JPH08170917A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- JPH08170917A JPH08170917A JP6314869A JP31486994A JPH08170917A JP H08170917 A JPH08170917 A JP H08170917A JP 6314869 A JP6314869 A JP 6314869A JP 31486994 A JP31486994 A JP 31486994A JP H08170917 A JPH08170917 A JP H08170917A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動子からのリード線の配線作業性を向上す
ること。 【構成】 音叉型振動子１が基台８に対して略平行に配
設され、かつクランプ９により互いに結合されている。
基台８には、振動子１を間に挟むような配置形態にてリ
ードピン６が突出して保持してある。このリードピン６
は振動子１の側方に位置していて、略直線上に並んでい
る。振動子１には基台８の表面に対向する面を除く面
に、それぞれ検知用圧電素子２、参照用圧電素子３、及
び駆動用圧電素子４が形成されている。そして、これら
素子２、３、４とリードピン６とが金属細線７にて接続
されている。このように、リードピン６が振動子１の側
方に位置させ、且つ基台８の表面に対向しない振動子１
の側面に各素子２〜４を設けているため、該素子２〜４
とリードピン６との接続作業が容易である。
ること。 【構成】 音叉型振動子１が基台８に対して略平行に配
設され、かつクランプ９により互いに結合されている。
基台８には、振動子１を間に挟むような配置形態にてリ
ードピン６が突出して保持してある。このリードピン６
は振動子１の側方に位置していて、略直線上に並んでい
る。振動子１には基台８の表面に対向する面を除く面
に、それぞれ検知用圧電素子２、参照用圧電素子３、及
び駆動用圧電素子４が形成されている。そして、これら
素子２、３、４とリードピン６とが金属細線７にて接続
されている。このように、リードピン６が振動子１の側
方に位置させ、且つ基台８の表面に対向しない振動子１
の側面に各素子２〜４を設けているため、該素子２〜４
とリードピン６との接続作業が容易である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、角速度センサに関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の角速度センサとして、実
開平５−７１７１５号公報に記載されたものがある。こ
の角速度センサは、いわゆる振動型の角速度センサで、
振動子を振動駆動し、角速度が加わった時に発生するコ
リオリの力を振動子の変位として検出し、角速度を検出
するものである。ここにおいて、振動子の互いに直交す
る方向の面に貼付けられた駆動用の圧電素子と検出用の
圧電素子からのリード線との配線は、リード線の空中引
き回し長さを最短距離にすると共に、リード線の配線作
業の工数を削減する為に、前述の圧電素子に近接する位
置に配線部材又は、プリント基板を配置し、これとリー
ド線を結線することが行われている。
開平５−７１７１５号公報に記載されたものがある。こ
の角速度センサは、いわゆる振動型の角速度センサで、
振動子を振動駆動し、角速度が加わった時に発生するコ
リオリの力を振動子の変位として検出し、角速度を検出
するものである。ここにおいて、振動子の互いに直交す
る方向の面に貼付けられた駆動用の圧電素子と検出用の
圧電素子からのリード線との配線は、リード線の空中引
き回し長さを最短距離にすると共に、リード線の配線作
業の工数を削減する為に、前述の圧電素子に近接する位
置に配線部材又は、プリント基板を配置し、これとリー
ド線を結線することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の構成に
おいては、検出側の圧電素子とプリント基板とが間隔を
介し対面していて、この間隔の部分を介して該圧電素子
とプリント基板とを接合する為、該間隔部分での接合作
業が煩しく手間を要するという問題がある。また、上記
従来の構成の別例（上記実開平５−０７１７１５号公報
の図６参照）においては、上記間隔を介した接合作業を
回避する為、振動子を囲む形状の水平なプリント基板を
配置している。
おいては、検出側の圧電素子とプリント基板とが間隔を
介し対面していて、この間隔の部分を介して該圧電素子
とプリント基板とを接合する為、該間隔部分での接合作
業が煩しく手間を要するという問題がある。また、上記
従来の構成の別例（上記実開平５−０７１７１５号公報
の図６参照）においては、上記間隔を介した接合作業を
回避する為、振動子を囲む形状の水平なプリント基板を
配置している。
【０００４】しかし、前記囲む形状へのプリント基板の
加工が複雑である上、振動子の長手方向を囲む形状プリ
ント基板が配置されているので、プリント基板に対して
振動子が高く立っている状態となっており、圧電素子か
らのプリント基板へリード線を接合する際の手段（例え
ば半田ゴテ）と干渉し易く、接合の作業が煩しいとい問
題がある 本発明は、前記課題を解決するためになされたものであ
り、振動子からのリード線の配線の作業性が良好な角速
度センサを提供することを目的とする。
加工が複雑である上、振動子の長手方向を囲む形状プリ
ント基板が配置されているので、プリント基板に対して
振動子が高く立っている状態となっており、圧電素子か
らのプリント基板へリード線を接合する際の手段（例え
ば半田ゴテ）と干渉し易く、接合の作業が煩しいとい問
題がある 本発明は、前記課題を解決するためになされたものであ
り、振動子からのリード線の配線の作業性が良好な角速
度センサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、振動子と、前記振動子を支
持する基台と、前記基台に形成され、前記振動子を挟持
するように前記振動子の側方に位置する一対の接続手段
と、前記基台と前記振動子とが略平行となるようにして
該基台の表面上に前記振動子を支持する支持手段と、前
記振動子と前記接続手段とを電気的に接続するリード部
と、を具備したという技術的手段を採用するものであ
る。
め、請求項１記載の発明は、振動子と、前記振動子を支
持する基台と、前記基台に形成され、前記振動子を挟持
するように前記振動子の側方に位置する一対の接続手段
と、前記基台と前記振動子とが略平行となるようにして
該基台の表面上に前記振動子を支持する支持手段と、前
記振動子と前記接続手段とを電気的に接続するリード部
と、を具備したという技術的手段を採用するものであ
る。
【０００６】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記一対の接続手段は、前記基台の表面か
ら前記突出するピン部材であるという技術的手段を採用
するものである。請求項３記載の発明は、請求項２記載
の発明において、 前記ピン部材は複数有しており、該
複数の前記ピン部材は直線上に配置されているという技
術的手段を採用するものである。
明において、前記一対の接続手段は、前記基台の表面か
ら前記突出するピン部材であるという技術的手段を採用
するものである。請求項３記載の発明は、請求項２記載
の発明において、 前記ピン部材は複数有しており、該
複数の前記ピン部材は直線上に配置されているという技
術的手段を採用するものである。
【０００７】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記基台の表面に電極パターンを有する基
板が配置されており、前記一対の接続手段は、前記電極
パターンにより構成されているという技術的手段を採用
するものである。請求項５記載の発明は、請求項１〜４
何れか一つに記載の発明において、前記振動子は音叉構
造を有しているという技術的手段を採用するものであ
る。
明において、前記基台の表面に電極パターンを有する基
板が配置されており、前記一対の接続手段は、前記電極
パターンにより構成されているという技術的手段を採用
するものである。請求項５記載の発明は、請求項１〜４
何れか一つに記載の発明において、前記振動子は音叉構
造を有しているという技術的手段を採用するものであ
る。
【０００８】請求項６記載の発明は、請求項１〜５何れ
か一つに記載の発明において、前記振動子には、前記基
台表面に対向する部位を除く側面及び上面に駆動用圧電
素子、、検知用圧電素子、及び参照用圧電素子が形成さ
れているという技術的手段を採用するものである。請求
項７記載の発明は、請求項１〜６何れか一つに記載の発
明において、前記リード部は金属細線であるという技術
的手段を採用するものである。
か一つに記載の発明において、前記振動子には、前記基
台表面に対向する部位を除く側面及び上面に駆動用圧電
素子、、検知用圧電素子、及び参照用圧電素子が形成さ
れているという技術的手段を採用するものである。請求
項７記載の発明は、請求項１〜６何れか一つに記載の発
明において、前記リード部は金属細線であるという技術
的手段を採用するものである。
【０００９】
【作用効果】請求項１、２、５、６、７記載の発明で
は、振動子と基台の接続手段との電気的接続が容易であ
り、製造工程が簡易化できる。請求３記載の発明では、
ピン部材の直線上の配置により、連続的に振動子と基台
の接続手段とを電気的に接続することができ、同様に該
電気的接続が容易である。
は、振動子と基台の接続手段との電気的接続が容易であ
り、製造工程が簡易化できる。請求３記載の発明では、
ピン部材の直線上の配置により、連続的に振動子と基台
