JP4682671B2 - 圧電デバイス - Google Patents

Description

本発明は、ジャイロ振動片などの圧電振動片を有する圧電デバイスに関する。

近年、車両における車体制御やカーナビゲーションシステム、また、デジタルカメラやデジタルビデオカメラなどの高機能化がますます進んできているのに伴って、それらの機器の位置制御機能や振動制御補正機能などの充実への要求も高まっている。このなかにあって、圧電振動片を有する圧電デバイスとしての振動ジャイロセンサ（以下ジャイロセンサと呼ぶ）が注目されている。ジャイロセンサは、水晶などの圧電性単結晶物からなるジャイロ振動片により、ジャイロセンサ搭載物の揺れや回転などの振動によってジャイロ振動片の一部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって該搭載物の振動補正量を求め導くのに供する装置であり、前記した電子機器の高機能化に有効なものである。

このような圧電振動片を用いた圧電デバイスの構造としては、基板の電極（接点パッド）に一部が接合されたボンディングワイヤ（以下、電極リードと呼ぶ）の一方の端部を、内側に空隙を形成した絶縁樹脂からなる枠体を介して、圧電振動片と基板が接触しないように浮かせて支持するように圧電振動子の端子部に接合する方法が紹介されている（特許文献１）。すなわち、圧電振動片の接合部に端部を接合した電極リードによって、圧電振動片を浮かせるように且つ柔軟に支持することによって、圧電振動片が有する振動特性に対して支持構造の影響を最小限に抑え、圧電振動片の振動量検出特性の劣化を回避しているものである。なお、圧電デバイスは、通常は外力から保護するために、収納容器内に固定して蓋板で封止したパッケージ構造がとられている。

特開２００３−２９４４５０号公報

しかしながら、特許文献１に記載の圧電振動片の支持構造では、電極リードが太過ぎると圧電振動片が支持構造の影響を受けて振動特性の劣化を招き、逆に、電極リードが細過ぎると、落下などの衝撃によって電極リードが変形してパッケージ内で圧電振動片が大きく変位し、圧電振動片がパッケージの内壁や基板に衝突して、圧電振動片の振動特性劣化や破損を起こす可能性があるという問題があった。
本発明は、上記問題を解消するためになされたものであって、その目的は、圧電振動片の振動特性が支持構造の影響を受けない柔軟な支持構造と、落下などの衝撃によって生ずる圧電振動片の変位を抑える支持構造とを同時に実現して、安定した振動特性と耐衝撃性とを兼ね備えたジャイロ振動片などの圧電振動片を有する圧電デバイスを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明では、複数対の端子部を備える圧電振動片と、圧電振動片の端子部の各々に一端部が接合されるとともに端子部にそれぞれ接合された複数のうち同数ずつが圧電振動片の外側に向かって互いに離反する方向へ延在している複数の電極リードと、複数の電極リードの他端部を支持する支持基材とを備える支持基板とを有する圧電デバイスにおいて、複数の電極リードの対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さが、当該点対称の位置関係にある他の少なくとも一対の電極リードの太さと異なることを要旨とする。ここで、仮想の点の一例としては、圧電振動片の重心に対応する点（重心そのものも含む）が挙げられるが、これに限定されるものではない。また、支持基材の表面と垂直な方向から圧電振動片を見たときに複数の電極リードが点対称の位置関係にある複数の対に分けられるように複数の電極リードが配列されていることが好ましい。また、点対称の位置関係にあるとは、圧電振動片を支持する複数の電極リードのうち異なる太さごとに群分けされた電極リード群の中で同じ電極リード群に属するリード対を特定するための位置の条件を示したものであり、電極リードの形状の対称性までを条件として含めるものではない。例えばリード形状が点対称から外れる形状をそれぞれ持つ一対の電極リードであっても、圧電振動片から同数ずつ互いに離反する方向へ延在している複数の電極リードのうち点対称の位置関係に一番近い一組（一対）であれば、当該一対の電極リードは、本発明の点対称の位置関係にあると言える。また、点対称の位置関係にある電極リードの対が同じ電極リード群に属するように複数の電極リードが異なる太さの電極リード群に群分けされていればよく、同じ電極リード群に属する電極リードがすべて同じ太さであることに限定されない。例えば電極リードが６本の場合、太め電極リード（例えばリード幅５０μｍ，５１μｍ）が属する太い電極リード群と、細めの電極リード（例えばリード幅２５μｍ，２６μｍ，２７μｍ，２８μｍ）が属する細い電極リード群とに群分けされたものでも構わない。

この構成によれば、圧電振動片を支持する複数の電極リードに太さの異なるリード対を混在させている。このとき、複数の電極リードの対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さと、点対称の位置関係にある他の少なくとも一対の電極リードの太さとは異なっている。つまり、複数の電極リードの対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードは、同じ太さの電極リード群（複数の電極リードが電極リードの太さの違いにより群分けされたもので同一の電極リード群に属する電極リードは同じ太さの傾向をもつが必ずしも同じ太さとは限らない群）に属する。このように複数の電極リードの太さは、点対称の位置関係で対をなす電極リードが、同じ太さの電極リード群に属するように、割り振られている。よって、圧電振動片を細めの電極リードにより柔軟に支持できるうえ、太めの剛性のある電極リードにより落下などの衝撃が加わった際にも圧電振動片の変位を小さく抑えられるように支持でき、しかも同じ太さに属する電極リードが点対称の位置関係に位置するので圧電振動片をバランスよく支持することができる。よって、圧電振動片が支持構造に影響されず安定に保持されて圧電振動片の安定な振動特性が得られるうえ、落下などの衝撃に対しても強い耐衝撃性に優れた圧電デバイスを提供することができる。

本発明では、複数の電極リードの対称中心となる点を通る対称中心となる線を圧電振動片上に設定した場合、複数の電極リードが点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに群分けされた複数の電極リード群のうち、同じ電極リード群に属する点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードを構成するそれぞれの電極リードとさらに対称中心となる線に対して線対称の位置関係にある電極リードも、当該同じ電極リード群に属することが望ましい。

この構成によれば、圧電振動片をさらにバランスよく支持できることから、圧電振動片の振動特性をさらに安定に確保することができる。

本発明では、対称中心となる点に近い側に位置する端子部に接合された点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さが、対称中心となる点から遠い側に位置する端子部に接合された点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードより太いことが好ましい。

この構成によれば、少なくとも一対の太めの電極リードは圧電振動片を重心に近い端子部にて支持する。また、少なくとも二対の細めの電極リードは圧電振動片を重心から離れた端子部にて支持する。太い電極リードにより圧電振動片の重心近くで荷重をしっかり受け止めることができ振動や落下などの衝撃が加わったときの圧電振動片の変位を小さくすることができるため、耐衝撃性に優れた圧電デバイスを提供することができる。また、少なくとも二対の細めの電極リードにより圧電振動片を太めの電極リードを挟む両側の位置において柔軟に支持でき、圧電振動片の姿勢を安定に保ちやすくなる。

本発明では、電極リードの太さの違いは、電極リードのリード幅が異なることによることが望ましい。

この構成によれば、圧電振動片の仮想の点に対して点対称に対をなして形成する細めの電極リードの柔軟性よって、圧電振動片をバランスよく柔軟に支持できることから、圧電振動片の振動特性が支持構造の影響をより受け難くすることが可能となる。また、フォトリソグラフィーによる電極リードのパターン形成において、比較的容易に電極リード太さを制御して形成することができる。

