JP2002257548A

JP2002257548A - 角速度測定装置

Info

Publication number: JP2002257548A
Application number: JP2001052168A
Authority: JP
Inventors: Seiji Ishikawa; 石川　　誠司; Takayuki Kikuchi; 菊池　　尊行
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2001-02-27
Filing date: 2001-02-27
Publication date: 2002-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回りの
各回転角速度を検出する角速度測定装置において、各振
動子に回転を加えない状態で外部から振動を加えたとき
に各振動子から生ずる出力誤差を抑制する。【解決手段】角速度測定装置１７Ａは、Ｘ軸およびＹ軸
に対して略平行な共通実装面１８ｂを備えている実装基
板１８、Ｘ軸の回りの回転角速度を検出するための第一
の振動子３、振動子３とは別体であり、Ｙ軸の回りの回
転角速度を検出するための第二の振動子４、および振動
子３および４とは別体であり、Ｚ軸の回りの回転角速度
を検出するための第三の振動子５を備えている。各振動
子３、４、５は共通実装面１８ｂ上に実装されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動型ジャイロス
コープを利用した角速度測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば自動車の車体回転速度フィードバ
ック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに、振
動型ジャイロスコープを使用することが検討されてい
る。こうしたシステムにおいては、操舵輪の方向自身
は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時
に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロ
スコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実
際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づ
いて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、
安定した車体制御を実現する。

【０００３】こうした振動型ジャイロスコープでは、３
軸方向の各回転角速度を検出することが望まれる。本出
願人は、３軸方向の各回転角速度を検出するための振動
型ジャイロスコープを、特開２０００−１８０１７８号
公報において開示した。この公報記載の技術において
は、例えば圧電単結晶からなる一枚の薄板の中に、Ｘ軸
の回りの回転角速度を検出する振動子と、Ｙ軸の回りの
回転角速度を検出する振動子と、Ｚ軸の回りの回転角速
度を検出する振動子とを切り出す。これら三種類の振動
子は、薄板の中に、一体に、互いに物理的に分離される
ことなく形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この振動型ジャイロス
コープは、３つの回転軸の回りの各回転角速度を測定で
きる点で優れたものであり、パッケージへの取り付けも
容易であった。しかし、本発明者が更に検討を進めた結
果、更に次の問題が残されていることを発見した。即
ち、薄板内に３種類の振動子を形成し、薄板をパッケー
ジ内に収容した後、パッケージを回転させない状態でパ
ッケージに対して外部から振動を加えたとき、外部振動
の方向によっては、各振動子から不規則な出力が検出さ
れることがあった。

【０００５】本発明の課題は、車載用途等において目的
物の三次元的位置を把握するのに適した、互いに直交す
るＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回りの各回転角速度を検出す
るための角速度測定装置において、各振動子には回転を
加えていない状態で外部から振動を加えたときに各振動
子から発生する出力誤差を抑制することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、互いに直交す
るＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回りの各回転角速度を検出す
るための角速度測定装置であって、Ｘ軸およびＹ軸に対
して略平行な共通実装面を備えている実装基板、共通実
装面上に実装され、Ｘ軸の回りの回転角速度を検出する
ための第一の振動子、共通実装面上に実装され、第一の
振動子とは別体であり、Ｙ軸の回りの回転角速度を検出
するための第二の振動子、および共通実装面上に実装さ
れ、第一の振動子および前記第二の振動子とは別体であ
り、Ｚ軸の回りの回転角速度を検出するための第三の振
動子を備えていることを特徴とする。

【０００７】本発明者は、前述したように、薄板内に三
種類の振動子を形成した場合の出力誤差の原因について
検討した結果、薄板に対して外部から振動が加わったと
きに、薄板の内部に微視的に見ると不規則な振動が生ず
ることを見いだした。即ち、薄板の重心は、通常は薄板
全体の幾何学的中心の近くに位置している。一方、一枚
の薄板内に三種類の振動子を形成しているために、各振
動子の重心は、薄板全体の重心とは離れた位置にくる。
薄板に振動が加わったとき、薄板全体は回転ないし回動
はしないとしても、各振動子の周辺に微細なねじれ振動
が発生し、このねじれ振動のうち回転角速度成分を検出
している可能性がある。

