JP5150637B2 - 磁気センサモジュール - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気センサモジュールを含むパッケージを示す透視斜視図である。図1に示す磁気センサモジュールは基材11であるインターポーザを備えている。基材11は、互いに対向する一対の主面を有しており、その一方の主面上にはIC12が実装されている。また、同じ主面上には、X軸用磁気センサ13a、Y軸用磁気センサ13b及びZ軸用磁気センサ13cが実装されている。なお、本実施の形態においては、3つの磁気センサを基材11に実装した場合について説明しているが、本発明においては、少なくとも一つの磁気センサが基材11上に実装されていれば良い。
モジュール基板(インターポーザ)として、一方の主面に厚さ20μmの配線を有するガラスエポキシ基板を準備した。また、図2に示すような電極パッド及び溝構造を設けた磁気センサを準備した。このとき、磁気センサの電極パッドのピッチは90μmとし、溝構造のサイズは2μm×30μmとした。また、溝構造における磁気センサの外縁部までの距離aは7μmであった。
Claims (3)
- 主面上に配線を有する基材と、一面に電極パッドが形成され、前記一面に直交する他の一面と前記基材の主面とが対向するように前記基材の主面上に第1接合材を用いて実装されるとともに、前記他の一面から前記電極パッドまで所定の距離が確保されており、前記電極パッドと前記他の一面との間に前記第1接合材を充填可能な接合材収容領域を有する磁気センサと、前記配線と前記電極パッドとを電気的に接続する第2接合材と、を具備し、前記接合材収容領域は、前記配線に近い端部に設けられた溝構造で構成されていることを特徴とする磁気センサモジュール。
- 磁気センサは、前記主面と略直交する方向に感度軸を有することを特徴とする請求項1記載の磁気センサモジュール。
- 前記配線の厚さは、前記電極パッドから前記接合材収容領域における前記磁気センサの外縁部までの距離と前記磁気センサの前記接合材収容領域以外の領域と前記基材との間の厚さとを加えた長さよりも厚いことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁気センサモジュール。
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