JP2000283765A - 三脚音叉振動子および角速度センサ - Google Patents
三脚音叉振動子および角速度センサInfo
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- JP2000283765A JP2000283765A JP11088491A JP8849199A JP2000283765A JP 2000283765 A JP2000283765 A JP 2000283765A JP 11088491 A JP11088491 A JP 11088491A JP 8849199 A JP8849199 A JP 8849199A JP 2000283765 A JP2000283765 A JP 2000283765A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動子センサの角速度検出精度を高める。
【解決手段】 １枚のバイモルフ板状圧電素子材１から
切り出して、三角形断面の各頂点部分を面取りした２本
の三角柱Ａ、Ｂと、その中間に四角形断面を有する四角
柱Ｃを配置して三脚基台Ｄと共に三脚音叉を構成し、三
角柱Ａ、Ｂの各面に２つの励振電極４ａ、５ａ、４ｂ、
５ｂとモニタ電極６ａ、６ｂを配置し、四角柱Ｃの配列
方向に直交する側の２つの面の一方に３つの励振電極４
ｃ1 ，４ｃ2 ，４ｃ3 を配置し、もう一方に３つのコリ
オリ検出電極６ｃ1 ，６ｃ2 ，６ｃ3 を配置し、かつそ
れぞれのバイモルフ接合面にサンドイッチ電極７ａ、７
ｂ、７ｃを配置することで、コリオリ発生時の固定部Ｊ
にかかる回転モーメントをキャンセルでき、接着部がな
いのでセンサの検出感度が向上する。
切り出して、三角形断面の各頂点部分を面取りした２本
の三角柱Ａ、Ｂと、その中間に四角形断面を有する四角
柱Ｃを配置して三脚基台Ｄと共に三脚音叉を構成し、三
角柱Ａ、Ｂの各面に２つの励振電極４ａ、５ａ、４ｂ、
５ｂとモニタ電極６ａ、６ｂを配置し、四角柱Ｃの配列
方向に直交する側の２つの面の一方に３つの励振電極４
ｃ1 ，４ｃ2 ，４ｃ3 を配置し、もう一方に３つのコリ
オリ検出電極６ｃ1 ，６ｃ2 ，６ｃ3 を配置し、かつそ
れぞれのバイモルフ接合面にサンドイッチ電極７ａ、７
ｂ、７ｃを配置することで、コリオリ発生時の固定部Ｊ
にかかる回転モーメントをキャンセルでき、接着部がな
いのでセンサの検出感度が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、角速度を検出する振動
子およびこの振動子を用いた車輛のナビゲーションシス
テム、車体制御システム等に好適な角速度センサに関す
る。
子およびこの振動子を用いた車輛のナビゲーションシス
テム、車体制御システム等に好適な角速度センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図９は従来の角速度センサの構造を示し
ている。図９（ａ）において、Ｕ字型の金属振動板１０
１の上部のそれぞれに、これと直角に配置された２枚の
金属板１０２、１０２’を有し、Ｕ字型金属板１０１の
片面に励振用圧電素子１０６を、もう一方の面にモニタ
用圧電素子１０７を、さらに金属板１０２と１０２’の
それぞれは、コリオリ検出用圧電素子１０８、１０８’
を圧電素子１０６、１０７と直角方向に貼り付けて成る
音叉振動子１０３が、固定軸１０４を介して基台１０５
に固定されている。圧電素子１０６、１０７、１０８、
１０８’は、それぞれリード線１０９、１１０、１１
２、１１３を介してリードピン１１４、１１５、１１
６、１１７に接続されている。リードピン１１４、１１
５、１１６、１１７は、いずれもガラスなどの絶縁体１
１８を介して基台１０５と電気的に絶縁されている。
ている。図９（ａ）において、Ｕ字型の金属振動板１０
１の上部のそれぞれに、これと直角に配置された２枚の
金属板１０２、１０２’を有し、Ｕ字型金属板１０１の
片面に励振用圧電素子１０６を、もう一方の面にモニタ
用圧電素子１０７を、さらに金属板１０２と１０２’の
それぞれは、コリオリ検出用圧電素子１０８、１０８’
を圧電素子１０６、１０７と直角方向に貼り付けて成る
音叉振動子１０３が、固定軸１０４を介して基台１０５
に固定されている。圧電素子１０６、１０７、１０８、
１０８’は、それぞれリード線１０９、１１０、１１
２、１１３を介してリードピン１１４、１１５、１１
６、１１７に接続されている。リードピン１１４、１１
５、１１６、１１７は、いずれもガラスなどの絶縁体１
１８を介して基台１０５と電気的に絶縁されている。
【０００３】次に、上記角速度センサの動作について説
明する。図９（ａ）はセンサの励振状態を示し、図９
（ｂ）はセンサのコリオリ力を検出する状態を示してい
る。即ち、図９（ａ）において、音叉振動子１０３は、
励振用圧電素子１０６への電圧印加によって、常時１１
９方向に音叉励振されている。この励振周波数と振幅と
は、モニタ圧電素子１０７によってモニタリングされ、
常に一定の周波数と振幅で励振されるように、励振用圧
電素子１０６の印加電圧をコントロールしている。この
センサの検出軸１２０に、図９（ｂ）のように１２１方
向に回転角速度ωが加わると、励振方向１１９と直角方
向に発生するコリオリ力によって、金属板１０２、１０
２’は互いに逆方向１２２、１２３方向に撓むことにな
る。この時発生するコリオリ力ＦＣは、ＦＣ＝２ｍＶω
となる。 ｍ ：音叉振動子１０３の質量 Ｖ ：励振速度 ω ：印加された回転角速度 このコリオリ力ＦＣは、検出用圧電素子１０８、１０
８’に伸びと縮みという互いに逆方向の歪みを発生させ
るため、差動出力として検出電圧をリードピン１１５、
１１７から取り出すことができる。
明する。図９（ａ）はセンサの励振状態を示し、図９
（ｂ）はセンサのコリオリ力を検出する状態を示してい
る。即ち、図９（ａ）において、音叉振動子１０３は、
励振用圧電素子１０６への電圧印加によって、常時１１
９方向に音叉励振されている。この励振周波数と振幅と
は、モニタ圧電素子１０７によってモニタリングされ、
常に一定の周波数と振幅で励振されるように、励振用圧
電素子１０６の印加電圧をコントロールしている。この
センサの検出軸１２０に、図９（ｂ）のように１２１方
向に回転角速度ωが加わると、励振方向１１９と直角方
向に発生するコリオリ力によって、金属板１０２、１０
２’は互いに逆方向１２２、１２３方向に撓むことにな
る。この時発生するコリオリ力ＦＣは、ＦＣ＝２ｍＶω
