JP2021067701A - 角速度センサおよびセンサ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係るセンサ素子1の構成を示す斜視図である。ただし、この図では、センサ素子1の表面に設けられる導電層の図示は基本的に省略されている。
圧電体3は、例えば、その全体が一体的に形成されている。圧電体3は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよい。また、圧電体3の材料は適宜に選択されてよく、例えば、水晶(SiO2)、LiTaO3、LiNbO3、PZTまたはシリコンである。
図2(a)は、センサ素子1の一部を拡大して示す斜視図である。また、図2(b)は、図2(a)のIIb−IIb線における断面図である。
図3(a)および図3(b)は、圧電体3の励振を説明するための模式的な平面図である。両図は、励振電極15に印加されている交流電圧の位相が互いに180°ずれている。これらの模式図においては、フレーム5は直線状に描かれている。
(角速度センサの構成)
図4(a)は、第2実施形態に係るセンサ素子201の一部を拡大して示す、図2(a)と同様の斜視図である。図4(b)は、第2実施形態に係る角速度センサ251を示す、図2(b)と同様の図であり、図4(a)のIVb−IVb線に対応する断面図を含んでいる。
第2実施形態における圧電体3の励振は、第1実施形態におけるものと同様である。図3(a)および図3(b)は、第2実施形態における圧電体3の励振状態を示している図として捉えられてよい。従って、1対の駆動腕7はx軸方向において互いに近接および離反するように振動し、検出腕9はy軸方向において変位(振動)する。
第1および第2実施形態から理解されるように、本開示においては、x軸回りの回転を検出する角速度センサと、z軸回りの回転を検出する角速度センサとを比較すると、基本的には、その構成においては、検出電極17および217(およびこれに係る配線19)の構成が異なるだけであり、その作用においては、コリオリの力が作用する方向が異なるだけである。そこで、x軸回りの回転を検出する第3実施形態に係る角速度センサと、z軸回りの回転を検出する第4実施形態に係る角速度センサとを共に説明することとする。当該説明においては、両者の符号を同一図面に付すことがある。
図6は、第3実施形態に係るセンサ素子301または第4実施形態に係るセンサ素子401の構成を示す平面図である。ただし、この図では、センサ素子の表面に設けられる導電層の図示は基本的に省略されている。
図7(a)および図7(b)は、第3または第4実施形態における圧電体303の励振状態を示す模式的な平面図であり、第1実施形態の図3(a)および図3(b)に対応している。これらの模式図では、実装枠311は、支持部311aの一部のみが示されている。また、フレーム305は、直線状に描かれている。
(センサ素子)
図9は、第5実施形態に係るセンサ素子501の構成を示す平面図である。ただし、この図では、センサ素子501の表面に設けられる導電層の図示は基本的に省略されている。
図10は、図9のX−X線における断面図である。
複数の駆動腕7の励振は、第3実施形態(図7(a)および図7(b))と同様である。従って、フレーム5Aおよび5Bは、互いに逆側へ撓む。また、検出腕509Aおよび509Bは、互いに逆側へ変位する。
Claims (8)
- 圧電体と、
前記圧電体に電圧を印加する駆動回路と、
前記圧電体に生じる信号を検出する検出回路と、を有しており、
前記圧電体は、
直交座標系xyzのx軸方向において互いに離れている1対の支持部と、
x軸に沿って延びている主部と、z軸方向に見て、前記主部の両端と前記1対の支持部の内側とを接続しており、少なくとも一部がx軸に交差する方向に延びている1対の延長部とを含んでいるフレームと、
x軸方向に互いに離れた位置にて前記主部からy軸方向に互いに並列に延びている1対の駆動腕と、
x軸方向にて前記1対の駆動腕の間となる位置において前記主部からy軸方向に延びている検出腕と、を有しており、
前記駆動回路は、前記1対の駆動腕をx軸方向において互いに逆側へ曲げて振動させる互いに逆の位相の電圧を前記1対の駆動腕に印加し、
前記検出回路は、前記検出腕のz軸方向またはx軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出する
角速度センサ。 - 前記1対の駆動腕、前記検出腕および前記1対の延長部は、互いに同一側へ前記主部から延び出ており、
前記圧電体は、前記フレーム、前記1対の駆動腕および前記検出腕の組み合わせを、前記フレームの前記1対の駆動腕が延び出る側とは反対側を互いに対向させて2組有しており、
2つの前記フレームは、共通の前記1対の支持部に架け渡されている
請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記圧電体は単結晶からなり、2つの前記フレームのxy平面に交差する面は結晶面によって構成されている
請求項2に記載の角速度センサ。 - 前記検出回路は、前記検出腕のz軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記検出回路は、前記検出腕のx軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記検出腕は、前記1対の駆動腕の間の中央に位置している
請求項1〜5のいずれか1項に記載の角速度センサ。 - 前記圧電体は、前記フレームから延び、電圧が印加されて振動する腕として、前記1対の駆動腕のみを有し、または前記1対の駆動腕および前記1対の駆動腕と並列に延びる腕のみを有している
請求項6に記載の角速度センサ。 - 圧電体と、
前記圧電体に配置されている複数の励振電極、複数の検出電極および複数の配線と、を有しており、
前記圧電体は、
直交座標系xyzのx軸方向において互いに離れている1対の支持部と、
x軸に沿って延びている主部と、z軸方向に見て、前記主部の両端と前記1対の支持部の内側とを接続しており、少なくとも一部がx軸に交差する方向に延びている1対の延長部とを含んでいるフレームと、
x軸方向に互いに離れた位置にて前記主部からy軸方向に互いに並列に延びている1対の駆動腕と、
x軸方向にて前記1対の駆動腕の間となる位置において前記主部からy軸方向に延びている検出腕と、を有しており、
前記複数の励振電極は、前記1対の駆動腕をx軸方向に励振する電圧を印加可能な配置で設けられており、
前記複数の検出電極は、前記検出腕のx軸方向またはz軸方向の振動によって生じる信号を検出可能な配置で設けられており、
前記複数の配線は、前記1対の駆動腕をx軸方向において互いに逆側へ曲げて振動させる互いに逆の位相の電圧が前記複数の励振電極から前記1対の駆動腕に印加される接続関係で前記複数の励振電極を接続している
センサ素子。
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