JP2000283763A - 菱形四角柱三脚音叉振動子および角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動子センサの角速度検出精度を高める。 【解決手段】 １枚のバイモルフ板状圧電素子材１から
切り出して、断面二等辺三角形の底面どうしを貼り合わ
せて各頂点部分８を面取りした３本の菱形四角柱Ａ、
Ｂ、Ｃを配置して基台部Ｄと共に三脚音叉を構成し、菱
形四角形の配列方向側に隣接するそれぞれ２つの面に一
対の励振電極６、７と一対のモニタ電極４、５とを配置
し、３本の菱形四角柱のうちの中央の菱形四角柱Ｃまた
は両端の他の２本の菱形四角柱Ａ、Ｂのうちの１本もし
くは２本の菱形四角柱に形成された励振電極６、７をコ
リオリ検出電極として利用し、かつバイモルフ接合面に
サンドイッチ電極９を配置することで、コリオリ発生時
の固定部にかかる回転モーメントをキャンセルでき、接
着部がないのでセンサの検出感度が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、角速度を検出する振動
子および車輛のナビゲーションシステム、車体制御シス
テム等に有効な角速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は従来の角速度センサの構造を示し
ている。図９（ａ）において、Ｕ字型の金属振動板１０
１の上部のそれぞれに、これと直角に配置された２枚の
金属板１０２、１０２’を有し、Ｕ字型金属板１０１の
片面に励振用圧電素子１０６を、もう一方の面にモニタ
用圧電素子１０７を、さらに金属板１０２と１０２’の
それぞれは、コリオリ検出用圧電素子１０８、１０８’
を圧電素子１０６、１０７と直角方向に貼り付けて成る
音叉振動子１０３が、固定軸１０４を介して基台１０５
に固定されている。圧電素子１０６、１０７、１０８、
１０８’は、それぞれリード線１０９、１１０、１１
２、１１３を介してリードピン１１４、１１５、１１
６、１１７に接続されている。リードピン１１４、１１
５、１１６、１１７は、いずれもガラスなどの絶縁体１
１８を介して基台１０５と電気的に絶縁されている。

