JP2004361175A - 素子取付パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量を検出する基準面30を有する素子8を内蔵し、素子8が設置される回路基板55上に素子8を取り付けるための素子取付パッケージ1であって、素子取付パッケージ1の回路基板55上への取付面2は、基準面30が所定の方向に向くように回路基板55に対して角度を規定したものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、物理量を検出するジャイロセンサや加速度センサなどの素子を回路基板に取り付けるための素子取付パッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、素子を備えた素子取付パッケージを回路基板に取り付けるには、素子取付パッケージの最大面あるいは素子の基準面を回路基板に平行に対面して設置し、素子と回路基板を電気的に導通するため外部へ延在するリードを、回路基板のホールに挿入してハンダ付等で固定していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の取り付けでは、素子取付パッケージの最大面あるいは素子の基準面を、回路基板に対して所定の方向としての略垂直方向へ設置することができても、リードと回路基板とをハンダ固定するだけでは正確に所定の方向へ設置できないという課題があった。また、ジャイロセンサや加速度センサ等の素子は、素子の基準面が正確に所定の方向へ設置できないため、正確に物理量を検出できないという課題があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するため、本発明の素子取付パッケージは、物理量を検出するための基準面を有する素子を内蔵し、素子が設置される回路基板上に素子を取り付けるための素子取付パッケージであって、素子取付パッケージの回路基板上への取付面は、基準面が所定の方向へ向くように回路基板に対して角度を規定したことを特徴とする。
【0005】
この構成によれば、素子内蔵の素子取付パッケージを、回路基板に対して基準面を所定の方向へ向けて、正確にかつ容易に設置することができる。
【0006】
この場合、取付面は、素子取付パッケージを回路基板上に設置するための複数の支持突起の端面に形成されており、また、取付面方向には、素子と回路基板とを電気的に導通するリードが、素子から延在するように形成されていることが好ましい。
【0007】
これらの構成によれば、回路基板上に安定して素子取付パッケージを設置することができる。さらに、支持突起による回路基板との間の間隙により、リードと回路基板とを導通させるハンダ付け等がやり易くなる。
【0008】
この場合、素子は、基準面に垂直な軸回りの角速度を検出するように配設されており、また、取付面と基準面とが、直角であることが好ましい。
【0009】
これらの構成によれば、取付面と平行な軸回りの角速度、つまり回路基板と平行な軸回りの角速度を高精度に検出することができる。
【0010】
この場合、素子取付パッケージは、リードおよび素子と一体になるように樹脂成形されたことが好ましい。
【0011】
この構成によれば、リードおよび素子が所定の位置関係を持って一体化されており、取り扱い易くかつ回路基板上に取り付け易い素子取付パッケージとなる。
【0012】
本発明の素子取付パッケージは、物理量を検出するための基準面を有する素子と、素子と素子が設置される回路基板とを電気的に導通するリードとを備え、回路基板上に取り付けるための素子取付パッケージであって、リードの一端は、内側の一面が基準面と平行に接するように素子を挟み込んだU字形状であることを特徴とする。
【0013】
この構成によれば、素子とリードとを簡単に組み付けることができると共に、素子の基準面に対してリードを所定の位置関係に保持できる。
【0014】
この場合、素子とリードとは、絶縁部材で被覆されていることが好ましい。
【0015】
この構成によれば、素子とリードとは、所定の位置関係を保持した状態で被覆固定されており、取り扱い易く、回路基板上に取り付け易い素子取付パッケージとなる。
【0016】
本発明の素子取付パッケージは、素子が、ジャイロセンサ振動子であることを特徴とする。
【0017】
この構成によれば、高精度な角速度の検出を行うジャイロセンサとしての素子取付パッケージが実現できる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の素子取付パッケージの実施の形態について説明する。この素子取付パッケージは、既定の軸回りの物理量を検出する素子を内蔵し、その軸方向を所定の向きにして回路基板に取り付けるためのものである。すなわち、ハンディタイプのビデオカメラなどに組み込むと、ビデオカメラの手振れを検出することができる。
【0019】
この素子を組込んだビデオカメラは、図6に示すようにビデオカメラ50を手58で保持するためのフレーム51と、フレーム51に取り付けられた被写体を取り込むレンズ52と、被写体を目で確認するためのビューファインダ53と、図示していない各種操作ボタンと、レンズ52を通して取り込まれた被写体を電子化して記録するCCD54と、レンズ52の中心軸である光軸57と上下方向に直交するように既定の軸である検出軸7の方向が設定された素子8と、素子8を搭載するサブ基板56と、光軸57と左右方向に直交してその検出軸10の方向が設定された素子9と、素子9、CCD54をはじめとして各種電子部品を搭載するメイン基板55と、図示していないテープカセット、テープ記録機構およびバッテリがフレーム51内に収容されている。
【0020】
なお、素子8と素子9とは、機能的には同じもので取り付け方向が異なるだけであり、素子8、9を構成する面のうち最も大きな面を、それぞれサブ基板56、メイン基板55に対面させて安定した取り付けを行っている。また、素子8、9を素子取付パッケージに内蔵して取り付けてもよい。
【0021】