本発明では、前記電極リードの太さの違いは、前記電極リードのリード厚が異なることによることが好ましい。

この構成によれば、電極リードの厚みを薄くした部分は柔軟性が増すため、圧電振動片の柔軟な支持構造を得ることができる。また、電極リードのリード幅を細くする構成に比べ、リード幅が広いため、圧電振動片または支持基材に対する接合面積を広く確保して接合強度を高くすることができる。

本発明では、電極リードは、前記端子部と接合される一端部においてリード厚が他の部位より厚く形成されていてもよい。

この構成によれば、電極リードの一端部の厚くした部分を端子部と接合することにより、圧電振動片の端子部に例えばバンプなどの突起物を形成しなくても、双方を接合することが可能となる。

本発明では、前記電極リードの前記一端部と他端部のうち少なくとも一方の幅が、当該電極リードが前記支持基材と前記圧電振動片の間で空中配線される部位の最小幅より広く形成されていることが好ましい。

この構成によれば、電極リードと支持基材または圧電振動片との接合面積が広くとれるために接合力が上がるので、圧電デバイスの信頼性や耐衝撃性を確保することが可能となる。

本発明では、点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに群分けされた複数の電極リード群のうち一番太い電極リード群を除く少なくとも一つの電極リード群に属する電極リードは、他端部側から一端部側へ近づくに従って徐々にリード幅が狭くなるように形成されていてもよい。

この構成によれば、電極リードの長手方向全域に渡ってリード幅を細くする場合よりもリード強度を劣化させずに小さいバネ定数にて圧電振動片を支持する電極リードを形成することができるため、圧電デバイスの耐衝撃性を保持しながら圧電振動片の柔軟な支持構造を得ることが可能となる。また、支持基板と接合される電極リードの他端部はリード幅が広いので接合面積を広く確保して高い接合力を確保することができる。

本発明では、電極リードは、前記支持基材と前記圧電振動片の間で空中配線された部位においてリード経路を屈曲させた形状に形成されていることが好ましい。

この構成によれば、電極リードが屈曲したリード経路をとることにより空中配線された部分のリード長が長くなり、リード幅を細くし過ぎることなく電極リードに必要なバネ性（小さなバネ定数）を付与することができるため、圧電振動片をより柔軟に支持することが可能となる。

本発明では、複数の電極リードは点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに複数の電極リード群に群分けされており、圧電振動片の同種の電気信号のやりとりに供する端子部と接合される少なくとも一対の電極リードは、同じ太さの電極リード群に属することが好ましい。ここで、圧電振動片の同種の電気信号のやりとりに供する端子部の一例としては、駆動用端子部と検出用端子部が挙げられる。この例の場合、例えば駆動用端子部に接続された少なくとも一対の電極リードは同じ太さとされ、検出用端子部に接続された少なくとも一対の電極リードは、駆動用端子部に接続された電極リードとは異なる太さで同じ太さとされる。

この構成によれば、同種の電気信号のやりとりに供する（同じ端子機能をもつ）端子部と接合される少なくとも一対の電極リード間で、例えばインピーダンス等の電気特性が揃うため、圧電デバイスの検出精度を高く確保することができる。例えば端子部として駆動用端子部と検出用端子部がある構成では、駆動用端子部に接合された少なくとも一対の電極リード間でインピーダンス等の電気特性が揃い、一方、検出用端子部に接合された少なくとも一対の電極リード間でインピーダンス等の電気特性が揃うことになる。駆動用端子部に接合された少なくとも一対の電極リードからの印加電圧によって駆動される圧電振動片の駆動タイミングのずれが小さく抑えられ、また、検出用端子部に接合された少なくとも一対の電極リードからの検出信号の入力タイミングのずれが小さく抑えられる。

本発明では、複数の電極リードは点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに複数の電極リード群に群分けされており、同じ電極リード群に属する電極リードはすべて同じ太さであることが好ましい。

この構成によれば、圧電振動片を支持する複数の電極リードに太さの異なる電極リードが混在する場合に、同じ太さの群に属する電極リードの配列（位置関係）が点対称であるばかりでなく、すべて同じ太さなので、複数の電極リードによって圧電振動片を一層バランスよく支持することができる。

本発明では、同じ電極リード群に属し点対称の位置関係で対をなす電極リードは、対称中心となる点に対して点対称となるリード形状をそれぞれ有することが好ましい。

この構成によれば、同じ電極リード群が点対称となるリード形状を有することで、よりバランスよく圧電振動片を支持することができる。

本発明では、電極リードの支持基材と圧電振動片との間で空中配線されている部位の長さは、点対称の位置関係にある電極リード間で略等しいことが望ましい。

この構成によれば、電極リードの空中配線されている部位のバネ性が同じ太さの電極リード群に属する電極リード間で略等しくなり、圧電振動片をより一層バランスよく支持することができる。

本発明では、電極リードの支持基材と圧電振動片との間で空中配線されている部位の長さは、太い電極リード群に属する電極リードより、細い電極リード群に属する電極リードの方が長いことが好ましい。

この構成によれば、圧電振動片を支持する電極リードのうち、より柔軟に支持するのに供する細い電極リード群にさらに小さなバネ定数を付与することができるので、剛性を有する太い電極リード群とバランスよく配設することにより、圧電振動片をより柔軟に支持して圧電振動片の安定な振動特性を保持できるとともに、対衝撃性に優れた支持構造を得ることが可能となる。

（第一の実施形態）
以下、本発明をジャイロセンサに具体化した第一の実施形態について図面に従って説明する。

図１（ａ）は、ジャイロセンサを説明する正面図であり、同図（ｂ）は、そのジャイロセンサの図１（ａ）中のＡ−Ａ断面図である。なお、図１（ａ）では、ジャイロセンサの上部を覆っているパッケージ蓋体を一部切り欠いて図示している。

（ジャイロセンサ）
まず、ジャイロセンサ１の全体構成を説明する。
ジャイロセンサ１は、水晶からなる圧電振動片としてのジャイロ振動片１０と、ジャイロ振動片１０を支持して且つ電気的に接続するのに供する複数（本例では６本）の電極リード６ａ〜６ｆと複数の電極リード６ａ〜６ｆの一方端部を支持する支持基材５とを有する支持基板としてのＴＡＢ基板４と、前記ジャイロ振動片１０が支持されたＴＡＢ基板４を収納するパッケージ２の収納容器であるパッケージ本体２ａと、このパッケージ本体２ａの上面開口を天板として封鎖しているパッケージ蓋体２ｂとから構成されている。

セラミック等で形成されたパッケージ本体２ａの凹部底面２ｄの略中央には、ＴＡＢ基板４が支持基材５のパターン面５ａを下側にして、銀ペーストなどの導電性接着材６０で固着されている。ＴＡＢ基板４は、基材としてポリイミド樹脂などで形成された支持基材５を有しており、支持基材５の中央部には略直方形の開口穴７（デバイスホール）が形成されている。また、ＴＡＢ基板４に備えられた複数の電極リード（インナーリード）６ａ〜６ｆは、支持基材５において開口穴７の長辺方向に挟んで対面する部分の裏側となるパターン面５ａに基端部（他端部）が保持され、先端部（一端部）が開口穴７の中心線Ｐ１に向かって延出するようにして突出して形成されている。なお、パッケージ本体２ａの凹部底面２ｄにＴＡＢ基板４を固着している前記導電性接着剤６０は、電極リード６ａ〜６ｆのそれぞれの一部と、パッケージ本体２ａの凹部底面２ｄに備わる接続端子３との両方に接触させて塗布されている。この接続端子３は、パッケージ本体２ａの底板部２ｃを介して外側に設置されている外部接続部（図示しない）と導通しているので、各電極リード６ａ〜６ｆは、それぞれに対応する前記外部接続部と導通している。

