JP3259144B2 - 圧電振動ジャイロ - Google Patents
圧電振動ジャイロInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ジャイロスコープのう
ち、カメラ一体型ＶＴＲの手振れセンサーなどとして用
いられる超小型の圧電振動ジャイロに関し、特に、圧電
セラミックス円柱あるいはパイプの外周面上に帯状電極
を形成した圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロに関す
る。
ち、カメラ一体型ＶＴＲの手振れセンサーなどとして用
いられる超小型の圧電振動ジャイロに関し、特に、圧電
セラミックス円柱あるいはパイプの外周面上に帯状電極
を形成した圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動ジャイロは、振動している物体
に回転角速度が与えられると、その振動方向と直角な方
向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用した角速
度センサーである。
に回転角速度が与えられると、その振動方向と直角な方
向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用した角速
度センサーである。
【０００３】一般に、互いに直交する２つの異なる方向
の振動を励振可能に構成した複合振動系において、一方
の振動を励振した状態で、振動子を回転させると、上述
のコリオリ力の作用により、この振動と直角な方向に力
が働き、他方の振動が励振される。
の振動を励振可能に構成した複合振動系において、一方
の振動を励振した状態で、振動子を回転させると、上述
のコリオリ力の作用により、この振動と直角な方向に力
が働き、他方の振動が励振される。
【０００４】ここで、その振動の大きさは、入力側の振
動の大きさ及び回転角速度に比例するため、この振動系
に一定の入力電圧を与えて、その入力側の振動の大きさ
を一定にすることにより、この振動の大きさに比例した
出力電圧の大きさから回転角速度の大きさを求めること
ができる。
動の大きさ及び回転角速度に比例するため、この振動系
に一定の入力電圧を与えて、その入力側の振動の大きさ
を一定にすることにより、この振動の大きさに比例した
出力電圧の大きさから回転角速度の大きさを求めること
ができる。
【０００５】図５に、本発明の背景となる圧電セラミッ
クス円柱からなる圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロ
の原理を説明するための圧電振動子を示す。
クス円柱からなる圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロ
の原理を説明するための圧電振動子を示す。
【０００６】この圧電振動子は、圧電セラミックス円柱
からなる振動子１の外周面上に、振動子１の長さ方向と
平行な、複数個の帯状電極２を形成して構成されてい
る。
からなる振動子１の外周面上に、振動子１の長さ方向と
平行な、複数個の帯状電極２を形成して構成されてい
る。
【０００７】この振動子１は、帯状電極２を用いて分極
処理を行なった後、帯状電極２に、この振動子の屈曲振
動の共振周波数に略等しい交流電圧を印加して、図５に
実線で示す矢印４方向の屈曲振動を励振し、この状態
で、セラミックス円柱の中心軸（圧電振動ジャイロの最
大感度軸５）を回転軸として、振動子１を回転させる
と、その振動方向と直角な方向にコリオリ力が発生し、
この振動子１に加えられた回転角速度に比例する電圧
が、他の帯状電極に発生する。
処理を行なった後、帯状電極２に、この振動子の屈曲振
動の共振周波数に略等しい交流電圧を印加して、図５に
実線で示す矢印４方向の屈曲振動を励振し、この状態
で、セラミックス円柱の中心軸（圧電振動ジャイロの最
大感度軸５）を回転軸として、振動子１を回転させる
と、その振動方向と直角な方向にコリオリ力が発生し、
この振動子１に加えられた回転角速度に比例する電圧
が、他の帯状電極に発生する。
【０００８】この振動子１は、図６に示すような構造の
振動子支持部材６の台座部７にシリコンゴム等により固
定されて、図７に示すような構造の回路基板１１に実装
される。
振動子支持部材６の台座部７にシリコンゴム等により固
定されて、図７に示すような構造の回路基板１１に実装
される。
【０００９】この従来の振動子支持部材６には、回路基
板１１に固定及び電気的に接続するための複数個の電極
８が形成されており、これらの各電極に、振動子１の帯
状電極２から引き出されたリード線３（図５参照）がそ
れぞれ接続される。
板１１に固定及び電気的に接続するための複数個の電極
８が形成されており、これらの各電極に、振動子１の帯
状電極２から引き出されたリード線３（図５参照）がそ
れぞれ接続される。
【００１０】従来の回路基板１１の振動子支持部材６の
実装部には、図７に示すように、振動子支持部材６の電
極８と、回路基板１１上に実装された駆動・検出回路
（図示せず）とを電気的に接続・固定するための電極９
が形成されている。
実装部には、図７に示すように、振動子支持部材６の電
極８と、回路基板１１上に実装された駆動・検出回路
（図示せず）とを電気的に接続・固定するための電極９
が形成されている。
【００１１】また、この回路基板１１の外周には、リー
ドフレーム等からなる入出力端子１０が形成されてい
る。
ドフレーム等からなる入出力端子１０が形成されてい
る。
【００１２】上述のようにして振動子１が固定された振
動子支持部材６は、図８に示すように、その電極８と回
路基板１１の電極９とを半田付け等で接続して、回路基
板１１上に固定される。
動子支持部材６は、図８に示すように、その電極８と回
路基板１１の電極９とを半田付け等で接続して、回路基
板１１上に固定される。
【００１３】そして、この振動子１及び振動子支持部材
６が実装された回路基板１１は、図８に示すように、金
属ケース１２に嵌合する絶縁性の樹脂等からなるケース
蓋１３によって、この回路基板１１の入出力端子１０が
金属ケース１２に接触しないように位置決めされた後、
金属ケース１２内に封入される。
６が実装された回路基板１１は、図８に示すように、金
属ケース１２に嵌合する絶縁性の樹脂等からなるケース
蓋１３によって、この回路基板１１の入出力端子１０が
金属ケース１２に接触しないように位置決めされた後、
金属ケース１２内に封入される。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うな圧電振動ジャイロは、図５に示したように、振動子
１の長さ方向を最大感度軸５とした回転角速度を検出す
る角速度センサーであり、通常、この最大感度軸５に直
交した方向を回転軸とする回転には反応しない。
うな圧電振動ジャイロは、図５に示したように、振動子
１の長さ方向を最大感度軸５とした回転角速度を検出す
る角速度センサーであり、通常、この最大感度軸５に直
交した方向を回転軸とする回転には反応しない。
【００１５】しかしながら、この種の圧電振動ジャイロ
は、その振動子１の取り付け軸がずれると、本来反応し
ないはずの方向の回転成分を検出して、誤差出力を発生
する不具合がある。
は、その振動子１の取り付け軸がずれると、本来反応し
ないはずの方向の回転成分を検出して、誤差出力を発生
する不具合がある。
【００１６】従って、この種の圧電振動ジャイロにおい
ては、振動子１の回転中心がその最大感度軸５と正確に
一致するように、振動子１及び振動子支持部材６を回路
基板１１上に取り付ける必要があった。
ては、振動子１の回転中心がその最大感度軸５と正確に
一致するように、振動子１及び振動子支持部材６を回路
基板１１上に取り付ける必要があった。
【００１７】しかしながら、前記従来の圧電振動ジャイ
ロは、その回路基板１１に対する振動子支持部材６の位
置決め手段が特に設けられていないため、この回路基板
１１への振動子支持部材６の取り付け位置の調整はオペ
レータの勘によるところが大きい。
ロは、その回路基板１１に対する振動子支持部材６の位
置決め手段が特に設けられていないため、この回路基板
１１への振動子支持部材６の取り付け位置の調整はオペ
レータの勘によるところが大きい。
【００１８】このため、この従来の圧電振動ジャイロで
は、その回路基板１１に対して振動子１の振動子支持部
材６を半田付け等によって接続・固定する際に、この回
路基板１１への振動子支持部材６の取り付け位置がずれ
易く、その振動子１の最大感度軸５のずれによる誤差出
力が発生し易くなる不具合があった。
は、その回路基板１１に対して振動子１の振動子支持部
材６を半田付け等によって接続・固定する際に、この回
路基板１１への振動子支持部材６の取り付け位置がずれ
易く、その振動子１の最大感度軸５のずれによる誤差出
力が発生し易くなる不具合があった。
【００１９】また、この従来の圧電振動ジャイロでは、
このジャイロの組み立てから、そのシステムへの取り付
けまでの全ての工程において、その位置決め手段を持た
ない構成部品の取り付け誤差が積算されるため、その最
大感度軸を高精度に位置決めすることが困難であった。
このジャイロの組み立てから、そのシステムへの取り付
けまでの全ての工程において、その位置決め手段を持た
ない構成部品の取り付け誤差が積算されるため、その最
大感度軸を高精度に位置決めすることが困難であった。
【００２０】更に、前記従来の圧電振動ジャイロは、そ
の回路基板１１の入出力端子１０が回路基板１１の外周
に設けられているため、この回路基板１１を金属ケース