となる。 ｍ ：音叉振動子１０３の質量 Ｖ ：励振速度 ω ：印加された回転角速度 このコリオリ力ＦＣは、検出用圧電素子１０８、１０
８’に伸びと縮みという互いに逆方向の歪みを発生させ
るため、差動出力として検出電圧をリードピン１１５、
１１７から取り出すことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の角速度センサには次のような問題がある。 １）角速度ωが発生すると、振動子１０３にコリオリ力
が加わって振動子１０３が図９（ｂ）の方向１２２、１
２３に撓んだことによって発生する回転モーメント１２
４が、回転軸１０４に加わるため、回転軸１０４と基台
１０５および音叉振動子１０３との固定度合いがセンサ
の角速度検出精度のバラツキ要因となること。 ２）励振用圧電素子１０６、モニタ用圧電素子１０７お
よび検出用圧電素子１０８、１０８’は、音叉振動子１
０３を構成する各金属板１０１、１０２、１０２’に接
着剤を用いて貼り付けられているため、接着のバラツキ
および接着剤の温度特性が、センサ角速度検出精度のバ
ラツキの要因となること。 ３）励振方向とコリオリ検出方向とでは、音叉振動子１
０３を構成する金属板１０１、１０２、１０２’の形状
が一致してないため、励振時の共振周波数とコリオリ検
出時の共振周波数とを一致させにくく、従って検出感度
を高めるのが困難なこと。即ち、図１０（ｂ）のような
共振型角速度センサにすることが難しく、図１０（ａ）
のような非共振型角速度センサになってしまうため、共
振型に比して感度が落ちる。 ４）音叉型振動子１０３の曲げ加工精度、固定軸１０４
と音叉型振動子１０３および基台１０５との固定精度、
および圧電素子１０６、１０７、１０８、１０８’の接
着精度など、組立加工精度のバラツキがセンサの角速度
検出精度のバラツキ要因となること。 ５）振動体にリード線１０９、１１０、１１２、１１３
が接続されるため、リード線１０９、１１０、１１２、
１１３の振れがセンサの角速度検出精度のバラツキ要因
となること。 本発明は、以上の角速度センサに関する課題を解決する
ことを目的とする。
来の角速度センサには次のような問題がある。 １）角速度ωが発生すると、振動子１０３にコリオリ力
が加わって振動子１０３が図９（ｂ）の方向１２２、１
２３に撓んだことによって発生する回転モーメント１２
４が、回転軸１０４に加わるため、回転軸１０４と基台
１０５および音叉振動子１０３との固定度合いがセンサ
の角速度検出精度のバラツキ要因となること。 ２）励振用圧電素子１０６、モニタ用圧電素子１０７お
よび検出用圧電素子１０８、１０８’は、音叉振動子１
０３を構成する各金属板１０１、１０２、１０２’に接
着剤を用いて貼り付けられているため、接着のバラツキ
および接着剤の温度特性が、センサ角速度検出精度のバ
ラツキの要因となること。 ３）励振方向とコリオリ検出方向とでは、音叉振動子１
０３を構成する金属板１０１、１０２、１０２’の形状
が一致してないため、励振時の共振周波数とコリオリ検
出時の共振周波数とを一致させにくく、従って検出感度
を高めるのが困難なこと。即ち、図１０（ｂ）のような
共振型角速度センサにすることが難しく、図１０（ａ）
のような非共振型角速度センサになってしまうため、共
振型に比して感度が落ちる。 ４）音叉型振動子１０３の曲げ加工精度、固定軸１０４
と音叉型振動子１０３および基台１０５との固定精度、
および圧電素子１０６、１０７、１０８、１０８’の接
着精度など、組立加工精度のバラツキがセンサの角速度
検出精度のバラツキ要因となること。 ５）振動体にリード線１０９、１１０、１１２、１１３
が接続されるため、リード線１０９、１１０、１１２、
１１３の振れがセンサの角速度検出精度のバラツキ要因
となること。 本発明は、以上の角速度センサに関する課題を解決する
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために以下の手段を講じたものである。 １）コリオリ発生時の固定部にかかる回転モーメントを
キャンセルするために三脚音叉構造を採用し、固定部の
固定度合いのバラツキが角速度検出精度に影響を及ぼさ
ないように構成した。 ２）振動子を圧電切り出し構造で形成することで、圧電
素子そのものを振動子にでき、接着部をなくしてセンサ
の検出感度を向上した。 ３）両側の三角柱と真中の四角柱を列状に配置した三脚
音叉構造を採用することにより、電極形成および配線処
理を容易にした。 本発明は、上記手段を効果的に実施することにより、高
感度で小型な角速度センサを実現できる。
決するために以下の手段を講じたものである。 １）コリオリ発生時の固定部にかかる回転モーメントを
キャンセルするために三脚音叉構造を採用し、固定部の
固定度合いのバラツキが角速度検出精度に影響を及ぼさ
ないように構成した。 ２）振動子を圧電切り出し構造で形成することで、圧電
素子そのものを振動子にでき、接着部をなくしてセンサ
の検出感度を向上した。 ３）両側の三角柱と真中の四角柱を列状に配置した三脚
音叉構造を採用することにより、電極形成および配線処
理を容易にした。 本発明は、上記手段を効果的に実施することにより、高
感度で小型な角速度センサを実現できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、三角形断面の各頂点部分を面取りしたバイモルフ圧
電素子からなる２本の三角柱と、矩形断面を有するバイ
モルフ圧電素子からなる１本の四角柱と、列状に配置さ
れた前記２本の三角柱およびその中間にある前記四角柱
および基台部で構成された三脚音叉と、前記三角柱の各
面に配置された２つの励振電極およびモニタ電極と、前
記四角柱の配列方向に直交する側の２つの面の一方に配
置された３つの励振電極と、前記四角柱の配列方向に直
交する側の２つの面のもう一方に面に配置された３つの
コリオリ検出電極と、前記三角柱および前記四角柱の各
バイモルフ接合面に配置したサンドイッチ電極とを備え
たことを特徴とする角速度検出用の三脚音叉振動子であ
り、三脚音叉構造としているため、コリオリ力発生時の
回転モーメントがキャンセルでき、振動ロスを最小限に
できると共に、固定部の検出精度に対する影響をなくす
ことができるため、角速度検出が高精度で実現できる。
は、三角形断面の各頂点部分を面取りしたバイモルフ圧
電素子からなる２本の三角柱と、矩形断面を有するバイ
モルフ圧電素子からなる１本の四角柱と、列状に配置さ
れた前記２本の三角柱およびその中間にある前記四角柱
および基台部で構成された三脚音叉と、前記三角柱の各
面に配置された２つの励振電極およびモニタ電極と、前
記四角柱の配列方向に直交する側の２つの面の一方に配
置された３つの励振電極と、前記四角柱の配列方向に直
交する側の２つの面のもう一方に面に配置された３つの
コリオリ検出電極と、前記三角柱および前記四角柱の各
バイモルフ接合面に配置したサンドイッチ電極とを備え
たことを特徴とする角速度検出用の三脚音叉振動子であ
り、三脚音叉構造としているため、コリオリ力発生時の
回転モーメントがキャンセルでき、振動ロスを最小限に
できると共に、固定部の検出精度に対する影響をなくす
ことができるため、角速度検出が高精度で実現できる。
【０００７】本発明の請求項２に記載の発明は、各三角
柱および四角柱の各面に配置された各電極が基台の片面
に導出されていることを特徴とする請求項１記載の三脚
音叉振動子であり、信号線の接続を振動子ではなく、固
定部で実施しているため、検出精度に影響を及ぼさず、
検出精度を安定化できる。
柱および四角柱の各面に配置された各電極が基台の片面
に導出されていることを特徴とする請求項１記載の三脚
音叉振動子であり、信号線の接続を振動子ではなく、固
定部で実施しているため、検出精度に影響を及ぼさず、
検出精度を安定化できる。
【０００８】本発明の請求項３に記載の発明は、各三角
柱および四角柱がバイモルフ構造の板状圧電素子材から
一体に切り出されていることを特徴とする請求項１また
は２記載の三脚音叉振動子であり、振動子を圧電切り出
し構造で形成することで、圧電素子そのものを振動子に
でき、接着部をなくしてセンサの検出感度を向上でき
る。
柱および四角柱がバイモルフ構造の板状圧電素子材から
一体に切り出されていることを特徴とする請求項１また
は２記載の三脚音叉振動子であり、振動子を圧電切り出
し構造で形成することで、圧電素子そのものを振動子に
でき、接着部をなくしてセンサの検出感度を向上でき
る。
【０００９】本発明の請求項４に記載の発明は、各三角
柱の各励振電極とモニタ電極および四角柱の一方の側の
両端２つの励振電極および四角柱の他方の側の真中の１
つのコリオリ検出電極をドライブ電源の一方の極側に接
続し、ドライブ電源の他方の極側を各三角柱のサンドイ
ッチ電極および四角柱の一方の側の真中の励振電極に接
続し、各三角柱のモニタ電極とサンドイイチ電極をモニ
タ端子に接続し、四角柱の他方の側の両端２つのコリオ
リ検出電極をコリオリ検出端子に接続したことを特徴と
する請求項１から３のいずれかに記載の三脚音叉振動子
であり、コリオリ検出軸を両側から励振できるため、振
幅を増幅でき、高感度の角速度センサを実現することが
できる。
柱の各励振電極とモニタ電極および四角柱の一方の側の
両端２つの励振電極および四角柱の他方の側の真中の１
つのコリオリ検出電極をドライブ電源の一方の極側に接
続し、ドライブ電源の他方の極側を各三角柱のサンドイ
ッチ電極および四角柱の一方の側の真中の励振電極に接
続し、各三角柱のモニタ電極とサンドイイチ電極をモニ
タ端子に接続し、四角柱の他方の側の両端２つのコリオ
リ検出電極をコリオリ検出端子に接続したことを特徴と
する請求項１から３のいずれかに記載の三脚音叉振動子
であり、コリオリ検出軸を両側から励振できるため、振
幅を増幅でき、高感度の角速度センサを実現することが
できる。
【００１０】本発明の請求項５に記載の発明は、各三角
柱が断面正三角形であり、四角柱が断面正四角形である
請求項１から４のいずれかに記載の三脚音叉振動子であ
り、成形が容易であり、かつ性能を安定化することがで
きる。
柱が断面正三角形であり、四角柱が断面正四角形である
請求項１から４のいずれかに記載の三脚音叉振動子であ
り、成形が容易であり、かつ性能を安定化することがで
きる。
【００１１】本発明の請求項６に記載の発明は、請求項
１から５のいずれかに記載の三脚音叉振動子の固定部を
板バネで基台に固定すると共に、基台に絶縁配置された
リードピンと三脚音叉振動子の各電極とをワイヤボンデ
ィング工法によって接続し、検出および励振回路を含む
プリント基板と共に気密封止したことを特徴とする角速
度センサであり、信号線の取り出しをハンダ付けではな
く、ワイヤボンディングで実施しているため、超小型化
に対応できると共に、検出精度への影響もなくすことが
できる。
１から５のいずれかに記載の三脚音叉振動子の固定部を
板バネで基台に固定すると共に、基台に絶縁配置された
リードピンと三脚音叉振動子の各電極とをワイヤボンデ
ィング工法によって接続し、検出および励振回路を含む
プリント基板と共に気密封止したことを特徴とする角速
度センサであり、信号線の取り出しをハンダ付けではな
く、ワイヤボンディングで実施しているため、超小型化
に対応できると共に、検出精度への影響もなくすことが
できる。
【００１２】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。 （実施の形態）図１および図２は本発明の実施の形態に
おける角速度センサ振動子の構成を示し、図１（ａ）は
三脚音叉振動子Ｚの表面側の斜視図、図１（ｂ）は同振
動子の裏面側の斜視図、図２（ａ）は同振動子の平面図
である。一列に等間隔に並んだ三本の角柱は、両側２本
が正三角柱Ａ、Ｂであり、真中の１本が正四角柱Ｃであ
る。これらの角柱Ａ、Ｂ、Ｃは、同様な構造の圧電シー
ト２、３を２枚貼り合わせてバイモルフ構造とした板状
圧電素子材１から切り出されており、各三角柱の各頂点
部分が８ａ、８ａ’、８ａ’’、８ｂ、８ｂ’、８
ｂ’’の如く面取りされている。また、各三角柱Ａ、Ｂ
の各面には、図２に示すように、それぞれ電極４ａ、５
ａ、６ａと４ｂ、５ｂ、６ｂが形成され、四角柱Ｃの配
列方向に直交する側の２つの面の一方には３つの励振電
極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 が形成され、もう一方には３
つのコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 が形成さ
れている。さらに、各角柱のバイモルフ接合面にサンド
イッチ電極７ａ、７ｂ、７ｃが形成されている。
て説明する。 （実施の形態）図１および図２は本発明の実施の形態に
おける角速度センサ振動子の構成を示し、図１（ａ）は
三脚音叉振動子Ｚの表面側の斜視図、図１（ｂ）は同振
動子の裏面側の斜視図、図２（ａ）は同振動子の平面図
である。一列に等間隔に並んだ三本の角柱は、両側２本
が正三角柱Ａ、Ｂであり、真中の１本が正四角柱Ｃであ
る。これらの角柱Ａ、Ｂ、Ｃは、同様な構造の圧電シー
ト２、３を２枚貼り合わせてバイモルフ構造とした板状
圧電素子材１から切り出されており、各三角柱の各頂点
部分が８ａ、８ａ’、８ａ’’、８ｂ、８ｂ’、８
ｂ’’の如く面取りされている。また、各三角柱Ａ、Ｂ
の各面には、図２に示すように、それぞれ電極４ａ、５
ａ、６ａと４ｂ、５ｂ、６ｂが形成され、四角柱Ｃの配
列方向に直交する側の２つの面の一方には３つの励振電
極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 が形成され、もう一方には３
つのコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 が形成さ
れている。さらに、各角柱のバイモルフ接合面にサンド
イッチ電極７ａ、７ｂ、７ｃが形成されている。
【００１３】サンドイッチ電極７ａ、７ｂ、７ｃは、図
３の符号７で示すように、貼り合わせ前の圧電シート
２、３の状態で、各三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱の各面に
露出しない寸法で櫛歯状に予め印刷・焼成により形成し
てある。このようにすると、圧電シート２、３を貼り合
わせたパイモルフ型板状圧電素子材１から三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃを切り出し後メツキを施した状態では、
サンドイッチ電極７a 、７b 、７c は、励振電極( コリ
オリ検出電極を兼ねる）４ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂ、４ｃ
1 、４ｃ2 、４ｃ3 およびモニタ電極( 励振電極を兼ね
る）６ａ、６ｂとコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６
ｃ3 とは電気的に繋がつていないため、分割切り離しの
必要がない。また、励振電極４ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂ、
４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 およびモニタ電極６ａ、６ｂ、
６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 は、正三角形断面の各頂点部分
８ａ、８ａ’、８ａ’’、８ｂ、８ｂ’、８ｂ' ’を、
メツキによる各電極の一括形成後に面取りすることによ
って独立に分割される。さらに、サンドイッチ電極７
ａ、７ｂとモニタ電極６ａ、６ｂとコリオリ検出電極６
ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 とは、矢印９、１０の方向に分極
されており、サンドイッチ電極７ａ、７ｂと励振電極４
ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂとは、図３に示す板状圧電素子材
１の段階で矢印１３、１４、１５、１６の方向に分極さ
れている。また、四角柱Ｃの各電極４ｃ1 、４ｃ2 、４
ｃ3 と６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 とは、矢印１７、１８、
１９、２０の方向に分極されており、分極による圧電素
子内の電位を＋、−で示す。２つの三角柱Ａ、Ｂと１つ
の四角柱Ｃとは、ＡとＣとで―対の音叉、またＢとＣと
で―対の音叉を構成しており、それぞれの配置ピッチと
して、Ｌ1 ：Ｌ2 ＝１：１またはＬ1 ：Ｌ2 ＝１：２な
ど、２つの音叉が最大効率で振動するように重心配置寸
法Ｌ1 、Ｌ2 が決定されている。この重心配置寸法は、
重心間ピッチまたは図心間ピッチを意味する。
３の符号７で示すように、貼り合わせ前の圧電シート
２、３の状態で、各三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱の各面に
露出しない寸法で櫛歯状に予め印刷・焼成により形成し
てある。このようにすると、圧電シート２、３を貼り合
わせたパイモルフ型板状圧電素子材１から三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃを切り出し後メツキを施した状態では、
サンドイッチ電極７a 、７b 、７c は、励振電極( コリ
オリ検出電極を兼ねる）４ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂ、４ｃ
1 、４ｃ2 、４ｃ3 およびモニタ電極( 励振電極を兼ね
る）６ａ、６ｂとコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６
ｃ3 とは電気的に繋がつていないため、分割切り離しの
必要がない。また、励振電極４ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂ、
４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 およびモニタ電極６ａ、６ｂ、
６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 は、正三角形断面の各頂点部分
８ａ、８ａ’、８ａ’’、８ｂ、８ｂ’、８ｂ' ’を、
メツキによる各電極の一括形成後に面取りすることによ
って独立に分割される。さらに、サンドイッチ電極７
ａ、７ｂとモニタ電極６ａ、６ｂとコリオリ検出電極６
ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 とは、矢印９、１０の方向に分極
されており、サンドイッチ電極７ａ、７ｂと励振電極４
ａ、5 ａ、４ｂ、5 ｂとは、図３に示す板状圧電素子材
１の段階で矢印１３、１４、１５、１６の方向に分極さ
れている。また、四角柱Ｃの各電極４ｃ1 、４ｃ2 、４
ｃ3 と６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 とは、矢印１７、１８、
１９、２０の方向に分極されており、分極による圧電素
子内の電位を＋、−で示す。２つの三角柱Ａ、Ｂと１つ
の四角柱Ｃとは、ＡとＣとで―対の音叉、またＢとＣと
で―対の音叉を構成しており、それぞれの配置ピッチと
して、Ｌ1 ：Ｌ2 ＝１：１またはＬ1 ：Ｌ2 ＝１：２な
ど、２つの音叉が最大効率で振動するように重心配置寸
法Ｌ1 、Ｌ2 が決定されている。この重心配置寸法は、
重心間ピッチまたは図心間ピッチを意味する。
【００１４】図１において、Ｄ部は固定部Ｊを含む三脚
基台であり、表面１１と裏面１２には電極を形成してい
る。各電極の配置について説明すると、三角柱Ａにおい
ては、電極５ａは引き出し電極３２へ、電極４ａは裏面
電極３９' とスルーホ―ル４７とを介して引き出し電極
３９へ、電極６ａは引き出し電極４０へ導出されてい
る。四角柱Ｃにおいては、電極６ｃ3 は引き出し電極３
３へ、電極６ｃ2 は引き出し電極３４へ、電極６ｃ1 は
引き出し電極３５へ、電極４ｃ3 は裏面電極４１' とス
ルーホール４８とを介して引き出し電極４１へ、電極４
ｃ2 は裏面電極４２' とスルーホール４９とを介して引
き出し電極４２へ、電極４ｃ1 は裏面電極４３' とスル
ーホール５０とを介して引き出し電極４３へ導出されて
いる。三角柱Ｂにおいては、電極６ｂは引き出し電極３
６へ、電極５ｂは引き出し電極３７へ、電極４ｂは裏面
電極４５' とスルーホール５２とを介して引き出し電極
４５へ導出されている。サンドイッチ電極７ａ、７ｂ、
７ｃは、裏面電極３８' とスルーホール４６とを介して
引き出し電極３８へ導出されている。
基台であり、表面１１と裏面１２には電極を形成してい
る。各電極の配置について説明すると、三角柱Ａにおい
ては、電極５ａは引き出し電極３２へ、電極４ａは裏面
電極３９' とスルーホ―ル４７とを介して引き出し電極
３９へ、電極６ａは引き出し電極４０へ導出されてい
る。四角柱Ｃにおいては、電極６ｃ3 は引き出し電極３
３へ、電極６ｃ2 は引き出し電極３４へ、電極６ｃ1 は
引き出し電極３５へ、電極４ｃ3 は裏面電極４１' とス
ルーホール４８とを介して引き出し電極４１へ、電極４
ｃ2 は裏面電極４２' とスルーホール４９とを介して引
き出し電極４２へ、電極４ｃ1 は裏面電極４３' とスル
ーホール５０とを介して引き出し電極４３へ導出されて
いる。三角柱Ｂにおいては、電極６ｂは引き出し電極３
６へ、電極５ｂは引き出し電極３７へ、電極４ｂは裏面
電極４５' とスルーホール５２とを介して引き出し電極
４５へ導出されている。サンドイッチ電極７ａ、７ｂ、
７ｃは、裏面電極３８' とスルーホール４６とを介して
引き出し電極３８へ導出されている。
【００１５】図２（ｂ）は、各電極の接続状態を示して
いる。三角柱Ａ、Ｂの各励振電極４ａ、５ａ、４ｂ、５
ｂとモニタ電極６ａ、６ｂおよび四角柱Ｃの一方の側の
両端２つの励振電極４ｃ3 ，４ｃ1 および四角柱の他方
の側の真中の１つのコリオリ検出電極６ｃ1 をドライブ
電源Ｅの一方の極側に接続し、ドライブ電源Ｅの他方の
極側を三角柱Ａ、Ｂのサンドイッチ電極７ａ、７ｂおよ
び四角柱の一方の側の真中の励振電極４ｃ2 に接続し、
三角柱Ａのモニタ電極６ａとサンドイイチ電極７ａをモ
ニタ端子Ｍ3 に接続し、三角柱Ｂのモニタ電極６ｂとサ
ンドイイチ電極７ｂをモニタ端子Ｍ1 に接続し、四角柱
の他方の側のコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3
をそれぞれコリオリ検出端子Ｄ1 、Ｄ2 、Ｄ3 に接続し
ている。励振電極４ａ、５ａおよび４ｂ、５ｂに電圧を
印可することによって、コリオリ検出軸Ｃは励振軸Ａ、
Ｂによつて両側から音叉励振されると同時に自らも励振
電極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 への電圧印加によって励振
する。従つて、コリオリ検出軸Ｃの振幅は励振軸Ａ、Ｂ
よりも大きく増幅されることになり、図４に示すよう
に、ある瞬間の励振方向は音叉励振のため励振軸Ａ、Ｂ
（１９の向きに撓む)とは逆の向き( ２０の向きに撓む)
になり、音叉励振のため、次の瞬間の励振方向は１９
と２０とはそれぞれ逆向きになる。また、三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃの励振は、それぞれモニタ端子Ｍ3 、Ｍ
1 を通じてモニタされるが、いずれか一方を省略するこ
ともできる。
いる。三角柱Ａ、Ｂの各励振電極４ａ、５ａ、４ｂ、５
ｂとモニタ電極６ａ、６ｂおよび四角柱Ｃの一方の側の
両端２つの励振電極４ｃ3 ，４ｃ1 および四角柱の他方
の側の真中の１つのコリオリ検出電極６ｃ1 をドライブ
電源Ｅの一方の極側に接続し、ドライブ電源Ｅの他方の
極側を三角柱Ａ、Ｂのサンドイッチ電極７ａ、７ｂおよ
び四角柱の一方の側の真中の励振電極４ｃ2 に接続し、
三角柱Ａのモニタ電極６ａとサンドイイチ電極７ａをモ
ニタ端子Ｍ3 に接続し、三角柱Ｂのモニタ電極６ｂとサ
ンドイイチ電極７ｂをモニタ端子Ｍ1 に接続し、四角柱
の他方の側のコリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3
をそれぞれコリオリ検出端子Ｄ1 、Ｄ2 、Ｄ3 に接続し
ている。励振電極４ａ、５ａおよび４ｂ、５ｂに電圧を
印可することによって、コリオリ検出軸Ｃは励振軸Ａ、
Ｂによつて両側から音叉励振されると同時に自らも励振
電極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 への電圧印加によって励振
する。従つて、コリオリ検出軸Ｃの振幅は励振軸Ａ、Ｂ
よりも大きく増幅されることになり、図４に示すよう
に、ある瞬間の励振方向は音叉励振のため励振軸Ａ、Ｂ
（１９の向きに撓む)とは逆の向き( ２０の向きに撓む)
になり、音叉励振のため、次の瞬間の励振方向は１９
と２０とはそれぞれ逆向きになる。また、三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃの励振は、それぞれモニタ端子Ｍ3 、Ｍ
1 を通じてモニタされるが、いずれか一方を省略するこ
ともできる。
【００１６】次に、三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱Ｃが図２
（ａ）の矢印２１の面内方向に励振されるメカニズムに
ついて励振軸Ａを例にとって説明する。励振軸Ａの各電
極４ａ、４ａ、６ａに図２（ｂ）に示すようにドライブ
電源Ｅから電圧を交互に印加すると、例えば図２（ｂ）
に示す極性の電圧印加では、励振軸Ａの励振電極４ａ、
５ａ、６ａの内部電荷＋が反転して−になるため、２３
の部分が、図４（ａ）に示すように２５の方向に縮み、
２４の部分が２６の方向に伸びる。このため、励振軸Ａ
は矢印１９の方向に撓むことになり、励振軸Ａとコリオ
リ検出軸Ｃとの音叉構造によりコリオリ検出軸Ｃも矢印
