JP2006300577A - 振動ジャイロ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動子11,12と、この振動子11,12を制御する半導体部品20と、前記振動子11,12を支持してこの振動子11,12と前記半導体部品20を電気的に接続する回路部品40を含む支持基板30と、この支持基板30上に設けた前記振動子11,12、半導体部品20および回路部品40を覆う蓋体50から構成した振動ジャイロにおいて、前記支持基板30に前記振動子11,12を所定の感度軸方向に支持するための位置決め301,302を設けた。
【選択図】図1
Description
ここで、Sは他軸感度、θは回転角度誤差を表す。
11,12 振動子
20 半導体部品
30 支持基板
40 回路部品
50 蓋体
101a,101b,102a,102b 駆動電極
103a,103b モニタ電極
105a,105b 検出電極
200 セルフアライメント
301,302 位置決め
500 ユーザー基板
501,502 孔部
503,504 突部
Claims (9)
- 振動子と、この振動子を制御する半導体部品と、前記振動子を支持してこの振動子と前記半導体部品を電気的に接続する回路部品を含む支持基板と、この支持基板上に設けた前記振動子、半導体部品および回路部品を覆う蓋体から構成した振動ジャイロであって、前記支持基板に前記振動子を所定の感度軸方向に支持するための位置決めを設けたことを特徴とする振動ジャイロ。
- 位置決めを基準として振動子を支持基板上に2つ以上配置したことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板のコーナー部付近に少なくとも2つ以上設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板の対角線上に設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めの形状をアライメントマークとした請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを突起状あるいは孔状の形状とした請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板の外周辺のいずれか一辺あるいは2辺を基準として設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 支持基板の裏面に上下左右対称のセルフアライメントを設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- セルフアライメントは位置決めを基準として設けた請求項8記載の振動ジャイロ。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007105559A1 (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサとその製造方法およびその角速度センサを用いた電子機器 |
JP2007248187A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2007248189A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサの製造方法 |
JP2007248188A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2007285978A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
EP1950529A1 (en) | 2007-01-23 | 2008-07-30 | Fujitsu Ltd. | Angular velocity sensor |
JP2009020035A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
JP2011107161A (ja) * | 2011-02-25 | 2011-06-02 | Panasonic Corp | 振動ジャイロ |
JP2011133486A (ja) * | 2011-02-24 | 2011-07-07 | Panasonic Corp | 振動ジャイロ |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03103708A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-04-30 | Anritsu Corp | 音叉型振動ジャイロおよび角速度入力軸合わせ用治具 |
JPH06123629A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH07294263A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JP2001156432A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Opnext Japan Inc | モジュール及び電子部品の実装方法 |
JP2002203924A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波スイッチモジュールおよびこれを実装した高周波機器 |
JP2002257548A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Ngk Insulators Ltd | 角速度測定装置 |
JP2003008380A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の製造方法および圧電振動子 |
JP2003133897A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器 |
WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
-
2005
- 2005-04-18 JP JP2005119239A patent/JP5306570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03103708A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-04-30 | Anritsu Corp | 音叉型振動ジャイロおよび角速度入力軸合わせ用治具 |
JPH06123629A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH07294263A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JP2001156432A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Opnext Japan Inc | モジュール及び電子部品の実装方法 |
JP2002203924A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波スイッチモジュールおよびこれを実装した高周波機器 |
JP2002257548A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Ngk Insulators Ltd | 角速度測定装置 |
JP2003008380A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の製造方法および圧電振動子 |
JP2003133897A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器 |
WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007105559A1 (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサとその製造方法およびその角速度センサを用いた電子機器 |
JP2007248187A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2007248189A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサの製造方法 |
JP2007248188A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
US8087296B2 (en) | 2006-03-15 | 2012-01-03 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor |
CN103196437A (zh) * | 2006-03-15 | 2013-07-10 | 松下电器产业株式会社 | 角速度传感器及其制造方法 |
CN103196437B (zh) * | 2006-03-15 | 2016-04-06 | 松下知识产权经营株式会社 | 角速度传感器及其制造方法 |
JP2007285978A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
EP1950529A1 (en) | 2007-01-23 | 2008-07-30 | Fujitsu Ltd. | Angular velocity sensor |
JP2009020035A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
JP2011133486A (ja) * | 2011-02-24 | 2011-07-07 | Panasonic Corp | 振動ジャイロ |
JP2011107161A (ja) * | 2011-02-25 | 2011-06-02 | Panasonic Corp | 振動ジャイロ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5306570B2 (ja) | 2013-10-02 |
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