JP4514121B2 - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4514121B2 JP4514121B2 JP2004266594A JP2004266594A JP4514121B2 JP 4514121 B2 JP4514121 B2 JP 4514121B2 JP 2004266594 A JP2004266594 A JP 2004266594A JP 2004266594 A JP2004266594 A JP 2004266594A JP 4514121 B2 JP4514121 B2 JP 4514121B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leg
- vibrator
- angular velocity
- center
- velocity sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
また、円板型の振動子により回転軸方向の高さを低くした振動型ジャイロスコープ(角速度センサ)が提案されている(特許文献2参照)。これは、円板状の屈曲振動板(膜)の中央部に慣性体を付加した構造の振動子を用いている。この構造の振動子では、節直径が一本となる振動板の面垂直屈曲振動に伴い、付加慣性体の重心は面内方向に変位する。またこの場合には、節直径が90度直交する同型モードが存在する。
例えば、一般には、共振状態となる固有振動モードうちの1つを駆動モードとして選択し、その振動モードを共振周波数で駆動する。加えて、駆動モードと振動変位が直交する検出モードの共振周波数が、駆動モードの共振周波数と一致するように振動子の形状を設計する。
前述した円板型の振動子をジャイロスコープに適用する場合、同型縮退モードを利用することになる。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、回転軸方向の高さを小さくした振動子による角速度センサに、水晶などの異方性材料を容易に適用できるようにすることを目的とする。
図1は、本発明の実施の形態における振動子の構成例を示す斜視図である。図1に示す振動子は、例えば水晶から構成され、中央部(連結部)101より各々120°異なる方向に延在する同一の長さの3つの脚部121,122,123と、各脚部の外側部分に接続する枠部103とから構成されたものである。
上述したように各電極を配設した状態で、図3(a)に示すように検出回路に接続することで、本振動子に加わるZ軸回転角速度に応じた出力信号が得られる。
この駆動状態において、Z軸に関する回転角速度が印加されると、駆動信号と同じ周波数で角速度によって振幅と位相が変化する、基準電位を基準とした検出信号が検出電極203に生じる。
図4に示す振動子は、例えば水晶から構成され、中央部(連結部)401より各々120°異なる方向に延在する同一の長さの3つの脚部421,422,423を備えている。
また、本振動子においても、図2と同様に各電極を配設し、図3と同様の回路を用いることで、角速度センサとして用いることができる。
Claims (1)
- 所定の軸を中心に少なくとも3回の対称性を有する圧電材料から構成され、
前記軸を法線とする同一の平面内で一端が互いに連結されて各々120°異なる方向に延在する第1脚部,第2脚部,及び第3脚部と、
前記第1脚部,第2脚部,及び第3脚部の前記一端に設けられた前記第1脚部,第2脚部,及び第3脚部より厚く形成された慣性体と、
前記第1脚部の一方の面の左側端部から前記第2脚部の一方の面の左側端部にかけて配置された第1駆動電極と、
前記第1脚部の一方の面の右側端部から前記第3脚部の一方の面の右側端部にかけて配置された第2駆動電極と、
前記第2脚部の一方の面の右側端部から前記第3脚部の一方の面の左側端部にかけて配置された検出電極と、
互いに連結されている一端より放射状に延在して前記第1脚部,前記第2脚部,前記第3脚部の中央部に配設された共通電極と
を備えることを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004266594A JP4514121B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004266594A JP4514121B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084193A JP2006084193A (ja) | 2006-03-30 |
JP4514121B2 true JP4514121B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=36162833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004266594A Expired - Fee Related JP4514121B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4514121B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4950535B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-06-13 | 京セラキンセキ株式会社 | 振動子及び角速度センサ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09210690A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Kinseki Ltd | 角速度検出センサ |
JPH10160476A (ja) * | 1995-11-13 | 1998-06-19 | Sfim Ind | 機械式共振体をもつレートジャイロ |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000304545A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ及びそのオフセット電圧調整方法 |
JP2003194543A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
-
2004
- 2004-09-14 JP JP2004266594A patent/JP4514121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10160476A (ja) * | 1995-11-13 | 1998-06-19 | Sfim Ind | 機械式共振体をもつレートジャイロ |
JPH09210690A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Kinseki Ltd | 角速度検出センサ |
JP2000199714A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000304545A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ及びそのオフセット電圧調整方法 |
JP2003194543A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006084193A (ja) | 2006-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3834397B2 (ja) | レートセンサ | |
JP3973742B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
CN100538272C (zh) | 压电陀螺元件和压电陀螺仪 | |
US10032976B2 (en) | Microelectromechanical gyroscopes and related apparatus and methods | |
JP6514790B2 (ja) | ジャイロスコープ | |
JP4702942B2 (ja) | 振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ | |
JP2001255152A (ja) | 圧電振動ジャイロスコープおよびその周波数調整方法 | |
FI126070B (en) | Improved ring gyroscope structure and gyroscope | |
JP3942762B2 (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 | |
JPH0868638A (ja) | 圧電振動ジャイロ,その支持構造,多次元ジャイロ | |
US5912528A (en) | Vibrating gyroscope | |
JP4911690B2 (ja) | 振動ジャイロ用振動子 | |
KR100527351B1 (ko) | 진동 자이로스코프 및 각속도 센서 | |
JP3751745B2 (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法 | |
JP4514115B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4514121B2 (ja) | 角速度センサ | |
JPH0743262B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3720563B2 (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法 | |
JP3301403B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3701785B2 (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 | |
JP2008145325A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH09113279A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH04118515A (ja) | 角速度検出器および加速度検出器 | |
JPH0762617B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2003185439A (ja) | 圧電振動ジャイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100506 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4514121 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |