JP3418245B2 - 圧電振動ジャイロ - Google Patents

圧電振動ジャイロ

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JP3418245B2
JP3418245B2 JP11467494A JP11467494A JP3418245B2 JP 3418245 B2 JP3418245 B2 JP 3418245B2 JP 11467494 A JP11467494 A JP 11467494A JP 11467494 A JP11467494 A JP 11467494A JP 3418245 B2 JP3418245 B2 JP 3418245B2
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正彦 高橋
長幸 小野
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カメラ一体型VTRの
手振れ防止や自動車のナビゲーションシステム等に用い
られるジャイロスコープに関し、特に、棒状の圧電振動
子の屈曲振動を用いた、圧電振動ジャイロに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】圧電振動ジャイロは、振動している物体
に回転角速度が与えられると、その振動方向と直角な方
向にコリオリ力を生ずる力学現象を利用したジャイロス
コープである。
【0003】一般に、互いに直交する2つの異なる方向
の振動を励振と検出が可能であるように構成した振動系
において、一方の振動を励振した状態で、振動子自身を
2つの振動面が交わる線と平行な軸を中心軸として回転
させると、上述のコリオリ力の作用により、この振動と
直角な方向に力が働き、他方の振動が励振される。
【0004】ここで、前記他方の振動の大きさは、振動
子の入力側の振動の大きさと回転角速度に比例する。従
って、振動子の入力側の振動の大きさ、すなわち、この
振動子に設けられた電極へ印加する入力電圧を一定にし
ておけば、他方の振動によって得られる出力電圧の大き
さから回転角速度の大きさを求めることが出来る。
【0005】図12は、圧電振動ジャイロに用いられて
いる圧電振動子の構造を示す概略図である。この圧電振
動子は、図12(a)の外観斜視図、図12(b)の中
央断面図に示すように、圧電セラミックス円柱1(以
下、圧電振動子と称する)の外周面上の円周を6等分す
る位置に、その長手方向と平行な6個の帯状電極2、
3,4,5,6,7が形成されている。6個の帯状電極
2〜7は円周に沿って一つおきに、その両端を接続電極
8−1,8−2に接続されている。これら帯状電極2,
3,4,5,6,7は、曲面にスクリーン印刷で直接形
成するか、あるいはメッキ等で全面に形成したのち、不
要部分をフォトエッチングにより除去することによって
容易に製造される。電極を形成した後、これらの帯状電
極は、互いに一つおきに接続され2端子として分極処理
が施される。前記6個の帯状電極2〜7のうち、円周に
沿って一つおきの帯状電極2,4,6は、接続電極8−
1,8−2により接続され共通アース電極となる。残り
の帯状電極のうち、帯状電極3は駆動電極となり、帯状
電極5,7は検出用電極となる。
【0006】図13は、分極された圧電振動子にリード
線を接続した状態を示す斜視図である。この圧電振動子
1には、共通アース電極2,4,6からリード線9−
1、駆動電極3からリード線9−2、検出用電極5,7
(図示せず)からリード線9−3、9−4の計4本のリ
ード線が接続される。
【0007】図14は、リード線が接続された圧電振動
子を保持固定するホルダーの斜視図である。ホルダー1
0には、圧電振動子を保持固定する断面半円形の溝11
があり、更に、溝11内には、溝11の円周方向にホル
ダー10の底面に貫通するスリット12が2ケ設けてあ
る。更に、スリット12の両端には支柱13があり、支
柱13内部には、圧電振動子の帯状電極と電気的に接続
するコの字状の端子14が埋設されている。端子14の
両端部は支柱13上部と溝11に平行な両側面に露出し
ている。支柱13上部に露出している端子14端部は、
圧電振動子の電極との接続に、両側面に露出している端
子14の端部は回路基板との接続に使用される。
【0008】図15は、ホルダーに圧電振動子を固定
