JPH08159778A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

Info

Publication number
JPH08159778A
JPH08159778A JP6329480A JP32948094A JPH08159778A JP H08159778 A JPH08159778 A JP H08159778A JP 6329480 A JP6329480 A JP 6329480A JP 32948094 A JP32948094 A JP 32948094A JP H08159778 A JPH08159778 A JP H08159778A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
mounting
electrodes
vibration
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6329480A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Mori
章 森
Yoshiaki Hidenouchi
之 内 義 昭 幣
Yukio Sakashita
下 幸 男 坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP6329480A priority Critical patent/JPH08159778A/ja
Priority to EP95118980A priority patent/EP0715148A1/en
Priority to KR1019950046172A priority patent/KR100198306B1/ko
Publication of JPH08159778A publication Critical patent/JPH08159778A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5663Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/02Rotary gyroscopes
    • G01C19/04Details
    • G01C19/06Rotors

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動子の振動が抑制されにくく、温度特性が
安定で、回転角速度の検出精度の良い振動ジャイロを提
供する。 【構成】 振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振
動子12は、正3角柱状の振動体14を含む。振動子1
2は、2つの支持部材22aおよび支持部材22bで支
持される。支持部材22a,22bの両端部分は、取付
基板24a,24bに、それぞれ固着される。取付基板
24a,24b上には、端子電極28a〜28dが形成
される。端子電極28a〜28dは、リード線52a〜
52dにより、振動子12の圧電素子16a〜16cの
電極とそれぞれ接続される。また、端子電極28a〜2
8dは、リード線30a〜30dにより、回路基板42
の端子電極(図示せず)にそれぞれ接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、ナビゲーションシステムや手振れ防止シ
ステムなどに用いられる振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、この発明の背景となる従来の振
動ジャイロの一例を示す分解斜視図であり、図10はそ
の電気的な接続状況を示す図解図である。この振動ジャ
イロ100は、振動子102を含む。振動子102は、
断面3角形の振動体103を含み、振動体103の3つ
の側面には、図10に示すように、圧電素子104a,
104b,104cがそれぞれ形成される。これらの圧
電素子104a〜104cは、それぞれ、たとえば圧電
セラミックの両面に電極を形成したものである。
【0003】図9に示すように、振動子102は、2つ
のノード点近傍の稜線部分に、それぞれ略コ字形状の、
支持部材105a,105bが取り付けられる。これら
の支持部材105a,105bの端部は、それぞれ平板
状の取付基板106a,106bに固着される。取付基
板106a,106bは、振動子102の振動を抑制し
ないように2枚に分割されて設けられる。また、取付基
板106a上には、複数の端子電極(図示せず)が形成
され、それらは振動子102の圧電素子104a〜10
4cの電極とリード線を介してそれぞれ電気的に接続さ
れる。さらに、取付基板106a,106b上には、略
コ字形状の保護片110a,110bが、取付基板10
6a,106bの主面に対して略垂直に、はんだ付けや
接着剤による接着などによって固着される。保護片11
0a,110bは、振動子102の底面から所定の間隔
を有して設けられ、衝撃が加わった際に振動子102が
必要以上に変位しないようにして、支持部材105a,
105bを保護するためのものである。
【0004】取付基板106a,106bは、それぞれ
断面コ字形状の金属フレーム107の一方主面に固着さ
れる。金属フレーム107は、平板状の回路基板108
の一方主面に固着される。回路基板108の他方主面に
は、たとえばオペアンプ、抵抗、コンデンサなどのチッ
プ部品および可変抵抗器などからなる発振回路、検出回
路などが搭載される。また、取付基板106aと回路基
板108とは、略L字形状の所定の幅長を有する金属片
からなる金属端子109a〜109dによって互いに強
固に連結される。金属端子109a〜109dは、その
一端部および他端部がそれぞれ強固に取付基板106a
および回路基板8に固着される。そして、取付基板10
6a,106b上の端子電極は、それぞれ金属端子10
9a〜109dを介して回路基板108の端子電極(図
示せず)に接続される。さらに、図9に示すように、振
動子102、金属フレーム107、金属端子109a〜
109dなどは、箱型のケース112に収納される。そ
して、衝撃が加わった際に振動子102が必要以上に変
位しないように、振動子102の長手方向の両端部は、
ケース112の内側面によって保護される。
【0005】図10に示すように、振動子102の1つ
の圧電素子104cは、発振回路の入力端に電気的に接
続され、発振回路の出力端は、他の2つの圧電素子10
4a,104bにそれぞれ電気的に接続される。そのた
め、振動子102は、自励振駆動する。また、2つの圧
電素子104a,104bは、たとえば差動増幅器から
なる検出回路の入力端にそれぞれ電気的に接続される。
したがって、検出回路の出力によって、回転角速度が検
出される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
振動ジャイロ100では、取付基板106a,106b
と回路基板108とが金属片からなる金属端子109a
〜109dによって、互いに強固に固着されている。そ
のため、振動子102の振動が、支持部材105a,1
05bから取付基板106a,106bに伝わり、さら
に、金属端子109a〜109dを介して回路基板10
8へ漏れやすいため、振動子102の振動が不安定にな
り、回転角速度の検出精度が悪化するおそれがあった。
【0007】また、振動子102、取付基板106a,
106b、および回路基板108は、それぞれ線膨張係
数が相違するため、周囲温度が変化した場合に、金属端
子109a〜109dにストレスがかかり、振動の漏れ
量が変化するおそれがあった。振動の漏れ量が変化する
と、振動子の振動が抑制されて、回転角速度の検出精度
がばらつく要因となる。
【0008】それゆえに、この発明の主たる目的は、振
動子の振動が抑制されにくく、温度特性が安定で、回転
角速度の検出精度の良い振動ジャイロを提供することで
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる振動ジ
ャイロは、振動子と、振動子をそのノード点近傍で支持
するための支持部材と、振動子に電気的に接続される端
子電極を有し、かつ支持部材が固着される取付基板と、
取付基板の端子電極に電気的に接続される回路基板とを
含む振動ジャイロであって、取付基板の端子電極と回路
基板の端子電極とをリード線で接続することを特徴とす
る、振動ジャイロである。
【0010】
【作用】リード線は柔軟性を有するので、取付基板の端
子電極と回路基板の端子電極とをリード線で接続するこ
とにより、振動子の振動が取付基板から回路基板へ漏れ
にくくなり、振動子の振動が安定化する。また、周囲温
度が変化した際にも、リード線にはストレスがかからな
いため、振動の漏れ量が変化するという問題は生じにく
い。したがって、振動ジャイロの回転角速度の検出精度
が良くなる。
【0011】
【発明の効果】この発明によれば、振動子の振動が抑制
されにくく、温度特性が安定で、回転角速度の検出精度
の良い振動ジャイロを得ることができる。
【0012】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0013】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す分解斜視図
である。図2は、図1に示す実施例の要部を示す平面図
解図である。図3はその断面図解図であり、図4はその
正面図解図である。この実施例の振動ジャイロ10は、
振動子12を含む。振動子12は、正3角柱状の振動体
14を含む。この実施例の振動体14は、たとえばニッ
ケル、鉄、クロム、チタン、あるいはそれらの合金たと
えばエリンバ,鉄−ニッケル合金などの恒弾性金属材料
を、引き抜き加工することにより正3角柱状に形成され
る。なお、振動体14は、たとえば、石英,ガラス,水
晶およびセラミックなどのように、一般的に機械的な振
動を生じる金属以外の材料で形成することもできる。
【0014】振動体14の3つの側面の中央部には、図
5に示すように、それぞれ圧電素子16a,16b,1
6cが固着される。これらの圧電素子16a,16b,
16cは、それぞれ、たとえばセラミックからなる圧電
層18を含む。これらの圧電層18の両主面には、電極
20a,20bがそれぞれ形成される。そして、これら
の圧電素子16a〜16cの一方主面の電極20aが、
振動体14の側面にたとえば導電性接着剤で接着され
る。なお、この実施例では、2つの圧電素子16a,1
6bが、振動体14を圧電素子16cの形成面に垂直な
方向に屈曲振動させるための駆動用および振動体14の
変位を検出するための検出用として用いられ、他の一つ
の圧電素子16cが2つの圧電素子16a,16bへ駆
動信号を帰還するための帰還用として用いられる。
【0015】この振動子12は、2つの支持部材22a
および支持部材22bで支持される。支持部材22a,
22bは、それぞれ、たとえば金属などの線材で略コ字
形状に形成される。そして、支持部材22a,22bの
中央部分が、2つの圧電素子16a,16bで挟まれる
振動体14の一つの稜線部分に固着される。この場合、
支持部材22a,22bは、振動体14の振動を抑制し
にくくするために、振動体14のノード点の近傍に固着
することが好ましい。そこで、この実施例では、支持部
材22a,22bは、振動体14の長さをLとした場合
の、振動体14の両端から0.224Lの位置に固着さ
れる。
【0016】これらの支持部材22a,22bは、たと
えば接着剤で接着し、はんだ付けし、または溶接するこ
とによって、振動体14に固着されるが、はんだ付けあ
るいは溶接することによって固着する場合には、支持部
材22a,22bの強度と、振動体14への支持部材2
2a,22bのはんだ付け性ないし溶接性との双方を考
慮すれば、たとえばモリブデン、チタンなどの強度の強
い金属線の周囲に、たとえばニッケル、白金、金、銀、
銅、ステンレス、鉄などのはんだ付け性および溶接性の
よい材料を被覆した線材で、支持部材22a,22bを
形成することが好ましい。
【0017】これらの支持部材22a,22bの両端部
分は、図1ないし図3に示すように、たとえば鉄,ニッ
ケル,ステンレスなどの金属材料、またはたとえばガラ
ス繊維強化エポキシ樹脂などからなるたとえば略矩形の
取付基板24a,24bに、それぞれ強固に固着され
る。この場合、取付基板24a,24bには、それぞれ
2つずつの孔を形成し、支持部材22a,22bの両端
部分を、それぞれ取付基板24a,24bの孔に挿通し
てはんだ付けするなどして固着すればよい。
【0018】また、図2に示すように、取付基板24a
の一方主面には、端子電極28aおよび端子電極28b
が形成され、取付基板24b上には、端子電極28cお
よび端子電極28dが形成される。端子電極28aは、
リード線52aにより、圧電素子16aの電極20bと
接続される。また、端子電極28bは、リード線52b
により、圧電素子16bの電極20bと接続される。さ
らに、端子電極28cは、リード線52cにより、圧電
素子16cの電極20bと接続される。また、端子電極
28dは、リード線52dにより、たとえば支持部材2
2bと電気的に接続されてアース端子電極として用いら
れる。
【0019】さらに、端子電極28a,28b,28
c,28dには、それぞれリード線30a,30b,3
0c,30dが、たとえばはんだ付けにより接続され
る。この実施例のリード線30a〜30dとしては、た
とえば銅線などを含む柔軟性を有する導線が用いられ
る。これらのリード線30a〜30dは、それぞれ後述
する取付台34の貫通孔34aを通じて、後述する回路
基板42の端子電極(図示せず)にはんだ付けなどによ
り接続される。なお、取付基板24a,24bの端子電
極28a〜28dは、たとえば取付基板24a,24b
上に導体パターンを引き回し、その導体パターンを介し
てリード線30a〜30dに接続するようにしてもよ
い。また、たとえばスルーホールを介して、取付基板2
4aおよび取付基板24bのそれぞれの他方主面に引き
出して、リード線30a〜30dを接続してもよい。
【0020】また、取付基板24a,24bは、図1お
よび図3に示すように、それぞれ緩衝材32a,32b
を介して、略平板状の取付台34の一方主面上に固着さ
れる。緩衝材32a,32bは、取付基板24a,24
bから取付台34へ振動が漏れ出ないように、また、取
付台34から外部衝撃が取付基板24a,24bへ伝達
されないように吸収するためのものであり、たとえばシ
リコンスポンジやその他の樹脂スポンジを用いて形成さ
れる。
【0021】取付台34は、たとえば鉄、ニッケル、ス
テンレスなどの磁性および導電性を有する材料からな
る。取付台34には、その長手方向の一端および他端の
略中央部から上方に延びる略矩形の保護片36aおよび
保護片36bが、取付台34の一部を折り曲げることに
より一体に形成される。これらの保護片36a,36b
は、振動子12がその高さ方向下方に必要以上に変位し
ないように、すなわち、支持部材22a,22bが振動
子12の高さ方向下方に必要以上に変位しないようにし
て、支持部材22a,22bを保護するための保護部材
である。また、保護片36a,36bの幅方向の両側に
は、それぞれ取付台34の長手方向の一端および他端か
ら下方に延びる足部材38が一体に形成される。また、
取付台34の略中央部には、矩形の貫通孔34aが形成
される。さらに、取付台34の4隅近傍には、それぞれ
円形の貫通孔34bが形成される。
【0022】取付台34は、樹脂または金属材料などか
らなるベース部材40に対して、その足部材38がベー
ス部材40の長手方向の両端面にそれぞれ覆いかぶさる
ようにして取り付けられる。このベース部材40の略中
央部には、たとえばガラス繊維強化エポキシ樹脂などか
らなる回路基板42が取り付けられる。この回路基板4
2には、たとえば発振回路、検出回路などが搭載され
る。これらの発振回路、検出回路などは、回路基板42
上に形成された端子電極(図示せず)に接続される。そ
して、回路基板42上の端子電極(図示せず)には、リ
ード線30a〜30dがそれぞれ接続される。したがっ
て、この実施例の回路基板42と取付基板24a,24
bとは、柔軟なリード線30a〜30dにより接続され
ることとなる。
【0023】発振回路は、振動子12を駆動ないし振動
させるためのものであって、発振周波数を安定させるた
めの水晶や発振周波数を調整するための位相補正回路を
含む。この発振回路の入力端は、図5に示すように、端
子電極28c,およびリード線などを介して振動子12
の圧電素子16cの電極20bに電気的に接続され、発
振回路の出力端は、端子電極28a,28b,およびリ
ード線などを介して、圧電素子16a,16bの電極2
0bにそれぞれ電気的に接続される。
【0024】検出回路は、振動子12の変位を検出する
ためのものであって、たとえば差動増幅器などからな
る。この検出回路の2つの入力端は、端子電極28a,
28bおよびリード線などを介して、圧電素子16a,
16bの電極20bにそれぞれ電気的に接続される。
【0025】また、ベース部材40の4隅には、矩形の
突部材44がそれぞれ上方に突き出し設けられており、
それらの突部材44の略中央部には、ガイドピン44a
がそれぞれ上方に突き出し設けられる。ガイドピン44
aは、取付台34の貫通孔34bにそれぞれ嵌め込まれ
る。そのため、取付台34は、回路基板42から浮かさ
れた状態で、ベース部材40に固着される。
【0026】また、取付台34には、振動子12の長手
方向の両端近傍をそれぞれ上から覆うようにして、振動
子12を保護するための保護部材としての2つのストッ
パ46aおよびストッパ46bが取り付けられる。図1
に示すように、ストッパ46a,46bは、それぞれ平
面からみて略コ字形状に形成される。これらのストッパ
46a,46bは、たとえば鉄、ニッケル、ステンレス
などの磁性および導電性を有する材料、あるいは樹脂な
どの絶縁材料で形成される。
【0027】ストッパ46a,46bの主面には、その
高さ方向に延びる切り欠き48がそれぞれ形成される。
図4に示すように、切り欠き48の高さ方向上側には、
振動子12の稜線を挟んだ2面を保護するために、断面
正3角形状の振動子12の形状に対応して正3角形状に
形成される。これらのストッパ46a,ストッパ46b
は、振動子12がその高さ方向,斜め方向および幅方向
に必要以上に変位しないように、すなわち、支持部材2
2a,22bが振動子12の高さ方向,斜め方向および
幅方向に必要以上に変位しないようにして、支持部材2
2a,22bを保護するためのものである。したがっ
て、振動子12の長手方向の両端近傍は、その周囲に所
定の間隔dをおいて、ストッパ46a,46bと保護片
36a,36bとによって、正3角形状に取り囲まれ保
護されることとなる。
【0028】図1および図3に示すように、これらの振
動子12,取付台34,ストッパ46a,46bなど
は、箱型のケース50に収納される。このケース50
は、磁気シールド効果の点で保磁力が無く透磁率の大き
い材質、たとえばパーマロイ、42Niなどの材質から
形成される。ケース50は、取付台34の足部材38の
外側面に固着される。この実施例のケース50は、振動
子12の保護部材としての機能も有する。すなわち、振
動子12の長手方向両端は、ケース50の内側面により
保護される。なお、この実施例では、図4に示す振動子
12の稜線を挟んだ2面とストッパ46a,46bの切
り欠き48との間隔d、振動子12の底面と保護片36
a,36bの先端との間隔d、および図3に示す振動子
12とケース50の内側面との間隔dは、それぞれたと
えば0.5mmになるように形成した。
【0029】この実施例の振動ジャイロ10では、振動
子12の圧電素子16a〜16cの電極20bおよび支
持部材22bと取付基板24a,24bの端子電極28
a〜28dとが、それぞれリード線52a〜52dによ
り接続され、取付基板24a,24bの端子電極28a
〜28dと回路基板42の端子電極(図示せず)とが、
リード線30a〜30dで接続される。リード線は柔軟
なので、振動子12から取付基板24a,24bへ漏れ
出た振動が、取付基板24a,24bから回路基板42
へ漏れにくくなる。しかも、取付基板24a,24b
は、緩衝材32a,32bを介して取付台34に取り付
けられている。そのため、振動子12の振動が安定化
し、回転角速度の検出精度が向上する。また、リード線
30a〜30dで取付基板24a,24bと回路基板4
2とを振動的にフリーな状態で接続しているので、振動
子12の振動の漏れ量が周囲温度の変化に依存せず、振
動ジャイロ10の温度特性が安定化し、回転角速度の検
出精度が向上する。
【0030】また、この実施例では、振動子12の長手
方向の両端近傍は、その周囲に所定の間隔dをおいて、
ストッパ46a,46bと保護片36a,36bとによ
って、正3角形状に取り囲まれて保護され、振動子12
の長手方向の両端は、所定の間隔dをおいて、ケース5
0の内側面によって保護される。したがって、この振動
ジャイロ10は、振動子12の周囲の全ての方向に対し
て耐衝撃性が向上する。しかも、ストッパ46a,46
bの切り欠き48を振動子12の形状に対応して形成す
るので、振動子12の稜線を挟んだ2面とストッパ46
a,46bとの間隔dを精度よく形成することができ
る。また、取付台34の一部を上方に折り曲げて保護片
36a,36bを形成するので、振動子12の底面と保
護片36a,36bの先端との間隔dを精度よく形成す
ることができる。さらに、リード線30a〜30dは、
取付基板24a,24bの間から取付台34の貫通孔3
4aを通じて回路基板42に接続されるので、振動子1
2とケース50の内側面との間隔dを振動子12の長手
方向両側で対称にしやすく、その精度が向上する。この
ように振動子12とその周囲の保護部材としての保護片
36a,36b、ストッパ46a,46b、およびケー
ス50との間隔dの精度がそれぞれ向上することによ
り、振動ジャイロ10に大きな衝撃が加わった際に確実
に保護され、所定の限度以上に振動子12が変位するこ
とが防止されるため、支持部材22a,22bの塑性変
形を防止できる。そのため、この実施例の振動ジャイロ
10は、耐衝撃性が向上する。
【0031】また、この振動ジャイロ10は、耐衝撃性
が向上するので、支持部材22a,22bを従来よりも
細くすることができ、たとえば従来φ0.25mmだっ
たものをφ0.20mmにすることも可能である。この
ように支持部材22a,22bを細くすることにより、
振動子12の振動姿勢を安定化することができ、回転角
速度の検出精度を向上させることができる。
【0032】図6はこの発明の他の実施例の要部を示す
側面図解図である。図7はその平面図解図であり、図8
はその正面図解図である。この実施例の振動ジャイロ1
0の取付台34には、その長手方向の一端および他端の
略中央部から上方に延び、その上部に突部を有する略U
字形状の保護片36aおよび保護片36bがそれぞれ形
成される。略U字形状の保護片36a,36bは、その
略中央部に振動子12の底面側の周囲を保護するための
切り欠き54が形成される。この切り欠き54は、振動
子12がその高さ方向および幅方向に必要以上に変位し
ないようにして、支持部材22a,22bが塑性変形を
おこさないように保護するためのものである。
【0033】また、図6に示す振動ジャイロ10は、ワ
ークカバー60を含む。ワークカバー60は、振動子1
2および支持部材22a,22bなどを上から覆うよう
にして取付台34に取り付けられる。ワークカバー60
は、たとえば鉄、ニッケル、ステンレスなどの磁性、導
電性、および弾性を有する材料から形成される。
【0034】ワークカバー60は、図6ないし図8に示
すように、短冊状の主面部材62を含む。主面部材62
の略中央部には、長手方向に延びる略短冊状の突起部6
2aが振動子12方向に突き出すようにして形成され
る。突起部62aは、振動子12の略中央部の稜線と所
定の間隔dを有しながら対向して形成される。この突起
部62aは、振動子12がその高さ方向上方に必要以上
に変位しないようにして、支持部材22a,22bが塑
性変形をおこさないように保護するためのものである。
また、主面部材62の長手方向の両端近傍には、取付台
34の保護片36a,36bの突部を嵌入して固定する
ための略矩形の貫通孔62bが2つづつ形成される。
【0035】主面部材62には、その幅方向の両側から
下方に延びる側面部材64がそれぞれ形成される。側面
部材64は、主面部材62と一体に形成されており、主
面部材62の幅方向の両側部を略直角に折り返して形成
される。これらの側面部材64の下端部には、下方に突
出する2つの突出片64aがそれぞれ形成される。そし
て、側面部材64の突出片64aが、取付台34に固着
されることにより、ワークカバー60は、取付台34に
取り付けられる。
【0036】また、主面部材62には、その長手方向の
両側から下方に延びる保護片66aおよび66bがそれ
ぞれ形成される。保護片66a,66bは、主面部材6
2と一体に形成されており、主面部材62の長手方向の
両端部を略直角に折り返して形成される。この場合、保
護片66a,66bは、図6ないし図8に示すように、
保護片36a,36bの上に重なるようにしてそれぞれ
折り返される。また、保護片66a,66bの略中央部
には、断面正3角形状の振動子12の形状に対応して正
3角形状の切り欠き48が形成される。これらの保護片
66a,66bは、振動子12がその高さ方向,斜め方
向および幅方向に必要以上に変位しないようにして、支
持部材22a,22bが塑性変形しないように保護する
ためのものである。2つの保護片66a,66bは、振
動子12の長手方向両端の近傍に、振動子12の稜線を
挟んだ2面と切り欠き48との間に所定の間隔dを有す
るようにして配置される。したがって、図8に示すよう
に、振動子12の長手方向の両端近傍は、その周囲に所
定の間隔dをおいて、保護片66a,66bと保護片3
6a,36bとによって正3角形状に取り囲まれ保護さ
れることとなる。
【0037】この振動ジャイロ10は、図1に示す実施
例と同様の振動子12を含む。振動子12は、図1に示
す実施例と同様に2つの支持部材22aおよび支持部材
22bで支持される。この支持部材22a,22bの両
端部分は、図6ないし図8に示すように、たとえば鉄,
ニッケル,ステンレスなどの金属材料、またはたとえば
ガラス繊維強化エポキシ樹脂からなるたとえば略短冊形
状の取付基板24に、それぞれはんだ付けされて固着さ
れる。この取付基板24上には、図1に示す実施例と同
様に端子電極が形成され、それらの端子電極は、リード
線により、圧電素子の電極とそれぞれ電気的に接続され
る。さらに、端子電極は、図1に示す実施例と同様に、
取付台34の下方に配置される回路基板の端子電極(図
示せず)に、リード線によってそれぞれ電気的に接続さ
れる。
【0038】図6ないし図8に示す実施例によっても、
図1に示す実施例と同様の効果を得ることができる。さ
らに、この実施例によれば、振動子12の略中央部の稜
線上が突起部62aによって保護されるので、振動ジャ
イロ10の耐衝撃性がより向上する。
【0039】なお、上述の実施例では、振動子12とそ
の周囲の各保護部材との間隔dをたとえば0.5mmの
一定の長さになるように形成したが、これに限らず、振
動子12の振動を妨害せず、かつ支持部材22a,22
bが塑性変形をおこさない長さであればよい。また、振
動子12とその周囲の各保護部材との間隔dをそれぞれ
違う長さになるように形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。
【図2】図1に示す実施例の要部を示す平面図解図であ
る。
【図3】図1に示す実施例の要部を示す断面図解図であ
る。
【図4】図1に示す実施例の要部を示す正面図解図であ
る。
【図5】図1に示す実施例の回路図である。
【図6】この発明の他の実施例の要部を示す側面図解図
である。
【図7】図6に示す実施例の要部を示す平面図解図であ
る。
【図8】図6に示す実施例の要部を示す正面図解図であ
る。
【図9】この発明の背景となる従来の振動ジャイロの一
例を示す分解斜視図である。
【図10】図10に示す従来例の電気的な接続状況を示
す図解図である。
【符号の説明】
10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a,16b,16c 圧電素子 18 圧電層 20a,20b 電極 22a,22b 支持部材 24a,24b 取付基板 28a,28b,28c,28d 端子電極 30a,30b,30c,30d リード線 32a,32b 緩衝材 34 取付台 36a,36b 保護片 38 足部材 40 ベース部材 42 回路基板 44 突部材 44a ガイドピン 46a,46b ストッパ 48 切り欠き 50 ケース 52a,52b,52c,52d リード線 54 切り欠き 60 ワークカバー 62 主面部材 62a 突起部 64 側面部材 66a,66b 保護片

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動子、前記振動子をそのノード点近傍
    で支持するための支持部材、 前記振動子に電気的に接続される端子電極を有し、かつ
    前記支持部材が固着される取付基板、および 前記取付基板の端子電極に電気的に接続される回路基板
    を含む振動ジャイロであって、 前記取付基板の端子電極と前記回路基板の端子電極とを
    リード線で接続することを特徴とする、振動ジャイロ。
JP6329480A 1994-12-02 1994-12-02 振動ジャイロ Pending JPH08159778A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6329480A JPH08159778A (ja) 1994-12-02 1994-12-02 振動ジャイロ
EP95118980A EP0715148A1 (en) 1994-12-02 1995-12-01 Oscillation gyroscope
KR1019950046172A KR100198306B1 (ko) 1994-12-02 1995-12-02 진동 자이로스코프

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6329480A JPH08159778A (ja) 1994-12-02 1994-12-02 振動ジャイロ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08159778A true JPH08159778A (ja) 1996-06-21

Family

ID=18221853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6329480A Pending JPH08159778A (ja) 1994-12-02 1994-12-02 振動ジャイロ

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0715148A1 (ja)
JP (1) JPH08159778A (ja)
KR (1) KR100198306B1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003097949A (ja) * 2001-09-21 2003-04-03 Nec Tokin Ceramics Corp 圧電振動ジャイロ

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3752737B2 (ja) * 1996-08-12 2006-03-08 トヨタ自動車株式会社 角速度検出装置
JP2000009476A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Fujitsu Ltd 音叉型振動ジャイロ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0520468B1 (en) * 1991-06-26 1996-06-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope
US5345822A (en) * 1991-06-28 1994-09-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope having a support member
JP2532779B2 (ja) * 1991-10-08 1996-09-11 赤井電機株式会社 振動子の支持構造

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003097949A (ja) * 2001-09-21 2003-04-03 Nec Tokin Ceramics Corp 圧電振動ジャイロ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0715148A1 (en) 1996-06-05
KR960024280A (ko) 1996-07-20
KR100198306B1 (ko) 1999-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5345822A (en) Vibratory gyroscope having a support member
KR100906178B1 (ko) 진동자의 지지 구조 및 물리량 측정 장치
KR20060105534A (ko) 각속도 센서
KR100201531B1 (ko) 음차형 진동자이로
KR100287481B1 (ko) 진동자이로스코프
JPH08159779A (ja) 振動ジャイロ
EP0800058B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH08159778A (ja) 振動ジャイロ
JP3275597B2 (ja) 振動ジャイロ
JP2009150677A (ja) 振動ジャイロ
JPH0518755A (ja) 振動ジヤイロ
JP3082663B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH11287658A (ja) 振動ジャイロ
JP2666617B2 (ja) 振動ジャイロ
JP3045053B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH0518754A (ja) 振動ジヤイロ
JPH10170540A (ja) 加速度センサ
JPH09133704A (ja) 加速度センサ
JPH0518756A (ja) 振動ジヤイロ
JPH0518760A (ja) 振動ジヤイロ
EP0563762B1 (en) Vibratory gyroscope with piezoelectric elements in vicinities of nodal points
JPH05296772A (ja) 振動ジャイロ
JPH0518759A (ja) 振動ジヤイロ
JP3239529B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH06331363A (ja) 振動ジャイロ