JPH0571965A - 振動ジヤイロ - Google Patents
振動ジヤイロInfo
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- JPH0571965A JPH0571965A JP3236226A JP23622691A JPH0571965A JP H0571965 A JPH0571965 A JP H0571965A JP 3236226 A JP3236226 A JP 3236226A JP 23622691 A JP23622691 A JP 23622691A JP H0571965 A JPH0571965 A JP H0571965A
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】測定精度を向上させるための調整を容易にし、
信頼性を向上させる。 【構成】駆動用トランスデューサを励振し振動子本体を
ｘ軸方向に振動させて速度を与えた状態で角速度ω＝０
の時に発生する漏れ電圧を零に調整する補償用トランス
デューサを備えている。 【効果】検出用トランスデューサから角速度ω＝０の時
に発生する漏れ電圧は補償用トランスデューサにより零
に調整される。補償用トランスデューサによりnull電圧
を零に調整することができるため、測定精度を向上させ
るための調整が容易となる。このためｚ軸回りに角速度
ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリオリの力によ
って起きるｙ軸方向の振動を検知することにより角速度
ωを高精度で測定することができ信頼性が向上する。
信頼性を向上させる。 【構成】駆動用トランスデューサを励振し振動子本体を
ｘ軸方向に振動させて速度を与えた状態で角速度ω＝０
の時に発生する漏れ電圧を零に調整する補償用トランス
デューサを備えている。 【効果】検出用トランスデューサから角速度ω＝０の時
に発生する漏れ電圧は補償用トランスデューサにより零
に調整される。補償用トランスデューサによりnull電圧
を零に調整することができるため、測定精度を向上させ
るための調整が容易となる。このためｚ軸回りに角速度
ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリオリの力によ
って起きるｙ軸方向の振動を検知することにより角速度
ωを高精度で測定することができ信頼性が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は飛行体、船舶、車両、ロ
ボットなどの位置、姿勢制御に適した振動ジャイロに関
し、特に、測定精度を向上させるための調整が容易で、
信頼性が高い振動ジャイロに係わる。
ボットなどの位置、姿勢制御に適した振動ジャイロに関
し、特に、測定精度を向上させるための調整が容易で、
信頼性が高い振動ジャイロに係わる。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図３に示すように、ｘ軸方向
に運動している物体にｚ軸回りに角速度Ωが加わるとｙ
軸方向にコリオリＦcの力が発生することが知られてい
る。この原理を利用し、支持ピン１０で支持された振動
子本体１１をｘ軸面に貼着された駆動用トランスジュー
サ１２によりｘ軸方向に屈曲振動を起こさせて速度を与
え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力Ｆcによって起きるｙ軸方向の振動を
ｙ軸面に貼着された検出用トランスジューサ１３により
検知することにより、この角速度Ωを測定する振動ジャ
イロが提案されている（特開昭６２−１０６３１５号、
特開平１−２５００１４号、特開平２−５１０６６号、
特開平２−８０９１１号、特開平２−８２１６４号、特
開平２−１８７６２１号、特開平２−１８７６２２号、
特開平２−２０１２１８号公報）。
に運動している物体にｚ軸回りに角速度Ωが加わるとｙ
軸方向にコリオリＦcの力が発生することが知られてい
る。この原理を利用し、支持ピン１０で支持された振動
子本体１１をｘ軸面に貼着された駆動用トランスジュー
サ１２によりｘ軸方向に屈曲振動を起こさせて速度を与
え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力Ｆcによって起きるｙ軸方向の振動を
ｙ軸面に貼着された検出用トランスジューサ１３により
検知することにより、この角速度Ωを測定する振動ジャ
イロが提案されている（特開昭６２−１０６３１５号、
特開平１−２５００１４号、特開平２−５１０６６号、
特開平２−８０９１１号、特開平２−８２１６４号、特