また、電極リード６ａ〜６ｆのそれぞれは、開口穴７の中心方向に向かって一旦斜め上方に折り曲げられてから、さらに先端側で再び水平に折り曲げられている。

なお、本実施形態では、パッケージ本体２ａの凹部底面２ｄに、ＴＡＢ基板５をパターン面５ａを下向きにして固着される構成としたが、これに限定されない。例えば導電性接着剤６０の塗布位置を工夫するなどして、接続端子３と各電極リード６ａ〜６ｆの一部を導通させる手段を用いれば、パターン面５ａを上向きにして固着する構成としてもよい。

また、本実施形態では、支持基材５の開口穴７を挟んで対面する二辺の部分から中心線Ｐ１に向かって延出する状態に電極リード６ａ〜６ｆを形成する構成としたが、これに限定されない。ジャイロ振動片１０の形状や接合部の配列などに応じて、支持基材５において開口穴７を短辺方向に挟んで対面する二辺の部分から電極リード６ａ〜６ｆを延出させた構成としてもよい。

電極リード６ａ〜６ｆの水平に折り曲げられた各先端部の上面は、ジャイロ振動片１０の略中央部に形成された端子接続部としての金などからなるバンプ電極１６ａ〜１６ｆと接合されて、それぞれが電気的に接続されている。従って、ジャイロ振動片１０は、その下面（裏面）がバンプ電極１６ａ〜１６ｆの形成箇所以外の下面部位において電極リード６ａ〜６ｆと接触しない状態に支持され、しかも支持基材５から離間する側へ折り曲げられた電極リード６ａ〜６ｆの先端部に支持されることにより、支持基材５と接触しないように空隙Ｔを形成しながら、電極リード６ａ〜６ｆによって支持される構造となっている。

（ＴＡＢ基板）
次に、ＴＡＢ基板４の複数の電極リード６ａ〜６ｆの形状を中心に図面に従って詳細に説明する。
図２は、本実施形態に係るＴＡＢ基板の電極リード形状を説明する平面図である。

ＴＡＢ基板４は、従来より知られるＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装用の基板である。ＴＡＢ基板４は、上面に図示しない接着剤層を有し、ポリイミドなどの可曉性樹脂からなる基材に、プレス加工によって開口穴７を形成して支持基材５を得てから、前記接着剤層により銅箔などの電極用金属箔を貼り合わせたのち、フォトリソグラフィーにより電極リード６ａ〜６ｆ等の電極パターンを形成する。従って、電極リード６ａ〜６ｆは、支持基材５上に前記接着剤層によって保持されながら開口穴７の中心線Ｐ１側に向かって延出させた、いわゆるオーバーハング構造にて形成されている。

本実施形態では、前記電極用金属箔として１８μｍの厚みを有する銅箔を使用した。従って、ＴＡＢ基板４の各電極リード６ａ〜６ｆの厚みは１８μｍとなる。この銅箔により形成され複数の電極リード６ａ〜６ｆの表層には金めっきが施されている。なお、銅箔の厚みは１８μｍに限らず、支持するジャイロ振動片１０の大きさや重さなどに応じて選定可能である。また、電極リードを形成する電極用金属箔は、エッチングによりパターン形成可能な金属であれば銅箔以外のものを用いてもよい。

複数の電極リード６ａ〜６ｆは、図示する開口穴７の中心点Ｇに対して点対称となる３つの対をなしている。また、複数の電極リード６ａ〜６ｆは、開口穴７を短辺方向に二等分する中心線Ｐ２に対しても線対称となっている。本実施形態では、電極リード６ａと６ｂ、６ｃと６ｆ、そして６ｄと６ｅがそれぞれ中心点Ｇに対して点対称な対をなして、開口穴７上で対面する先端部間に所定の間隙を設けて３対形成されている。

前記３対の電極リード６ａ〜６ｆのうち、真中に位置する一対の電極リード６ａ，６ｂは、他の二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅよりも太い幅にて真直ぐに形成されている。
本実施形態では、電極リード６ａ，６ｂの幅は４４μｍ〜５４μｍに、また、電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆは、２４〜３４μｍの幅で形成されている。このように、複数の電極リードは、電極リード６ａ，６ｂが属する太い電極リード群と、電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆが属する細い電極リード群とに群分けされている。

さらに、二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅは、支持基材５上から開口穴７の中心線Ｐ１に向かう途中の第一折り曲げ部８で一旦隣接する電極リード６ａまたは６ｂ側に略直角に屈曲してから、第２折り曲げ部９で再び開口穴７の中心線Ｐ１側に略直角に屈曲して、該中心線Ｐ１側に向かって延びている。なお、各電極リード６ａ〜６ｆのそれぞれの先端部分は、前記ジャイロ振動片１０のバンプ電極１６ａ〜１６ｆのそれぞれと対応する位置に合わせて形成されている。

バンプ電極１６ａ〜１６ｆと、それぞれに対応するＴＡＢ基板４の各電極リード６ａ〜６ｆとの接合は、所定温度の熱圧着ツールを所定の圧力で圧しつけることで一括して接合する、いわゆるギャングボンディング（Gang Bonding）法によって行なう。このときの熱と圧力の作用によって、それぞれ対応する各バンプ電極１６ａ〜１６ｆと各電極リード６ａ〜６ｆの少なくとも表層をなしている金同士が、所定の機械的強度をもって金属接合される。
また、ギャングボンディングするときのジャイロ振動片１０の高さと、ＴＡＢ基板４の高さとを調整することによって、電極リード６ａ〜６ｆの厚み方向の屈曲形状を制御して形成する。従って、ジャイロ振動片１０の下面がＴＡＢ基板４と接触しないように空隙Ｔを形成することができる。本実施形態では、ＴＡＢ基板４とジャイロ振動片１０のクリアランスを５０μｍ以上確保するように、空隙Ｔを形成している。

なお、本実施形態では、三対の電極リード６ａ〜６ｆの表層に金めっきを施し、ジャイロ振動片１０の金からなるバンプ電極１６ａ〜１６ｆとを、ギャングボンディング法によって金属接合させて接合する構成としたが、これに限定されない。例えば、金と錫の共晶現象をもって接合するなど、所定の接合強度を持って電気的に接続できれば、各電極リード６ａ〜６ｆに施すめっき金属及びバンプ電極１６ａ〜１６ｆの金属材料には、錫、ニッケル、半田合金など他の金属を接合金属として用いてもよい。また、ギャングボンディング法による金属接合以外にも、導電性接着剤などを用いた他の接合方法を用いてもよい。

（ジャイロ振動片）
次に、ジャイロ振動片１０について、図面を用いて詳細に説明する。

まず、ジャイロ振動片１０の構成について説明する。
図１（ａ）に示すように、ジャイロセンサ１に用いられるジャイロ振動片１０は、従来知られた駆動モード、検出モード、及びスプリアスモードの３つのモードで動作すべく、駆動モードに供する第一の駆動アーム１１及び第二の駆動アーム１２と、検出モードに供する検出アーム１３と、連結アーム１４と、支持板部１５とを有している。

