JP4915482B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
ここで、Sは他軸感度、θは回転角度誤差を表す。
11,12 振動子
20 半導体部品
30 支持基板
40 回路部品
50 蓋体
101a,101b,102a,102b 駆動電極
103a,103b モニタ電極
105a,105b 検出電極
200 セルフアライメント
301,302 位置決め
500 ユーザー基板
501,502 孔部
503,504 突部
Claims (10)
- 第1の振動子と、この振動子を制御する半導体部品と、回路部品と、前記振動子および前記回路部品を表面に実装した支持基板と、この支持基板の前記表面に設けられるとともに、前記振動子、半導体部品および回路部品を覆う蓋体から構成した振動ジャイロであって、前記支持基板に前記振動子を所定の感度軸方向に支持するための位置決めを設け、前記位置決めは前記支持基板の前記表面であって、かつ、前記蓋体が前記支持基板に固定されても確認することができるように形成されたことを特徴とする振動ジャイロ。
- さらに第2の振動子を前記支持基板の前記表面であって前記蓋体に覆われるように設け、前記第1の振動子と前記第2の振動子とが垂直となるように配置したことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- さらに第2の振動子を前記支持基板の表面であって前記蓋体に覆われるように設け、前記第1の振動子および前記第2の振動子は基部および振動部分を備え、前記第1の振動子の振動部分と前記第2の振動子の振動部分を近接して配置した請求項1に記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板のコーナー部付近に少なくとも2つ以上設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板の対角線上に設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めの形状をアライメントマークとした請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを突起状あるいは孔状の形状とした請求項1記載の振動ジャイロ。
- 位置決めを支持基板の外周辺のいずれか一辺あるいは2辺を基準として設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 支持基板の裏面に上下左右対称のセルフアライメントを設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- セルフアライメントは位置決めを基準として設けた請求項9記載の振動ジャイロ。
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