JPH11287658A

JPH11287658A - 振動ジャイロ

Info

Publication number: JPH11287658A
Application number: JP10108790A
Authority: JP
Inventors: Tsuguji Kamibayashi; 林嗣治上
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-04-02
Filing date: 1998-04-02
Publication date: 1999-10-19

Abstract

(57)【要約】【課題】振動漏れを抑制することができる振動ジャイ
ロを提供する。【解決手段】振動ジャイロ１０は、振動子１２を含
む。振動子１２はたとえば正３角柱状の振動体１４を含
む。振動体１４の３つの側面には、それぞれ、圧電素子
１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。振動子１２のノ
ード点付近には、コ字状の支持部材１８，１８が取り付
けられる。支持部材１８，１８は、その両端部がガラス
エポキシ等からなる矩形状の取付基板２０に固着される
ことによって支持される。取付基板２０は、振動子１２
の振動周波数により発生する取付基板２０の振動モード
の節部分で、ベース３４のベースプレート３６上に保持
・固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、振動ジャイロに
関し、特にたとえば、回転角速度を検知することによっ
て移動体の位置を検出し、適切な誘導を行うナビゲーシ
ョンシステム、または、手ぶれ等の外的振動による回転
角速度を検知し、適切な制振を行う手ぶれ防止装置等の
除振システム等に応用できる、振動ジャイロに関する。

【０００２】

【従来の技術】本願発明の背景となる従来の振動ジャイ
ロの一例が特開平８−３３４３３１号公報に開示されて
いる。この従来の振動ジャイロ１Ａでは、図１４に示す
ように、圧電素子３を有する振動子２が２つの支持ピン
４，４を介して取付基板５に取り付けられる。この取付
基板５は、複数の接続部材７によって回路基板６の上方
に支持される。接続部材７は、取付基板５上の配線（図
示せず）と回路基板６上の発振回路（図示せず）および
検出回路（図示せず）とを電気的に接続する。また、取
付基板５上の切欠き８の外周を迂回する支持ピン４，４
間の振動の伝播経路の略中間点に、接続部材７の一端が
固着される。この従来例の振動ジャイロ１Ａでは、取付
基板５に平面視Ｈ字状の切欠き８を形成することによっ
て、取付基板５上の支持ピン４，４のはんだ付け部から
取付基板５および回路基板６への振動の伝播経路を長く
している。そして、接続部材７は、取付基板５上の振動
の伝播経路において、支持ピン４，４からの距離が最も
大きい位置に取り付けられる。そのため、この従来の振
動ジャイロ１Ａでは、振動子２から支持ピン４，４に伝
播した振動の漏れが、この場合、接続部材７を介して回
路基板６ヘ伝播するいわゆる振動漏れが抑制される。

【０００３】また、本願発明の背景となる従来の振動ジ
ャイロの他の例が特開平９−１４９６６号公報に開示さ
れている。この従来の振動ジャイロ１Ｂでは、図１５に
示すように、振動子２が支持ピン４，４を介して取付基
板５に取り付けられる。取付基板５と、その裏面に集積
回路６ａを備えた回路基板６とは、導電性を有する４つ
の支持板７（このうち２つは、図面上表れず）を介して
接合されることによって、取付基板５および回路基板６
間に空隙（間隔）が形成される。取付基板５の半円状の
切欠き８ａ〜８ｄに設けられた接続電極９ａ〜９ｄは、
支持板７を介して、回路基板６に電気的に接続される。
この従来例の振動ジャイロ１Ｂでは、取付基板５と回路
基板６との間に空隙部（間隔）を有するため、振動子２
による振動が回路基板６へ伝播しにくい構造となってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１４
および図１５に示す従来の振動ジャイロ１Ａ，１Ｂで
は、取付基板６を保持して固定する位置が考慮されてお
らず、振動子２の振動漏れの影響により、振動子２の特
性に影響を与えていた。すなわち、従来の振動ジャイロ
１Ａ，１Ｂでは、振動子２が振動すると、その振動が支
持ピン４，４を介して取付基板５に伝播し、取付基板５
がある振動モードでその長さ方向に屈曲振動する。さら
に、取付基板５が振動することにより、その振動が回路
基板６および外ケース（図示せず）へと伝播する。その
ため、従来の振動ジャイロ１Ａ，１Ｂでは、振動子２か
らの振動が外部へ漏れる、いわゆる振動漏れが発生し、
その影響によって、振動子２において所望の振幅が得ら
れず、その結果、振動ジャイロ１Ａ，１Ｂの特性が劣化
する恐れがあった。