２０の方向に撓ませられる。同様に、励振軸Ｂとコリオ
リ検出軸Ｃとのもう一方の音叉構造によっても、コリオ
リ検出軸Ｃは矢印２０の方向に撓ませられるため、振幅
は増幅される。
（ａ）の矢印２１の面内方向に励振されるメカニズムに
ついて励振軸Ａを例にとって説明する。励振軸Ａの各電
極４ａ、４ａ、６ａに図２（ｂ）に示すようにドライブ
電源Ｅから電圧を交互に印加すると、例えば図２（ｂ）
に示す極性の電圧印加では、励振軸Ａの励振電極４ａ、
５ａ、６ａの内部電荷＋が反転して−になるため、２３
の部分が、図４（ａ）に示すように２５の方向に縮み、
２４の部分が２６の方向に伸びる。このため、励振軸Ａ
は矢印１９の方向に撓むことになり、励振軸Ａとコリオ
リ検出軸Ｃとの音叉構造によりコリオリ検出軸Ｃも矢印
２０の方向に撓ませられる。同様に、励振軸Ｂとコリオ
リ検出軸Ｃとのもう一方の音叉構造によっても、コリオ
リ検出軸Ｃは矢印２０の方向に撓ませられるため、振幅
は増幅される。
【００１７】次にコリオリ力検出のメカニズムについて
説明する。図２（ａ）の矢印２１の面内方向に常時励振
している三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱Ｃに、図５に示すよ
うに、検出軸２７に対して２８方向の角速度が加わる
と、三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱Ｃには、図２（ａ）の矢
印２２の面垂直方向のコリオリ力が発生し、三角柱Ａ、
Ｂおよび四角柱Ｃは図５のように面垂直方向に撓みなが
ら振動することになる。コリオリ力による三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃの面垂直撓みの方向は、励振の方向によ
って決まるため、ある瞬間では三角柱ＡとＢとは同方向
( ２９の方向) に撓み、 四角柱Ｃは逆方向（３０の方
向) に撓むことになる。また、次の瞬間では、三角柱
Ａ，Ｂおよび四角柱Ｃはそれぞれ逆方向に撓んで振動を
繰り返すことになる。四角柱Ｃが３０の方向に撓むと、
図２（ｂ）において励振電極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 は
伸び、コリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 は縮む
ことになるため、コリオリ検出電極６ｃ2 を基準電位と
して、コリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ3 との電位差を差
動で取り出すことが可能となる。
説明する。図２（ａ）の矢印２１の面内方向に常時励振
している三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱Ｃに、図５に示すよ
うに、検出軸２７に対して２８方向の角速度が加わる
と、三角柱Ａ、Ｂおよび四角柱Ｃには、図２（ａ）の矢
印２２の面垂直方向のコリオリ力が発生し、三角柱Ａ、
Ｂおよび四角柱Ｃは図５のように面垂直方向に撓みなが
ら振動することになる。コリオリ力による三角柱Ａ、Ｂ
および四角柱Ｃの面垂直撓みの方向は、励振の方向によ
って決まるため、ある瞬間では三角柱ＡとＢとは同方向
( ２９の方向) に撓み、 四角柱Ｃは逆方向（３０の方
向) に撓むことになる。また、次の瞬間では、三角柱
Ａ，Ｂおよび四角柱Ｃはそれぞれ逆方向に撓んで振動を
繰り返すことになる。四角柱Ｃが３０の方向に撓むと、
図２（ｂ）において励振電極４ｃ1 、４ｃ2 、４ｃ3 は
伸び、コリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ2 、６ｃ3 は縮む
ことになるため、コリオリ検出電極６ｃ2 を基準電位と
して、コリオリ検出電極６ｃ1 、６ｃ3 との電位差を差
動で取り出すことが可能となる。
【００１８】以上のように、本実施の形態によれば、振
動子が三脚音叉構造であるため、コリオリ力が発生した
ときの三脚音叉振動子Ｚにかかる回転モーメントＭは、
図６に示すように、＋Ｍ、−Ｍの逆等モーメントとなる
ため、コリオリ力によって三角柱Ａ，Ｂおよび四角柱Ｃ
に発生する回転モーメントは、三脚基台Ｄではキヤンセ
ルされた形になり、固定部Ｊではモーメントの発生はほ
とんどゼロになる。このため、この三脚音叉振動子Ｚを
固定部Ｊで固定した場合は、固定の度合いによってコリ
オリ力検出精度が影響を受けることがなくなり、検出精
度が極めて高いものとなる。また、この三脚音叉振動子
Ｚは、板状圧電素子材からの切り出し構造としているた
め、接着剤による貼り合わせ部がなく、接着バラツキお
よび接着剤の温度特性の影響がないこと、および寸法バ
ラツキが加工精度で決定されるため、組立精度のバラツ
キが重畳されず、角速度検出精度のバラツキを最小限に
抑えることができる。また、信号線の引き回しが振動の
影響の少ない三脚基台Ｄの片面側で行うため、線材の振
れが角速度検出精度に影響を与えることはない。なお、
各引き出し電極から回路基板などへの信号線接続は、半
田付け以外にワイヤボンディングで行うこともできる。
動子が三脚音叉構造であるため、コリオリ力が発生した
ときの三脚音叉振動子Ｚにかかる回転モーメントＭは、
図６に示すように、＋Ｍ、−Ｍの逆等モーメントとなる
ため、コリオリ力によって三角柱Ａ，Ｂおよび四角柱Ｃ
に発生する回転モーメントは、三脚基台Ｄではキヤンセ
ルされた形になり、固定部Ｊではモーメントの発生はほ
とんどゼロになる。このため、この三脚音叉振動子Ｚを
固定部Ｊで固定した場合は、固定の度合いによってコリ
オリ力検出精度が影響を受けることがなくなり、検出精
度が極めて高いものとなる。また、この三脚音叉振動子
Ｚは、板状圧電素子材からの切り出し構造としているた
め、接着剤による貼り合わせ部がなく、接着バラツキお
よび接着剤の温度特性の影響がないこと、および寸法バ
ラツキが加工精度で決定されるため、組立精度のバラツ
キが重畳されず、角速度検出精度のバラツキを最小限に
抑えることができる。また、信号線の引き回しが振動の
影響の少ない三脚基台Ｄの片面側で行うため、線材の振
れが角速度検出精度に影響を与えることはない。なお、
各引き出し電極から回路基板などへの信号線接続は、半
田付け以外にワイヤボンディングで行うこともできる。
【００１９】図７は上記三脚音叉振動子Ｚを組み込んだ
一次元角速度センサ、図８は三次元角速度センサを示
す。三脚音叉振動子Ｚは、固定部Ｊを６０、６１でスポ