１２に挿入する際に、この回路基板１１の入出力端子１
０と金属ケース１２との接触（短絡）を防ぐためのケー
ス蓋１３を使用しなければならず、その全体の外径寸法
が大きくなる欠点があった。
の回路基板１１の入出力端子１０が回路基板１１の外周
に設けられているため、この回路基板１１を金属ケース
１２に挿入する際に、この回路基板１１の入出力端子１
０と金属ケース１２との接触（短絡）を防ぐためのケー
ス蓋１３を使用しなければならず、その全体の外径寸法
が大きくなる欠点があった。
【００２１】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、最大感度軸の精密な位置決めが
できる、精度の高い小型で安価な圧電振動ジャイロを提
供することにある。
であって、その目的は、最大感度軸の精密な位置決めが
できる、精度の高い小型で安価な圧電振動ジャイロを提
供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するために、圧電セラミックス円柱あるいはパイプ
の外周面上に帯状電極を形成した圧電振動子を用い、こ
の圧電振動子を利用して駆動及び検出を行なう圧電振動
シャイロにおいて、上記圧電振動子の電極を回路基板に
電気的に接続するための電極と、上記圧電振動子の上記
回路基板への取付位置を決めるための位置決めピンとを
具備する振動子支持部材により、上記圧電振動子を固定
し、上記振動子支持部材の位置決めピンが、上記回路基
板から突出し、かつ、上記回路基板の内側の位置で電気
的に接続されて、上記回路基板の入出力端子として使用
される構成とする。
解決するために、圧電セラミックス円柱あるいはパイプ
の外周面上に帯状電極を形成した圧電振動子を用い、こ
の圧電振動子を利用して駆動及び検出を行なう圧電振動
シャイロにおいて、上記圧電振動子の電極を回路基板に
電気的に接続するための電極と、上記圧電振動子の上記
回路基板への取付位置を決めるための位置決めピンとを
具備する振動子支持部材により、上記圧電振動子を固定
し、上記振動子支持部材の位置決めピンが、上記回路基
板から突出し、かつ、上記回路基板の内側の位置で電気
的に接続されて、上記回路基板の入出力端子として使用
される構成とする。
【００２３】
【００２４】更に、本発明は、上述の課題を解決するた
めに、上記回路基板を実装するための圧電振動ジャイロ
用ケース内に、上記回路基板の高さを位置決めするため
の段差を形成した構成とする。
めに、上記回路基板を実装するための圧電振動ジャイロ
用ケース内に、上記回路基板の高さを位置決めするため
の段差を形成した構成とする。
【００２５】更に、本発明は、上述の課題を解決するた
めに、上記圧電振動ジャイロ用ケース内に、上記圧電振
動子及び振動子支持部材を実装した回路基板を挿入した
後、この回路基板を裏面側から樹脂により封入した構成
とする。
めに、上記圧電振動ジャイロ用ケース内に、上記圧電振
動子及び振動子支持部材を実装した回路基板を挿入した
後、この回路基板を裏面側から樹脂により封入した構成
とする。
【００２６】更に、本発明は、上述の課題を解決するた
めに、上記振動子支持部材の位置決めピンが、上記圧電
振動ジャイロ用ケースから突出する長さを有し、この位
置決めピンが、上記圧電振動ジャイロの組み立てから上
記圧電振動ジャイロのシステムへの取り付けまでの工程
において、上記圧電振動ジャイロの最大感度軸の位置決
め基準として一貫して使用される構成とする。
めに、上記振動子支持部材の位置決めピンが、上記圧電
振動ジャイロ用ケースから突出する長さを有し、この位
置決めピンが、上記圧電振動ジャイロの組み立てから上
記圧電振動ジャイロのシステムへの取り付けまでの工程
において、上記圧電振動ジャイロの最大感度軸の位置決
め基準として一貫して使用される構成とする。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図によって詳細に説
明する。
明する。
【００２８】但し、本実施例の記述から明らかに想起し
得る範囲の構成および作用等については、説明の煩雑化
を避ける上から、その図示並びに開示を省略、もしくは
簡略化する。
得る範囲の構成および作用等については、説明の煩雑化
を避ける上から、その図示並びに開示を省略、もしくは
簡略化する。
【００２９】図１に、本発明の一実施例における圧電振
動ジャイロの振動子支持部材１４の構成を示す。
動ジャイロの振動子支持部材１４の構成を示す。
【００３０】この振動子支持部材１４は、図５に示した
ように構成されている振動子１の各帯状電極２からのリ
ード線３を電気的に接続・固定するための振動子接続用
端子１５と、この振動子支持部材１４を回路基板２０
（図２）に実装する際の位置決め部材としての位置決め