【０００５】また、図１４に示す従来の振動ジャイロ１
Ａでは、振動子２で発生する振動の伝播経路をかせぐた
めに、Ｈ字状の切欠き８を形成し、支持ピン４，４の半
田付け部と回路基板６との伝播経路を長く形成してい
る。そのため、この従来例の振動ジャイロ１Ａは、小型
化には不向きな構造を有するものであった。

【０００６】このような関係の中で、つまり、外部への
振動漏れ量が振動子特性の安定度を左右する振動ジャイ
ロにおいて、振動ジャイロのより高精度化、小型化を行
う際には、振動子から、外部への振動漏れをさらに抑制
する必要がある。

【０００７】それゆえに、本願発明の主たる目的は、振
動漏れを抑制することができる振動ジャイロを提供する
ことである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願発明にかかる振動ジ
ャイロは、柱状の振動子と、振動子のノード点付近に取
り付けられる支持部材と、振動子が支持部材を介して取
り付けられる取付基板とを含み、取付基板は、振動子の
振動周波数により発生する取付基板の振動モードの節部
分で保持されることを特徴とする、振動ジャイロであ
る。取付基板の振動モードの節部分で取付基板を保持す
るベースをさらに含むようにするとよい。また、取付基
板およびベースが一体的に構成するようにしてもよい。
本願発明にかかる振動ジャイロでは、振動子がある振動
周波数で振動すると、支持部材も振動し、その振動は取
付基板まで伝播する。この場合、取付基板は、ある振動
モードで振動するものであり、節と腹をもつ。取付基板
は、その節部分で保持・固定される。そのため、振動子
からの振動は、取付基板より外に漏れず、振動子の振動
特性が安定なものとなる。なお、取付基板の振動モード
は、取付基板の形状により異なり、取付基板の節の位置
も、それに応じて異なる。そのため、振動子を支持する
取付基板の形状等に応じた振動モードの節部分で、取付
基板を保持するようにすればよい。

【０００９】本願発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１０】

【発明の実施の形態】

【実施例】図１は本願発明にかかる振動ジャイロの一例
を示す斜視図であり、図２は図１に示す振動ジャイロの
振動子の側面図であり、図３は図１，図２に示す振動ジ
ャイロの分解斜視図である。振動ジャイロ１０は、振動
子１２を有する。振動子１２は、たとえば正３角柱状の
振動体１４を含む。振動体１４は、例えば、エリンバー
等の恒弾性金属材料や、石英、ガラス、水晶、セラミッ
クなどの一般的に機械的な振動を生ずる材料で形成され
る。振動体１４の３つの側面には、それぞれ、圧電素子
１６ａ，１６ｂ，１６ｃが形成される。そして、圧電素
子１６ｃは、振動子１２を屈曲振動させるための駆動用
として、圧電素子１６ａ，１６ｂは、回転角速度に対応
した信号を得るための検出用、および、振動子１２を駆
動するときの帰還用として、それぞれ用いられる。

【００１１】この振動子１２は、圧電素子１６ｃに駆動
信号を印加すれば、振動体１４が圧電素子１６ｃの主面
に直交する方向（図１で示すｘ軸方向）に屈曲振動す
る。この場合、振動子１２のノード点は、振動体１４の
長手方向の長さをＬ₁とすると、振動体１４の中心軸１
５上においてその両端からそれぞれ０．２２４Ｌ₁の長
さだけ内側の点にある。