ット溶接された板バネ６２で基台６３に固定されてお
り、前述した各電極１１、１２、１３、１４、１５、１
６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３と回路
基板６４に形成されたパッド６５、６６、６７、６８、
６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７
７とはボンディングワイヤにて接続され、検出および励
振回路を含むプリント回路基板６４、７８と共に気密封
止される。三脚音叉振動子Ｚからの出力は、回路基板６
４から回路基板７８を介して基台６３に絶縁固定された
リードピン７９、８０、８１、８２に導出される。図８
に示す３次元角速度センサは、振動子Ｚ、Ｚ’、Ｚ”を
互いに直交するように配置し、ｘ、ｙ、ｚ３軸方向の角
速度を検知するようにしたものであり、詳細説明は省略
する。
一次元角速度センサ、図８は三次元角速度センサを示
す。三脚音叉振動子Ｚは、固定部Ｊを６０、６１でスポ
ット溶接された板バネ６２で基台６３に固定されてお
り、前述した各電極１１、１２、１３、１４、１５、１
６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３と回路
基板６４に形成されたパッド６５、６６、６７、６８、
６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７
７とはボンディングワイヤにて接続され、検出および励
振回路を含むプリント回路基板６４、７８と共に気密封
止される。三脚音叉振動子Ｚからの出力は、回路基板６
４から回路基板７８を介して基台６３に絶縁固定された
リードピン７９、８０、８１、８２に導出される。図８
に示す３次元角速度センサは、振動子Ｚ、Ｚ’、Ｚ”を
互いに直交するように配置し、ｘ、ｙ、ｚ３軸方向の角
速度を検知するようにしたものであり、詳細説明は省略
する。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以下に示すような効果を有す
る。 １）三脚音叉構造としているため、 コリオリ力発生時の
回転モーメントがキャンセルでき、 振動ロスを最小限に
できると共に、固定部の検出精度に対する影響をなくす
ことができるため、角速度検出が高精度で実現できる。 ２）三脚音叉構造としているため、コリオリ検出軸を両
側から励振することができ、振幅を増幅して高感度の角
速度センサを実現できる。 ３) 振動子を板状圧電素子材からの切り出しによって形
成しているため、接着剤による貼り合わせ部がなく、検
出精度を高めることができる。 ４）信号線の接続を振動子ではなく、三脚基台で実施し
ているため、検出精度に影響を及ぼさず、検出精度を安
定化できる。 ５）信号線の取り出しをハンダ付けではなく、ワイヤボ
ンディングで実施した場合には、 超小型化に対応できる
と共に、 検出精度への影響もなくすことができる。 ６）各三角柱および四角柱の各面に配置された各電極を
振動の影響の少ない三脚基台の片面だけに導出すること
により、信号線の接続作業を容易にできる。
る。 １）三脚音叉構造としているため、 コリオリ力発生時の
回転モーメントがキャンセルでき、 振動ロスを最小限に
できると共に、固定部の検出精度に対する影響をなくす
ことができるため、角速度検出が高精度で実現できる。 ２）三脚音叉構造としているため、コリオリ検出軸を両
側から励振することができ、振幅を増幅して高感度の角
速度センサを実現できる。 ３) 振動子を板状圧電素子材からの切り出しによって形
成しているため、接着剤による貼り合わせ部がなく、検
出精度を高めることができる。 ４）信号線の接続を振動子ではなく、三脚基台で実施し
ているため、検出精度に影響を及ぼさず、検出精度を安
定化できる。 ５）信号線の取り出しをハンダ付けではなく、ワイヤボ
ンディングで実施した場合には、 超小型化に対応できる
と共に、 検出精度への影響もなくすことができる。 ６）各三角柱および四角柱の各面に配置された各電極を
振動の影響の少ない三脚基台の片面だけに導出すること
により、信号線の接続作業を容易にできる。
【図１】（ａ）本発明の実施の形態における角速度セン
サ振動子の表面側の斜視図 （ｂ）本発明の実施の形態における角速度センサ振動子
の裏面側の斜視図
サ振動子の表面側の斜視図 （ｂ）本発明の実施の形態における角速度センサ振動子
の裏面側の斜視図
【図２】（ａ）同振動子の平面図 （ｂ）同振動子の結線図
【図３】同振動子を切り出す前の板状圧電素子材の斜視
図
図
【図４】（ａ）同振動子の動作を示す概略図 （ｂ）同振動子の動作を示す斜視図
【図５】同振動子のコリオリ発生時の撓み方向を示す斜
視図
視図
【図６】（ａ）同振動子のコリオリ力印加時の発生モー
メントを示す平面図 （ｂ）同振動子のコリオリ力印加時の発生モーメントを
示す正面図
メントを示す平面図 （ｂ）同振動子のコリオリ力印加時の発生モーメントを
示す正面図
【図７】同振動子を組み込んだ一次元角速度センサの構
造を示す斜視図
造を示す斜視図
【図８】同振動子を組み込んだ三次元角速度センサの構
造を示す斜視図
造を示す斜視図
【図９】（ａ）従来の角速度センサ（通常励振時）を示
す斜視図 （ｂ）従来の角速度センサ（コリオリ発生時）を示す斜
視図
す斜視図 （ｂ）従来の角速度センサ（コリオリ発生時）を示す斜
視図
【図１０】（ａ）非共振角速度センサの共振点を示す特
性図 （ｂ）共振角速度センサの共振点を示す特性図
性図 （ｂ）共振角速度センサの共振点を示す特性図
【符号の説明】 １ 板状圧電素子材 ２、３ 圧電シート ４、５ 励振電極 ６ モニタ電極（コリオリ検出電極兼用） ７ サンドイッチ電極 ８ 面取りされた頂点部分 Ａ、Ｂ 三角柱 Ｃ 四角柱 Ｄ 三脚基台 Ｊ 固定部 Ｚ 三脚音叉振動子
Claims (6)
- 【請求項１】 三角形断面の各頂点部分を面取りしたバ
イモルフ圧電素子からなる２本の三角柱と、矩形断面を
有するバイモルフ圧電素子からなる１本の四角柱と、列
状に配置された前記２本の三角柱およびその中間にある
前記四角柱および基台部で構成された三脚音叉と、前記
三角柱の各面に配置された２つの励振電極およびモニタ
電極と、前記四角柱の配列方向に直交する側の２つの面
の一方に配置された３つの励振電極と、前記四角柱の配
列方向に直交する側の２つの面のもう一方に面に配置さ
れた３つのコリオリ検出電極と、前記三角柱および前記
四角柱の各バイモルフ接合面に配置したサンドイッチ電
極とを備えたことを特徴とする角速度検出用の三脚音叉
振動子。 - 【請求項２】 各三角柱および四角柱の各面に配置され
た各電極が基台の片面に導出されていることを特徴とす
る請求項１記載の三脚音叉振動子。 - 【請求項３】 各三角柱および四角柱がバイモルフ構造
の板状圧電素子材から一体に切り出されていることを特
徴とする請求項１または２記載の三脚音叉振動子。 - 【請求項４】 各三角柱の各励振電極とモニタ電極およ
び四角柱の一方の側の両端２つの励振電極および四角柱
の他方の側の真中の１つのコリオリ検出電極をドライブ
電源の一方の極側に接続し、ドライブ電源の他方の極側
を各三角柱のサンドイッチ電極および四角柱の一方の側
の真中の励振電極に接続し、各三角柱のモニタ電極とサ
ンドイイチ電極をモニタ端子に接続し、四角柱の他方の
側の両端２つのコリオリ検出電極をコリオリ検出端子に
接続したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに
記載の三脚音叉振動子。 - 【請求項５】 各三角柱が断面正三角形であり、四角柱
が断面正四角形である請求項１から４のいずれかに記載
の三脚音叉振動子。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の三脚
音叉振動子の固定部を板バネで基台に固定すると共に、
基台に絶縁配置されたリードピンと三脚音叉振動子の各
電極とをワイヤボンディング工法によって接続し、検出
および励振回路を含むプリント基板と共に気密封止した
ことを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11088491A JP2000283765A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 三脚音叉振動子および角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11088491A JP2000283765A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 三脚音叉振動子および角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283765A true JP2000283765A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13944291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11088491A Pending JP2000283765A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 三脚音叉振動子および角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000283765A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064662A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP2009520950A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-05-28 | インベンセンス インコーポレイテッド | 垂直統合された電子機器およびウエハスケールの気密封止によるｘ−ｙ軸２重質量音叉ジャイロスコープの製造方法 |
| WO2011086633A1 (ja) | 2010-01-12 | 2011-07-21 | ソニー株式会社 | 角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法 |
| US8833163B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-09-16 | Sony Corporation | Angular velocity sensor |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11088491A patent/JP2000283765A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064662A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP4668739B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-04-13 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動ジャイロ |
| JP2009520950A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-05-28 | インベンセンス インコーポレイテッド | 垂直統合された電子機器およびウエハスケールの気密封止によるｘ−ｙ軸２重質量音叉ジャイロスコープの製造方法 |
| WO2011086633A1 (ja) | 2010-01-12 | 2011-07-21 | ソニー株式会社 | 角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法 |
| US8910517B2 (en) | 2010-01-12 | 2014-12-16 | Sony Corporation | Angular velocity sensor, electronic apparatus, and method of detecting an angular velocity |
| US8833163B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-09-16 | Sony Corporation | Angular velocity sensor |
| US9885576B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-02-06 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Angular velocity sensor |
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