ピン１６と、振動子１の節を固定するための台座１７と
から構成されている。
ように構成されている振動子１の各帯状電極２からのリ
ード線３を電気的に接続・固定するための振動子接続用
端子１５と、この振動子支持部材１４を回路基板２０
（図２）に実装する際の位置決め部材としての位置決め
ピン１６と、振動子１の節を固定するための台座１７と
から構成されている。
【００３１】ここで、位置決めピン１６は、図１に示す
ように、振動子支持部材１４の内側に位置するように配
設されており、また、この位置決めピン１６の長さは、
図４に示すように、回路基板２０が金属からなるケース
２１内に挿入された状態で、この位置決めピン１６の延
出端部が金属ケース２１の外方に十分に延出する長さを
有している。
ように、振動子支持部材１４の内側に位置するように配
設されており、また、この位置決めピン１６の長さは、
図４に示すように、回路基板２０が金属からなるケース
２１内に挿入された状態で、この位置決めピン１６の延
出端部が金属ケース２１の外方に十分に延出する長さを
有している。
【００３２】振動子１は、図４に示すように、振動子支
持部材１４の台座１７にシリコンゴム等の樹脂により固
定される。
持部材１４の台座１７にシリコンゴム等の樹脂により固
定される。
【００３３】また、この振動子１の帯状電極２からのリ
ード線３は、振動子支持部材１４の振動子接続用端子１
５に、それぞれ電気的に接続される。
ード線３は、振動子支持部材１４の振動子接続用端子１
５に、それぞれ電気的に接続される。
【００３４】一方、この実施例における回路基板２０の
上述した振動子支持部材１４の位置決めピン１６と対応
する位置には、図２に示すように、この回路基板２０上
に実装されたＩＣ等からなる駆動・検出回路２４（図４
参照）の入出力端子が、位置決めピン１６が挿入される
回路入出力用スルーホール端子１８として設けられてい
る。
上述した振動子支持部材１４の位置決めピン１６と対応
する位置には、図２に示すように、この回路基板２０上
に実装されたＩＣ等からなる駆動・検出回路２４（図４
参照）の入出力端子が、位置決めピン１６が挿入される
回路入出力用スルーホール端子１８として設けられてい
る。
【００３５】上述のようにして振動子１が実装された振
動子支持部材１４は、図４に示すように、回路基板２０
の回路入出力用スルーホール端子１８に、その位置決め
ピン１６を挿入して、回路基板２０に対する位置決めが
なされた後、この位置決めピン１６と回路入出力用スル
ーホール端子１８とを半田付け等で接続して、回路基板
２０上に固定される。
動子支持部材１４は、図４に示すように、回路基板２０
の回路入出力用スルーホール端子１８に、その位置決め
ピン１６を挿入して、回路基板２０に対する位置決めが
なされた後、この位置決めピン１６と回路入出力用スル
ーホール端子１８とを半田付け等で接続して、回路基板
２０上に固定される。
【００３６】そして、この位置決めピン１６と回路入出
力用スルーホール端子１８とを固定した後、振動子１の
リード線３が接続された振動子支持部材１４各振動子接
続用端子１５と、回路基板２０の支持部材接続用端子１
９が電気的に接続されることによって、振動子１と駆動
・検出回路２４とが電気的に接続される。
力用スルーホール端子１８とを固定した後、振動子１の
リード線３が接続された振動子支持部材１４各振動子接
続用端子１５と、回路基板２０の支持部材接続用端子１
９が電気的に接続されることによって、振動子１と駆動
・検出回路２４とが電気的に接続される。
【００３７】また、本発明の実施例における圧電振動ジ
ャイロのケース２１には、図３及び図４に示すように、
回路基板２０が嵌合することによって、振動子１及び振
動子支持部材１４が実装された回路基板２０のケース２
１への実装時の高さを位置決めするための段差２２が形
成されている。
ャイロのケース２１には、図３及び図４に示すように、
回路基板２０が嵌合することによって、振動子１及び振
動子支持部材１４が実装された回路基板２０のケース２
１への実装時の高さを位置決めするための段差２２が形
成されている。
【００３８】これにより、振動子１及び振動子支持部材
１４が実装された回路基板２０は、図４に示すように、
この回路基板２０の回路入出力用スルーホール端子１８
に接続された位置決めピン１６がケース２１に接触する
こと無く、このケース２１に形成された段差２２に嵌合
して、そのケース２１内への挿入時の取り付け位置が位
置決めされた後、その裏面側から樹脂２３により封入さ
れる。
１４が実装された回路基板２０は、図４に示すように、
この回路基板２０の回路入出力用スルーホール端子１８
に接続された位置決めピン１６がケース２１に接触する
こと無く、このケース２１に形成された段差２２に嵌合
して、そのケース２１内への挿入時の取り付け位置が位