【００１２】振動子１２は、２つの支持部材１８，１８
によって取付基板２０上に支持固定される。支持部材１
８，１８は、タングステン，モリブデン等の恒弾性金属
材料からなる線材などで「コ」字状に形成される。支持
部材１８，１８は、それぞれ、その中間部が振動子１２
のノード点付近の稜線部分に溶着，接着等の固着手段に
より固着され、さらに、その両端部が取付基板２０に半
田付け等の固着手段により固着される。

【００１３】取付基板２０は、ガラス繊維を含むエポキ
シ樹脂等の絶縁材料で矩形板状に形成される。取付基板
２０は、その一方主面から他方主面にかけて貫通する４
つの挿通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃおよび２２ｄを有す
る。挿通孔２２ａ〜２２ｄの縁部および内周面には、そ
れぞれ、導体２４ａ〜２４ｄが付与されている。そし
て、挿通孔２２ａ，２２ｂには一方の支持部材１８の両
端部が、挿通孔２２ｃ，２２ｄには他方の支持部材１８
の両端部が、それぞれ挿通され、半田付け等の固着手段
により固着される。

【００１４】また、取付基板２０は、先の挿通孔２２ａ
〜２２ｄと間隔を隔てて、他の４つの挿通孔２６ａ，２
６ｂ，２６ｃおよび２６ｄを有する。挿通孔２６ａ〜２
６ｄは、先の挿通孔２２ａ〜２２ｄと同様に、取付基板
２０の一方主面から他方主面にかけて貫通するものであ
り、それらの縁部および内周面には、それぞれ、導体２
８ａ〜２８ｄが付与されている。挿通孔２６ａ〜２６ｄ
は、特に、図５（Ｂ）に示すように、振動子１２の振動
周波数により発生する取付基板２０の振動モードの節部
分に設けられる。この場合、取付基板２０の長手方向の
長さをＬ₂とすると、取付基板２０の一端および他端か
ら０．２２４Ｌ₂の長さだけ内側の位置の線上に、それ
ぞれ、挿通孔２６ａ，２６ｂおよび２６ｃ，２６ｄが配
列される。

【００１５】ところで、振動子１２が屈曲振動すると、
その振動は、支持部材１８，１８、取付基板２０および
後述のベース３４、外部回路（図示せず）および外ケー
ス（図示せず）へと伝播していく。取付基板２０の振動
は、２次元の振動ではあるが、その長手方向の屈曲振動
が主たる振動である。そのため、取付基板２０以降の伝
播は、取付基板２０の固定位置によって変化するもので
ある。すなわち、本実施例では、取付基板２０に設けら
れ、後述のベース３４の保持部材３８ａ〜３８ｄに挿通
される挿通孔２６ａ〜２６ｄの形成位置によって変化す
るものである。

【００１６】さらに、取付基板２０の一方主面の４隅付
近には、平面視略Ｌ字状の導体がそれぞれ付与されるこ
とによって、接続電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃが形成さ
れる。接続電極３０ａ〜３０ｃは、それぞれ、挿通孔２
６ａ〜２６ｃの導体２８ａ〜２８ｃと接続される。

【００１７】振動子１２の圧電素子１６ａ，１６ｂおよ
び１６ｃは、それぞれ、リード線３２ａ，３２ｂおよび
３２ｃを介して、接続電極３０ｂ，３０ｃおよび３０ａ
に電気的に接続される。振動子１２と導体２８ｄとは、
一方の支持部材１８および導体２４ｄを介して電気的に
接続される。すなわち、振動子１２が接地されると共
に、圧電素子１６ｃが発振回路（図示せず）の出力端に
接続され、圧電素子１６ａ，１６ｂが発振回路（図示せ
ず）の入力端および検出回路（図示せず）の入力端に接
続される。