開平２−１８７６２１号、特開平２−１８７６２２号、
特開平２−２０１２１８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これらの振動ジャイロ
にはその振動体に着目すれば音叉型や図示のような音片
型等色々の種類があるが、何れも振動体１１に駆動用ト
ランスジューサ１２によりｘ軸方向に屈曲振動させ、ｚ
軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコ
リオリの力Ｆcによって起きるｙ軸方向の屈曲振動を検
出用トランスジューサ１３により検知し、角速度Ωを測
定するものである。この場合、図４に示すように、ｘ軸
方向の駆動用トランスジューサ１２を励振して振動体１
１にｘ軸方向に圧縮、伸びの屈曲運動の振動を起こさせ
て速度を与えると、ｙ軸方向の検出用トランスジューサ
１３には静電的結合や振動体１１に惹起した圧縮、伸び
の屈曲運動に対する機械的結合によってｙ軸方向の検出
用トランスジューサ１３には振動子１１がｚ軸回りに角
速度Ωを受けないとき、即ちΩ＝０の時にも漏れ電圧が
出力される。この漏れ電圧（ヌル（null）電圧）が角速
度検出時の測定誤差の原因になる。振動ジャイロでは、
この null電圧を如何に少なく抑え、かつ null電圧の変
動を小さく抑えるかということが重要である。
にはその振動体に着目すれば音叉型や図示のような音片
型等色々の種類があるが、何れも振動体１１に駆動用ト
ランスジューサ１２によりｘ軸方向に屈曲振動させ、ｚ
軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコ
リオリの力Ｆcによって起きるｙ軸方向の屈曲振動を検
出用トランスジューサ１３により検知し、角速度Ωを測
定するものである。この場合、図４に示すように、ｘ軸
方向の駆動用トランスジューサ１２を励振して振動体１
１にｘ軸方向に圧縮、伸びの屈曲運動の振動を起こさせ
て速度を与えると、ｙ軸方向の検出用トランスジューサ
１３には静電的結合や振動体１１に惹起した圧縮、伸び
の屈曲運動に対する機械的結合によってｙ軸方向の検出
用トランスジューサ１３には振動子１１がｚ軸回りに角
速度Ωを受けないとき、即ちΩ＝０の時にも漏れ電圧が
出力される。この漏れ電圧（ヌル（null）電圧）が角速
度検出時の測定誤差の原因になる。振動ジャイロでは、
この null電圧を如何に少なく抑え、かつ null電圧の変
動を小さく抑えるかということが重要である。
【０００４】このため、図５に示すように振動体１１を
励振する駆動源としての発振器１５から振動体１１を駆
動用トランスジューサ１２を介して励振し、検出用トラ
ンスジューサ１３からの出力と、この発振器１５を直接
利用して、発振器１５から直列に設けた位相器１６、増
幅器１７を介した出力とをミキサー１８に印加し両者を
調整して null電圧を出力時に相殺する方法がとられて
いる。
励振する駆動源としての発振器１５から振動体１１を駆
動用トランスジューサ１２を介して励振し、検出用トラ
ンスジューサ１３からの出力と、この発振器１５を直接
利用して、発振器１５から直列に設けた位相器１６、増
幅器１７を介した出力とをミキサー１８に印加し両者を
調整して null電圧を出力時に相殺する方法がとられて
いる。
【０００５】しかしながら、この方法ではその位相およ
び振幅を同時に調整することが非常に煩雑になる欠点が
ある。
び振幅を同時に調整することが非常に煩雑になる欠点が
ある。
【０００６】
【目的】本発明は叙上の難点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、測定精度を向上させるための調整が容易で、
信頼性が高い振動ジャイロを提供せんとするものであ
る。
の目的は、測定精度を向上させるための調整が容易で、
信頼性が高い振動ジャイロを提供せんとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の振動ジャイロは、振動子本体をｘ軸方向に振
動させて速度を与える駆動用トランスジューサと、ｚ軸
回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリ
オリの力によって起きるｙ軸方向の屈曲振動を検知する
検出用トランスジューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に
貼着し、このｙ軸方向の屈曲振動を検知することにより
角速度Ωを測定する振動ジャイロであって、駆動用トラ
ンスジューサを励振し振動子本体をｘ軸方向に振動させ
て速度を与えた状態で角速度Ω＝０の時に発生する漏れ
電圧を零に調整する補償用トランスジューサを備えたも