【０００３】次に、上記角速度センサの動作について説
明する。図９（ａ）はセンサの励振状態を示し、図９
（ｂ）はセンサのコリオリ力を検出する状態を示してい
る。即ち、図９（ａ）において、音叉振動子１０３は、
励振用圧電素子１０６への電圧印加によって、常時１１
９方向に音叉励振されている。この励振周波数と振幅と
は、モニタ圧電素子１０７によってモニタリングされ、
常に一定の周波数と振幅で励振されるように、励振用圧
電素子１０６の印加電圧をコントロールしている。この
センサの検出軸１２０に、図９（ｂ）のように１２１方
向に回転角速度ωが加わると、励振方向１１９と直角方
向に発生するコリオリ力によって、金属板１０２、１０
２’は互いに逆方向１２２、１２３方向に撓むことにな
る。この時発生するコリオリ力ＦＣは、ＦＣ＝２ｍＶω
となる。 ｍ ：音叉振動子１０３の質量 Ｖ ：励振速度 ω ：印加された回転角速度 このコリオリ力ＦＣは、検出用圧電素子１０８、１０
８’に伸びと縮みという互いに逆方向の歪みを発生させ
るため、差動出力として検出電圧をリードピン１１５、
１１７から取り出すことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の角速度センサには次のような問題がある。 １）角速度ωが発生すると、振動子１０３にコリオリ力
が加わって振動子１０３が図９（ｂ）の方向１２２、１
２３に撓んだことによって発生する回転モーメント１２
４が、回転軸１０４に加わるため、回転軸１０４と基台
１０５および音叉振動子１０３との固定度合いがセンサ
の角速度検出精度のバラツキ要因となること。 ２）励振用圧電素子１０６、モニタ用圧電素子１０７お
よび検出用圧電素子１０８、１０８’は、音叉振動子１
０３を構成する各金属板１０１、１０２、１０２’に接
着剤を用いて貼り付けられているため、接着のバラツキ
および接着剤の温度特性が、センサ角速度検出精度のバ
ラツキの要因となること。 ３）励振方向とコリオリ検出方向とでは、音叉振動子１
０３を構成する金属板１０１、１０２、１０２’の形状
が一致してないため、励振時の共振周波数とコリオリ検
出時の共振周波数とを一致させにくく、従って検出感度
を高めるのが困難なこと。即ち、図１０（ｂ）のような
共振型角速度センサにすることが難しく、図１０（ａ）
のような非共振型角速度センサになってしまうため、共
振型に比して感度が落ちる。 ４）音叉型振動子１０３の曲げ加工精度、固定軸１０４
と音叉型振動子１０３および基台１０５との固定精度、
および圧電素子１０６、１０７、１０８、１０８’の接
着精度など、組立加工精度のバラツキがセンサの角速度
検出精度のバラツキ要因となること。 ５）振動体にリード線１０９、１１０、１１２、１１３
が接続されるため、リード線１０９、１１０、１１２、
１１３の振れがセンサの角速度検出精度のバラツキ要因
となること。 本発明は、以上の角速度センサに関する課題を解決する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために以下の手段を講じたものである。 １）コリオリ発生時の固定部にかかる回転モーメントを
キャンセルするために三脚音叉構造を採用し、固定部の
固定度合いのバラツキが角速度検出精度に影響を及ぼさ
ないように構成した。 ２）振動子を圧電切り出し構造で形成することで、圧電
素子そのものを振動子にでき、接着部をなくしてセンサ
の検出感度を向上した。 ３）二等辺三角形の底面どうしを貼り合わせて構成した
菱形四角柱三脚音叉構造を採用することにより、四角柱
の４面への励振電極と検出電極およびモニタ電極の形成
を容易にした。 本発明は、上記手段を効果的に実施することにより、高
感度で小型な角速度センサを実現できる。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、断面二等辺三角形の底面どうしを貼り合わせて各頂
点部分を面取りしたバイモルフ圧電素子からなる３本の
菱形四角柱を配置して基台部と共に三脚音叉を構成し、
菱形四角形の配列方向側に隣接するそれぞれ２つの面に
一対の励振電極と一対のモニタ電極とを配置し、３本の
菱形四角柱のうちの中央の菱形四角柱または両端の他の
２本の菱形四角柱のうちの１本もしくは２本の菱形四角
柱に形成された励振電極をコリオリ検出電極として利用
し、かつバイモルフ接合面にサンドイッチ電極を配置し
たことを特徴とする角速度検出用の菱形四角柱三脚音叉
振動子であり、三脚音叉構造としているため、コリオリ
力発生時の回転モーメントがキャンセルでき、振動ロス
を最小限にできると共に、固定部の検出精度に対する影
響をなくすことができるため、角速度検出が高精度で実
現できる。

【０００７】本発明の請求項２に記載の発明は、菱形四
角柱の各面に配置された各電極が基台の片面に導出され
ていることを特徴とする請求項１記載の菱形四角柱三脚
音叉振動子であり、信号線の接続を振動子ではなく、固
定部で実施しているため、検出精度に影響を及ぼさず、
検出精度を安定化できる。

【０００８】本発明の請求項３に記載の発明は、３本の
菱形四角柱がバイモルフ構造の板状圧電素子材からの切
り出しにより形成されていることを特徴とする請求項１
または２記載の菱形四角柱三脚音叉振動子であり、振動
子を圧電切り出し構造で形成することで、圧電素子その
ものを振動子にでき、接着部をなくしてセンサの検出感
度を向上できる。

【０００９】本発明の請求項４に記載の発明は、各励振
電極をドライブ電源の一方の極側に接続し、ドライブ電
源の他方の極側をアースおよびサンドイッチ電極に接続
し、モニタ電極をモニタ端子に接続したことを特徴とす
る請求項１から３のいずれかに記載の菱形四角柱三脚音
叉振動子であり、コリオリ検出軸を両側から励振できる
ため、振幅を増幅でき、高感度の角速度センサを実現す
ることができる。