【００１８】取付基板２０は、特に、図３に示すよう
に、ベース３４に取り付けられる。ベース３４は、たと
えば合成樹脂材料からなる矩形状のベースプレート３６
を含む。ベースプレート３６の一方主面には、たとえば
金属材料からなる４つの保持部材３８ａ，３８ｂ，３８
ｃおよび３８ｄが形成される。保持部材３８ａ〜３８ｄ
は、それぞれ、たとえば円板状のスペーサ４０を有し、
スペーサ４０の中央には、上方に垂直に延びる略円柱状
の保持ピン４２が形成される。保持部材３８ａ〜３８ｄ
の各保持ピン４２は、それぞれ、取付基板２０の挿通孔
２６ａ〜２６ｄと対応する位置に形成される。すなわ
ち、保持部材３８ａ〜３８ｄは、それぞれ、取付基板２
０の振動モードの節部分と対応する位置に形成される。

【００１９】取付基板２０の挿通孔２６ａ〜２６ｄにベ
ースプレート３６上の保持部材３８ａ〜３８ｄの各保持
ピン４２が挿通され、半田付け等の固着手段によって、
ベースプレート３６の一方主面上に取付基板２０が取着
される。この場合、取付基板２０とベース３４のベース
プレート３６との間には、保持部材３８ａ〜３８ｄの各
スペーサ４０の厚さ分だけ、間隔（空隙部）Ｇが設けら
れる。すなわち、取付基板２０は、ベースプレート３６
とは直接には接触しておらず、保持部材３８ａ〜３８ｄ
の各保持ピン４２部分だけで接触している。そのため、
振動子１２の振動に伴って取付基板２０が振動する際に
も、取付基板２０の振動がベースプレート３６に伝播す
ることが抑制される。

【００２０】また、ベースプレート３６の幅方向の両端
部には、その長手方向に間隔を隔てて、たとえば金属板
を折り曲げてなる複数の端子４４，４４，・・・，４４
が突き出し設けられる。これらの端子４４は、取付基板
２０と外部回路（図示せず）とを電気的に接続するため
のものであって、インサート成形等の方法によって、ベ
ースプレート３６と一体的に形成される。

【００２１】また、ベースプレート３６の長手方向の両
端部には、振動子１２の長手方向の両端近傍を挟持する
ようにして、振動子１２を保護するための保護部材とし
ての２つのストッパ４６，４６が取り付けられる。スト
ッパ４６，４６は、それぞれ、平面視略コ字状に形成さ
れ樹脂等の絶縁材料で形成される。２つのストッパ４
６，４６の主面には、その高さ方向に延びる略コ字状の
切欠き部４８，４８がそれぞれ形成される。ストッパ４
６，４６は、ケース（図示せず）と協働して、振動子１
２がその幅方向，長手方向，高さ方向に必要以上に変位
しないように、すなわち、支持部材１８，１８が振動子
１２の幅方向，長手方向，高さ方向に必要以上に変位し
ないようにして、支持部材１８，１８を保護するための
ものである。したがって、振動子１２の長手方向の両端
近傍は、ストッパ４６，４６とケース（図示せず）等に
よって外部からの衝撃等から保護されることとなり、ひ
いては、外的衝撃等による振動子１２の塑性変形を防止
することとなる。

【００２２】本実施例の振動ジャイロ１０では、発振回
路（図示せず）によって、圧電素子１６ｃに駆動信号を
印加すると、振動子１２は、圧電素子１６ｃの形成面に
直交する方向に屈曲振動し、圧電素子１６ａ，１６ｂか
ら同じ信号が出力される。また、振動子１２がその中心
軸１５を中心に回転すると、回転角速度に応じたコリオ
リ力の作用により、振動子１２の屈曲振動の方向が変わ
る。このとき、圧電素子１６ａ，１６ｂから互いに異な
る信号が出力され、これらの出力信号の差をもとに回転
角速度が検出される。