のである。
に本発明の振動ジャイロは、振動子本体をｘ軸方向に振
動させて速度を与える駆動用トランスジューサと、ｚ軸
回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリ
オリの力によって起きるｙ軸方向の屈曲振動を検知する
検出用トランスジューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に
貼着し、このｙ軸方向の屈曲振動を検知することにより
角速度Ωを測定する振動ジャイロであって、駆動用トラ
ンスジューサを励振し振動子本体をｘ軸方向に振動させ
て速度を与えた状態で角速度Ω＝０の時に発生する漏れ
電圧を零に調整する補償用トランスジューサを備えたも
のである。
【０００８】
【作用】ｘ軸面に貼着された駆動用トランスジューサに
より振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を与える
と、ｙ軸面に貼着された検出用トランスジューサから角
速度Ω＝０の時に漏れ電圧が発生する。この漏れ電圧は
補償用トランスジューサにより零に調整される。補償用
トランスジューサにより null電圧を零に調整すること
ができるため、測定精度を向上させるための調整が容易
となる。このためｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ
軸方向に発生するコリオリの力によって起きるｙ軸方向
の振動を検知することにより角速度Ωを高精度で測定す
ることができ信頼性が向上する。
より振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を与える
と、ｙ軸面に貼着された検出用トランスジューサから角
速度Ω＝０の時に漏れ電圧が発生する。この漏れ電圧は
補償用トランスジューサにより零に調整される。補償用
トランスジューサにより null電圧を零に調整すること
ができるため、測定精度を向上させるための調整が容易
となる。このためｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ
軸方向に発生するコリオリの力によって起きるｙ軸方向
の振動を検知することにより角速度Ωを高精度で測定す
ることができ信頼性が向上する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の振動ジャイロを音片型に適用
した実施例につき図面を参照して説明する。図１におい
て、振動ジャイロは横断面４角形の直方体の音片で構成
された振動子本体１をｘ軸方向に屈曲運動の振動を起こ
させて速度を与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときに
ｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによって起きるｙ
軸方向の屈曲振動を検知することにより、この角速度Ω
を測定するものである。
した実施例につき図面を参照して説明する。図１におい
て、振動ジャイロは横断面４角形の直方体の音片で構成
された振動子本体１をｘ軸方向に屈曲運動の振動を起こ
させて速度を与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときに
ｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによって起きるｙ
軸方向の屈曲振動を検知することにより、この角速度Ω
を測定するものである。
【００１０】本発明の振動ジャイロにおいて、振動子本
体１をｘ軸方向に振動させて速度を与える駆動用トラン
スジューサ２と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ
軸方向に発生するコリオリの力によって起きるｙ軸方向
の振動を検知する検出用トランスジューサ３とがそれぞ
れｘ軸面１x、ｙ軸面１yに貼着されている。振動子本体
１のｙ軸面１yには、駆動用トランスジューサ２を励振
し振動子本体１をｘ軸方向に振動させて速度を与えた状
態で角速度Ω＝０の時に検出用トランスジューサ３に発
生する漏れ電圧を零に調整する補償用トランスジューサ
４が貼着されている。なお、図１には明示されていない
が、ｘ軸面、ｙ軸面の両側に駆動用トランスジューサ
２、検出用トランスジューサ３し、各軸面に２個のトラ
ンスジューサを貼着してもよい。
体１をｘ軸方向に振動させて速度を与える駆動用トラン
スジューサ２と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ
軸方向に発生するコリオリの力によって起きるｙ軸方向