【０００８】このため、本発明者は、各軸の回りの回転
角速度を検出するための三種類の振動子をそれぞれ別体
とし、即ち物理的に分離した。その上で、各振動子を、
共通実装面上に実装することを想到した。この結果、各
振動子を共通実装面上に、共通実装面に略平行となるよ
うに位置決めすることで、各振動子を容易に実装でき
る。この際、各振動子の各回転軸に対する位置合わせが
容易である。そして、各振動子は物理的に分離された状
態で共通実装面上に支持される。外部から実装基板に振
動が加わったときには、各振動子の支持部分が、振動子
へと加わる外部振動の加振点となるはずである。従っ
て、実装基板に対して外部振動が加わったときに、各振
動子の加振点と重心とが比較的に接近しているため、前
述のような出力誤差は生じにくいものと思われる。

【０００９】また、本発明は、互いに直交するＸ軸、Ｙ
軸およびＺ軸の回りの各回転角速度を検出するための角
速度測定装置であって、Ｘ軸およびＹ軸に対して略平行
な共通実装面を備えている実装基板、共通実装面上に固
定されており、振動子実装面が設けられている一個また
は複数個の振動子実装用基板、少なくとも一つの振動子
実装面上に実装され、Ｘ軸の回りの回転角速度を検出す
るための第一の振動子、少なくとも一つの振動子実装面
上に実装され、第一の振動子とは別体であり、Ｙ軸の回
りの回転角速度を検出するための第二の振動子、および
少なくとも一つの振動子実装面上に実装され、第一の振
動子および第二の振動子とは別体であり、Ｚ軸の回りの
回転角速度を検出するための第三の振動子を備えている
ことを特徴とする。

【００１０】このように、本発明者は、共通実装面上に
一個または複数の振動子実装用基板を設け、振動子実装
用基板の振動子実装面上に各振動子を実装することを想
到した。この場合も上記と同様の作用効果が得られる。

【００１１】好適な実施形態においては、本装置は、共
通実装面上に固定され、第一の振動子の少なくとも重心
または重心の近傍を支持する第一の支持部、共通実装面
上に固定され、第二の振動子の少なくとも重心の近傍を
支持する第二の支持部、および共通実装面上に固定さ
れ、第三の振動子の少なくとも重心の近傍を支持する第
三の支持部を備えている。このように、少なくとも各振
動子の重心または重心の近傍を支持することによって、
前述した誤差を一層抑制できる。

【００１２】好適な実施形態においては、実装基板がセ
ラミックパッケージであり、角速度測定装置が、セラミ
ックパッケージに固定され、第一の振動子、第二の振動
子および第三の振動子を覆う蓋を備えている。

【００１３】好適な実施形態においては、第一の振動
子、第二の振動子および第三の振動子が、それぞれ、共
通実装面に固定された蓋内に収容されている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の好適な実施形態について説明する。図１は、本発明の
第一の実施形態に係る装置１７Ａの斜視図であり、図２
はこの装置１７Ａの要部を示す平面図である。

【００１５】装置１７Ａはセラミックパッケージ１８な
どの実装基板を備えている。この基板１８は、平板部分
と、この平板部分の四周を囲む側壁１８ａとからなる。
側壁１８ａの内側においては、共通実装面１８ｂ上に、
第一の振動子３、第二の振動子４、第三の振動子５、Ｉ
Ｃチップ等の電子回路基板２０、受動素子（コンデン
サ、抵抗等）１９が実装されている。側壁１８ａの上面
１８ｃには、図示省略した平板形状の蓋を取り付け、パ
ッケージを形成する。

【００１６】各振動子の平面的形態を図２に示す。各振
動子３、４、５は、それぞれ所定平面、即ちＸＹ平面に
沿って延びている。本発明は、このように、各振動子が
ＸＹ平面に沿って、即ち共通実装面１８ｂに略平行に延
びている場合に、特に有用である。ただし、共通実装面
に略平行に延びているとは、共通実装面に対して、振動
型ジャイロスコープの設計上通常許容される範囲内の偏
差を許容する趣旨であり、例えば０．５°以下の傾斜は
許容される。

【００１７】共通実装面１８ｂには、第一の支持部１
Ａ、第二の支持部１Ｂ、第三の支持部１Ｃが固定されて
いる。支持部１Ａは、第一の振動子３の重心ＧＯ上およ
びその近傍を支持している。支持部１Ｂは、第二の振動
子４の重心ＧＯ上およびその近傍を支持している。支持
部１Ｃは、第三の振動子５の重心ＧＯ上およびその近傍
を支持している。

