JP2007248187A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部2を有する基板1と、この基板1の凹部2に実装されたIC3と、前記基板1に実装され、かつ前記IC3に電気的に接続された第1の振動素子4および第2の振動素子5とを備え、前記IC3を基板1の凹部2にフェイスダウンにより実装するとともに、前記IC3上に前記第1の振動素子4と第2の振動素子5の一部が位置するように構成したものである。
【選択図】図1
Description
2 凹部
3 IC
4 第1の振動素子
4a 脚部
4b 基台
5 第2の振動素子
5a 脚部
5b 基台
6 チップ部品
7 ケース
8 IC実装部
9 注入部
10 第1の溜まり部
11 第2の溜まり部
12 素子電極
13 部品電極
14 電極間溝
15 ワイヤー
16 位置決めマーク
20 シート基板
21 分割溝
22 ノズル
23 IC用接着剤
24 素子用接着剤
25 部品用接着剤
26 回転軸
Claims (3)
- 凹部を有する基板と、この基板の凹部に実装されたICと、前記基板に取り付けられ、かつ前記ICに電気的に接続された振動素子とを備え、前記ICを前記基板の凹部にフェイスダウンにより実装するとともに、前記IC上に前記振動素子の一部が位置するように構成した角速度センサ。
- 振動素子を、振動する2本の脚部とこの2本の脚部を固定する基台とにより音叉形状に構成するとともに、前記脚部を基板の凹部の上部に配置するように構成した請求項1記載の角速度センサ。
- 振動素子を2個設け、これら2個の振動素子の検知軸を互いに90°交差させて構成した請求項1または2記載の角速度センサ。
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