し、電極と端子を接続した状態を示す斜視図である。ホ
ルダー10の断面が半円形の溝11内に、図13の圧電
振動子1を配して、図14に示すスリット12のホルダ
ー底面の開口から軟弾性体のシリコーン接着剤を注入し
て接着固定する。接着後、リード線9−1,9−2,9
−3,9−4と支柱13の上部に露出している端子14
を接続する。
【0009】図16は、従来の圧電振動ジャイロの組み
立て方法を示す分解斜視図である。図17は、従来の圧
電振動ジャイロの構成を示す図である。図16に示すよ
うに、圧電振動子1を保持固定したホルダー10の両側
面に露出している端子14を回路基板15の端部にはん
だ接続して固定する。回路基板15の底面には、外部回
路との接続に使用されるリードピン16が付いている。
回路基板15の底面を絶縁する底板17には、リードピ
ンが貫入する穴18と、枠19があり、枠19の高さは
ほぼ回路基板の板厚に等しく、枠19の内周寸法は回路
基板15の外周寸法より僅かに大きく、枠19の外周寸
法はカバー20の下部縁20−1の内周寸法より僅かに
小さくしてある。また底板17の外周寸法はカバー20
の下部縁20−1の外周寸法にほぼ等しくしてある。図
17に示すように、回路基板15を底板17の枠19の
内周へ、また、カバー20を底板17の枠19の外周に
嵌合させて圧電振動ジャイロを完成する。
【0010】以上は、圧電振動子を1ケ使用した一方向
の角速度を検出する圧電振動ジャイロである。圧電振動
ジャイロの角速度の検出方向は、圧電振動子の長さ方向
と平行な軸を中心とする回転角速度を検出するもので、
カメラ一体型VTR等に用いる場合は、レンズと被写体
方向に直交する左右方向、および上下方向の2方向が必
要となる。そこで、従来は、図18に示すように、回路
基板15eに左右方向(X軸)および上下方向(Y軸)
を中心とした回転角速度を検出する2個の1軸型圧電振
動ジャイロ21を圧電振動子の長手方向の軸が互いに直
交する向きに配置していた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧電振動ジャイ
ロは、圧電振動子を保持固定したホルダーを回路基板
上に固定するためには、圧電振動子の寸法を変更しない
かぎり、特に高さ方向の仕上り寸法を小型化出来ないと
いう欠点がある。また、回路基板上にハンダで固定す
るため、その取り付け角度や平行度などの寸法精度にば
らつきが生じてしまうという欠点がある。更に、2個
の圧電振動ジャイロを使用して、2軸方向の回転角速度
を検出出来るように構成した場合、2個の圧電振動ジャ
イロの直交度等の取り付け寸法精度がばらつき、正確な
2軸方向の回転角速度の検出が出来ないという欠点があ
る。したがって、1チップで2軸方向の回転角速度が検
出可能な小型で高性能の圧電振動ジャイロが要望されて
いる。
【0012】本発明の目的は、従来の圧電振動ジャイロ
の小型・高性能化、および1チップで2軸方向の回転角
速度が検出可能な小型、高性能の圧電振動ジャイロを提
供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は円
柱長手方向表面に複数の帯状電極を有した円柱状圧電振
動子と、該円柱状圧電振動子を保持固定するホルダー
と、電子部品を搭載した回路基板と、前記回路基板の底
部を絶縁する底板と、該底板と一体となり全体を覆うカ
バーとから成る圧電振動ジャイロにおいて、前記ホルダ
ーは、前記円柱状圧電振動子を軟弾性体を介して保持固
定する断面半円形の溝を有し、該溝に平行な一側面に
は、前記円柱状圧電振動子の帯状電極と接続された複数
の端子を有し、相対する側面には、複数の係止部を有
し、該係止部と嵌合する係合部を前記底板の枠に有し、
前記ホルダー端子と前記回路基板とが該回路基板の端部
で接続され、前記ホルダーと前記回路基板が前記底板に
固定され、カバーで覆われてなることを特徴とした圧電
振動ジャイロであり、円柱長手方向表面に複数の帯状
電極を有した円柱状圧電振動子と、該円柱状圧電振動子
を保持固定するホルダーと、電子部品を搭載した回路基
板と、前記回路基板の底部を絶縁する底板と、該底板と
一体になり全体を覆うカバーとから成る圧電振動ジャイ
ロにおいて、前記ホルダーは、前記円柱状圧電振動子を
軟弾性体を介して保持固定する断面半円形の溝を有し、
該溝に平行な両側面には、前記電極と接続された複数の
端子を有し、前記回路基板と前記底板には、前記ホルダ