【００１０】本発明の請求項５に記載の発明は、請求項
１から４のいずれかに記載の菱形四角柱三脚音叉振動子
の固定部を板バネで基台に固定すると共に、基台に絶縁
配置されたリードピンと菱形四角柱三脚音叉振動子の各
電極とをワイヤボンディング工法によって接続し、検出
および励振回路を含むプリント基板と共に気密封止した
ことを特徴とする角速度センサであり、信号線の取り出
しをハンダ付けではなく、ワイヤボンディングで実施し
ているため、超小型化に対応できると共に、検出精度へ
の影響もなくすことができる。

【００１１】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。 （実施の形態）図１および図２は本発明の実施の形態に
おける角速度センサ振動子の構成を示し、図１（ａ）は
菱形四角柱三脚音叉振動子Ｚの表面側の斜視図、図１
（ｂ）は同振動子の裏面側の斜視図、図２（ａ）は同振
動子の平面図である。一列に並んだ三本の菱形四角柱
Ａ、Ｂ、Ｃは、同様な構造の圧電シート２、３を２枚貼
り合わせてバイモルフ構造とした板状圧電素子材１か
ら、貼り合わせ部分を互いの底面とする断面二等辺三角
形を接合した形で切り出されており、四角柱の各頂点部
分が８ａ、８ａ’、８ａ’’、８ａ’’' （８ｂ、８
ｂ’、８ｂ’’、８ｂ’'' 、８ｃ、８ｃ’、８
ｃ’’、８ｃ’’' ）の如く面取りされている。また、
各四角柱の４つの面には、図２に示すように、それぞれ
電極４ａ、５ａ、６ａ、７ａ（４ｂ、５ｂ、６ｂ、７
ｂ、４ｃ、５ｃ、６ｃ、７ｃ）が形成される共に、内部
の貼り合わせ面にサンドイッチ電極９ａ、９ｂ、９ｃが
形成されている。サンドイッチ電極９ａ、９ｂ、９ｃ
は、図３の符号９で示すように、貼り合わせ前の圧電シ
ート２、３の状態で予め印刷・焼成により形成されてお
り、この状態で矢印１０、１１の方向に分極後、両者を
接合したバイモルフ型板状圧電素子材１から３本の菱形
四角柱Ａ、Ｂ、Ｃを切り出すことによって、各菱形四角
柱Ａ、Ｂ、Ｃに内在されるようになっている。

【００１２】サンドイッチ電極９ａ、９ｂ、９ｃに対
し、コリオリ検出電極を兼ねる一方の励振電極６ａ、６
ｃ、６ｂは矢印１０の方向に分極され、コリオリ検出電
極を兼ねるもう一方の励振電極７ａ、７ｃ、７ｂは矢印
１１の方向に分極されている。各分極による圧電素子内
の電位を＋、−で示す。また、励振電極６ａ、７ａ、６
ｂ、７ｂ、コリオリ検出電極６ｃ、７ｃ、およびモニタ
電極４ａ、５ａ、４ｂ、５ｂ、４ｃ、５ｃは、菱形四角
柱の各頂点部分８ａ、８ａ' 、８ａ''、８ａ' '' (８
ｂ、８ｂ' 、８ｂ''、８ｂ''' および８c 、８ｃ' 、８
ｃ' ' 、８ｃ' '' )を、メツキによる各電極の一括形成
後に面取りすることによって独立に分割されている。な
お、３つの菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃは、ＡとＢとで一対の
音叉、またＢとＣとで一対の音叉を構成しており、それ
ぞれの配置ピッチとして、Ｌ₁ ：Ｌ₂ ＝１：１またはＬ
₁ ：Ｌ₂ ＝１：２など、２つの音叉が最大効率で振動す
るように重心配置寸法Ｌ₁ 、Ｌ₂ が決定されている。こ
の重心配置寸法は、重心間ピッチまたは図心間ピッチを
意味する。

【００１３】図１において、Ｄ部は固定部Ｊを含む菱形
四角柱基台であり、表面１２と裏面１３には電極を形成
している。各電極の配置について説明すると、菱形四角
柱Ａにおいては、電極５ａは引き出し電極１４へ、電極
４ａは裏面電極２１' とスルーホ―ル３０を介して引き
出し電極２１へ、電極７ａは引き出し電極１５へ、電極
６ａは裏面電極２２' とスルーホール３１とを介して引
き出し電極２２へ導出されている。菱形四角柱Ｂにおい
ては、電極７ｂは引き出し電極１９へ、電極６ｂは裏面
電極２６' とスルーホール３５とを介して引き出し電極
２６へ、電極５ｂは引き出し電極１８へ、電極４ｂは裏
面電極２５' とスルーホール３４とを介して引き出し電
極２５へ導出されている。菱形四角柱Ｃにおいても同様
に、電極５ｃは引き出し電極１７へ、電極４ｃは裏面電
極２４' とスル―ホール３３を介して引き出し電極２４
へ、電極７ｃは引き出し電極１６へ、電極６ｃは裏面電
極２３' とスルーホール３３とを介して引き出し電極２
３へ導出されている。

【００１４】図２（ｂ）は、各電極の接続状態を示して
いる。コリオリ力を検出する励振電極６ｃ、７ｃには、
アンプ４０が接続されて、その出力端子４１から差動増
幅による電圧変化分が出力され、出力端子４１とアース
端子４２との間から検出出力が得られる。各励振電極６
ａ、７ａ、６ｂ、７ｂおよび６ｃ、７ｃは、それぞれ抵
抗を介してドライブ電源４３の一方の極に接続され、ド
ライブ電源４３の他方の極は、アースおよびサンドイッ
チ電極９ａ、９ｂ、９ｃに接続されている。モニタ電極
４ａ、５ａは、共に抵抗を介してモニタ端子Ｍ₃ に接続
され、モニタ電極４ｂ、５ｂは、共に抵抗を介してモニ
タ端子Ｍ₁ に接続され、モニタ電極４ｃ、５ｃは、共に
抵抗を介してモニタ端子Ｍ₂ に接続されている。励振電
極６ａ、７ａ、６ｃ、７ｃおよび６ｂ、７ｂに電圧を印
加することによって、コリオリ検出軸Ｃは励振軸Ａ、Ｂ
によって両側から音叉励振される共に、自らも励振電極
６ｃ、７ｃへの電圧印加によって励振する。従つて、コ
リオリ検出軸Ｃの振幅は励振軸Ａ、Ｂよりも大きく増幅
されることになる。従って、図４に示すように、ある瞬
間の励振方向は音叉励振のため励振軸Ａ、Ｂ（３６の向
きに撓む) とは逆の向き( ３７の向きに撓む) になり、
音叉励振のため、次の瞬間の励振方向は３６と３７とは
それぞれ逆向きになる。また、菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃの
励振は、それぞれモニタ端子Ｍ₃ 、Ｍ₁ 、Ｍ₂ を通じて
モニタされるが、コリオリ検出軸Ｃのみのモニタ端子Ｍ
₂ でモニタし、Ｍ₁ 、Ｍ₃ は省略することもできる。

【００１５】次に、各菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃが図２
（ａ）の矢印３８の面内方向に励振されるメカニズムに
ついて励振軸Ａを例にとって説明する。励振軸Ａの各電
極６ａ、７ａに図２（ｂ）に示すようにドライブ電源４
３から電圧を交互に印加すると、例えば図２（ｂ）に示
す極性の電圧印加では、励振軸Ａの励振電極６ａ、７ａ
の内部電荷＋が反転して−になるため、４４の部分が、
図４（ａ）に示すように４５の方向に縮み、結果として
励振軸Ａは３６方向に撓むことになり、コリオリ検出軸
Ｃは、励振軸Ａとの音叉構造によって矢印３７の方向に
撓ませられる。同様に励振軸Ｂとコリオリ検出軸Ｃとの
もう一方の音叉構造によっても、コリオリ検出軸Ｃは矢
印３７の方向に撓ませられるため、振幅は増幅される。