一対の連結アーム１４Ａ，１４Ｂは、四角板状を有する支持板部１５の両側面（図１（ａ）においては上下の端面）中央箇所からそれぞれの軸線が一致するようにそれぞれ反対方向に真っ直ぐ延出している。連結アーム１４Ａの一端は第一の駆動アーム１１の延在方向中心位置に接続されており、一方、連結アーム１４Ｂの一端は第二の駆動アーム１２の延在方向中心位置に接続されている。検出アーム１３は、支持板部１５（つまりジャイロ振動片１０）の中心点Ｇをその軸線が通るように、支持板部１５の両側面（図１（ａ）においては左右の端面）中央箇所から真っ直ぐ延出している。支持板部１５は、連結アーム１４Ａ，１４Ｂと検出アーム１３との接続点を含む所定の面積を有する板状部であり、ジャイロ振動片１０を支持基板としてのＴＡＢ基板４で支持する支持部（基部）となっている。

ジャイロ振動片１０がＴＡＢ基板４に実装された状態においては、ジャイロ振動片１０の中心点（重心）、すなわち支持板部１５の中心点は、開口穴７の中心点Ｇと一致している。従って、中心点Ｇは図１（ａ）の平面視においてジャイロ振動片１０の中心点ともなる。つまり、複数の電極リード６ａ〜６ｆは、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇに対して点対称となる３つの対をなしている。さらに図１（ａ）の平面視において、中心線Ｐ１は、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇを通り、第一及び第二の駆動アーム１１，１２及び検出アーム１３の各延在方向と直交する方向に延びるジャイロ振動片１０の中心線と一致している。また、中心線Ｐ２は、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇを通り、第一及び第二の駆動アーム１１，１２及び検出アーム１３の各延在方向に延びるジャイロ振動片１０の中心線と一致している。したがって、複数の電極リード６ａ〜６ｆは、ジャイロ振動片１０の平面視において互いに直交する２つの中心線Ｐ１，Ｐ２のそれぞれについて線対称ともなっている。そして、３対の電極リード６ａ〜６ｆのうち、点対称となる真中に位置する一対の電極リード６ａ，６ｂは、点対称となる他の二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅよりも太い幅にて形成されている。

換言すれば、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇに対して点対称の位置関係に配列した３対の電極リード６ａ〜６ｆのうち、点対称の位置関係で対を成すリード同士を同じ太さ（リード幅）とし、太さの異なるリード対を混在させている。そして、さらに中心線Ｐ１（またはＰ２）に対して線対称の位置関係にあるリード対についても対を成すリード同士、すなわち電極リード６ａと６ｂ、６ｃと６ｄ、６ｅと６ｆ（中心線Ｐ２に対して線対称の位置関係にあるリード対は電極リード６ｄと６ｆ、６ｃと６ｅ）をそれぞれ同じ太さ（リード幅）ともしている。このように中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあるリード同士を同じ太さとし、さらに中心線Ｐ１（またはＰ２）に対して線対称の位置関係にあるリード同士をも同じ太さとすることで、電極リード６ａ〜６ｆの太さの配列に関しては、中心点Ｇを通る互いに直交する２本の中心線Ｐ１，Ｐ２に対して共に線対称の位置関係をとるようになっている。

電極リード６ａ〜６ｆの太さの配列が上記対称性の位置関係をとる条件下において、太い電極リードと細い電極リードの配列の仕方に２通りあるが、本実施形態では、３対のうち真中に位置する一対の電極リード６ａ，６ｂを太くし、その両側に位置する他の二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅをそれぞれ同じリード幅に細くしている。これは、ジャイロ振動片１０を電極リード６ａ〜６ｆによってバネ性を持たせて柔軟に支持できるように、細いリードの本数割合を相対的に高くしているからである。また、線対称の基準となる中心線Ｐ２に近い側の電極リード６ａ，６ｂを太くし、中心線Ｐ２から遠い側の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅを細くする考えにも基づいている。これは、ジャイロ振動片１０の中心点（重心点）Ｇにより近い位置を支持する電極リード６ａ，６ｂは、相対的に大きな荷重を受けやすく剛性を持たせることが好ましいことと、重心点Ｇからより離れた位置を支持する電極リード６ｃ〜６ｆは細くする方がバネ性を持たせて柔軟に支持しやすいことによる。

また、電極リード６ａ〜６ｆの太さの位置関係だけでなく、電極リード６ａ〜６ｆの形状についても同様の対称性を有している。一対（２本）の太い電極リード６ａ，６ｂは、中心点Ｇに対して点対称かつ中心線Ｐ１，Ｐ２に対して線対称となる形状をそれぞれ有している。また、他の二対（４本）の細い電極リード６ｃ〜６ｆについても、中心点Ｇに対して点対称かつ中心線Ｐ１，Ｐ２に対して線対称となる形状をそれぞれ有している。本実施形態では、中心線Ｐ１，Ｐ２に対して対称性のある形状を有するジャイロ振動片１０を、同じく中心線Ｐ１，Ｐ２に対して対称性のあるリード配列、リード太さ及びリード形状を有する電極リード６ａ〜６ｆで支持することにより、バランスのよい安定姿勢でジャイロ振動片１０を支持することが可能となる。

電極バンプ１６ａ〜１６ｆは、駆動用端子となる二対（４個）の電極バンプ１６ｃ〜１６ｆと、検出用端子となる一対（２個）の電極バンプ１６ａ，１６ｂとからなる。電極バンプ１６ａ〜１６ｆも同様に中心点Ｇ及び中心線Ｐ１，Ｐ２に対して対称性のある位置関係に配列されている。電極リード６ａ〜６ｆの太さの位置関係は、それぞれ接合先の電極バンプ１６ａ〜１６ｆが駆動用端子か検出用端子かによっても決められている。駆動用端子である電極バンプ１６ｃ〜１６ｆと接合されている二対の電極リード６ｃ〜６ｆはすべて同じリード幅で細く形成されており、検出用端子である電極バンプ１６ａ，１６ｂと接合されている電極リード６ａ，６ｂはどちらも同じリード幅で太く形成されている。さらに電極リード６ａ〜６ｆのリード長は、リード形状の対称性に基づき太さごとに等しくなっている。

このように接合先の電極バンプ１６ａ〜１６ｆが駆動用端子か検出用端子かの違いに応じて同じ機能の端子に接合されている電極リードについては太さ及びリード長が揃えられている。これにより同じ機能の端子と接合される電極リード６ａ，６ｂ間及び電極リード６ｃ〜６ｆ間で例えばインピーダンス等の電気特性が揃えられている。このため、駆動アーム１１，１２間における駆動タイミングのずれや、検出用端子からの検出信号の入力タイミングのずれを極力小さく抑えることができ、このことがジャイロセンサ１の検出精度を高く確保することに寄与している。

次に、ジャイロ振動片１０の動作原理について、図面に従って説明する。図３は、ジャイロ振動片１０の駆動振動動作を模式的に示す説明図であり、図４は、ジャイロ振動片１０の検出振動動作を模式的に示す説明図である。なお、図３、及び図４については、振動形態をわかりやすく表現するために、各アーム部は簡略化して線で表し、動作の基点などで二つに分け、それぞれの符号にＡ，Ｂを付している。また、図１と同じ構成部分は同じ符号で示し、説明を省略する。

まず、駆動振動について説明する。図３において、駆動振動は、第一及び第二の駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ、及び１２Ａ，１２Ｂが、それぞれ矢印Ａ方向に振動する屈曲振動であって、実線で示す駆動姿態と、二点鎖線で示す振動姿態を所定の周波数で繰り返している。このとき、第一の駆動アーム１１Ａ，１１Ｂと第二の駆動アーム１２Ａ，１２Ｂとが、重心位置Ｇを通るＹ軸で線対称の振動を行っているので、連結アーム１４Ａ，１４Ｂ及び検出アーム１３Ａ，１３Ｂは、ほとんど振動しない。

次に、検出振動について説明する。図４において、検出振動は、実線で示す振動姿態と、二点鎖線で示す振動姿態を、前記駆動振動の周波数で繰り返している。検出振動は、ジャイロ振動片１０が図３に示した駆動振動を行っている状態で、ジャイロ振動片１０にＺ軸回りの回転角速度ωが加わったとき、第一の駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ及び第二の駆動アーム１２Ａ，１２Ｂに矢印Ｂで示す方向のコリオリ力が働くことによって発生する。

このことにより第一、及び第二の駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ、及び１２Ａ，１２Ｂが、矢印Ｂで示す振動を行う。矢印Ｂで示した振動は、重心位置Ｇに対して周方向の振動である。また、同時に、検出アーム１３Ａ，１３Ｂは、矢印Ｃに示すように、矢印Ｂの振動に呼応して矢印Ｂとは周方向反対向きの振動を行う。この検出アーム１３Ａ，１３Ｂによる検出振動により発生する電気信号を検出することにより前記コリオリ力の大きさを知得し、これによりジャイロ振動片１０を備えたジャイロセンサ１の搭載体に加えられた回転角速度ωの大きさを認識する。

ジャイロセンサ１の作動時には、ジャイロ振動片１０の駆動用端子である電極バンプ１６ｃ〜１６ｆに例えば数１０〜数１００ｋＨｚの範囲内で設定された所定周波数の駆動電圧が印加され、駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂは所定周波数で振動する。このとき、ジャイロ振動片１０が振動源となってジャイロセンサ１の他の構成要素が共振することがないように、ジャイロセンサ１からなる振動系の固有振動数を調整する必要がある。この固有振動数の調整方法としては、振動系のコンプライアンス（バネ定数の逆数）を決めている電極リード６ａ〜６ｆのバネ定数を操作する方法が比較的簡単で好ましい。

通常、ジャイロセンサ１は複数の振動モードを持ち、比較的高周波数帯域にあるどの振動モードにも共振しにくい固有振動数に調整するためには、ジャイロ振動片１０を支持している電極リード６ａ〜６ｆを柔らかくする必要がある。電極リード６ａ〜６ｆを柔らかくする方法には電極リードを細くしたり長くしたりすることが挙げられる。但し、電極リードを柔らかくした場合、ジャイロセンサ１の組付け時や、使用時などに比較的大きな衝撃が加わった際に、ジャイロ振動片１０が支持基材５に対して大きく変位するため、パッケージ２の内壁に当たって破損したり、電極リードが塑性変形してジャイロ振動片１０の姿勢や位置がずれたりすることが懸念される。

本実施形態のジャイロセンサ１は、太さの異なる電極リード６ａ〜６ｆを、対称性のある配列で混在させることで、柔らかい電極リード６ｃ〜６ｆによってジャイロセンサ１の振動系を共振しにくい固有振動数に調整しつつ、剛性の強い電極リード６ａ，６ｂによって耐衝撃性の向上を図っている。このため、ジャイロセンサ１の使用時に共振に起因する検出精度の低下が抑えられるうえ、ジャイロセンサ１に衝撃が加わった際のジャイロ振動片１０の過大な変位が抑制されて、電極リード６ａ〜６ｆの塑性変形に起因するジャイロ振動片１０の姿勢や位置のずれなどの不具合が発生しにくくなっている。

次に、前記の構成を有するジャイロセンサ１のＴＡＢ基板４によるジャイロ振動片１０の支持構造の作用を説明する。

ジャイロセンサ１を搭載した電子機器などの補正対象物に揺れや回転が加わると、ジャイロセンサ１に備わるジャイロ振動片１０が、その揺れや回転などの回転角速度の大きさとして認識する。このとき、ジャイロ振動片１０を両側から支持しているＴＡＢ基板４の三対の電極リード６ａ〜６ｆのうち、中心点Ｇに対して点対称に対をなして細めに、且つ屈曲させて長く形成された二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅによって、柔軟に且つバランスよく支持される。例えば振動や落下時の衝撃がジャイロセンサ１に加わったとき、パッケージ２内のジャイロ振動片１０にはパッケージ２が受けた振動や衝撃が電極リード６ａ〜６ｆを介して伝播してくる他、慣性によっても振動や衝撃が加わる。慣性によってジャイロ振動片１０が受ける振動や衝撃は電極リード６ａ〜６ｆのバネ性により緩和され、一方、パッケージ２が受けた振動や衝撃も電極リード６ａ〜６ｆのバネ性により緩和されてジャイロ振動片１０へ伝播しにくくなるので、ジャイロ振動片１０の振動特性が支持構造の影響を受け難くなる。
また、前記二対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅに挟まれた真中に配置され、太めに形成された一対の電極リード６ａ，６ｂは、剛性があり変形し難いうえ、電極バンプ１６ａ，１６ｂおよび支持基材５との接合面積を広く稼げてこれらとの接合強度が高くなっているので、電極リード６ａ〜６ｆの全体的な強度が増すことになる。例えば振動や落下時の衝撃がジャイロセンサ１に加わったとき、パッケージ２内でのジャイロ振動片１０の変位を小さく抑えることができるため、ジャイロ振動片１０がパッケージ２の内壁に当たって破損などすることが防止される。また、電極リード６ａ〜６ｆの全体的な強度が増していることから、ジャイロセンサ１に強い衝撃が加わったときにも電極リード６ａ〜６ｆが塑性変形しにくくなる。よって、電極リード６ａ〜６ｆが塑性変形したことに起因するジャイロ振動片１０の姿勢や位置のずれを防止することが可能になる。
さらに電極リード６ａ〜６ｆは、ジャイロセンサ１の固有振動数がジャイロ振動片１０を振動源とする共振が起きにくい値となるように、バネ定数の調整がなされている。このため、ジャイロセンサ１の使用時に共振が起きにくくなって共振に起因する検出精度の低下が抑制されるため、ジャイロセンサ１を用いて回転角速度を検出する際に高い検出精度が得られる。
さらに電極リード６ａ〜６ｆは、ジャイロセンサ１の固有振動数がジャイロ振動片１０を振動源とする共振が起きにくい値となるように、バネ定数の調整がなされている。このため、ジャイロセンサ１の使用時に共振が起きにくくなって共振に起因する検出精度の低下が抑制されるため、ジャイロセンサ１を用いて回転角速度を検出する際に高い検出精度が得られる。

次に、上記実施形態の効果を以下に記載する。

（１）実施形態では、支持基材５に対してジャイロ振動片１０を支持する三対の電極リード６ａ〜６ｆのうち、真中に位置する一対の電極リード６ａ，６ｂを太いリード幅に形成し、その両側に位置する２対の電極リード６ｃ，６ｆ及び６ｄ，６ｅを細いリード幅に形成した。つまり、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあるリード対が同じリード幅となり、さらに中心線Ｐ１（またはＰ２）に対して線対称の位置関係にあるリード対が同じリード幅となるように、太くする電極リード６ａ，６ｂと細くする電極リード６ｃ〜６ｆを決めている。また、電極リード６ａ〜６ｆの太さの配列関係だけでなく、電極リード６ａ〜６ｆのリード形状についても対称性を持たせている。

この結果、二対の細めに形成した電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆによってジャイロ振動片１０をバランスよく柔軟に支持できるとともに、真中に位置する一対の太めに形成した電極リード６ａ，６ｂの強い剛性と高い接合強度とにより電極リード６ａ〜６ｆの全体的な強度を高めることができる。振動や落下などの衝撃がジャイロセンサ１に加わったときに、ジャイロ振動片１０に慣性により加わる振動や衝撃、およびパッケージ２が受けた振動や衝撃のジャイロ振動片１０への伝播を電極リード６ｃ〜６ｆのバネ性により小さく抑えることが可能となる。また、落下などの衝撃がジャイロセンサ１に加わったときのパッケージ２内でのジャイロ振動片１０の変位を小さくしてパッケージ２の内壁に当たることに起因するジャイロ振動片１０の破損などを防止できる。さらに、落下などの衝撃がジャイロセンサ１に加わったとき、電極リード６ａ〜６ｆの塑性変形を防止して、ジャイロ振動片１０の姿勢や位置のずれを防止することができるうえ、電極リード６ａ〜６ｆの接合箇所からの剥がれを防止することもできる。従って、ジャイロ振動片１０の振動特性が支持構造の影響を受け難く、且つ、耐衝撃性に優れたジャイロセンサ１を提供することができる。

（２）本実施形態では、二対の細めの電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆは、支持基材５上から開口穴７の中心線Ｐ１に向かって形成され、第一折り曲げ部８で一旦隣接する電極リード６ａもしくは６ｂ側に略直角に屈曲してから、第２折り曲げ部９で再び開口穴７の中心線Ｐ１側に略直角に屈曲して、該中心線Ｐ１側に向かって延びていくように形成した。
この結果、二対の細めの電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆの２つの接合箇所間で空中配線された部分のリード長が、屈曲したリード経路をとるリード形状の採用により長くなり、これによりリード幅を細くし過ぎることなく電極リード６ｃ〜６ｆに必要なバネ性（小さなバネ定数）を付与することができ、ジャイロ振動片１０をより柔軟な支持に供することが可能となる。

（３）ジャイロ振動片１０の中心点Ｇを通り線対称の基準となる中心線Ｐ２に近い側の電極リード６ａ，６ｂを太くし、中心線Ｐ２から遠い側の電極リード６ｃ〜６ｆを細くした。よって、ジャイロ振動片１０の中心点（重心）Ｇに近い側の端子位置を剛性の強い電極リード６ａ，６ｂで支持できるうえ、中心点（重心）Ｇから遠い側の端子位置をバネ性（小さいバネ定数）のある柔軟な電極リード６ａ，６ｂで支持することができる。従って、ジャイロセンサ１の耐衝撃性を確保できるとともに、ジャイロ振動片１０を安定姿勢に柔軟に保持することができる。

（４）駆動用端子となる電極バンプ１６ｃ〜１６ｆと接合される電極リード６ｃ〜６ｆを、対を成すリード同士間で対称となるリード形状にしてリード幅及びリード長を揃え、検出用端子となる電極バンプ１６ａ，１６ｂと接合される電極リード６ａ，６ｂについても対を成すリード同士間で対称となるリード形状にしてリード幅及びリード長を揃えた。
これにより同じ機能の端子と接合される電極リード６ａ，６ｂ間及び電極リード６ｃ〜６ｆ間で例えばインピーダンス等の電気特性が揃うため、駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ間における駆動タイミングのずれや、検出用端子からの検出信号の入力タイミングのずれを極力小さく抑えることができる。従って、ジャイロセンサ１の検出精度を高く確保することができる。

（５）リード形状についても対をなすリード同士間で対称にすることにより、駆動用端子となる電極バンプ１６ｃ〜１６ｆと接合される電極リード６ｃ〜６ｆのリード幅およびリード長を揃え、検出用端子となる電極バンプ１６ａ，１６ｂと接合される電極リード６ａ，６ｂについてもリード幅およびリード長を揃えた。これにより同じ機能の端子と接合される電極リード６ａ，６ｂ間および電極リード６ｃ〜６ｆ間で例えばインピーダンス等の電気特性が揃うため、駆動アーム１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ間における駆動タイミングのずれや、検出用端子からの検出信号の入力タイミングのずれを極力小さく抑えることができる。従って、ジャイロセンサ１の検出精度を高く確保できる。

（６）ジャイロ振動片１０を、支持基材５において開口穴７を挟んで対面する二辺に沿う内周縁部分の裏面に一端部側（基端側）が保持され、他端部側（先端側）が開口穴７の中心線Ｐ１に向かって一旦斜め上方に折り曲げられてから、さらに先端側で再び水平に折り曲げられて形成された複数の電極リード６ａ〜６ｆの各先端部分の上面に接合した。これにより、ジャイロ振動片１０が、その下面がＴＡＢ基板４と接触しないように空隙Ｔを形成しながら、電極リード６ａ〜６ｆによって支持される構造をとった。
この結果、ジャイロ振動片１０は、複数（６本）の電極リード６ａ〜６ｆとの接合箇所のみで６点支持されるので、ジャイロ振動片１０を柔軟に支持することができる。従って、ジャイロ振動片１０への支持構造の影響を最小限に抑えられるので、ジャイロ振動片１０の振動特性を劣化させることなく、優れたジャイロセンサ１を提供することができる。

（７）本実施形態では、複数の電極リード６ａ〜６ｆの表層にはＡｕめっきを施し、ジャイロ振動片１０の接続部であるバンプ電極１６ａ〜１６ｆには金バンプを用いて、それらを接合する構成とした。
この結果、電極リード６ａ〜６ｆは腐蝕等の表面劣化を起こし難く、また、接続部でのマイグレーション等も起こり難くすることが可能であるため、高信頼性を有するジャイロセンサ１を提供することが可能である。

（８）本実施形態では、ジャイロ振動片１０を支持する支持基板としてＴＡＢ基板４を用いて、ジャイロ振動片１０の略中央の支持板部１５の下面に備えたバンプ電極１６ａ〜１６ｆと、ＴＡＢ基板４の各電極リード６ａ〜６ｆのそれぞれの開口穴７中心線Ｐ側の先端部分とを、ギャングボンディング（Gang Bonding）法により接合するＴＡＢ実装方式を用いた。
この結果、ジャイロ振動片１０用のＴＡＢ基板４が等間隔で形成されたフープ状のＴＡＢ基板リールにより、リールトゥリール（Reel to reel）で連続してＴＡＢ基板へのジャイロ振動片１０の接合ができるため、生産性に優れた効率的なジャイロセンサ１の生産が可能となる。しかも、ギャングボンディングするときのジャイロ振動片１０とＴＡＢ基板４の高さとを調整することによって、電極リード６ａ〜６ｆをジャイロ振動片１０側に曲げた形状を制御して形成することが可能となる。従って、ジャイロセンサ１に振動や落下などの衝撃が加わったときに、ジャイロ振動片１０の下面がＴＡＢ基板４と接触しないで、且つ、ジャイロ振動片１０がパッケージ蓋体２ｂに接触しない、最適なＴＡＢ基板４とジャイロ振動片１０とのクリアランスを確保することが可能となり、耐衝撃性の優れたジャイロセンサ１を提供することができる。

（第二の実施形態）
上記第一の実施形態では、ＴＡＢ基板４の複数の電極リード６ａ〜６ｆのリード幅を、ジャイロ振動片１０の中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあるリード対と、ジャイロ振動片１０を二分する中心線Ｐ１（またはＰ２）に対して線対称の位置関係にあるリード対を同じ太さにして太い電極リード６ａ，６ｂと細い電極リード６ｃ〜６ｆを混在させる方法を示した。これに対して、この第二の実施形態では、各電極リード６ａ〜６ｆの太さを異ならせる方法として、リード幅を異ならせるのではなく、電極リードの厚みを異ならせる方法を採用している。特に細い（リード断面積の小さい）電極リードについて厚みを一部分薄くしている。

図５（ａ）は、第二の実施形態のＴＡＢ基板を示す平面図であり、同図（ｂ）〜（ｄ）は、そのＴＡＢ基板の電極リードの断面形状を説明するための図５（ａ）中のＢ−Ｂ断面図である。なお、第二の実施形態におけるジャイロセンサ１の構成、ＴＡＢ基板４の基本的な構成、及びジャイロ振動片１０についての説明は、第一の実施形態と同様であるため省略し、第二の実施形態の特徴点である複数の電極リードの形状について説明する。

図５（ａ）に図示するように、ＴＡＢ基板２４の図示する開口穴７を長辺方向に二分する中心線Ｐ１（ジャイロ振動片１０の中心点（重心）Ｇを通り駆動アームの延在方向に平行な直線に一致する中心線）に対して線対称に対をなして、支持基材５上から開口穴７の中心線Ｐに向かって形成されている複数の電極リード２６ａ〜２６ｆは、例えば４４μｍ〜５４μｍの同じ幅で三対形成されている。三対の電極リード２６ａ〜２６ｆのうち、中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあって中心線Ｐ２から離れたその両側に位置する２対の電極リード２６ｃ，２６ｆ及び２６ｄ，２６ｅは、代表例として図５（ｂ）または図５（ｃ）に図示する電極リード２６ｅように、支持基材５の開口穴７から中心線Ｐ１に向かって延出する途中で、電極リード２６ｅの上面または下面から数μｍリード厚みが薄くなり、そのまま中心点Ｐ１に向かって形成されている。この形状は、電極リード２６ａ〜２６ｆをフォトリソグラフィーによってパターニングする際に選択的ハーフエッチングすることにより形成される。

また、３対の電極リードのうち、真中に位置する一対の電極リード２６ａ，２６ｂは、支持基材５の上面から開口穴７の中心線Ｐ１に向かって、同じ厚みを有して形成されている。

この構成によれば、電極リードの厚みを薄くした部分は柔軟性が増すため、電極リード２６ａ〜２６ｆのリード幅を細くすることなく、前記第一の実施形態と同様にジャイロ振動片１０の柔軟な支持構造を得ることができる。この結果、支持基材５上に支持される電極リード２６ａ〜２６ｆの支持基材５との接着面積を、リード厚の薄い細い電極リード２６ｃ〜２６ｆについても広く確保できるので、リード幅を異ならせた第一の実施形態の構造に比べ電極リード２６ａ〜２６ｆの一層高い接合力を確保できる。このため、電極リード２６ａ〜２６ｆの接合強度を相対的に高めることができ、ジャイロセンサ１の信頼性や耐衝撃性を高めることができる。

なお、上記第二の実施形態では、電極リードが支持基材５の開口穴７から中心線Ｐ１に向かって延出する途中で、電極リード２６ｅの上面または下面から数μｍリード厚みが薄くなり、そのまま中心点Ｐに向かって形成される構成としたが、これに限定されない。図５（ｄ）に図示するように、電極リード２６ｅの中心点Ｐ側の先端部の所定面積をハーフエッチングせずに残して突起部２７が形成される構成としてもよい。
この構成によれば、例えば突起部２７に金などの接合金属を必要量積層させて形成することにより、ジャイロ振動片１０の各バンプ電極１６ａ〜１６ｆにバンプ突起部を設けずに、双方を接合することが可能となる。

本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、以下の変形例を実施することもできる。

（変形例１）前記第一の実施形態のようにリード幅を異ならせる場合、電極リードの長手方向全域に渡って同じリード幅にする構成に限定されない。電極リードの幅を、支持基材５上から開口穴７の中心線Ｐ１に向かって徐々に細くしていくテーパー形状にて形成してもよい。

図６に図示するように、ＴＡＢ基板３４の図示する開口穴７の長辺方向を二分する中心線Ｐ１に対して線対称に対をなして、基材５上から開口穴７の中心線Ｐ１に向かって３対の電極リード３６ａ〜３６ｆが、支持基材５上に支持されている部分のリード幅を同じくして形成されている。三対の電極リード３６ａ〜３６ｆのうち、中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあって中心線Ｐ２から離れたその両側で対をなす二対の電極リード３６ｃ，３６ｆ及び３６ｄ，３６ｅは、支持基材５の開口穴７から中心線Ｐ１に向かって延出する途中から先端方向に向かって、リード幅が徐々に細くなっていくテーパー形状にて形成されている。

また、３対の電極リードのうち、真中に位置する一対の電極リード３６ａ，３６ｂは、支持基材５の上面から開口穴７の中心線Ｐ１に向かって、同じ幅を有して広いリード幅で形成されている。すなわち、三対の電極リード３６ａ〜３６ｆは、平均断面積が小さめ（細め）の二対の電極リード３６ｃ，３６ｆ及び３６ｄ，３６ｅと、平均断面積が大きめ（太め）の一対の電極リード３６ａ，３６ｂで構成されている。

この構成によれば、テーパー形状にて形成される電極リード３６ｃ，３６ｆ及び３６ｄ，３６ｅは、支持基板５に接着されている基端部と長手方向全域に渡り同じ幅にて形成されている電極リード３６ａ，３６ｂよりも柔軟性を持たせることができるため、前記各実施形態と同様にジャイロ振動片１０の柔軟な支持構造を得ることができる。また、ジャイロ振動片１０の柔軟な支持に供する二対の電極リード３６ｃ，３６ｆ及び３６ｄ，３６ｅの支持基板５上に支持される部位におけるリード幅を広く確保できるため、各電極リード３６ｃ，３６ｄ及び３６ｅ，３６ｆと支持基材５との接合力を高く確保できるので、ジャイロセンサ１の信頼性や耐衝撃性を高めることができる。

（変形例２）前記第一の実施形態では、三対の電極リード６ａ〜６ｆのリード幅を、開口穴７の中心線Ｐ１に対して点対称に、真中に位置する一対の電極リード６ａ，６ｂのリード幅を太めに形成し、両端に位置する二対の電極リード６ｃ，６ｄ及び６ｅ，６ｆを細く形成する構成としたが、これに限定されない。
図７に示すＴＡＢ基板４４のように、真中に位置する一対の電極リード４６ａ，４６ｂのリード幅を細めに形成し、両端に位置する二対の電極リード４６ｃ，４６ｄ及び４６ｅ，４６ｆを太めに形成する構成としてもよい。
この構成によれば、ジャイロ振動片１０の大きさや重さに応じて、適切な柔軟性と耐衝撃性を有する支持構造を構成することが可能となる。

（変形例３）上記第一の実施形態では、三対の電極リード６ａ〜６ｆを、太めまたは細めにそれぞれ同じ太さで形成する構成としたが、これに限定されない。
図８に示すＴＡＢ基板５４のように、開口穴７上に突出する電極リード５６ａ〜５６ｆの形状は上記第一の実施形態に示すように形成し、電極リード５６ａ〜５６ｆの支持基材５上に支持される側は太めに形勢してもよい。
この構成によれば、上記第一の実施形態と同じ作用効果が得られるうえに、支持基板５と各電極リード５６ａ〜５６ｆとの支持基材５との接着面積が大きくとれるために密着力が上がるので、ジャイロセンサ１の信頼性や耐衝撃性を確保することが可能となる。

（変形例４）前記各実施形態及び各変形例１〜３では、３対の電極リードを中心点Ｇに対して点対称かつ中心線Ｐ１，Ｐ２に対して線対称の位置関係にあるリード対について太さを揃えたが、太さを揃えるリード対の決め方は上記の対称性の条件に限定されるものではない。例えば、上記２条件のうち線対称の条件を外し、中心点Ｇに対して点対称の位置関係にあるリード対については太さを揃える構成でもよい。例えば図１（ａ）において、電極リード６ｃ，６ｆの対は太さを揃え、電極リード６ｄ，６ｅの対は電極リード６ｃ，６ｆとは異なる太さで太さを揃える構成でもよい。点対称の位置関係にあるリード同士が同じ太さであれば、１本の線に対する線対称のみを条件とする構成の場合に比べ、ジャイロ振動片をバランスよく支持できる。この場合、電極リード６ｄ，６ｅの対と、電極リード６ｃ，６ｆの対とで太さが例えば５割以内の違いで近似していれば特に問題はない。なお、電極リードを二対のみ有するジャイロ振動片１０の支持構造に採用する場合は、点対称と線対称の２条件を満たす構成が幾何学上成り立たないので、点対称のみが条件となる。

（変形例５）前記各実施形態及び各変形例１〜４では、３対の電極リードについて異なる太さを混在させる場合に同じ太さとするリードの組合せ（リード配列）だけではなく、リード形状についても対称性を持たせたが、リード形状については対称性を持たない構成を採用することもできる。対を成す電極リードが対称な形状になっていなくても、ジャイロ振動片１０をバランスよく支持できるのであれば特に問題はない。例えば電極リードの形状の微差な違いや、リード形状が明らかに異なるものの対を成す電極リードの剛性やバネ定数を略一致させられる形状の組合せであれば、衝撃や振動の伝達によっても必要な振動特性が得られる他、共振も発生しにくく耐衝撃性も確保できる。例えば屈曲させた形状の電極リードと、これとリード長が略等しく真っ直ぐ延びた形状の電極リードとが対を成す構成が挙げられる。もちろん共に屈曲形状であるものの屈曲の仕方が互いに異なるリード対であってリード長の略等しい組合せも可能である。

（変形例６）３対あるいは二対の電極リードを有するジャイロ振動片について異なる太さの電極リードが混在する場合のリード配列（さらにはリード形状）の決め方について触れたが、４対以上の電極リードを有するジャイロ振動片の支持構造に対しても本発明を適用することができる。

（変形例７）前記各実施形態及び各変形例では、複数の電極リードが中心線Ｐ２方向に延在している構成を示したが、これに限定されない。複数の電極リードが中心線Ｐ１方向及び中心線Ｐ２方向に延在している構成でもよい。

（ａ）は、本発明の圧電デバイスの一例としての、ジャイロセンサを説明する正面図。（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図。 本発明の一実施形態に係る支持基板としてのＴＡＢ基板の電極リード形状を説明する平面図。 ジャイロ振動片の駆動振動を模式的に示した説明図。 ジャイロ振動片の検出振動を模式的に示した説明図。 （ａ）は、ＴＡＢ基板の変形例を示す平面図。（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線断面図。（ｃ）は、図１（ｂ）の応用例を示す図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図。（ｄ）は、ＴＡＢ基板の変形例を示す図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図。 ＴＡＢ基板の変形例を示す平面図。 ＴＡＢ基板の変形例を示す平面図。 ＴＡＢ基板の変形例を示す平面図。

符号の説明

１…圧電デバイスとしてのジャイロセンサ、４…支持基板としてのＴＡＢ基板、５…支持基材、６ａ〜６ｆ…電極リード、１０…圧電振動片としてのジャイロ振動片、１１…第一の駆動アーム、１２…第二の駆動アーム、１３…検出アーム、１５…支持板部、１６ａ〜１６ｆ…端子部としてのバンプ電極、２４…支持基板としてのＴＡＢ基板、２６ａ〜２６ｆ…電極リード、２７…突起部、３４…支持基板としてのＴＡＢ基板、３６ａ〜３６ｆ…電極リード、４４…支持基板としてのＴＡＢ基板、４６ａ〜４６ｆ…電極リード、５４…支持基板としてのＴＡＢ基板、５６ａ〜５６ｆ…電極リード。

Claims (11)

1. 複数対の端子部を備える圧電振動片と、
   前記端子部の各々に一端部が一つずつ接合された複数の電極リードであって、前記複数の電極リードのうち同数ずつが平面視で互いに離反する方向へ延在している複数の電極リードと、
   前記複数の電極リードの他端部を支持する支持基材と、を備え、
   前記複数の電極リードの対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さが、前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある他の少なくとも一対の電極リードの太さと異なり、
   前記電極リードの太さの違いは、前記電極リードのリード厚が異なることにより、
   前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに群分けされた複数の電極リード群のうち、一番太い電極リード群を除く、少なくとも一つの電極リード群に属する電極リードの前記一端部のリード厚は、前記電極リードの前記一端部と前記他端部との間のリード厚よりも厚く形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
2. 複数対の端子部を備える圧電振動片と、
   前記圧電振動片の端子部の各々に一端部が一つずつ接合された複数の電極リードであって、前記複数の電極リードのうち同数ずつが平面視で互いに離反する方向へ延在している複数の電極リードと、
   前記複数の電極リードの他端部を支持する支持基材と、を備え、
   前記複数の電極リードの対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さが、前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある他の少なくとも一対の電極リードの太さと異なり、
   前記電極リードの太さの違いは、前記電極リードのリード幅が異なることにより、
   前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードをそれぞれ含むように異なる太さごとに群分けされた複数の電極リード群のうち、一番太い電極リード群を除く、少なくとも一つの電極リード群に属する電極リードは、前記他端部側から前記一端部側へ近づくに従って徐々にリード幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
3. 請求項１又は２に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記対称中心となる点を通り、前記複数の電極リードの対称中心となる線を前記圧電振動片上に設定した場合、前記複数の電極リード群のうち、同じ電極リード群に属する前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードを構成するそれぞれの電極リードと、前記それぞれの電極リードの少なくとも一方と前記対称中心となる線に対して線対称の位置関係にある電極リードとは、前記同じ電極リード群に属することを特徴とする圧電デバイス。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記対称中心となる点に近い側に位置する端子部に接合され、前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードの太さが、前記対称中心となる点から遠い側に位置する端子部に接合され、前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係にある少なくとも一対の電極リードより太いことを特徴とする圧電デバイス。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記電極リードの前記一端部と前記他端部のうち少なくとも一方の幅が、前記電極リードの前記一端部と前記他端部との間の部位の最小幅より広く形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
6. 請求項４又は５に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記複数の電極リードのうち、一番太い電極リード群を除く少なくとも二対の電極リードは、前記一端部と前記他端部との間の部位においてリード経路を屈曲させた形状に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記圧電振動片の同種の電気信号のやりとりに供する前記端子部と接合される少なくとも一対の電極リードは、同じ太さの前記電極リード群に属することを特徴とする圧電デバイス。
8. 請求項７に記載の圧電デバイスにおいて、
   前記圧電振動片の検出信号のやりとりに供する前記端子部と接合される少なくとも一対の電極リードの太さが、前記圧電振動片の駆動信号のやりとりに供する前記端子部と接合される少なくとも一対の電極リードより太いことを特徴とする圧電デバイス。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
   同じ電極リード群に属する電極リードはすべて同じ太さであることを特徴とする圧電デバイス。
10. 請求項９に記載の圧電デバイスにおいて、
    前記同じ電極リード群に属し、前記対称中心となる点に対して点対称の位置関係で対をなす電極リードは、前記対称中心となる点に対して点対称となるリード形状をそれぞれ有することを特徴とする圧電デバイス。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
    前記電極リードの前記一端部と前記他端部との間の部位の長さは、前記点対称の位置関係にある電極リード間で略等しいことを特徴とする圧電デバイス。

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