の接続手段とを電気的に接続することができ、同様に該
電気的接続が容易である。
【００１０】請求項４記載の発明では、接続手段が基板
の電極パターンであって、平面的な接続が行えるため、
なお一層、接続が容易となる。
の電極パターンであって、平面的な接続が行えるため、
なお一層、接続が容易となる。
【００１１】
【実施例】本発明の第１の実施例を第１図及び第２図を
用い説明する。まず、最初に振動子の周辺部分を第１図
を用い説明する恒弾性合金で形成された角柱音叉型の振
動子１に、圧電素子２，３，４，が接着等の手段により
貼付けられる。ここにおいて、圧電素子２は検知用，圧
電素子３は参照用，圧電素子４は駆動用の素子であり、
これらの圧電素子の配置関係は、図１に示すように、基
第８の表面に対向する部位を除くようにして、角柱音叉
振動子１の正面先端部に検知用素子２から貼り付けら
れ、それと直交する角柱音叉振動子１の側面に参照用素
子３が貼り付けられ、それと同一面で角柱音叉振動子１
の支持部側に、駆動用素子４が貼つけられている。駆動
用素子４に交流電圧を印加すると、その長手方向に伸縮
する為、角柱音叉振動子１を駆動用素子１の貼付面に直
交する方向へたわみ振動を発生する。このたわみ振動の
状態は、参照用素子３で参照され、この信号を用いた回
路の自励振動系において、振動の安定化の為に利用され
る。今、ここに角速度が入力した時、前記振動の速度方
向と直交する方向にコリオリ力が発生し、角柱音叉振動
子１は、検知素子２の貼付けられた面と直交する方向
に、たわみ振動が発生する。（ここで、角柱音叉振動子
１の角音片は、逆方向にたわむ。何故ならば、先述の駆
動振動は、音叉の対象振動（駆動素子貼付面と直交する
方向の）を利用する為、コリオリ力の方向の音叉の角音
片で、逆方向になる）このたわみ振動を、検知素子２で
検出し、適当な回路処理を施することで、角速度を得
る。
用い説明する。まず、最初に振動子の周辺部分を第１図
を用い説明する恒弾性合金で形成された角柱音叉型の振
動子１に、圧電素子２，３，４，が接着等の手段により
貼付けられる。ここにおいて、圧電素子２は検知用，圧
電素子３は参照用，圧電素子４は駆動用の素子であり、
これらの圧電素子の配置関係は、図１に示すように、基
第８の表面に対向する部位を除くようにして、角柱音叉
振動子１の正面先端部に検知用素子２から貼り付けら
れ、それと直交する角柱音叉振動子１の側面に参照用素
子３が貼り付けられ、それと同一面で角柱音叉振動子１
の支持部側に、駆動用素子４が貼つけられている。駆動
用素子４に交流電圧を印加すると、その長手方向に伸縮
する為、角柱音叉振動子１を駆動用素子１の貼付面に直
交する方向へたわみ振動を発生する。このたわみ振動の
状態は、参照用素子３で参照され、この信号を用いた回
路の自励振動系において、振動の安定化の為に利用され
る。今、ここに角速度が入力した時、前記振動の速度方
向と直交する方向にコリオリ力が発生し、角柱音叉振動
子１は、検知素子２の貼付けられた面と直交する方向
に、たわみ振動が発生する。（ここで、角柱音叉振動子
１の角音片は、逆方向にたわむ。何故ならば、先述の駆
動振動は、音叉の対象振動（駆動素子貼付面と直交する
方向の）を利用する為、コリオリ力の方向の音叉の角音
片で、逆方向になる）このたわみ振動を、検知素子２で
検出し、適当な回路処理を施することで、角速度を得
る。
【００１２】金属板に貫通した穴に、複数の接続手段と
してのリードピン６が、ガラス接合により配設され、ハ
ーメチック端子５が、構成されるここにおいて、複数の
リードピン６は、ハーメック端子５の同一線上にかつ直
線上に配置される。（このリードピン６の図示されてな
い側の端部は、前述の金属板を貫通しており、後述の回
路基板への結線に利用される。）そして、このハーメッ
ク端子５は、外周部をロー付により、中央部に矩形状の
穴を有する板状の金属製の基台８に接合される。尚、本
実施例において、ハーメチック端子３５と基台８は、別
部品として構成した後、一体化しているが、基台８に複
数のリードピン６を直接にガラス接合して貼り付けて、
一部品として構成してもよい。金属板を逆Ｖ形状に、折
り曲げ加工した形成された支持手段をなす、クランプ９
の両側面と、振動子１の支持部の両側面は、溶接により
後述の基台８に固定した際、検知素子２が基台８の反対
側となる様な方向で固定される。そして、この振動子１
が基台８に対し浮遊し、かつ、概略平行となる様に又、
圧電素子２，３，４とリードピン６とが近接するように
クランプ９の両端部分を、基台８に溶接することで、固
定される。これにより、基台８に形成されたリードピン
６は振動子１を挟持するようにして振動子１の側方に位
置することになる。圧電素子２，３，４とリードピン６
は、φ１００μｍの銅製の、リード部としての細線７を
半田付して、電気的な接続が施される。