ー底面より僅かに大きい窓を有し、該回路基板の窓に前
記ホルダーが配置され、該回路基板の窓の周囲の回路と
前記ホルダーの端子が接続され、該ホルダーが前記底板
に固定され、カバーで覆われてなることを特徴とした圧
電振動ジャイロであり、円柱長手方向表面に複数の帯
状電極を有した円柱状圧電振動子と、該円柱状圧電振動
子を保持固定するホルダー板と、電子部品を搭載した回
路基板と、外部回路と接続する複数の端子金具と、前記
ホルダー板と一体になり全体を覆うカバーから成る圧電
振動ジャイロにおいて、前記ホルダー板は、前記円柱状
圧電振動子を軟弾性体を介して保持固定する断面半円形
の溝を有し、前記回路基板には、該回路基板を前記ホル
ダー板上に置いた場合、該ホルダー板に固定した前記円
柱状圧電振動子の一部が露出する窓を設け、該窓の周囲
の回路と前記円柱状圧電振動子の帯状電極とが接続さ
れ、前記回路基板端部に端子金具が接続され、カバーで
覆われてなることを特徴とした圧電振動ジャイロであ
り、、、または、項の圧電振動ジャイロにおい
て、ホルダー、またはホルダー板に保持固定した円柱状
圧電振動子を2ケ以上同一回路基板に接続して、一体化
したことを特徴とした圧電振動ジャイロである。
【0014】
【作用】本発明では、圧電振動子を保持固定したホル
ダーの底面が回路基板表面よりも下になるようにホルダ
ーと回路基板を接続、または、ホルダーと底板を一体化
したホルダー板にすることにより仕上り高さ寸法を小さ
くすることが出来る。圧電振動子を保持固定したホル
ダーと回路基板の接続において、ホルダーの長手方向側
面と回路基板の端面を突き合せて位置決めして端子を接
続、または、ホルダーを回路基板に設けたホルダー底面
より僅かに大きい窓に貫入させて接続、またはホルダー
と底板を一体化したことにより、圧電振動子の取り付け
角度や平行度などの寸法精度のばらつきがなくなる。
、の方法で圧電振動子を2ケ以上同一回路基板に接
続して、一体化し、1チップで2軸方向の回転角速度が
検出可能な小型、高性能の圧電振動ジャイロを得ること
が出来る。
【0015】
【実施例】本発明の実施例について図面を用いて説明す
る。
【0016】(実施例1)図1は、本実施例の圧電振動
子を保持固定するホルダーの構造を示す斜視図である。
図1(a)に、樹脂製ホルダーを成形する時、一体成形
によりホルダー内に埋設される端子を示す。2個の端子
14aは従来と同じコの字状であるが、14bと14c
は4端子とも回路基板と接続される露出端部が一側面に
なるようにL字を組み合わた形状となっている。図1
(b)は、端子を埋設して一体成形したホルダーを示
す。ホルダー10aには、圧電振動子を保持固定する断
面半円形の溝11があり、又、溝11内には、溝11の
円周方向にホルダー10aの底面に貫通するスリット1
2が2ケ設けてある。更に、スリット12の両端には支
柱13があり、支柱13内部には、圧電振動子の帯状電
極と電気的に接続する端子14a,14b,14cが埋
設されている。端子14a,14b,14cの両端部は
支柱13上部と溝11に平行な一側面に露出している。
すなわち、共通アース電極用1端子14b、駆動電極用
1端子14a、検出用電極用2端子14a,14c、計
4端子とも一側面から露出している。支柱13の上部に
露出している端子14a,14b,14c端部は、圧電
振動子の電極との接続に、側面に露出している端子14
a,14b,14cの端部は回路基板との接続に使用さ
れる。また、図1(c)にホルダーを背面から見た斜視
図を示す。端子が露出している側面の相対する側面には
2個の凸部23が設けてある。
【0017】図2は、本実施例のホルダーに圧電振動子
を固定した状態を示す斜視図である。図2(a)は端子
のある側面から見た斜視図である。図2(b)は背面か
ら見た斜視図である。
【0018】図3は、本実施例の圧電振動ジャイロの組
み立て方法を示す分解斜視図である。図4は、本実施例
の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視図である。図3に
示すように、圧電振動子1を固定したホルダー10aの
端子14a,14b,14cを回路基板15aの端部の
裏面にはんだ接続し固定する。回路基板15aの裏面を
絶縁する底板17aの枠19aには、ホルダー10aの
端子14a,14b,14cのある側面の相対する側面
にある係止凸部(図示せず)と嵌合する係合凹部23a
が設けてある。また、底板17aと一体となり全体を覆
うカバー20aがある。図4に示すように、回路基板1
5aを底板17aの枠19aの内周へ、また、カバー2
0aを底板17aの枠19aの外周に挿入して圧電振動
ジャイロが完成する。
【0019】(実施例2)図5は、本実施例の圧電振動
ジャイロの組み立て方法を示す分解斜視図である。図6
は、本実施例の圧電振動子の構成を示す斜視図である。
図5に示すように、圧電振動子1を保持固定するホルダ
ー10bは、図14に示す従来のホルダー10と同様に
端子14dがコの字状で、回路基板15bと接続される
端部が両側面に露出している。両側面の端子14dは、
ホルダー10bの底面より回路基板15bの板厚と、底
板17bの板厚を加えた数値だけ上に設けてある。すな
わち、組み立て上がりでホルダー10bの底面と底板1
7bの底面が同一面になる高さに端子14dを設けてあ
る。回路基板15bの中央付近には、ホルダー10bの
底面より僅かに大きい窓24が設けてある。また、底板
17bの中央付近にもホルダー10bの底面より僅かに
大きい窓24aが設けてある。すなわち、前記窓24、
24aは回路基板15bを底板17bの枠19b内に挿
入した場合、窓24、24aの周囲端部が一致するよう
になっている。また、底板17bと一体となり全体を覆
うカバー20bがある。図6に示すように、回路基板1
5bを底板17bの枠19bの内周へ、また、カバー2
0bを底板17bの枠19bの外周に挿入して圧電振動
ジャイロが完成する。
【0020】(実施例3)図7は、本実施例の圧電振動
ジャイロの組み立て方法を示す分解斜視図である。図8
は、本実施例の他の組み立て方法を示す斜視図である。
図9は本実施例の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視図
である。圧電振動子1には、あらかじめ、リード線9−
1,9−2,9−3,9−4が接続してある。ホルダー
板10cには、圧電振動子1を保持固定する断面半円形
の溝11aがあり、又、溝11a内には、溝11aの円
周方向にホルダー板10cの底面に貫通するスリット1
2aが2ケ設けてあり、また、上面外周には、枠19d
があり、底面外周には、カバー20cの下部縁20c−
1の厚み分だけ突出した鍔25があり、鍔25にはコの
字状の端子金具26が取付けられる部分に切り欠き27
がある。ホルダー板10cの上面の枠19dの内周寸法
は、回路基板15cの外周より僅かに大きく、ホルダー
板10cの外周寸法はカバー20cの下部縁20c−1
の内周寸法より僅かに小さくしてある。また鍔25の外
周寸法はカバー20cの下部縁20c−1の外周寸法に
ほぼ等しくしてある。ホルダー板10cと一体になり全
体を覆うカバー20cには、圧電振動子1の長手方向に
直交する側面の下部縁20c−1に端子金具26の高
さ、幅より僅かに大きい切り欠き28がある。組み立て
は、まず、圧電振動子1をホルダー板の溝11a内に配
して、スリット12aのホルダー板10c底面の開口か
ら軟弾性体のシリコーン接着剤を注入して固定する。接
着後、回路基板15cを上方からホルダー板10cの枠
19d内に配して、リード線9−1、9−2、9−3、
9−4と回路基板15cの窓24bの周囲の回路とはん
だ接続する。次に、回路基板15cとホルダー板10c
を挟むようにコの字状の端子金具26をホルダー板10
cの鍔25の切り欠き27部に取付けて回路基板15c
の外周の回路とはんだ接続する。本実施例では、回路基
板15cとホルダー板10cの位置合わせに、ホルダー
板10c上面外周の枠19dを使用しているが、図8に
示すような方法も可能である。図8(a)はホルダー板
10cの上面コーナー4ケ所に三角形の突起を設け、一
方回路基板15cのコーナー4ケ所を切り欠かいた方法
である。図8(b)は、ホルダー板10cの上面コーナ
ー4ケ所に円柱状の突起を設け、一方、回路基板15c
のコーナー4ケ所に穴を設けた方法である。図8(c)
は、ホルダー板10cの上面端部に角柱状の突起を設
け、一方回路基板15cの端部にホルダー板10cの突
起に合わせた切り欠きを設けた方法である。図8には、
ホルダー板に突起を設けた例を示したが、逆に回路基板
に突起を設けてもよい。最後に、図9に示すように、ホ
ルダー板10cの外周へカバー20cを挿入して表面実
装形圧電振動ジャイロが完成する。端子金具26の表面
の一部はカバー20cの側面とホルダー板10cの底面
と同一面で露出している。
【0021】(実施例4)図10は、本実施例の圧電振
動ジャイロの組み立て方法を示す分解斜視図である。図
11は、本実施例の圧電振動子の構成を示す斜視図であ
る。図10に示すように、実施例1の圧電振動子1を保
持固定したホルダー10aが2個互いに圧電振動子の軸
芯が直交するように回路基板15dの直交する2端面に
はんだ接続し固定する。回路基板15dの裏面を絶縁す
る底板17cの枠19cには、ホルダー10aの端子の
ある側面の相対する側面に設けてある係止凸部(図示せ
ず)と嵌合する係合凹部23bが設けてある。もちろ
ん、ホルダー10aに係止凹部を設け、枠19cに係合
凸部を設けてもよい。また、底板17cと一体になり全
体を覆うカバー20dがある。図11に示すように、回
路基板15dを底板17cの枠19cの内周へ、また、
カバー20dを底板17cの枠19cの外周に挿入して
2軸型圧電振動ジャイロが完成する。
【0022】同様にして、L字形に直角に曲げた回路基
板使用して、互いに直交する3軸方向の回転角速度を1
個で検出する3軸型圧電振動ジャイロを実現することが
できる。
【0023】
【発明の効果】以上述べたように、 本発明により、仕
上り高さ寸法を小さくすることが出来、圧電振動子の取
り付け角度や平行度などの寸法精度のばらつきがなくな
り、また1チップで2軸方向の回転角速度が検出可能な
小型、高性能の圧電振動ジャイロを得ることが可能にな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1のホルダーの斜視図で、図1(a)は
端子の斜視図、図1(b)ホルダーの斜視図、図1
(c)は背面から見た斜視図。
【図2】実施例1のホルダーに圧電振動子を固定した状
態を示す斜視図で、図2(a)は端子のある側面から見
た斜視図、図2(b)は背面から見た斜視図。
【図3】実施例1の圧電振動ジャイロの組み立て方法を
示す分解斜視図。
【図4】実施例1の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視
図。
【図5】実施例2の圧電振動ジャイロの組み立て方法を
示す分解斜視図。
【図6】実施例2の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視
図。
【図7】実施例3の圧電振動ジャイロの組み立て方法を
示す分解斜視図。
【図8】実施例3の回路基板とホルダー板の位置合わせ
方法の他の例を示す斜視図で、図8(a)はコーナー三
角形突起の例を示す斜視図、図8(b)は円柱状突起の
例を示す斜視図、図8(c)は端部突起の例を示す斜視
図。
【図9】実施例3の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視
図。
【図10】実施例4の圧電振動ジャイロの組み立て方法
を示す分解斜視図。
【図11】実施例4の圧電振動ジャイロの構成を示す斜
視図。
【図12】圧電振動子の構造を示す概略図で、図12
(a)は外観斜視図、図12(b)は中央断面図。
【図13】圧電振動子の帯状電極にリード線を接続した
状態を示す斜視図。
【図14】従来の圧電振動子を保持固定するホルダーの
斜視図。
【図15】従来の圧電振動子をホルダーに固定し、電極
と端子を接続した状態を示す斜視図。
【図16】従来の圧電振動ジャイロの組み立て方法を示
す分解斜視図。
【図17】従来の圧電振動ジャイロの構成を示す斜視
図。
【図18】従来の2軸形圧電振動ジャイロの構成を示す
斜視図。
【符号の説明】
1 圧電セラミックス円柱(圧電振動子) 2,3,4,5,6,7 帯状電極 8−1,8−2 接続電極 9−1,9−2,9−3,9−4 リード線 10,10a,10b ホルダー 10c ホルダー板 11,11a 溝 12,12a スリット 13 支柱 14,14a,14b,14c,14d 端子 15,15a,15b,15c,15d,15e 回
路基板 16 ピン 17,17a,17b,17c 底板 18 穴 19,19a,19b,19c (底板の)枠 20,20a,20b,20c,20d カバー 20−1,20c−1 (カバー下部の)縁 21 (1軸型)圧電振動ジャイロ 23 係止凸部 23a,23b 係合凹部 24,24b (回路基板の)窓 24a (底板の)窓 25 (ホルダー板の)鍔 26 端子金具 27 (ホルダー板の鍔の)切り欠き 28 (カバーの)切り欠き