置決めされた後、その裏面側から樹脂２３により封入さ
れる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、上述したように、上記
位置決めピンにより、上記振動子支持部材の回路基板へ
の取り付け時の、回路基板に対する振動子支持部材の位
置決めが行なわれるので、上記回路基板への振動子の取
り付けを正確に行なうことができ、この振動子の最大感
度軸のずれによる誤差出力の発生を防止できる。
位置決めピンにより、上記振動子支持部材の回路基板へ
の取り付け時の、回路基板に対する振動子支持部材の位
置決めが行なわれるので、上記回路基板への振動子の取
り付けを正確に行なうことができ、この振動子の最大感
度軸のずれによる誤差出力の発生を防止できる。
【００４０】また、本発明によれば、上記振動子支持部
材の位置決めピンが、上記回路基板の内側の位置に配置
されているので、回路基板を金属ケースに挿入する際
の、この回路基板と金属ケースとの接触を、ケース蓋を
使用せずに回避できる。
材の位置決めピンが、上記回路基板の内側の位置に配置
されているので、回路基板を金属ケースに挿入する際
の、この回路基板と金属ケースとの接触を、ケース蓋を
使用せずに回避できる。
【００４１】更に、本発明によれば、上記回路基板を実
装するための圧電振動ジャイロ用ケース内に、回路基板
の高さを位置決めするための段差が形成されているの
で、この回路基板の実装時の高さを、ケース蓋を使用せ
ずに位置決めできる。
装するための圧電振動ジャイロ用ケース内に、回路基板
の高さを位置決めするための段差が形成されているの
で、この回路基板の実装時の高さを、ケース蓋を使用せ
ずに位置決めできる。
【００４２】更に、本発明によれば、上記金属ケース内
に、上記圧電振動子及び振動子支持部材を実装した回路
基板を挿入した後、この回路基板が裏面側から樹脂によ
り封入されるので、ケース蓋が不要になり、その構成部
品点数及び製造工程を減少でき、その小型化及び低コス
ト化を実現できる。
に、上記圧電振動子及び振動子支持部材を実装した回路
基板を挿入した後、この回路基板が裏面側から樹脂によ
り封入されるので、ケース蓋が不要になり、その構成部
品点数及び製造工程を減少でき、その小型化及び低コス
ト化を実現できる。
【００４３】更に、本発明によれば、上記振動子支持部
材の位置決めピンが、上記圧電振動ジャイロ用ケースか
ら突出する長さを有し、この位置決めピンが、上記圧電
振動ジャイロの組み立てから上記圧電振動ジャイロのシ
ステムへの取り付けまでの工程において、上記圧電振動
ジャイロの最大感度軸の位置決め基準として一貫して使
用されるので、この圧電振動ジャイロをシステムに取付
ける際に、構成部品の取り付け誤差が積算されることが
無く、その最大感度軸の取り付け精度を高精度に維持で
きる。
材の位置決めピンが、上記圧電振動ジャイロ用ケースか
ら突出する長さを有し、この位置決めピンが、上記圧電
振動ジャイロの組み立てから上記圧電振動ジャイロのシ
ステムへの取り付けまでの工程において、上記圧電振動
ジャイロの最大感度軸の位置決め基準として一貫して使
用されるので、この圧電振動ジャイロをシステムに取付
ける際に、構成部品の取り付け誤差が積算されることが
無く、その最大感度軸の取り付け精度を高精度に維持で
きる。
【図１】本発明の一実施例における圧電振動ジャイロの
振動子支持部材の構造を示す斜視図である。
振動子支持部材の構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例における圧電振動ジャイロの
回路基板の構造を示す斜視図である。
回路基板の構造を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施例における圧電振動ジャイロの
ケースの斜視図である。
ケースの斜視図である。
【図４】本発明の一実施例における圧電振動ジャイロの
組み立て後の構造を示す断面図である。
組み立て後の構造を示す断面図である。
【図５】本発明の背景となる圧電セラミックス円柱から
なる振動子を用いた圧電振動ジャイロの原理を説明する
ための振動子の斜視図である。
なる振動子を用いた圧電振動ジャイロの原理を説明する
ための振動子の斜視図である。
【図６】図５に示した振動子を固定して回路基板に実装
するための従来の振動子支持部材の構造を示す斜視図で
ある。
するための従来の振動子支持部材の構造を示す斜視図で
ある。
【図７】従来の圧電振動ジャイロにおける回路基板の構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図８】従来の圧電振動ジャイロの組み立て後の構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