【００１８】各振動子による回転角速度の検出方法を概
略的に述べる。ただし、各振動子において、駆動手段、
検出手段それ自体は周知慣用技術であるので、図示省略
する。

【００１９】振動子３は、基部６Ａと、一対の音叉型振
動片９Ａ、９Ｂからなる駆動振動系１０Ａと、一対の音
叉型振動片１１Ａ、１１Ｂからなる検出振動系１２Ａと
を備えている。各振動片はＸ軸方向に延びている。各駆
動振動片９Ａ、９Ｂを矢印ＡＹのようにＸＹ面内でＹ軸
の方向に振動させる。実装基板をＸ軸を中心として回転
させると、検出振動片１１Ａ、１１Ｂは矢印ＢＺのよう
に垂直軸Ｚの方向に振動する。この振動を検出すること
によって、Ｘ軸を中心とする回転角速度を測定する。

【００２０】振動子４は、基部６Ｂと、一対の音叉型振
動片９Ａ、９Ｂからなる駆動振動系１０Ｂと、一対の音
叉型振動片１１Ａ、１１Ｂからなる検出振動系１２Ｂと
を備えている。各振動片はＹ軸方向に延びている。各駆
動振動片９Ａ、９Ｂを矢印ＡＸのようにＸＹ面内でＸ軸
の方向に振動させる。実装基板をＹ軸を中心として回転
させると、検出振動片１１Ａ、１１Ｂは矢印ＢＺのよう
に垂直軸Ｚの方向に振動する。この振動を検出すること
によって、Ｙ軸を中心とする回転角速度を測定する。

【００２１】振動子５は、Ｚ軸を中心とする回転角速度
を測定できるものである。振動子５の基部６Ｃは、振動
子の重心ＧＯを中心として、４回対称の正方形をしてい
る。基部６Ｃの周縁部から、四方に向かって、放射状
に、二つの駆動振動系１０Ｃ、１０Ｄと２つの検出振動
系１２Ｃ、１２Ｄとが突出しており、各振動系は互いに
分離されている。

【００２２】駆動振動系１０Ｃ、１０Ｄは、それぞれ、
基部６Ｃの周縁部から突出する細長い支持部１５と、支
持部１５の先端側から支持部１５に直交する方向に延び
る屈曲振動片１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄを備えて
いる。各屈曲振動片には、それぞれ図示しない駆動手
段、例えば駆動電極が設けられている。検出振動系１２
Ｃ、１２Ｄは、細長い周方向屈曲振動片１６Ａ、１６Ｂ
からなり、各屈曲振動片には、図示しない検出手段が設
けられている。

【００２３】駆動モードにおいては、各屈曲振動片１４
Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが、支持部１５の先端部分
を中心として、矢印ＡＹのように屈曲振動する。検出モ
ードにおいては、各支持部１５が、その基部への付け根
を中心として矢印ＣＸのように周方向に屈曲振動し、こ
れに対応して、各検出振動系の各屈曲振動片１６Ａ、１
６Ｂが、矢印ＢＹのように屈曲振動する。各屈曲振動片
１６Ａ、１６Ｂに励起される各検出振動を測定すること
によって、垂直軸Ｚの周りの回転角速度を測定する。

【００２４】各振動子３、４、５からの検出信号を電子
回路基板２０へと伝送し、所定の処理を施し、各軸の回
りの回転角速度を算出する。

【００２５】前述した各振動子の形態は、それぞれ対応
する各軸の回りの回転角速度を測定できる限り、特に限
定されるものではない。

【００２６】図３は、第二の実施形態の装置１７Ｂの斜
視図であり、図４は、装置１７Ｂの要部を示す部分断面
平面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ断面に対応し
ている。図３、図４において、図１、図２に示した各構
成部分と同じ構成部分の説明は省略する。

【００２７】本例の装置１７Ｂにおいては、実装基板２
１は平板状をなしており、実装基板２１の平坦面、即ち
共通実装面２１ａに、第一の振動子３、第二の振動子
４、第三の振動子５、電子回路基板２０および受動素子
１９が実装されている。各振動子３、４、５は、各支持
部１Ａ、１Ｂ、１Ｃによって共通実装面２１ａ上に支持
されている。各支持部１Ａ、１Ｂ、１Ｃは、それぞれ、
対応する各振動子の重心ＧＯおよびその近傍に接触し、
支持している。従って、図１、図２の例と同様の作用効
果を得ることができる。