してのリードピン６が、ガラス接合により配設され、ハ
ーメチック端子５が、構成されるここにおいて、複数の
リードピン６は、ハーメック端子５の同一線上にかつ直
線上に配置される。（このリードピン６の図示されてな
い側の端部は、前述の金属板を貫通しており、後述の回
路基板への結線に利用される。）そして、このハーメッ
ク端子５は、外周部をロー付により、中央部に矩形状の
穴を有する板状の金属製の基台８に接合される。尚、本
実施例において、ハーメチック端子３５と基台８は、別
部品として構成した後、一体化しているが、基台８に複
数のリードピン６を直接にガラス接合して貼り付けて、
一部品として構成してもよい。金属板を逆Ｖ形状に、折
り曲げ加工した形成された支持手段をなす、クランプ９
の両側面と、振動子１の支持部の両側面は、溶接により
後述の基台８に固定した際、検知素子２が基台８の反対
側となる様な方向で固定される。そして、この振動子１
が基台８に対し浮遊し、かつ、概略平行となる様に又、
圧電素子２，３，４とリードピン６とが近接するように
クランプ９の両端部分を、基台８に溶接することで、固
定される。これにより、基台８に形成されたリードピン
６は振動子１を挟持するようにして振動子１の側方に位
置することになる。圧電素子２，３，４とリードピン６
は、φ１００μｍの銅製の、リード部としての細線７を
半田付して、電気的な接続が施される。
【００１３】次に本実施例の全体構成を、図２により説
明する。基台８には、金属で形成された矩形形状の深血
状のシェル１１が振動子１の全体を覆う様に、全周溶接
される。この基台８には、隅部に、４ケ所貫通穴部１０
が設けられており、ここに、円柱状のゴムの両端にネジ
が設けられている防振ゴム１２が、その一端をナット１
３で取り付けられる。この防振ゴム１２の他端は、ステ
ー１４に、ナット１３で取り付けられ。このステー１４
には、図示しないが、例えば車両等の被測定体に貼り付
けられる手段が設けられており、被測定体へ取り付けら
れる。
明する。基台８には、金属で形成された矩形形状の深血
状のシェル１１が振動子１の全体を覆う様に、全周溶接
される。この基台８には、隅部に、４ケ所貫通穴部１０
が設けられており、ここに、円柱状のゴムの両端にネジ
が設けられている防振ゴム１２が、その一端をナット１
３で取り付けられる。この防振ゴム１２の他端は、ステ
ー１４に、ナット１３で取り付けられ。このステー１４
には、図示しないが、例えば車両等の被測定体に貼り付
けられる手段が設けられており、被測定体へ取り付けら
れる。
【００１４】角速度を得る為に、適当な回路処理を施す
回路基板１８は、ステー１４に、一端をナット１３−１
で固定されているスタッドボルト１５の他端側にスクリ
ュ２０でネジ締めされ、振動子１に対し基台８と反対側
に固定される。この回路基板１８へは、振動子１とは反
対側のリードピン６の端部から、リード線１６により、
電気的接続が施される。回路基板１８には、コネクタ１
９が取り付けられており、外部への信号が入出力され
る。金属板の折り曲げ加工により形成された箱状のカバ
ー１７は、前記回路基板１８を覆う様に、ステー１４に
溶接で固定される。
回路基板１８は、ステー１４に、一端をナット１３−１
で固定されているスタッドボルト１５の他端側にスクリ
ュ２０でネジ締めされ、振動子１に対し基台８と反対側
に固定される。この回路基板１８へは、振動子１とは反
対側のリードピン６の端部から、リード線１６により、
電気的接続が施される。回路基板１８には、コネクタ１
９が取り付けられており、外部への信号が入出力され
る。金属板の折り曲げ加工により形成された箱状のカバ
ー１７は、前記回路基板１８を覆う様に、ステー１４に
溶接で固定される。
【００１５】次に、本発明の第２の実施例を図３を用い
説明する。アルミナ又は、ガラス入りのエポキシ等で形
成される基板２１の表面には、複数の電極部２２が一直
線上にパターニングされている。この電極部２２から
は、図示はしていないが、後述のリードピン６との電気
的接続箇所迄電気的に導通させる為の手段、例えば、導
電性物質をパターニング印刷する等によって、電気的に
導通している。この接続箇所の部分には貫通穴が設けら
れており、基台８に配設されているリードピン６が通さ
れ、この部分で半田付けされ、前記電極部２２からリー
ドピン６へと電気的接続が成される、又基板２１の裏面
は、基台８に接着剤で貼付けられる。ここにおいて、基
台８は第１の実施例と同じく、貫通穴を有する金属板に
その穴にリードピン６をガラス接合したものである。
又、振動子１のクランプ９による基台８への固定も同様
の為、説明は省略する。
説明する。アルミナ又は、ガラス入りのエポキシ等で形
成される基板２１の表面には、複数の電極部２２が一直
線上にパターニングされている。この電極部２２から
は、図示はしていないが、後述のリードピン６との電気
的接続箇所迄電気的に導通させる為の手段、例えば、導
