JP4980063B2 - 角速度センサ - Google Patents
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- 互いに平行に延びる一対のアーム部が軸部に連結され、所定形状に形成された基板で構成された振動子と、前記各アーム部の一の面に配置された、駆動電極の間に圧電体を介在させた駆動用の圧電素子からなり、前記アーム部を互いに逆向きに振動させる駆動手段と、前記アーム部がコリオリ力を受けて歪む方向における当該アーム部の歪を検知する歪検知手段とを備え、
前記各アーム部の一の面に配置された、補正駆動電極の間に圧電体を介在させた補正駆動用の圧電素子からなり、前記アーム部を当該アーム部がコリオリ力を受けて歪む方向に駆動させる補正駆動手段と、コリオリ力を受けずに発生するアーム部の擬似歪を前記歪検知手段で検知して、この擬似歪を相殺する方向に前記アーム部を駆動させるように前記補正駆動手段を制御する補正回路とが設けられており、
前記駆動用の圧電素子及び前記補正駆動用の圧電素子は、前記各アーム部の軸部側に配置されており、
前記駆動用の圧電素子は、前記各アーム部の一の面に一対配置されており、これらの駆動用の圧電素子の間に前記補正駆動用の圧電素子が配置されており、
前記歪検知手段は、前記各アーム部の一の面上で、前記一対の駆動用の圧電素子の間に配置された、検知電極の間に圧電体を介在させた検知用の圧電素子からなっており、
前記補正駆動用の圧電素子は、前記アーム部の並び方向で、前記検知用の圧電素子よりも外側に配置されていることを特徴とする角速度センサ。 - 前記補正駆動用の圧電素子におけるアーム部の並び方向の幅は、前記駆動用の圧電素子及び検知用の圧電素子におけるアーム部の並び方向の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。
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