【００２８】本例では、更に、蓋２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃが共通実装面２１ａに対して固定されている。そし
て、第一の振動子３が蓋２２Ａ内に収容されており、第
二の振動子４が蓋２２Ｂ内に収容されており、第三の振
動子５が蓋２２Ｃ内に収容されている。

【００２９】次に、振動子実装用基板を共通実装面上に
固定し、この振動子実装用基板に振動子実装面を設ける
実施形態について、図５、図６を参照しつつ例示する。
図５は、第三の実施形態の装置１７Ｃの斜視図であり、
図６は、装置１７Ｃの要部を示す部分断面平面図であ
る。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ断面に対応している。

【００３０】実装基板２３の共通実装面２３ａ上には、
電子回路基板２０、受動素子１９が実装されており、更
に、各振動子実装用基板２６、２７、２８がピン等の支
持部材３０によって実装されている。各基板２６、２
７、２８の各振動子実装面２６ａ、２７ａ、２８ａ上に
は、それぞれ、振動子３、４、５が実装されている。各
振動子３、４、５の実装面上における支持形態は、図１
−図４の各形態と同じであるので、説明を省略する。各
基板２６、２７、２８の各実装面２６ａ、２７ａ、２８
ａ上には、それぞれ蓋２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃが載置さ
れており、各蓋の中に各振動子３、４、５が収容されて
いる。この結果、各振動子を収容する各パッケージ２４
Ａ、２４Ｂ、２４Ｃが構成されている。

【００３１】各振動子の材質は特に限定しないが、水
晶、ＬｉＮｂＯ3 、ＬｉＴａＯ3 、ニオブ酸リチウム−
タンタル酸リチウム固溶体（Ｌｉ（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ3 ）
単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等
からなる圧電単結晶を使用することが好ましい。圧電性
材料としては、圧電単結晶の他に、ＰＺＴ等の圧電セラ
ミックスがある。振動子を圧電性材料によって形成した
場合には、この振動子に駆動電極および検出電極を設け
る。振動子を、エリンバー等の恒弾性金属によって形成
することもできる。この場合には、振動子の所定箇所に
圧電体を取り付ける必要がある。

【００３２】振動子は、圧電材料や恒弾性合金の他に、
シリコンマイクロマシンにおいて使用されるように、シ
リコン半導体プロセスによって形成することもできる。
この場合には、振動子を駆動する際には、静電電極を利
用できる。また、静電電極のかわりに、特定の金属がド
ープされた半導体ドーピング領域を設け、この半導体ド
ーピング領域によってピエゾ抵抗素子を構成できる。

【００３３】振動子を支持する具体的方法については特
に限定せず、あらゆる支持方法、固定方法を採用でき
る。例えば、圧電材料の接着方法として公知のあらゆる
接着方法を使用できる。その一例として、振動体に支持
孔を設け、支持孔内に、支持部を挿入して振動子を固定
できる。例えば、振動体を支持するための治具から支持
部を突出させ、支持部を支持孔内に挿入し、固定でき
る。支持部を支持孔中に挿入し、固定する際には、支持
部の表面にメタライズ層を設け、および／または支持孔
の内周面にメタライズ層を設け、次いで支持部と支持孔
の内周面とをハンダ付け又はロウ付けする。あるいは、
支持部と支持孔との間に樹脂を配することにより、振動
子を固定できる。

【００３４】本発明において、各振動子の重心それ自体
は幾何学的に言って大きさのない点である。この重心に
対して支持部の少なくとも一部が接触していれば、振動
子の重心を支持していると言える。また、振動子の重心
の近傍とは、各振動子の重心の近くを意味しており、例
えば重心から半径１ｍｍの円内の領域はすべて含まれ
る。本発明においては、振動子の重心を支持しつつ、か
つ重心の近傍も支持することが好ましい。図１−図６の
各例においては、それぞれ、振動子の重心を支持しつ
つ、かつ重心の近傍も支持している。ただし、重心の近
傍を支持する際、重心それ自体は直接支持しないように
することもできる。

【００３５】図１−図６の例では、支持部１Ａ、１Ｂは
略正方形状をなしており、支持部１Ｃは略円形をなして
いるが、こうした各支持部の振動子に対する接触部分に
おける平面的形態は特に限定されない。例えば支持部の
振動子に対する接触部分の平面的形態を環状にし、環状
の接触部分の内部の空隙に振動子の重心を位置させるこ
とができる。この場合には、振動子の重心を直接には支
持せず、振動子の重心の近傍を支持していることにな
る。