電性物質をパターニング印刷する等によって、電気的に
導通している。この接続箇所の部分には貫通穴が設けら
れており、基台８に配設されているリードピン６が通さ
れ、この部分で半田付けされ、前記電極部２２からリー
ドピン６へと電気的接続が成される、又基板２１の裏面
は、基台８に接着剤で貼付けられる。ここにおいて、基
台８は第１の実施例と同じく、貫通穴を有する金属板に
その穴にリードピン６をガラス接合したものである。
又、振動子１のクランプ９による基台８への固定も同様
の為、説明は省略する。
【００１６】振動子１に貼る付けられた圧電素子２，
３，４と前述の電極部２２は、φ１００μｍの銅線の細
線７を半田付することで電気的接続を得ている。本実施
例では、基板２１の表面に設けられた電極部２２で半田
付けする為、第１の実施例に較べ、半田付箇所の面積を
大きくとれる、その作業性が増す。また、リードピン６
の様に、半田付を実施する近傍に突出した構造が無いの
で、半田ゴテ等の半田付手段が干渉する恐れがなく、一
層の作業性の向上が期待できる。
３，４と前述の電極部２２は、φ１００μｍの銅線の細
線７を半田付することで電気的接続を得ている。本実施
例では、基板２１の表面に設けられた電極部２２で半田
付けする為、第１の実施例に較べ、半田付箇所の面積を
大きくとれる、その作業性が増す。また、リードピン６
の様に、半田付を実施する近傍に突出した構造が無いの
で、半田ゴテ等の半田付手段が干渉する恐れがなく、一
層の作業性の向上が期待できる。
【００１７】尚、基板２１に適当な回路素子を実装し、
回路処理機能を持たせ、回路基板と兼用すれば部品点数
の削減が可能で、一層のコストダウンが図れる。尚、第
１，２の実施例において、角柱音叉型の振動子を示した
が、特開平４−２９６６１８に記載されている直交型の
音叉振動子であってもよい。又、金属に圧電素子を貼付
けた振動子を示したが、圧電体で一体に形成された振動
子であってもよい。更には、三角性，四角柱状の振動子
であっても勿論よい。
回路処理機能を持たせ、回路基板と兼用すれば部品点数
の削減が可能で、一層のコストダウンが図れる。尚、第
１，２の実施例において、角柱音叉型の振動子を示した
が、特開平４−２９６６１８に記載されている直交型の
音叉振動子であってもよい。又、金属に圧電素子を貼付
けた振動子を示したが、圧電体で一体に形成された振動
子であってもよい。更には、三角性，四角柱状の振動子
であっても勿論よい。
【００１８】次に、細線の結線の最適設計について説明
をする。前述の様に角速度センサでは、振動子に貼付け
られた検知用の圧電素子の電圧により、適当な回路処理
を経て角速度の大きさを得ている。角速度が入力されて
いない場合、前記検知用圧電素子からは、電圧が発生し
ないのが理想であるが、実際にはオフセット電圧が発生
している。オフセット電圧は駆動電圧と同相の成分と１
８０°位相の異なる位相成分（以下Ｖ1 と呼ぶ）に分解
することが出来る。前述の回路処理の際、このＶ1 は小
さくなる様に調整手段が施されているものの、実際には
最終のセンサ出力となって表われる。つまり、Ｖ1 が変
動すると、センサ出力が変動即ち、角速度センサの精度
が低下する。図４に示す寸法（段位はｍｍ）を有する振
動子において、このＶ1 の変化量と細線の長さの関係に
検討を加えた結果、図５の関係があることを見出した。
をする。前述の様に角速度センサでは、振動子に貼付け
られた検知用の圧電素子の電圧により、適当な回路処理
を経て角速度の大きさを得ている。角速度が入力されて
いない場合、前記検知用圧電素子からは、電圧が発生し
ないのが理想であるが、実際にはオフセット電圧が発生
している。オフセット電圧は駆動電圧と同相の成分と１
８０°位相の異なる位相成分（以下Ｖ1 と呼ぶ）に分解
することが出来る。前述の回路処理の際、このＶ1 は小
さくなる様に調整手段が施されているものの、実際には
最終のセンサ出力となって表われる。つまり、Ｖ1 が変
動すると、センサ出力が変動即ち、角速度センサの精度
が低下する。図４に示す寸法（段位はｍｍ）を有する振
動子において、このＶ1 の変化量と細線の長さの関係に
検討を加えた結果、図５の関係があることを見出した。
【００１９】この結果より、細線の長さとして１５ｍｍ
以下が好適であると言える。この最適設計を実現するに
も、本発明の構成は有効である。
以下が好適であると言える。この最適設計を実現するに
も、本発明の構成は有効である。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のセンサを組み込んだ全体構成図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図４】図１及び図３に用いた振動子を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】Ｖ1 と細線全長との関係を有する特性図であ
