動作原理について説明する。図１は、本発明の音叉形圧電振動ジャイロで使用する振動モードを斜視図で示している。図１（ａ）に音叉振動モードを示し、図１（ｂ）に面外振動モードを示す。図１のような音叉形の圧電体に、音叉振動モードおよび面外振動モードに結合した電極を配置し、励振および検出可能な音叉形圧電振動子を構成する。音叉振動モードの共振周波数に近い周波数の駆動信号を電極に印加し、音叉振動モードを励振する。その状態で、振動子の長さ方向の軸に角速度を印加すると、振動子には、角速度に比例したコリオリ力が働き、面外振動モードを生じる。この面外振動モードによって生じる電気信号を電極から取り出せば、角速度に比例した電気信号が得られ、圧電振動ジャイロとして機能させることができる。この場合には、駆動モードに音叉振動モード、検出モードに面外振動モードを利用しているが、これらを入れ替えて、駆動モードに面外振動モード、検出モードに音叉振動モードを利用することも可能である。

本発明では、振動子形状として、比較的支持が容易で共振周波数を低く設計できる音叉形状を選択し、振動子材料には、圧電単結晶を選択する。圧電単結晶で、ベースおよび第１のアームと第２のアームを一体成形し、第１と第２のアームは一つの対称面の両側の対称位置にあり、各アームの一方の主面に、それぞれ３本の帯状電極をアームの長手方向と平行に形成する。これらの各３本の帯状電極は、上記の音叉振動モード、面外振動モードと結合するため、振動ジャイロを構成できる。両アームとも同一側の主面に帯状電極を設ける方が、製造、組立、配線で有利である。また、各アームには他方の主面にさらに３本の帯状電極をアームの長手方向と平行に形成しても良い。アームの両方の主面に電極を設ける事により、生産性は劣るが、駆動と検出の効率は、それぞれ２倍となり、高感度化することが可能となる。

振動子材料には、キュリー点が高く、結合係数の大きい圧電単結晶を用いる。圧電単結晶としては、ＬｉＴａＯ_３またはＬｉＮｂＯ_３の圧電単結晶が推奨される。この音叉形振動子は、その主面と平行な方向に圧電単結晶の分極軸を向けて形成する。このように分極することで、振動子の幅方向の電界による圧電横効果を効率良く利用することができる。

さらに、振動子の結晶方位は、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ_３圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶Ｘ板とすることで、振動子の幅方向の電界による圧電横効果を大きくし、電極を振動子の一側面だけで構成できるようにする。なお、両方共に回転角は±２０°の範囲内であれば、圧電横効果の低下は少ない。

表１は、ＦＥＭ（Finite-Element Method）解析による容量比γの最小値の推定を示している。

ここでは、ＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶を例に、図７に示した音叉形振動子のモデルを、（１）従来のＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶のＸ軸５０°回転Ｚ板の場合と、（２）それを振動子の長手方向の軸に関して９０°回転させたＸ板（Ｘ軸５０°回転Ｘ板）の場合（振動子の長手方向は結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行）とで比較したものである。この解析モデルの寸法は、全長が１３ｍｍ、厚さが１ｍｍ、ベース１の幅が３ｍｍ、ベース１、アーム２および３の長さが６．５ｍｍ、アーム１および２の幅が１ｍｍ、音叉振動モードおよび面外振動モードの共振周波数が約２０ｋＨｚである。図８に、これらの結晶軸を示した。図８（ａ）は正面図、図８（ｂ）は側面図である。なお、容量比γは、圧電振動子の電気−機械変換効率を表す指標であり、小さいほど効率が良いことを示す。

アーム２，３やベース１の表面全体の４側面に電極を配置した場合は、ほとんど差はないが、振動子の表裏のうち１側面だけに電極を配置した解析結果では、結果が大きく異なる。表１の結果から明らかなように、Ｚ板では、面外振動モードの効率が大幅に落ちているが、それに対してＸ板は、音叉振動モードの効率が若干劣るものの、面外振動モードの効率の低下は小さく、駆動と検出効率のバランスの良い構成を実現できることが分かる。