の振動を検知する検出用トランスジューサ３とがそれぞ
れｘ軸面１x、ｙ軸面１yに貼着されている。振動子本体
１のｙ軸面１yには、駆動用トランスジューサ２を励振
し振動子本体１をｘ軸方向に振動させて速度を与えた状
態で角速度Ω＝０の時に検出用トランスジューサ３に発
生する漏れ電圧を零に調整する補償用トランスジューサ
４が貼着されている。なお、図１には明示されていない
が、ｘ軸面、ｙ軸面の両側に駆動用トランスジューサ
２、検出用トランスジューサ３し、各軸面に２個のトラ
ンスジューサを貼着してもよい。
【００１１】この振動子本体１は温度特性を考慮して恒
弾性のＮｉ−ＳＰＡＮ−Ｃまたはエリンバ、ステンレス
スチールなどの金属や石英、水晶、セラミックなどの電
気絶縁物で構成されている。恒弾性の電気絶縁物として
はヤング率の温度係数が小さく線膨張係数が小さい絶縁
物で、ガラスが好適に採用される。ガラスは恒弾性であ
る他、メカニカルＱが大きく等方的であり、振動子とし
て必要な特性を備えている。ガラスとしては、低膨張の
鉛を含むガラスが特に好ましい。例えば、鉛を含むガラ
スとしては、PbO-SiO2、PbO-B2O3、PbO-P2O5系、R2O-Pb
O-SiO2、R2O-CaO-PbO-SiO2、R2O-ZnO-PbO-SiO2、R2O-Ba
O-PbO-SiO2、R2O-Al2O3-PbO-SiO2(R2O:Na2O、K2O)系ま
たはこれらのSiO2分をB2O3若しくはP2O5で置換した系が
採用できる。
弾性のＮｉ−ＳＰＡＮ−Ｃまたはエリンバ、ステンレス
スチールなどの金属や石英、水晶、セラミックなどの電
気絶縁物で構成されている。恒弾性の電気絶縁物として
はヤング率の温度係数が小さく線膨張係数が小さい絶縁
物で、ガラスが好適に採用される。ガラスは恒弾性であ
る他、メカニカルＱが大きく等方的であり、振動子とし
て必要な特性を備えている。ガラスとしては、低膨張の
鉛を含むガラスが特に好ましい。例えば、鉛を含むガラ
スとしては、PbO-SiO2、PbO-B2O3、PbO-P2O5系、R2O-Pb
O-SiO2、R2O-CaO-PbO-SiO2、R2O-ZnO-PbO-SiO2、R2O-Ba
O-PbO-SiO2、R2O-Al2O3-PbO-SiO2(R2O:Na2O、K2O)系ま
たはこれらのSiO2分をB2O3若しくはP2O5で置換した系が
採用できる。
【００１２】一般に、振動ジャイロに使用する振動子本
体は特に断面２次モーメントの関係で厳密に正ｎ角形
（ｎは３以上の正の整数）である必要があるので、断面
の角度精度、寸法精度等を厳格に規定するため、切削、
研磨して調整を行なう際に、恒弾性絶縁物、特にガラス
ではその作業が容易である。振動子本体１が恒弾性絶縁
物で構成される場合、駆動用トランスジューサ２、検出
用トランスジューサ３、補償用トランスジューサ４の形
成のためには、振動子本体１のｘ軸面１x、ｙ軸面１yに
アース電極２x、３x、４xが蒸着または金属箔により形
成し、駆動用圧電トランスジューサ２、検出用圧電トラ
ンスジューサ３、補償用トランスジューサ４はそれぞれ
このアース電極２x、３x、４xに貼着される。振動子本
体１表面電極２y、３y、４yはこの駆動用圧電トランス
ジューサ２、検出用圧電トランスジューサ３、補償用ト
ランスジューサ４に蒸着または金属箔により形成されて
いる。なお、振動子本体１が金属などの導体で構成され
る場合にはこのようなアース電極は不用である。図１に
示すように、振動子本体１は支持棒Ｓにより支持され
る。
体は特に断面２次モーメントの関係で厳密に正ｎ角形
（ｎは３以上の正の整数）である必要があるので、断面
の角度精度、寸法精度等を厳格に規定するため、切削、
研磨して調整を行なう際に、恒弾性絶縁物、特にガラス
ではその作業が容易である。振動子本体１が恒弾性絶縁
物で構成される場合、駆動用トランスジューサ２、検出
用トランスジューサ３、補償用トランスジューサ４の形
成のためには、振動子本体１のｘ軸面１x、ｙ軸面１yに
アース電極２x、３x、４xが蒸着または金属箔により形
成し、駆動用圧電トランスジューサ２、検出用圧電トラ
ンスジューサ３、補償用トランスジューサ４はそれぞれ
このアース電極２x、３x、４xに貼着される。振動子本
体１表面電極２y、３y、４yはこの駆動用圧電トランス
ジューサ２、検出用圧電トランスジューサ３、補償用ト
ランスジューサ４に蒸着または金属箔により形成されて
いる。なお、振動子本体１が金属などの導体で構成され
る場合にはこのようなアース電極は不用である。図１に
示すように、振動子本体１は支持棒Ｓにより支持され
る。
【００１３】このように構成された振動ジャイロにおい
て、図２に示すように、発振器５からアース電極２x、