る。
る。
１ 振動子 ２ 検知用圧電素子 ３ 参照用圧電素子 ４ 駆動用圧電素子 ６ リードピン ７ 細線 ８ 基台 ９ クランプ ２２ 電極部
Claims (7)
- 【請求項１】 振動子と、前記振動子を支持する基台
と、前記基台に形成され、前記振動子を挟持するように
前記振動子の側方に位置する一対の接続手段と、前記基
台と前記振動子とが略平行となるようにして該基台の表
面上に前記振動子を支持する支持手段と、前記振動子と
前記接続手段とを電気的に接続するリード部と、を具備
したことを特徴とする角速度センサ。 - 【請求項２】 前記一対の接続手段は、前記基台の表面
から前記突出するピン部材であることを特徴とする請求
項１記載の角速度センサ。 - 【請求項３】 前記ピン部材は複数有しており、該複数
の前記ピン部材は直線上に配置されていることを特徴と
する請求項２記載の角速度センサ。 - 【請求項４】 前記基台の表面に電極パターンを有する
基板が配置されており、前記一対の接続手段は、前記電
極パターンにより構成されていることを特徴とする請求
項１記載の角速度センサ。 - 【請求項５】 前記振動子は音叉構造を有していること
を特徴とする請求項１〜４何れか一つに記載の角速度セ
ンサ。 - 【請求項６】 前記振動子には、前記基台表面に対向す
る部位を除く側面及び上面に駆動用圧電素子、検知用圧
電素子、及び参照用圧電素子が形成されていることを特
徴とする請求項１〜５何れか一つに記載の角速度セン
サ。 - 【請求項７】 前記リード部は金属細線であることを特
徴とする請求項１〜６何れか一つに記載の角速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314869A JPH08170917A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6314869A JPH08170917A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08170917A true JPH08170917A (ja) | 1996-07-02 |
Family
ID=18058603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6314869A Withdrawn JPH08170917A (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08170917A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6182508B1 (en) | 1996-12-18 | 2001-02-06 | Denso Corporation | Structure of angular rate sensor |
| US6360600B1 (en) | 1997-04-14 | 2002-03-26 | Denso Corporation | Angular velocity sensor, related method for manufacturing the sensor, and piezoelectric vibrator element used in this sensor |
| US6739192B1 (en) | 1999-09-10 | 2004-05-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
-
1994
- 1994-12-19 JP JP6314869A patent/JPH08170917A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6182508B1 (en) | 1996-12-18 | 2001-02-06 | Denso Corporation | Structure of angular rate sensor |
| US6360600B1 (en) | 1997-04-14 | 2002-03-26 | Denso Corporation | Angular velocity sensor, related method for manufacturing the sensor, and piezoelectric vibrator element used in this sensor |
| US6739192B1 (en) | 1999-09-10 | 2004-05-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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