従来、屈曲モードを利用した圧電振動ジャイロには、ＬｉＴａＯ_３圧電単結晶のＸ軸４０°回転Ｚ板、または、ＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶のＸ軸５０°回転Ｚ板が用いられてきたが、振動子の一側面だけを利用した簡素な構成の圧電振動ジャイロには、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ_３圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶Ｘ板が有利である。

面外振動モードの検出には、一方のアームに配置された３本の帯状電極のうち、両端に配置された電極の間の信号差を利用して行う。音叉振動モードの駆動には、他方のアームに配置された３本の帯状電極のうち、中央の電極を用いて行う。すなわち、両方のアームの主面に向かって、６本の帯状電極を、左側から右側へ順に、第１、第２、第３、第４、第５および第６の帯状電極と呼ぶとき、第２、第４および第６の帯状電極を基準電位電極、前記第５の帯状電極を駆動電極、前記第１および第３の帯状電極を検出電極として用い、電荷または電流検出回路を接続し、２つの検出電極の電位を基準電位に仮想接地する。次いで、その信号差から回転角速度を得る。

図２、図３および図４を用いて本発明の実施例１を説明する。図２は、本発明の音叉形振動子の斜視図を示したものである。平行で左右対称に配置された２本のアーム２，３とそれらを接続したベース１の圧電体を形成している。アーム２には、アーム２の長手方向と平行に駆動電極６とその左右に基準電位電極９および１０を配置している。同様に、アーム３には、アーム３の長手方向と平行に基準電位電極５とその左右に検出電極７および８を配置している。またアーム２および３はその中間に位置する一つの対称面の両側の対称な位置に配置されている。その圧電体は、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ₃圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ₃圧電単結晶Ｘ板を使用しており、振動子の幅方向の電界に対して、圧電横効果が大きい。したがって、振動子の幅方向に電界を印加することで、振動子の長手方向に歪を生じさせ、アームを屈曲させることができる。

図３は、本発明の実施例１における音叉形振動子の断面図を示したものである。駆動電極６と基準電位電極９および１０の間に駆動電圧を印加することで図３（ａ）のような電界が発生する。その結果、駆動電極６の左右では、逆向きの電界となるため、一方では長さ方向に伸び、もう一方では長さ方向に縮むこととなる。したがって、音叉振動モードを駆動電極６により励振することができる。なお、同図に示した通り、音叉振動モードによって生じる検出電極７と検出電極８の信号は、同振幅、同位相である。

次に、アームの長手方向の軸に角速度を加えると、図３（ｂ）のようにコリオリ力よる面外振動モードが生じる。この振動は、振動子の主面と垂直方向に左右のアームが逆向きに振動する。この振動の検出には、検出電極７と基準電位電極５および検出電極８と基準電位電極５の間の信号差として検出することができる。なお、同図に示した通り、面外振動モードによって生じる検出電極７と検出電極８の信号は、同振幅、逆位相である。

上記の説明では、駆動モードに音叉振動モード、検出モードに面外振動モードを利用して、圧電振動ジャイロを構成する場合について説明したが、駆動モードと検出モードを入れ替えた場合にも同様に使用することができる。

図４は、本発明の実施例１における音叉形圧電振動ジャイロの回路構成を示すブロック図である。自励発振回路１０２から出力される信号を駆動電極６に印加し、音叉振動モードを励振する。

検出電極７および８には、オペアンプ１１と抵抗器１３およびオペアンプ１２と抵抗器１４で構成させる電流検出回路が接続されている。これにより、検出電極の電位は、オペアンプの仮想接地によって基準電位に固定される。

２つの電流検出回路の出力は、差動増幅回路１０１と自励発振回路１０２に入力される。差動増幅回路１０１に入力される２つの信号の音叉振動モード成分は互いに同位相であり、面外振動モード成分は逆位相である。したがって、差動増幅回路１０１から同期検波回路１０３に入力される信号は、角速度に比例したコリオリ力によって生じる面外振動モード成分のみとなり、ローパスフィルタ１０４から出力される直流電圧は、角速度に比例した電圧となる。また、自励発振回路１０２から出力された信号は、駆動電極６に帰還されると同時に、同期検波回路１０３の参照信号として利用される。