【００１６】次にコリオリ力検出のメカニズムについて
説明する。図２（ａ）の矢印３８の面内方向に常時励振
している菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃに、図５に示すように、
検出軸４６に対して４７方向の角速度が加わると、菱形
四角柱Ａ、Ｂ、Ｃには、図２（ａ）の矢印３９方向のコ
リオリ力が発生し、菱形四角桂Ａ、Ｂ、Ｃは図５のよう
に面垂直方向４８、４９方向に撓みを生じることにな
る。コリオリ力による菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃの面垂直撓
みの方向は、励振の方向によって決まるため、ある瞬間
では菱形四角柱ＡとＢとは同方向( ４８の方向) に撓
み、 菱形四角柱Ｃは逆方向（４９の方向) に撓むことに
なる。また、次の瞬間では、菱形四角柱Ａ、Ｂ、Ｃはそ
れぞれ逆方向に撓んで振動を繰り返すことになる。菱形
四角柱Ｃが４９の方向に撓むと、図２（ｂ）において励
振電極６ｃは伸び、７ｃは縮むことになるため、コリオ
リ検出電極( 励振電極を兼ねる）６ｃ、７ｃの差動出力
端子４１とアース端子４２とによって、コリオリ力に比
例した電位差を差動で取り出すことが可能となる。

【００１７】以上のように、本実施の形態によれば、振
動子が三脚音叉構造であるため、コリオリ力が発生した
ときの菱形四角柱三脚音叉振動子Ｚにかかる回転モーメ
ントＭは、図６に示すように、＋Ｍ、−Ｍの逆等モーメ
ントとなるため、コリオリ力によって菱形四角柱Ａ、
Ｂ、Ｃに発生する回転モーメントは、四角柱基台Ｄでは
キヤンセルされた形になり、固定部Ｊではモーメントの
発生はほとんどゼロになる。このため、この菱形四角柱
三脚音叉振動子Ｚを固定部Ｊで固定した場合は、固定の
度合いによってコリオリ力検出精度が影響を受けること
がなくなり、検出精度が極めて高いものとなる。また、
この菱形四角柱三脚音叉振動子Ｚは、板状圧電素子材か
らの切り出し構造としているため、接着剤による貼り合
わせ部がなく、接着バラツキおよび接着剤の温度特性の
影響がないこと、および寸法バラツキが加工精度で決定
されるため、組立精度のバラツキが重畳されず、角速度
検出精度のバラツキを最小限に抑えることができる。ま
た、信号線の引き回しが振動の影響の少ない四角柱基台
Ｄの片面側で行うため、線材の振れが角速度検出精度に
影響を与えることはない。なお、各引き出し電極から回
路基板などへの信号線接続は、半田付け以外にワイヤボ
ンディングで行うこともできる。

【００１８】図７は上記菱形四角柱三脚音叉振動子Ｚを
組み込んだ一次元角速度センサ、図８は三次元角速度セ
ンサを示す。菱形四角柱三脚音叉振動子Ｚは、固定部Ｊ
を５０、５１でスポット溶接された板バネ５２で基台５
３に固定されており、前述した各電極１１、１２、１
３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２
１、２２、２３と回路基板５４に形成されたパッド５
５、５６、５７、５８、５９、６０、６１、６２、６
３、６４、６５、６６、６７とはボンディングワイヤに
て接続され、検出および励振回路を含むプリント回路基
板５４、６８と共に気密封止される。菱形四角柱三脚音
叉振動子Ｚからの出力は、回路基板５４から回路基板６
８を介して基台５３に絶縁固定されたリードピン６９、
７０、７１、７２に導出される。図８に示す３次元角速
度センサは、振動子Ｚ、Ｚ’、Ｚ”を互いに直交するよ
うに配置し、ｘ、ｙ、ｚ３軸方向の角速度を検知するよ
うにしたものであり、詳細説明は省略する。

【００１９】

【発明の効果】本発明は、以下に示すような効果を有す
る。 １）三脚音叉構造としているため、 コリオリ力発生時の
回転モーメントがキャンセルでき、 振動ロスを最小限に
できると共に、固定部の検出精度に対する影響をなくす
ことができるため、角速度検出が高精度で実現できる。 ２）三脚音叉構造としているため、コリオリ検出軸を両
側から励振することができ、振幅を増幅して高感度の角
速度センサを実現できる。 ３) 振動子を板状圧電素子材からの切り出しによって形
成しているため、接着剤による貼り合わせ部がなく、検
出精度を高めることができる。 ４）信号線の接続を振動子ではなく、四角柱基台で実施
しているため、検出精度に影響を及ぼさず、検出精度を
安定化できる。 ５）信号線の取り出しをハンダ付けではなく、ワイヤボ
ンディングで実施した場合には、 超小型化に対応できる
と共に、 検出精度への影響もなくすことができる。 ６）菱形四角柱の各面に配置された各電極を振動の影響
の少ない菱形四角柱基台部の片面だけに導出することに
より、信号線の接続作業を容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施の形態における角速度セン
サ振動子の表面側の斜視図 （ｂ）本発明の実施の形態における角速度センサ振動子
の裏面側の斜視図

【図２】（ａ）同振動子の平面図 （ｂ）同振動子の結線図

【図３】（ａ）同振動子を切り出す前の板状圧電素子材
の分極方向を示す部分斜視図 （ｂ）同振動子を切り出す前の板状圧電素子材の斜視図

【図４】（ａ）同振動子の動作を示す概略図 （ｂ）同振動子の動作を示す斜視図

【図５】同振動子のコリオリ発生時の撓み方向を示す斜
視図

【図６】（ａ）同振動子のコリオリ力印加時の発生モー
メントを示す平面図 （ｂ）同振動子のコリオリ力印加時の発生モーメントを
示す正面図

【図７】同振動子を組み込んだ一次元角速度センサの構
造を示す斜視図

【図８】同振動子を組み込んだ三次元角速度センサの構
造を示す斜視図

【図９】（ａ）従来の角速度センサ（通常励振時）を示
す斜視図 （ｂ）従来の角速度センサ（コリオリ発生時）を示す斜
視図

【図１０】（ａ）非共振角速度センサの共振点を示す特
性図 （ｂ）共振角速度センサの共振点を示す特性図

【符号の説明】

１ 板状圧電素子材 ２、３ 圧電シート ４、５ モニタ電極 ６、７ 励振電極（コリオリ検出電極兼用） ８ 面取りされた頂点部分 ９ サンドイッチ電極 Ａ、Ｂ、Ｃ 菱形四角柱 Ｄ 四角柱基台 Ｊ 固定部 Ｚ 菱形四角柱三脚音叉振動子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 啓之 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 BB02 BB15 CC01 CC06 CC20 CD02 CD06

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面二等辺三角形の底面どうしを貼り合
   わせて各頂点部分を面取りしたバイモルフ圧電素子から
   なる３本の菱形四角柱を配置して基台部と共に三脚音叉
   を構成し、菱形四角形の配列方向側に隣接するそれぞれ
   ２つの面に一対の励振電極と一対のモニタ電極とを配置
   し、３本の菱形四角柱のうちの中央の菱形四角柱または
   両端の他の２本の菱形四角柱のうちの１本もしくは２本
   の菱形四角柱に形成された励振電極をコリオリ検出電極
   として利用し、かつバイモルフ接合面にサンドイッチ電
   極を配置したことを特徴とする角速度検出用の菱形四角
   柱三脚音叉振動子。
2. 【請求項２】 菱形四角柱の各面に配置された各電極が
   基台の片面に導出されていることを特徴とする請求項１
   記載の菱形四角柱三脚音叉振動子。
3. 【請求項３】 ３本の菱形四角柱がバイモルフ構造の板
   状圧電素子材からの切り出しにより形成されていること
   を特徴とする請求項１または２記載の菱形四角柱三脚音
   叉振動子。
4. 【請求項４】 各励振電極をドライブ電源の一方の極側
   に接続し、ドライブ電源の他方の極側をアースおよびサ
   ンドイッチ電極に接続し、モニタ電極をモニタ端子に接
   続したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記
   載の菱形四角柱三脚音叉振動子。
5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載の菱形
   四角柱三脚音叉振動子の固定部を板バネで基台に固定す
   ると共に、基台に絶縁配置されたリードピンと菱形四角
   柱三脚音叉振動子の各電極とをワイヤボンディング工法
   によって接続し、検出および励振回路を含むプリント基
   板と共に気密封止したことを特徴とする角速度センサ。