【００２３】本実施例の振動ジャイロ１０では、特に、
取付基板２０の挿通孔２６ａ〜２６ｄの形成位置が、取
付基板２０の振動の節に相当する位置、つまり、取付基
板２０の長手方向の一端および他端からそれぞれ０．２
２４Ｌ₂の長さだけ内側の位置に形成されるとき、図４
に示すように、ベースプレート３６の振幅が最小値とな
る。このときの取付基板２０の振動モードを図５（Ｂ）
に示す。なお、図５では、比較のために、挿通孔２６ａ
〜２６ｄの形成位置（図５では２点鎖線で示す測定線上
に示す）を変えたものについても、その振動モードを図
５（Ａ），（Ｂ）に示した。

【００２４】したがって、本実施例の振動ジャイロ１０
では、取付基板２０の振動の節となる部分をベースプレ
ート３６の保持部材３８ａ〜３８ｄを介して保持し固定
している。そうすることによって、振動子１２から支持
部材１８，１８および取付基板２０を介して外部に漏れ
る振動漏れを抑制することができる。言い換えれば、本
実施例の振動ジャイロ１０では、振動漏れによる振動子
１２の特性変化を小さくすることができ、振動子特性が
安定する。そのため、本実施例の振動ジャイロ１０の静
止出力の温度変化や振動子１２の保持による出力変動を
低減させることが可能となる。また、振動ジャイロ１０
に対する外部からの機械的振動等による影響にも左右さ
れにくい。

【００２５】本実施例の振動ジャイロ１０では、取付基
板２０の振動の節がその長手方向の両端からそれぞれ
０．２２４Ｌ₂の長さだけ内側の位置に形成されたが、
取付基板２０の振動の節の位置は、振動子１２の共振周
波数や取付基板２０の形状、材質などによって変わるも
のである。したがって、本願発明にかかる振動ジャイロ
では、適用される取付基板２０の振動の節に応じて、取
付基板２０の挿通孔２６ａ〜２６ｄの形成位置、つま
り、取付基板２０を保持して固定する位置を適宜設定す
ればよい。

【００２６】上述の実施例では、取付基板２０がベース
プレート３６上の保持部材３８ａ〜３８ｄの各保持ピン
４２に挿通し半田付けすることによってベースプレート
３６と間隔（空隙部）Ｇを有した状態でベースプレート
３６上に保持され固定されたが、取付基板２０は、たと
えば図６（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すような他の方法
でベースプレート３６上に保持し固定してもよい。すな
わち、図６（Ａ）に示す方法では、取付基板２０の挿通
孔２６ａ〜２６ｄと対応するベースプレート３６上にた
とえば平面視円板状の凸部４８がそれぞれ形成される。
各凸部４８の中央部と挿通孔２６ａ〜２６ｄの中心部と
が対応するものである。各凸部４８の中央部には、保持
軸部５０がそれぞれ垂直に直立して設けられる。取付基
板２０の挿通孔２６ａ〜２６ｄに保持軸部５０が挿通さ
れ、ベースプレート３６と所定の間隔Ｇ（空隙部）を隔
てた状態で、ろう付け，半田付けおよび接着等の固着手
段により固着される。

【００２７】また、図６（Ｂ）に示す方法では、取付基
板２０とベースプレート３６とがたとえば半田バンプに
より固着されるものである。この場合、取付基板２０の
挿通孔２６ａ〜２６ｄと対応するベースプレート３６上
で取付基板２０とベースプレート３６とがバンプ接合さ
れる。そのため、取付基板２０は、バンプのもり上げ部
５２の厚み分だけ、ベースプレート３６との間に間隔Ｇ
（空隙部）を有した状態で、ベースプレート３６上に保
持され固定されることとなる。

【００２８】さらに、図６（Ｃ）に示す方法では、図６
（Ａ）に示す方法と同様に、ベースプレート３６上に凸
部４８が形成される。凸部４８の中央部には、リベット
状部５４が垂直に形成される。取付基板２０の挿通孔２
６ａ〜２６ｄにリベット状部５４が挿通され、かしめら
れることによって、取付基板２０は、ベースプレート３
６上に、所定の間隔Ｇ（空隙部）を有した状態で保持さ
れ固定される。

【００２９】上述の実施例において、取付基板２０自体
が回路基板を兼用するようにしてもよい。この場合、図
７に示すように、取付基板２０は、たとえばガラス繊維
を含むエポキシ樹脂材料からなる矩形状の回路基板５４
を含む。回路基板５４は、その一方主面に導体部（図示
せず）を備え、他方主面に集積回路（図示せず）を備え
る。集積回路は、振動子１２を駆動、振動させるための
発振回路および振動子１２の変位を検出するための検出
回路を内蔵するものである。

【００３０】回路基板５４は、上述の振動ジャイロ１０
の取付基板２０と同様に、挿通孔２２ａ〜２２ｄおよび
２６ａ〜２６ｄを有し、且つ、導体２４ａ〜２４ｄおよ
び導体２８ａ〜２８ｄを有する。また、この回路基板５
４は、図１，図３に示す取付基板２０と比べて、接続電
極３０ａ〜３０ｄが設けられておらず、それに代えて、
回路基板５４の四隅部分の内の３つの部分に、スルーホ
ール５６ａ，５６ｂおよび５６ｃを有する。すなわち、
スルーホール５６ａ〜５６ｃは、振動子１２と回路基板
５４の裏面側の集積回路（図示せず）とを電気的に接続
するためのものである。なお、回路基板５４は、アルミ
ナ等で形成してもよい。また、挿通孔２２ａ〜２２ｄお
よび２６ａ〜２６ｄは、それぞれ、貫通孔に限定される
ものではなく、たとえばランド形状でもよく、また、凹
み穴でもよい。

【００３１】図８は本願発明にかかる振動ジャイロの他
の例を示す要部斜視図であり、図９は図８に示す振動ジ
ャイロの振動子保持部材および端子片の配置を示す分解
斜視図である。本実施例の振動ジャイロ１０は、上述の
各実施例の振動ジャイロ１０と比べて、特に、取付基板
２０とベースプレート３６とが一体的に構成されてい
る。すなわち、図８に示す振動ジャイロ１０は、取付基
板としての機能を有する振動子保持部材６０を含む。振
動子保持部材６０は、たとえば矩形状の保持プレート６
２を有する。保持プレート６２は、支持部材１８，１８
（図８，図９では図示せず）の両端部が挿通される４つ
の挿通孔６４を有する。これらの挿通孔６４は、それぞ
れ、たとえば図１１および図１２に示すように、その一
方主面から他方主面にかけて貫通する貫通孔６４ａと、
貫通孔６４ａの周囲に形成される凹み部６４ｂとで構成
される。凹み部６４ｂは、挿通孔６４に支持部材１８，
１８の両端部を挿通してたとえば半田付けしたときに、
半田の流れ止めの機能を有するものである。なお、挿通
孔６４は、たとえば図１３に示すように、貫通孔６４ａ
に代えて、単なる凹み穴６４ｃで構成されてもよい。

【００３２】また、保持プレート６２の対向する２つの
長辺部には、それぞれ、その長手方向に所定の間隔を隔
てて、足片６６ａ，６６ｂおよび６６ｃ，６６ｄが形成
される。この場合、保持プレート６２の長手方向の長さ
をＬ₃とすると、足片６６ａ，６６ｂおよび６６ｃ，６
６ｄは、それぞれ、保持プレート６２の長手方向の一端
および他端から０．２２４Ｌ₃の長さだけ内側の位置の
中心線上に配置される。足片６６ａ，６６ｂおよび６６
ｃ，６６ｄは、それぞれ、保持プレート６２の幅方向の
一端および他端から、保持プレート６２の幅方向に真っ
直ぐ外側に延びて形成される。

【００３３】さらに、足片６６ａ，６６ｂの先端部間お
よび足片６６ｃ，６６ｄの先端部間には、それぞれ、矩
形状のインサート片６８，６８が形成される。１つの足
片６６ｄの先端部には、インサート片６８の反対側に、
その先端部が下方に垂直に延びる略Ｌ字形板状の屈曲片
７０が形成される。保持プレート６２，足片６６ａ〜６
６ｄ，インサート片６８，６８および屈曲片７０は、導
電性を有する金属材料で一体的に形成される。

【００３４】また、この保持プレート６２の四隅の内の
３方の外側には、それぞれ、所定の間隔を隔てて、平面
視矩形の電極パッド部７２ａ，７２ｂおよび７２ｃが配
置される。本実施例では、保持プレート６２の屈曲片７
０側の隅部を除く他の３つの隅部の外側に電極パッド部
７２ａ〜７２ｃが配置される。電極パッド部７２ａ〜７
２ｃの幅方向の端辺部には、下方に延びる略Ｌ字状のイ
ンサート片７４ａ〜７４ｃが形成され、さらに、インサ
ート片７４ａ〜７４ｃの先端部には、下方に垂直に延び
る端子片７６ａ〜７６ｃが形成される。電極パッド部７
２ａ〜７２ｃ，インサート片７４ａ〜７４ｃおよび端子
片７６ａ〜７６ｃは、金属等の導電性を有する材料で一
体的に形成される。なお、電極パッド部７２ａ〜７２ｃ
は、図１０に示すように、たとえばメッキ部７３により
形成し、端子片７６ａ〜７６ｃと接続するように配線し
てもよい。

【００３５】振動子保持部材５８を構成する保持プレー
ト６２，足片６６ａ〜６６ｄ，インサート片６８，６８
および屈曲片７０と、電極パッド部７２ａ〜７２ｃ，イ
ンサート片７４ａ〜７４ｃおよび端子片７６ａ〜７６ｃ
とは、それぞれ、たとえば金属板をプレス加工ないしエ
ッチング加工等の成形手段によって、所定形状に形成さ
れる。金属板の表面には、たとえば半田付け可能な表面
処理が適宜施されている。

【００３６】さらに、図８，図９に示す振動ジャイロ１
０は、耐熱性を有する樹脂材料などからなる枠状のベー
ス７８を含む。ベース７８は、上述の振動子保持部材５
８の輪郭よりも大きい輪郭の開口部７８ａを有する。ベ
ース７８と先の振動子保持部材５８，電極パッド部７２
ａ〜７２ｃ，インサート片７４ａ〜７４ｃおよび端子片
７６ａ〜７６ｃとは、インサート成形等の方法によって
一体的に形成される。保持プレート６２上には、振動子
１２を保持している支持部材１８，１８の両端部が挿通
孔６４に挿通され、半田付け等の固着手段により固着さ
れる。また、振動子１２の圧電素子１６ａ，１６ｂおよ
び１６ｃは、それぞれ、たとえばリード線（図示せず）
を介して、電極パッド部７２ａ，７２ｂおよび７２ｃに
電気的に接続される。振動子１２は、支持部材１８，１
８および保持プレート６２を介して、電気的に接続され
ている。

【００３７】本実施例の振動ジャイロ１０では、保持プ
レート６２がその足片６６ａ，６６ｂおよび６６ｃ，６
６ｄにより、ベース７８に一体的に保持され固定されて
いる。しかも、保持プレート６２は、その振動の節とな
る位置、この場合、保持プレート６２の長手方向の一端
および他端から０．２２４Ｌ₃の長さだけ内側の位置に
配置されるため、上述の実施例と同様に、保持プレート
６２を介する振動子１２からの振動漏れを抑制すること
が可能となり、振動子１２の特性が安定する。さらに、
本実施例の振動ジャイロ１０では、振動子保持部材５８
の保持プレート６２と、ベース７８とが一体的に形成さ
れているため、上述の実施例の振動ジャイロ１０と比べ
て部品点数も減らすことができ、組み立てコストの削減
化が可能となる。そのため、本実施例の振動ジャイロ１
０では、製品の小型化および製造コストの低減化も容易
に図ることができる。