すなわち、本発明による音叉形圧電振動ジャイロは、一側面のみの簡素な電極構成でありながら圧電振動ジャイロとしての機能を実現できる。

上記のように、音叉形振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して４０°回転した軸と平行にしたＬｉＴａＯ_３圧電単結晶Ｘ板、または、振動子の長手方向を結晶のＹ軸がＸ軸に関して５０°回転した軸と平行にしたＬｉＮｂＯ_３圧電単結晶Ｘ板等の圧電単結晶およびその結晶方位を用いることで、音叉形振動子の表裏面のうちの一面のみの電極配置でも十分な感度を得られる圧電振動ジャイロを構成できる。さらに、振動子に高いキュリー点を持つ材料を採用することで、リフロー実装等によりジャイロ本体が２６０℃程度の高温にさらされても性能劣化が圧電セラミクスより少ない。したがって、電極形成や組み立て時の入出力配線等が容易で生産性の高い、小形化に適した、安価で耐熱性に優れ、外部からの電磁ノイズの影響を受けにくい、特性安定な音叉形圧電振動ジャイロを提供できる。

本発明における音叉形圧電振動ジャイロの振動モードを示す斜視図。図１（ａ）は音叉振動モードを示す図、図１（ｂ）は面外振動モードを示す図。本発明における音叉形圧電振動ジャイロの振動子構成を示す斜視図。本発明の音叉形圧電振動ジャイロの実施例１における振動子の駆動および検出方法を説明するための断面図。図３（ａ）は音叉振動の説明図、図３（ｂ）は面外振動の説明図。本発明の音叉形圧電振動ジャイロにおける実施例１の回路構成を示すブロック図。従来の問題点を説明するための振動子の説明図。図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は断面図。従来の問題点を説明するための振動子の説明図。図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）は側面図、図６（ｃ）は平面図。表１のＦＥＭ解析結果を説明するためのモデル図。表１のＦＥＭ解析結果を説明するためのモデルの結晶軸を示す図。図８（ａ）は正面図、図８（ｂ）は側面図。従来の問題点を説明するための振動子斜視図。従来の問題点を説明するための他の振動子斜視図。

符号の説明

１ベース
２，３アーム
６駆動電極
７，８検出電極
５，９，１０基準電位電極
１１，１２オペアンプ
１３，１４抵抗器
１７，１８，１９，１１０電極
１０１差動増幅回路
１０２自励発振回路
１０３同期検波回路
１０４ローパスフィルタ

Claims

中心となる対称面の両側に位置する第１および第２のアームと前記アームを接続したベースとが圧電単結晶にて一体的に形成され、前記第１および第２のアームには駆動用、検出用および基準電位用に電極が形成された音叉形振動子を備え、前記第１のアームの主面には、外側から前記第２のアームの側へ向かって順に番号づけて、第１、第２および第３の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記第１のアームの主面と略同一平面にある前記第２のアームの主面には、前記第１のアームの側から順に番号づけて、第４、第５および第６の帯状電極が前記アームの長手方向と平行に形成され、前記主面と平行かつ前記アームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記音叉形振動子の音叉振動および前記音叉振動と直交した面外振動を励振および検出して回転角速度を検出する音叉形圧電振動ジャイロにおいて、前記第２、第４および第６の帯状電極を基準電位電極とし、前記第５の帯状電極を駆動信号が入力される駆動電極とし、前記第１および第３の帯状電極を２つの検出電極とし、前記２つの検出電極には、電荷または電流の検出回路を接続し、前記２つの検出電極の電位をそれぞれ基準電位に仮想接地するとともに、前記電荷または電流の検出回路によって変換された２つの電圧に差動増幅回路を経由させて、回転角速度検出の出力を得る回路を備えることを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロ。