JP4442526B2 - 圧電振動ジャイロセンサ及び圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器 - Google Patents
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Description
本発明は、上記問題を解消するためになされたものであって、その目的は、圧電振動ジャイロ素子の振動特性が支持構造の影響を受けない柔軟な支持構造を保持しながら、落下などの衝撃、あるいはジャイロ振動片と支持基板との接合部の位置ずれ等によって生ずるジャイロ振動片の傾きや変位を抑える支持構造とを同時に実現して、安定した角速度検出特性と耐衝撃性とを兼ね備え圧電振動ジャイロ素子の支持構造とジャイロセンサ、及びそれを用いた電子機器を提供することにある。
以下、本発明に係るジャイロ振動片の支持機構及びジャイロセンサの第一の実施形態について図面に従って説明する。
まず、ジャイロセンサ1の全体構成を説明する。
ジャイロセンサ1は、水晶からなる圧電振動ジャイロ振動子としてのジャイロ振動片10と、ジャイロ振動片10を支持して且つ電気的に接続するのに供する複数(本例では6本)の電極リード6a〜6fと複数の電極リード6a〜6fの一方端部を支持する基材5とを有する支持基板4と、前記ジャイロ振動片10が支持された支持基板4を収納するパッケージ2の収納容器であるパッケージ本体2aと、このパッケージ本体2aの上面開口を天板として封鎖しているパッケージ蓋体2bとから構成されている。
また、電極リード6a〜6fのそれぞれは、開口穴7の中心方向に向かって一旦斜め上方に折り曲げられてから、さらに先端側で再び水平に折り曲げられている。
次に、ジャイロ振動片10について、図面を用いて詳細に説明する。
図1(a)に示すように、ジャイロセンサ1に用いられるジャイロ振動片10は、従来知られた駆動モード、検出モード、及びスプリアスモードの3つのモードで動作すべく、駆動モードに供する第一の駆動アーム11及び第二の駆動アーム12と、検出モードに供する検出アーム13と、連結アーム14A,14Bと、支持板部15とを有している。
次に、ジャイロ振動片10の動作原理について、図面に従って説明する。図2は、ジャイロ振動片10の駆動振動動作を模式的に示す説明図であり、図3は、ジャイロ振動片10の検出振動動作を模式的に示す説明図である。なお、図2、及び図3については、振動形態をわかりやすく表現するために、各アーム部は簡略化して線で表し、動作の基点などで二つに分け、それぞれの符号にA,Bを付している。また、図1と同じ構成部分は同じ符号で示し、説明を省略する。
ここで、ジャイロ振動片10の支持板部15における各電極バンプ16a〜16fの配置と、各電極バンプ16a〜16fにそれぞれ対応して一端部が接合される電極リード6a〜6fの引き出し方向について図面を用いて詳細に説明する。図4は、ジャイロ振動片10の電極バンプの配置及び電極リードの引き出し方向を模式的に説明するための平面図である。なお、図4では、ジャイロ振動片10の各電極バンプ16a〜16fの配置を説明しやすくするために、それぞれの電極バンプの中心点C16a〜C16fを図示している。また、電極リード6a〜6fの引き出し方向を説明しやすくするために、各電極リードの長手方向の中心線をリード引き出し方向線P1a〜P1fとして図示している。
従って、各電極バンプの中心点C16a〜C16fを中心点として設けられた各電極バンプ16a〜16fは、ジャイロ振動片10の重心Gからそれぞれが同じ距離の位置に配置され、且つ、重心Gを中心とした円周上に、同じ間隔にて設けられている。つまり、電極バンプ16a,16b、16c,16d、16e,16fが、それぞれ重心Gを中心とした円周上(図中の点線で示す円)で且つ重心Gに対して点対称の位置関係にて配置されている。
次に、支持基板4について、図面に従って詳細に説明する。
図5(a)は、本実施形態に係る支持基板の電極リード配置を説明する平面図であり、図5(b)は、その変形例を示す支持基板4の平面図である。
また、ギャングボンディングするときのジャイロ振動片10の高さと、支持基板4の高さとを調整することによって、電極リード6a〜6fの厚み方向の屈曲形状を制御して形成する。従って、ジャイロ振動片10の下面が支持基板4と接触しないように空隙Tを形成することができる。本実施形態では、支持基板4とジャイロ振動片10のクリアランスを50μm以上確保するように、空隙Tを形成している。(図1(b)参照)
また、本実施形態では、支持基板4単独でジャイロ振動片10を支持し、パッケージ本体2aの凹部底面2dに固定する構成としたが、これに限定されない。支持基板4のパターン面5aとは反対の面に金属板などの補強板を貼り合わせて、基材5を補強して用いてもよい。
また、電極リード6a〜6fのそれぞれは、同じ共振周波数を有してジャイロ振動片10の重心Gに対して均等に支持しているので、例えばジャイロセンサ1に衝撃が加わったときのパッケージ2内でのジャイロ振動片10の変位の負荷をより均等に緩和することができる。
さらに電極リード6a〜6fは、ジャイロセンサ1の固有振動数がジャイロ振動片10を振動源とする共振が起きにくい値となるように、バネ定数の調整がなされている。このため、ジャイロセンサ1の使用時に共振が起きにくくなって共振に起因する検出精度の低下が抑制されるため、ジャイロセンサ1を用いて回転角速度を検出する際に高い検出精度が得られる。
この結果、ジャイロ振動片10は、ジャイロ振動片10の重心Gに対して均等に支持している支持基板4の電極リード6a〜6fによってバランスよく且つ柔軟に支持されるので、例えば振動や落下時の衝撃がジャイロセンサ1に加わったときに、ジャイロ振動片10が受ける振動や衝撃は電極リード6a〜6fにより均等に緩和される。これにより、衝撃の応力により電極リード6a〜6fの一部が塑性変形してジャイロ振動片10が傾くことにより、振動検出軸がずれて検出出力が減少する等の振動検出感度の低下を防止することができる。さらに、衝撃が加わった際のジャイロ振動片10の変位の片寄りを小さくすることが可能なため、ジャイロ振動片10がパッケージ2の内壁に当たって破損する等の不具合を回避することができる。
この結果、ジャイロ振動片10は、第一、及び第二の駆動アーム11,12と、検出アーム13のそれぞれの振動方向に対しても均等にジャイロ振動片を支持することができ、支持構造がジャイロ振動片10の振動特性を妨げ難くなるので、ジャイロセンサ1の検出精度を高くすることが可能になる。
この結果、電極リード6a〜6fは腐蝕等の表面劣化を起こし難く、また、接続部でのマイグレーション等も起こり難くすることが可能であるため、高信頼性を有するジャイロセンサ1を提供することが可能である。
この結果、ジャイロ振動片10用の支持基板4が等間隔で形成されたフープ状の支持基板リールにより、リールトゥリール(Reel to reel)で連続して支持基板へのジャイロ振動片10の接合する、いわゆるTAB実装方式を適用することができるため、生産性に優れた効率的なジャイロセンサ1の生産が可能となる。しかも、ギャングボンディングするときのジャイロ振動片10と支持基板4の高さとを調整することによって、電極リード6a〜6fをジャイロ振動片10側に曲げた形状を制御して形成することが可能となる。従って、ジャイロセンサ1に振動や落下などの衝撃が加わったときに、ジャイロ振動片10の下面が支持基板4と接触しないで、且つ、ジャイロ振動片10がパッケージ蓋体2bに接触しない、最適な支持基板4とジャイロ振動片10とのクリアランスを確保することが可能となり、耐衝撃性の優れたジャイロセンサ1の支持構造を提供することができる。
上記第1の実施形態では、ジャイロ振動片10の支持構造、及びそれによって得られるジャイロセンサ1について説明した。これに限らず、ジャイロセンサ1を搭載することにより、図7に示すディジタルスチルカメラ200や、図8に示すカメラ付き携帯電話300等の電子機器を提供することができる。
図7において、ディジタルスチルカメラ200は、本体ケース201の背面に液晶ディスプレイ等の表示パネル204を備えている。また、ディジタルスチルカメラ200の本体ケース201の観察側(図においては裏面側)には光学レンズやCCD(charge coupled device)等を含んだ受光ユニット202が備えられ、本体ケース201の上面にはシャッタボタン203が備えられている。通常のカメラは、被写体の光像によってフィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ200は、被写体の光像をCCD等の撮像素子により光電変換して撮像信号を生成するものである。また、表示パネル204は、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成となっており、被写体を表示するファインダとして機能する。
なお、本変形例では、電極バンプ配置の基点とした電極バンプの中心点C26a及びC26bのそれぞれから、重心Gを支点として時計回りまたは反時計回りに60°未満の任意の角度θ回転した位置に電極バンプの中心点C26c,C26e,C26d,C26fをそれぞれ配置する例を示したが、これに限らない。各電極バンプの位置が重心Gに対して点対称となり、且つ検出アーム23の長手方向の仮想の中心線に対して線対称の位置関係となれば、角度θは60°より大きくてもよい。
Claims (4)
- 複数の電極端子を備える中央支持部と、
前記中央支持部の両側から、前記中央支持部の中心を通る対称軸線の線上に延出された検出アームと、
前記検出アームに直交する方向に前記中央支持部の両側から延出された一対の連結アームと、
前記一対の連結アームの先端から各連結アームに直交して両側に延出され、前記対称軸線に対して線対称に配置された一対の駆動アームと、を同一平面に有した圧電振動ジャイロ素子を、
複数の電極リードを有した支持基板によって、前記複数の電極リードの各一端部を、それぞれ対応する前記電極端子に接合することによって支持する構造の圧電振動ジャイロセンサであって、
前記複数の電極端子が、前記圧電振動ジャイロ素子の重心を中心とする仮想の円周上に、前記重心に対して点対称に配置され、前記複数の電極リードが、前記重心と前記複数の電極端子の各中心点との延長線上に引き出されており、
前記複数の電極リードが、前記対称軸線に直交して且つ前記重心を通る仮想線または前記対称軸線に対して平面視で線対称に引き出されていることを特徴とする圧電振動ジャイロセンサ。 - 請求項1に記載の圧電振動ジャイロセンサにおいて、
前記複数の電極リードのそれぞれが、少なくとも前記圧電振動ジャイロ素子の支持に供する部分の共振周波数を全て等しく有していることを特徴とする圧電振動ジャイロセンサ。 - 請求項1または2に記載の圧電振動ジャイロセンサにおいて、
前記複数の電極リードが、前記重心と、隣り合う前記複数の電極端子のそれぞれの中心点との延長線上に、前記重心から同じ角度を有して引き出されていることを特徴とする圧電振動ジャイロセンサ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器。
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