ハンディタイプのビデオカメラ50を手58で保持して撮影を行うと、被写体に向けたレンズ52の光軸57が上下左右に揺れ動く、いわゆる手振れが起こり易く、手振れ状態で撮影されたビデオ映像は、非常に見苦しいものになる。近年ビデオカメラが小型化、軽量化されるに伴い、手振れは、より一層起こり易くなっている。
【0022】
こうした手振れが生じても、電子的に補正して記録できるようにするため、手振れを検出する手段がビデオカメラ50に搭載されている。検出する手段としての素子9は検出軸10が光軸57と左右方向に直交するようにメイン基板55上に配置されて、上下方向の手振れを検出する。また、素子8は検出軸7が光軸57と上下方向に直交するようにサブ基板56上に配置されて、左右方向の手振れを検出する。従って、素子8を搭載するサブ基板56は、メイン基板55と垂直な方向に配置しなければならない。通常、ビデオカメラ50の場合、フレーム51内の上下方向(縦)に大面積のメイン基板55を配置するため、別途に左右方向(横)にサブ基板56を配置している。
【0023】
ここで素子8の構成を詳細に説明する。図5に示すように素子8は、検出軸7回りの角速度を検出するジャイロセンサ水晶振動片40と、図示していないICと、ジャイロセンサ水晶振動片40を収容する枠体35とから構成されているジャイロセンサ水晶振動子である。
【0024】
ジャイロセンサ水晶振動片40は、中央の固定部41と、固定部41から両側に延びる一対の支持アーム42、42と、支持アーム42、42の端に形成された振動アーム43、43と、固定部41から支持アーム42と直交方向に延びる一対の検出アーム44,44と、図示していない接点部とから成っている。
【0025】
これら固定部41、支持アーム42、振動アーム43および検出アーム44は、同一平面に一体で形成された単結晶水晶であって、枠体35から張り出された複数のボンディングワイア45によって、枠体35に接しないように支持されている。また、ボンディングワイア45を介してICと電気的導通をとり、水晶の発振制御、検出信号送出などが行なわれる。
【0026】
ジャイロセンサ水晶振動片40にボンディングワイア45を介して電圧が加えられると、振動アーム43、43が駆動振動Bのように振動を始める。この振動中に検出軸7回りに回転Aが働くと、駆動アーム43、43の振動方向と直交方向にコリオリの力Cが生じる。コリオリの力Cが生じるとこの力により支持アーム42、42が変位を起こして振動(励振)するため、検出アーム44、44も振動(共振)する。この時の検出アーム44、44のそれぞれの振れを差動電圧として検出し、信号処理をすることにより検出軸7回りの角速度が求められる。
【0027】
求められた角速度により、ジャイロセンサ水晶振動片40の検出軸7回りに加えられた回転Aを特定できる。すなわち、ビデオカメラ50の左右方向の手振れの程度を把握することが可能となる。同様に、素子9によりビデオカメラ50の上下方向の手振れの程度が把握できる。
【0028】
次に、ジャイロセンサ水晶振動片40を収容する枠体35は、直方体形状で、検出軸7と垂直な基準面30と、基準面30に形成した凹部で底部が基準面30と平行な複数のリードガイド33と、リードガイド33の底部に設けられた外部との導通用の複数の端子34と、基準面30と直角でリードガイド33に繋がる側面36と、基準面30と対向する対向面37と、直方体を構成する他の3面とから成っている。
【0029】
枠体35の対向面37部分以外はセラミック材で一体構成されており、開放されている対向面37部分から枠体35内に、ジャイロセンサ水晶振動片40やICなどを組込む。組込み後、対向面37部分を平板にて封止し、枠体35に形成されている図示していない脱気孔より内部の空気を抜いて真空状態にしたのち、脱気孔を封止する。
【0030】
このような素子8の枠体35は基準面30を最大の面とする薄型直方体であって、サブ基板56に対して基準面30を対面させるように取り付けられる。従って、素子8をビデオカメラ50に取り付ける際に、ジャイロセンサ水晶振動片40の検出軸7方向は、サブ基板56の位置によって規定される。
【0031】
図6におけるメイン基板55に設置されている素子9についても、検出軸10の方向が素子8の場合と異なるだけで、形状、機能等は同一のものである。
【0032】
しかし、ビデオカメラ50のより小型化のため、基板上への部品の高密度な配置などが推進され、基板はメイン基板55のみの設定となってきている。このため、サブ基板56に設置される素子8は、枠体35の基準面30を、メイン基板55に対して垂直方向にして取り付ける必要が生じてきた。
【0033】
そこで、このような要請に合致した本発明の素子取付パッケージ1の第1の実施形態について、図1を参照して説明する。素子取付パッケージ1は、素子8と、端子34(図5参照)に導通するリード6とを一体で樹脂成形して内蔵したもので、その外面は、メイン基板55に設置するための取付面2と、取付面2に直交し素子8の基準面30に平行な最大面5と、最大面5の取付面2側に形成した凹状のリード露出部13と、素子取付パッケージ1を略直方体に形成する他の面とから構成されている。
【0034】
リード6は、リードガイド33(図5参照)にガイドされ最大面5と平行に、リード露出部13から取付面2を越えて延在している。端子34とリード6とは、リード6のくびれ部14位置でハンダ付等の導通処理がなされている。
【0035】
この素子取付パッケージ1は、取付面2をメイン基板55に臨ませるようにして、リード6をメイン基板55のリードホール11に挿入して取り付ける。これにより素子取付パッケージ1は、取付面2を基準に、メイン基板55に対して最大面5を垂直方向にして容易に取り付け可能である。すなわち検出軸7をメイン基板55に対して平行にセットすることができる。また、検出軸7と直角方向の素子取付パッケージ1の位置決めは、リード6を挿入するリードホール11の位置設定によって規定できる。このように、ジャイロセンサ水晶振動片40とメイン基板55上の配線12とを導通し、素子取付パッケージ1を介して素子8をメイン基板55に設置できるため、サブ基板56が不要になる。