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円柱長手方向表面に複数の帯状電極を有
    した円柱状圧電振動子と、該円柱状圧電振動子を保持固
    定するホルダーと、電子部品を搭載した回路基板と、前
    記回路基板の底部を絶縁する底板と、該底板と一体とな
    り全体を覆うカバーとから成る圧電振動ジャイロにおい
    て、前記ホルダーは、前記円柱状圧電振動子を軟弾性体
    を介して保持固定する断面半円形の溝を有し、該溝に平
    行な一側面には、前記円柱状圧電振動子の帯状電極と接
    続された複数の端子を有し、相対する側面には、複数の
    係止部を有し、該係止部と嵌合する係合部を前記底板の
    枠に有し、前記ホルダー端子と前記回路基板とが該回路
    基板の端部で接続され、、前記ホルダーと前記回路基板
    が前記底板に固定され、カバーで覆われてなることを特
    徴とした圧電振動ジャイロ。
  2. 【請求項2】 円柱長手方向表面に複数の帯状電極を有
    した円柱状圧電振動子と、該円柱状圧電振動子を保持固
    定するホルダーと、電子部品を搭載した回路基板と、前
    記回路基板の底部を絶縁する底板と、該底板と一体にな
    り全体を覆うカバーとから成る圧電振動ジャイロにおい
    て、前記ホルダーは、前記円柱状圧電振動子を軟弾性体
    を介して保持固定する断面半円形の溝を有し、該溝に平
    行な両側面には、前記電極と接続された複数の端子を有
    し、前記回路基板と前記底板には、前記ホルダー底面よ
    り僅かに大きい窓を有し、該回路基板の窓に前記ホルダ
    ーが配置され、該回路基板の窓の周囲の回路と前記ホル
    ダーの端子が接続され、該ホルダーが前記底板に固定さ
    れ、カバーで覆われてなることを特徴とした圧電振動ジ
    ャイロ。
  3. 【請求項3】 円柱長手方向表面に複数の帯状電極を有
    した円柱状圧電振動子と、該円柱状圧電振動子を保持固
    定するホルダー板と、電子部品を搭載した回路基板と、
    外部回路と接続する複数の端子金具と、前記ホルダー板
    と一体になり全体を覆うカバーから成る圧電振動ジャイ
    ロにおいて、前記ホルダー板は、前記円柱状圧電振動子
    を軟弾性体を介して保持固定する断面半円形の溝を有
    し、前記回路基板には、該回路基板を前記ホルダー板上
    に配した場合、該ホルダー板に固定した前記円柱状圧電
    振動子の一部が露出する窓を設け、該窓の周囲の回路と
    前記円柱状圧電振動子の帯状電極とが接続され、前記回
    路基板端部に端子金具が接続され、カバーで覆われてな
    ることを特徴とした圧電振動ジャイロ。
  4. 【請求項4】 請求項1、請求項2、または請求項3記
    載の圧電振動ジャイロにおいて、ホルダー、またはホル
    ダー板に保持固定した円柱状圧電振動子を2ケ以上同一
    回路基板に接続して、一体化したことを特徴とした圧電
    振動ジャイロ。
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JP2006214898A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及び電子機器
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JP5306570B2 (ja) * 2005-04-18 2013-10-02 パナソニック株式会社 振動ジャイロ
JP5133550B2 (ja) 2006-10-18 2013-01-30 ペンタックスリコーイメージング株式会社 手振補正機能付カメラにおけるジャイロセンサ取付構造
JP4915482B2 (ja) * 2011-02-24 2012-04-11 パナソニック株式会社 振動ジャイロ
JP4915483B2 (ja) * 2011-02-25 2012-04-11 パナソニック株式会社 振動ジャイロの製造方法

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