JP5626403B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
ここで、Sは他軸感度、θは回転角度誤差を表す。
11,12 振動子
20 半導体部品
30 支持基板
40 回路部品
50 蓋体
101a,101b,102a,102b 駆動電極
103a,103b モニタ電極
105a,105b 検出電極
200 セルフアライメント
301,302 位置決め
500 ユーザー基板
501,502 孔部
503,504 突部
Claims (7)
- 基部および振動部分を有する第1の振動子および第2の振動子と、
この第1の振動子および第2の振動子を制御する半導体部品と、
回路部品と、
キャビティ部および平面部を有する支持基板と、
この支持基板上に設けた前記第1の振動子、第2の振動子、半導体部品および回路部品を覆う蓋体から構成した振動ジャイロであって、
前記半導体部品はキャビティ部に実装され、
前記支持基板と平行に駆動振動または検出振動する前記第2の振動子の振動部分の先端部が前記支持基板と平行に駆動振動または検出振動する前記第1の振動子の振動部分の先端部よりも基部寄りの側面に対向するように配置されたことを特徴とする
振動ジャイロ。 - 前記平面部に第1の振動子および前記第2の振動子を所定の感度軸方向に支持するための位置決めが複数のアライメントマークとして設けられたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 前記位置決めを基準として前記第1の振動子と前記第2の振動子とが垂直となるように配置したことを特徴とする請求項2記載の振動ジャイロ。
- 前記位置決めを前記支持基板のコーナー部付近に少なくとも2つ以上設けたことを特徴とする請求項2記載の振動ジャイロ。
- 前記位置決めを前記支持基板の対角線上に設けたことを特徴とする請求項2記載の振動ジャイロ。
- 前記位置決めをアライメントマークとし、前記支持基板の前記平面部に複数の異なる形の前記アライメントマークを設けた請求項2記載の振動ジャイロ。
- 前記位置決めを基準に前記支持基板の裏面に上下左右対称のセルフアライメントを設けたことを特徴とする請求項2記載の振動ジャイロ。
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