【0036】
なお、リード6を最大面30に対して直角に曲げたものにすることによって、最大面30をメイン基板55に対面させて平行に取り付けることもできる。すなわち従来と同じ形態の取り付けも可能である。
【0037】
次に、図2に基づき素子取付パッケージ1の第2の実施形態について説明する。この素子取付パッケージ1は、素子8と、端子34に導通するリード6の素子8側の一端とを一体で樹脂成形して内蔵し、その外面は、メイン基板55に接する取付面2と、取付面2が形成されている複数の支持突起4と、支持突起4の高さだけメイン基板55から離反してメイン基板55に対面する底面3と、取付面2に直交し素子8の基準面30に平行な最大面5と、素子取付パッケージ1を略直方体に形成する他の面とから構成されている。また、リード6は、底面3から取付面2方向へ取付面2を越えて延在している。
【0038】
この様な構成の素子取付パッケージ1により、第1の実施形態と同様に、素子8の基準面30をメイン基板55に対し直角に取り付けることができる。支持突起4の取付面2を最大面5と直角方向に長く設定したことにより、素子取付パッケージ1の厚みTが薄い場合でも、安定してメイン基板55へ取り付けることが可能となる。したがって、ジャイロセンサ水晶振動片40を搭載して、小型化、薄型化が図られた素子8の特徴を損ねることなく、メイン基板55上の占有面積の少ない素子取付パッケージ1が提供できる。
【0039】
さらに、取付面2と最大面5との角度を直角以外に設定すれば、最大面5をメイン基板55に対して任意の位置関係で取り付けられる。すなわち、検出軸7の方向を任意に設定することも可能となる。
【0040】
なお、第1および第2の実施形態において、リード6のメイン基板55への挿入部をメイン基板55と平行に曲げることにより、リードホール11の無い表面実装タイプの基板にも取り付けることができる。
【0041】
次に、第3の実施形態について図3および図4を参考に説明する。この素子取付パッケージ1は、U字リード20を用いて素子8をメイン基板55に取り付けるものである。
【0042】
U字リード20は、図4に示すように、一端が、素子8のリードガイド33と勘合し端子34に接する導通面21と、導通面21に直角で素子8の側面36を受ける受面24と、導通面21と対面し素子8を導通面21に押し付ける押え面22とからなる内側部を有し、素子8を挟み込む略U字形状をしており、略U字形状から他端に向けては、直方体の支持柱25と、支持柱25に設けられた受面24に平行な回路受面23と、回路受面23から続く基板挿入部26とで構成されている。導通面21と押え面22との間隔は、挟み込む素子8の厚みより小さく設定してある。
【0043】
このU字リード20は、プレス打ち抜き加工、精密鍛造加工、精密鋳造加工および金属粉末射出成形加工などで作ることができる。
【0044】
図3に示すように、素子取付パッケージ1は、素子8のリードガイド33にU字リード20のU字形状側を取り付け、支持柱25、回路受面24および基板挿入部26を除いて絶縁材で被覆して一体にしたものである。被覆することにより素子8とU字リード20とは所定の位置関係で固定され、ひとつの部品として扱い易いものとなる。
【0045】
そして、素子取付パッケージ1の基板挿入部26をメイン基板55のU字リードホール32に挿入すると、回路受面23がメイン基板55と当接し、検出軸7とメイン基板55とを平行な位置関係に取り付けることができる。なお、回路受面23は検出軸7方向にできるだけ長く設定することが、より安定して取り付けるために望ましい。
【0046】
なお、基板挿入部26を除去したU字リード20を用いれば、U字リードホール32の無い表面実装タイプの基板へも取り付けることができる。
【0047】
このジャイロセンサ水晶振動片40を内蔵した素子取付パッケージ1は、ビデオカメラ50への手振れ検出機能としての搭載だけでなく、デジタルカメラの手振れ検出、ロボットの自立歩行のための姿勢検出、カーナビケーションの方向検出をはじめ自動車の姿勢制御装置、航空機の慣性航法装置、ロケット・衛星の誘導装置などへの搭載利用が考えられ、搭載姿勢の柔軟性やメイン基板上での省スペース性などの利点が発揮できる。
【0048】
本発明の素子取付パッケージによれば、素子取付パッケージの取付面の角度を回路基板に対して規定したことにより、基準面を回路基板に対して所定の方向へ向けて正確に取り付けることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る素子取付パッケージの外観斜視図である。
【図2】本発明の第2の実施形態に係る素子取付パッケージの外観斜視図である。
【図3】本発明の第3の実施形態に係る素子取付パッケージの外観斜視図である。
【図4】本発明の第3の実施形態に係るU字リードの外観斜視図である。
【図5】ジャイロセンサ水晶振動片を収容する素子の断面斜視図である。
【図6】素子を搭載したビデオカメラの外観斜視図である。
【符号の説明】
1 素子取付パッケージ
2 取付面
4 支持突起
5 最大面
6 リード
7、10 検出軸
8、9 素子
20 U字リード
21 導通面
23 回路受面
30 基準面
33 リードガイド
35 枠体
40 ジャイロセンサ水晶振動片
55 メイン基板
56 サブ基板
Claims (9)
- 物理量を検出するための基準面を有する素子を内蔵し、前記素子が設置される回路基板上に前記素子を取り付けるための素子取付パッケージであって、
前記素子取付パッケージの前記回路基板上への取付面は、前記基準面が所定の方向へ向くように前記回路基板に対して角度を規定したことを特徴とする素子取付パッケージ。 - 前記取付面は、前記素子取付パッケージを前記回路基板上に設置するための複数の支持突起の端面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の素子取付パッケージ。
- 前記取付面方向には、前記素子と前記回路基板とを電気的に導通するリードが、前記素子から延在して形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の素子取付パッケージ。
- 前記素子は、前記基準面に垂直な軸回りの角速度を検出することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の素子取付パッケージ。
- 前記取付面と前記基準面とが、直角であることを特徴とする請求項4に記載の素子取付パッケージ。
- 前記素子取付パッケージは、前記リードと前記素子とを一体になるように樹脂成形したことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の素子取付パッケージ。
- 物理量を検出するための基準面を有する素子と、前記素子と前記素子が設置される回路基板とを電気的に導通するリードとを備え、前記回路基板上に取り付けるための素子取付パッケージであって、
前記リードの一端は、内側の一面が前記基準面と平行に接するように前記素子を挟み込んだU字形状であることを特徴とする素子取付パッケージ。 - 前記素子と前記リードとは、絶縁部材で被覆されていることを特徴とする請求項7に記載の素子取付パッケージ。
- 請求項1または7に記載の素子が、ジャイロセンサ振動子であることを特徴とする素子取付パッケージ。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105854A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2007064753A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Denso Corp | 角速度センサの取付構造 |
JP2007212174A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP2008096420A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-04-24 | Epson Toyocom Corp | 慣性センサ、慣性センサ装置及びその製造方法 |
EP2048109A2 (en) | 2007-10-10 | 2009-04-15 | Epson Toyocom Corporation | Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same |
US7553164B2 (en) | 2005-05-30 | 2009-06-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Circuit device and method of manufacturing the same |
JP2010002427A (ja) * | 2006-08-09 | 2010-01-07 | Epson Toyocom Corp | 慣性センサ、慣性センサ装置及びその製造方法 |
WO2017163815A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | センサ |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05315521A (ja) * | 1992-05-12 | 1993-11-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JPH08191127A (ja) * | 1995-01-10 | 1996-07-23 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5610431A (en) * | 1995-05-12 | 1997-03-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Covers for micromechanical sensors and other semiconductor devices |
JPH09166447A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH09318364A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-12 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JP2002022452A (ja) * | 2000-07-11 | 2002-01-23 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープを内蔵した角速度測定装置 |
JP2002071353A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-08 | Ngk Insulators Ltd | 角速度測定装置 |
JP2002162409A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
JP2002257552A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | 物理量センサ装置 |
JP2003028646A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Canon Inc | 多軸半導体センサ |
-
2003