表面電極２y間に駆動信号 Ａｓｉｎωｔ（ここにＡは振幅、ωは発振器５の駆動信
号角周波数） を印加して駆動用圧電トランスジューサ２により振動子
本体１のｘ軸方向に振動させて速度を与えると、ｚ軸回
りの角速度Ω＝０のときでも静電的または機械的結合に
よって検出用圧電トランスジューサ３のアース電極３
x、表面電極３yにはnull電圧（漏れ電圧） Ｂｓｉｎ（ωｔ＋α）（ここにＢは振幅） を生じる。このnull電圧を零に調整するために同じく発
振器５から位相器６、増幅器７を介して補償用トランス
ジューサ４のアース電極４x、表面電極４yへ補償用電圧 Ｃｓｉｎ（ωｔ＋β）（ここにＣは振幅） を加える。
て、図２に示すように、発振器５からアース電極２x、
表面電極２y間に駆動信号 Ａｓｉｎωｔ（ここにＡは振幅、ωは発振器５の駆動信
号角周波数） を印加して駆動用圧電トランスジューサ２により振動子
本体１のｘ軸方向に振動させて速度を与えると、ｚ軸回
りの角速度Ω＝０のときでも静電的または機械的結合に
よって検出用圧電トランスジューサ３のアース電極３
x、表面電極３yにはnull電圧（漏れ電圧） Ｂｓｉｎ（ωｔ＋α）（ここにＢは振幅） を生じる。このnull電圧を零に調整するために同じく発
振器５から位相器６、増幅器７を介して補償用トランス
ジューサ４のアース電極４x、表面電極４yへ補償用電圧 Ｃｓｉｎ（ωｔ＋β）（ここにＣは振幅） を加える。
【００１４】こうして発振器５から位相器６、増幅器７
を介して印加される電圧の振幅Ｃおよび位相βを調整し
て出力 OUTに現れる null電圧を零にすることが可能と
なる。この状態でｚ軸回りの角速度Ωが加わると、検出
用圧電トランスジューサ３に現れるコリオリの力Ｆcに
よる振動を検出することができ、これから角速度Ωを測
定することが可能である。
を介して印加される電圧の振幅Ｃおよび位相βを調整し
て出力 OUTに現れる null電圧を零にすることが可能と
なる。この状態でｚ軸回りの角速度Ωが加わると、検出
用圧電トランスジューサ３に現れるコリオリの力Ｆcに
よる振動を検出することができ、これから角速度Ωを測
定することが可能である。
【００１５】この振動ジャイロでは補償用トランスジュ
ーサにより null電圧を零に調整することができるた
め、測定精度を向上させるための調整を容易にし、信頼
性を高くすることができる。なお、以上の実施例では振
動ジャイロを４角形の直方体振動体を使用した音片型に
適用した例について説明したが、本発明の振動ジャイロ
は横断面ｎ角形（ｎは３または５以上）の多辺体の音片
型にも適用でき、音叉型等に応用する場合についても等
しく適用できる。この場合、ｘ軸方向、ｙ軸方向とはそ
の横断面ｎ角形のｘ軸方向、ｙ軸方向成分をいうものと
する。
ーサにより null電圧を零に調整することができるた
め、測定精度を向上させるための調整を容易にし、信頼
性を高くすることができる。なお、以上の実施例では振
動ジャイロを４角形の直方体振動体を使用した音片型に
適用した例について説明したが、本発明の振動ジャイロ
は横断面ｎ角形（ｎは３または５以上）の多辺体の音片
型にも適用でき、音叉型等に応用する場合についても等
しく適用できる。この場合、ｘ軸方向、ｙ軸方向とはそ
の横断面ｎ角形のｘ軸方向、ｙ軸方向成分をいうものと
する。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の振動ジャイロによれば、振動子本体をｘ軸方向に振
動させて速度を与える駆動用トランスジューサと、ｚ軸
回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリ
オリの力によって起きるｙ軸方向の振動を検知する検出
用トランスジューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着
し、このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ω
を測定する振動ジャイロであって、駆動用トランスジュ
ーサを励振し振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を
与えた状態で角速度Ω＝０の時に発生する漏れ電圧を零
に調整する補償用トランスジューサを備えたことによ
り、測定精度を向上させるための調整を容易にし、信頼
性を高くすることができる。
明の振動ジャイロによれば、振動子本体をｘ軸方向に振
動させて速度を与える駆動用トランスジューサと、ｚ軸
回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生するコリ
オリの力によって起きるｙ軸方向の振動を検知する検出
用トランスジューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着
し、このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ω
を測定する振動ジャイロであって、駆動用トランスジュ
ーサを励振し振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を
与えた状態で角速度Ω＝０の時に発生する漏れ電圧を零
に調整する補償用トランスジューサを備えたことによ
り、測定精度を向上させるための調整を容易にし、信頼
性を高くすることができる。
【図１】本発明による振動ジャイロの斜視図。
【図２】本発明による振動ジャイロを用いた電気回路
図。
図。
【図３】従来の振動ジャイロの斜視図。
【図４】振動ジャイロの動作説明図。
【図５】従来の振動ジャイロを用いた電気回路図。
【符号の説明】 １……振動子本体 ２……駆動用トランスジューサ ３……検出用トランスジューサ １x……ｘ軸面 １y……ｙ軸面 Ｆc……コリオリの力 Ω……角速度 ４……補償用トランスジューサ
Claims (1)
- 【請求項１】振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を
与える駆動用トランスジューサと、ｚ軸回りに角速度Ω
を受けたときにｙ軸方向に発生するコリオリの力によっ
て起きるｙ軸方向の振動を検知する検出用トランスジュ
ーサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、このｙ軸方
向の振動を検知することにより角速度Ωを測定する振動
ジャイロであって、前記駆動用トランスジューサを励振
し前記振動子本体をｘ軸方向に振動させて速度を与えた
状態で前記角速度Ω＝０の時に発生する漏れ電圧を零に
調整する補償用トランスジューサを備えたことを特徴と
する振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236226A JPH0571965A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 振動ジヤイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236226A JPH0571965A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 振動ジヤイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0571965A true JPH0571965A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16997662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3236226A Withdrawn JPH0571965A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 振動ジヤイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0571965A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038675A1 (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP3236226A patent/JPH0571965A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038675A1 (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
| JPWO2006038675A1 (ja) * | 2004-10-07 | 2008-05-15 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| US7533568B2 (en) | 2004-10-07 | 2009-05-19 | Panasonic Corporation | Angular rate sensor for correcting a false distortion |
| JP4980063B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2012-07-18 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |