JP4044547B2 - 圧電振動ジャイロ - Google Patents
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Description
2a,2b,3a,3b アーム
5,6 駆動電極
7a,7b 検出電極
8a,8b,8c,8d,8e,8f 基準電位電極
11 オペアンプ
13 抵抗器
50 柱状体
51,53 検出電極
52 駆動電極
70 H形振動子
71 ベース
72 上部アーム
73 下部アーム
74 スリット
100 移相回路
102 自励発振回路
103 同期検波回路
104 ローパスフィルタ
200 側面
201,202,203,204,205,206 帯状電極
207 圧電振動子
208 ランド
301 柱状体
302,304 検出電極
303 駆動電極
Claims (3)
- 平行に配置された第1、第2、第3および第4のアームと、前記アームと接続するベースとを備え、第1および第2のアームと、第3および第4のアームが前記ベースを介して対称に位置するように、一体に形成された圧電単結晶からなり、前記第1および第2のアームに音叉振動用電極、前記第3および第4のアームに面外振動用電極が施されたH形振動子を用いる圧電振動ジャイロであって、前記第1および第2のアームには、前記第1および第2のアームの軸を含む平面に平行な面である主面を幅方向に3分割する帯状電極が長手方向と平行に形成され、前記第3および第4のアームには、前記第3および第4のアームの軸を含む平面に平行な面である主面を幅方向に2分割する帯状電極が長手方向と平行に形成されており、前記主面と平行でかつ、前記アームの長手方向と垂直な方向の電界による圧電横効果により、前記第1および第2のアームの音叉振動と、前記第1および第2のアームの音叉振動と直交した、前記第3および第4のアームの面外振動を励振および検出するものであり、前記主面と平行な方向に前記圧電単結晶の分極軸を向けたことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
- 前記圧電単結晶は、LiTaO3であり、前記主面は、前記圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記H形振動子の長手方向は、前記圧電単結晶のY軸がX軸に関して40±20°回転した軸と平行であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動ジャイロ。
- 前記圧電単結晶は、LiNbO3であり、前記主面は、前記圧電単結晶のXカット面であり、且つ、前記H形振動子の長手方向は、前記圧電単結晶のY軸がX軸に関して50±20°回転した軸と平行であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動ジャイロ。
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