【００３６】また、各振動子において、各支持部の振動
子への接触面の幾何学的中心ＳＯ（図２参照）と、振動
子の重心との間隔は、出力変動を一層抑制するという観
点から１．０ｍｍ以下が好ましく、０．３ｍｍ以下が更
に好ましく、０．２ｍｍ以下がより一層好ましい。

【００３７】また、振動子に支持孔を設けない場合に
は、振動子の裏面に支持部をハンダ付けしたり、あるい
は樹脂によって接着できる。支持部の材質は限定され
ず、樹脂、金属であってよい。

【００３８】接着剤のｔａｎδは、使用温度範囲（通常
−４０℃−＋８０℃、特に好ましくは−４０℃−＋８５
℃）の全体においてＱ値を大きくでき、かつその変動を
小さくするという観点から、０．０３以下が更に好まし
い。また、ｔａｎδの下限は特になく、０．００であっ
てもよい。使用温度範囲内における接着剤のｔａｎδの
最大値と最小値との差は、０．０３以下であることが好
ましい。

【００３９】また、振動子の駆動振動のＱ値を更に一定
にするという観点から、接着剤の比重は１．１以下とす
ることが特に好ましい。このように接着剤の比重を１．
０に近づけるためには、接着剤中の充填剤（フィラー）
の含有量を７重量％以下とすることが好ましい。

【００４０】接着剤の種類は限定されず、シリコーンＲ
ＴＶゴム、シリコーンゲル、シリコーン樹脂、エチレン
プロピレンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴムなどの合成
ゴム、テフロン（登録商標）、四フッ化エチレン樹脂な
どのフッ素樹脂、塩化ビニール、ナイロン、ポリエチレ
ンなどがある。

【００４１】本発明者は、図２に示す振動子５につい
て、以下の参考実験を実施した。即ち、振動子５を水晶
によって形成した。この振動子５の振動片１４Ａ−１４
Ｄにそれぞれ金からなる駆動電極を形成し、振動片１６
Ａ、１６Ｂにそれぞれ金からなる検出電極を形成した。
基部６Ｃの寸法は６ｍｍ×６ｍｍとし、各検出振動片の
長さは６ｍｍとした。半径２．５ｍｍのシリコン樹脂製
の支持部１Ｃを形成した。そして、支持部１Ｃの中心Ｓ
Ｏと重心ＧＯとの位置の矢印Ｓ方向（Ｘ軸方向）に見た
ときのズレを０．００ｍｍ（ずれなし）、０．２０ｍｍ
または０．３０ｍｍとした。そして、矢印Ｔ方向（Ｙ軸
方向）に、検出振動と駆動振動との周波数差に相当する
周波数（４００Ｈｚ）の直線振動加速度を外部から加え
た（回転角速度は０とした）。この結果、支持部１Ｃの
中心と重心ＧＯとの位置の矢印Ｓ方向に見たときのズレ
が０．００ｍｍのときの検出出力に対して、このズレが
０．２０ｍｍのときの検出出力は２．６°／ｓ／Ｇ変化
しており、０．３０ｍｍのときの検出出力は４．０°／
ｓ／Ｇ変化していた。

【００４２】従って、振動子の支持部の中心が、振動子
の全体の中心に対して位置ずれしていると、検出振動と
駆動振動との周波数差に相当する周波数の直線振動加速
度が外部から振動子に対して加わったときに、検出出力
が変動することが分かる。複数の振動子を一枚の薄板中
に形成し、この薄板を基板上に支持した場合には、こう
した要素が出力変動に寄与しているものと考えられる。

【００４３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、車
載用途等において目的物の三次元的位置を把握するのに
適した、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回りの
各回転角速度を検出するための角速度測定装置におい
て、各振動子には回転を加えていない状態で外部から振
動を加えたときに各振動子から発生する出力誤差を抑制
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施形態に係る装置１７Ａの斜
視図であり、各振動子３、４、５が共通実装面１８ｂ上
に実装されている。

【図２】図１の装置１７Ａの要部を示す平面図である。

【図３】本発明の第二の実施形態に係る装置２１ａの斜
視図であり、各振動子３、４、５が共通実装面２１ａ上
に実装されており、各振動子がそれぞれ蓋２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃ内に収容されている。

【図４】図３の装置１７Ｂの要部を示す平面図であり、
図３のＩＶ−ＩＶ断面に対応している。

【図５】本発明の第三の実施形態に係る装置１７Ｃの斜
視図であり、共通実装面２３ａ上に３個の振動子実装用
基板２６、２７、２８が実装されており、各基板の実装
面上にそれぞれ各振動子３、４、５が実装されている。

【図６】図５の装置１７Ｃの要部を示す平面図であり、
図５のＶＩ−ＶＩ断面に対応している。

【符号の説明】

１Ａ、１Ｂ、１Ｃ振動子の支持部３第一
の振動子４第二の振動子５第三の振動子
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ基部９Ａ、９Ｂ、１４
Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ駆動振動片１
０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ駆動振動系
１１Ａ、１１Ｂ、１６Ａ、１６Ｂ検出振動片
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ検出振動系
１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ角速度測定装置
１８、２１、２３共通実装基板１８ｂ、２
１ａ、２３ａ共通実装面２０電子回路基板２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃ、２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ蓋２６、２
７、２８振動子実装用基板２６ａ、２７
ａ、２８ａ振動子実装面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回
りの各回転角速度を検出するための角速度測定装置であ
って、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸に対して略平行な共通実装面を
備えている実装基板、前記共通実装面上に実装され、前記Ｘ軸の回りの回転角
速度を検出するための第一の振動子、前記共通実装面上に実装され、前記第一の振動子とは別
体であり、前記Ｙ軸の回りの回転角速度を検出するため
の第二の振動子、および前記共通実装面上に実装され、
前記第一の振動子および前記第二の振動子とは別体であ
り、前記Ｚ軸の回りの回転角速度を検出するための第三
の振動子を備えていることを特徴とする、角速度測定装
置。
【請求項２】前記共通実装面上に固定され、前記第一の
振動子の少なくとも重心または重心の近傍を支持する第
一の支持部、前記共通実装面上に固定され、前記第二の振動子の少な
くとも重心または重心の近傍を支持する第二の支持部、
および前記共通実装面上に固定され、前記第三の振動子
の少なくとも重心または重心の近傍を支持する第三の支
持部を備えていることを特徴とする、請求項１記載の装
置。
【請求項３】前記実装基板がセラミックパッケージであ
ることを特徴とする、請求項１または２記載の装置。
【請求項４】前記第一の振動子、前記第二の振動子およ
び前記第三の振動子が、それぞれ、前記共通実装面上に
固定された蓋内に収容されていることを特徴とする、請
求項１または２記載の装置。
【請求項５】互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の回
りの各回転角速度を検出するための角速度測定装置であ
って、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸に対して略平行な共通実装面を
備えている実装基板、前記共通実装面上に固定されており、振動子実装面が設
けられている一個または複数個の振動子実装用基板、少なくとも一つの前記振動子実装面上に実装され、前記
Ｘ軸の回りの回転角速度を検出するための第一の振動
子、少なくとも一つの前記振動子実装面上に実装され、前記
第一の振動子とは別体であり、前記Ｙ軸の回りの回転角
速度を検出するための第二の振動子、および少なくとも
一つの前記振動子実装面上に実装され、前記第一の振動
子および前記第二の振動子とは別体であり、前記Ｚ軸の
回りの回転角速度を検出するための第三の振動子を備え
ていることを特徴とする、角速度測定装置。
【請求項６】前記共通実装面上に前記振動子実装用基板
が三個設けられており、前記第一の振動子、前記第二の
振動子および前記第三の振動子が、それぞれ相異なる前
記振動子実装用基板の前記振動子実装面上に実装されて
いることを特徴とする、請求項５記載の装置。
【請求項７】前記振動子実装面上に固定され、前記第一
の振動子の少なくとも重心または重心の近傍を支持する
第一の支持部、前記振動子実装面上に固定され、前記第二の振動子の少
なくとも重心または重心の近傍を支持する第二の支持
部、および前記振動子実装面上に固定され、前記第三の
振動子の少なくとも重心または重心の近傍を支持する第
三の支持部を備えていることを特徴とする、請求項５ま
たは６記載の装置。
【請求項８】前記第一の振動子、前記第二の振動子およ
び前記第三の振動子が、それぞれ、前記振動子実装面に
固定された蓋内に収容されていることを特徴とする、請
求項５〜７のいずれか一つの請求項に記載の装置。