- 2003-06-03 JP JP2003158190A patent/JP2004361175A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05315521A (ja) * | 1992-05-12 | 1993-11-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JPH08191127A (ja) * | 1995-01-10 | 1996-07-23 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5610431A (en) * | 1995-05-12 | 1997-03-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Covers for micromechanical sensors and other semiconductor devices |
JPH09166447A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH09318364A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-12 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JP2002022452A (ja) * | 2000-07-11 | 2002-01-23 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープを内蔵した角速度測定装置 |
JP2002071353A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-08 | Ngk Insulators Ltd | 角速度測定装置 |
JP2002162409A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
JP2002257552A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | 物理量センサ装置 |
JP2003028646A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Canon Inc | 多軸半導体センサ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105854A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP4715153B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2011-07-06 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
US7553164B2 (en) | 2005-05-30 | 2009-06-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Circuit device and method of manufacturing the same |
JP4534912B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2010-09-01 | 株式会社デンソー | 角速度センサの取付構造 |
JP2007064753A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Denso Corp | 角速度センサの取付構造 |
JP2007212174A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
JP4720528B2 (ja) * | 2006-02-07 | 2011-07-13 | 株式会社デンソー | 角速度センサ装置 |
JP2008096420A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-04-24 | Epson Toyocom Corp | 慣性センサ、慣性センサ装置及びその製造方法 |
JP2010002427A (ja) * | 2006-08-09 | 2010-01-07 | Epson Toyocom Corp | 慣性センサ、慣性センサ装置及びその製造方法 |
US8309385B2 (en) | 2006-08-09 | 2012-11-13 | Seiko Epson Corporation | Inertial sensor, inertial sensor device and manufacturing method of the same |
US7933128B2 (en) | 2007-10-10 | 2011-04-26 | Epson Toyocom Corporation | Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same |
EP2048109A2 (en) | 2007-10-10 | 2009-04-15 | Epson Toyocom Corporation | Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same |
US8248813B2 (en) | 2007-10-10 | 2012-08-21 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same |
WO2017163815A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | センサ |
JPWO2017163815A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-01-31 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | センサ |
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