１ 振動子 ２ 帯状電極 ３ リード線 ５ 最大感度軸 １４ 振動子支持部材 １５ 振動子接続用端子 １６ 位置決めピン １７ 台座 １８ 回路入出力用スルーホール端子 １９ 支持部材接続用端子 ２０ 回路基板 ２１ ケース ２２ ケースの段差 ２３ 樹脂 ２４ 駆動・検出回路
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電セラミックス円柱あるいはパイプの
外周面上に帯状電極を形成した圧電振動子を用い、この
圧電振動子を利用して駆動及び検出を行なう圧電振動シ
ャイロにおいて、上記圧電振動子の電極を回路基板に電
気的に接続するための電極と、上記圧電振動子の上記回
路基板への取付位置を決めるための位置決めピンとを具
備する振動子支持部材により、上記圧電振動子を固定
し、上記振動子支持部材の位置決めピンが、上記回路基
板から突出し、かつ、上記回路基板の内側の位置で電気
的に接続されて、上記回路基板の入出力端子として使用
されることを特徴とする圧電振動ジャイロ。 - 【請求項２】 上記回路基板を実装するための圧電振動
ジャイロ用ケース内に、上記回路基板の高さを位置決め
するための段差を形成したことを特徴とする請求項１記
載の圧電振動ジャイロ。 - 【請求項３】 上記圧電振動ジャイロ用ケース内に、上
記圧電振動子及び振動子支持部材を実装した回路基板を
挿入した後、この回路基板を裏面側から樹脂により封入
したことを特徴とする請求項２記載の圧電振動ジャイ
ロ。 - 【請求項４】 上記振動子支持部材の位置決めピンが、
上記圧電振動ジャイロ用ケースから突出する長さを有
し、この位置決めピンが、上記圧電振動ジャイロの組み
立てから上記圧電振動ジャイロのシステムへの取り付け
までの工程において、上記圧電振動ジャイロの最大感度
軸の位置決め基準として一貫して使用されることを特徴
とする請求項１記載の圧電振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27421892A JP3259144B2 (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 圧電振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27421892A JP3259144B2 (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 圧電振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123629A JPH06123629A (ja) | 1994-05-06 |
| JP3259144B2 true JP3259144B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=17538679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27421892A Expired - Fee Related JP3259144B2 (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | 圧電振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3259144B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5306570B2 (ja) * | 2005-04-18 | 2013-10-02 | パナソニック株式会社 | 振動ジャイロ |
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| JP4915483B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2012-04-11 | パナソニック株式会社 | 振動ジャイロの製造方法 |
| JP2015117690A (ja) * | 2013-11-14 | 2015-06-25 | 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 保護カバー及びこの保護カバーを用いた圧縮機 |
-
1992
- 1992-10-13 JP JP27421892A patent/JP3259144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06123629A (ja) | 1994-05-06 |
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