【００３８】なお、上述の各実施例では、振動子の振動
体として正３角柱状の振動体１４が用いられているが、
本願発明にかかる振動ジャイロでは、たとえば４角柱状
などの他の多角柱状の振動体や円柱状の振動体が用いら
れてもよい。

【００３９】また、上述の各実施例では、振動子１２の
振動体１４の側面に３つの圧電素子１６ａ〜１６ｃが形
成されているが、本願発明にかかる振動ジャイロでは、
振動体１４の側面に２つ以上の圧電素子が形成されれば
よい。さらに、振動子の振動体は、それ自体が圧電体で
形成されてもよく、その場合、振動体の側面には、圧電
素子の代わりに、電極が形成されてもよい。

【００４０】

【発明の効果】本願発明によれば、振動漏れを抑制する
ことができ、振動特性の安定した振動ジャイロが得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明にかかる振動ジャイロの一例を示す斜
視図である。

【図２】図１に示す振動ジャイロの振動子の側面図であ
る。

【図３】図１に示す振動ジャイロの分解斜視図である。

【図４】取付基板の保持・固定位置（支持部材の両端部
が挿通される取付基板の挿通孔の形成位置）と、ベース
プレートの振動振幅との関係を示すグラフである。

【図５】取付基板の保持・固定位置（支持部材の両端部
が挿通される取付基板の挿通孔の形成位置）と、取付基
板の振動モードとの関係を示す説明図解図である。

【図６】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、本願発明にかかる
振動ジャイロの変形例を示し、特に、取付基板とベース
プレートとの取り付け方法の変形例を示す要部図解図で
ある。

【図７】本願発明にかかる振動ジャイロに適用される取
付基板の他の例を示す要部斜視図である。

【図８】本願発明にかかる振動ジャイロの他の例を示す
要部斜視図である。

【図９】図８に示す振動ジャイロの振動子保持部材およ
び端子片の配置を示す分解斜視図である。

【図１０】電極パッド部と端子片との接続方法の他の例
を示す要部斜視図である。

【図１１】図８に示す振動子保持部材の保持プレートに
設けられる挿通孔の要部斜視図である。

【図１２】図１１の線ＸＩＩ−ＸＩＩにおける断面図で
ある。

【図１３】図８に示す振動子保持部材の保持プレートに
設けられる挿通孔の他の例を示す要部断面図である。

【図１４】本願発明の背景となる従来の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。

【図１５】本願発明の背景となる従来の振動ジャイロの
他の例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０振動ジャイロ１２振動子１４振動体１６ａ，１６ｂ，１６ｃ圧電素子１８支持部材２０取付基板２２ａ〜２２ｄ挿通孔２４ａ〜２４ｄ導体２６ａ〜２６ｄ挿通孔２８ａ〜２８ｄ導体３０ａ〜３０ｃ接続電極３２ａ〜３２ｃリード線５４回路基板６０振動子保持部材６２ベースプレート６６ａ〜６６ｄ足片７８ベース

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】柱状の振動子、前記振動子のノード点付近に取り付けられる支持部材、
および前記振動子が前記支持部材を介して取り付けられる取付
基板を含み、前記取付基板は、前記振動子の振動周波数により発生す
る前記取付基板の振動モードの節部分で保持されること
を特徴とする、振動ジャイロ。
【請求項２】前記取付基板の振動モードの節部分で前
記取付基板を保持するベースをさらに含む、請求項１に
記載の振動ジャイロ。
【請求項３】前記取付基板および前記ベースが一体的
に構成されたことを特徴とする、請求項２に記載の振動
ジャイロ。