JPH10162333A - ヘッド装置およびこれを用いた記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ヘッドとサスペンションとの機械的および電気
的結合を容易化できるとともに安定な浮上特性または接
触特性を実現できるヘッド装置およびこれを用いた記録
再生装置を提供する。 【解決手段】情報記録媒体Ｍ上で情報の記録および再生
を行う素子３２を備えた磁気ヘッド２３と、この磁気ヘ
ッド２３の素子３２の配置領域に対向する接合面３６お
よび該接合面に沿って一体的に設けられた配線を備え、
上記接合面３６において素子３２と前記配線との電気的
な接続および磁気ヘッド２３との機械的な結合をなすサ
スペンションとを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体上で
情報の記録再生を行う素子を搭載した記録再生ヘッドを
備えたヘッド装置およびこれを用いた記録再生装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、コンピュータの外部記憶
装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置などの記
録再生装置が広く用いられている。

【０００３】このような記録再生装置、たとえば磁気記
録媒体を使用する磁気ディスク装置は、情報が記録され
る情報記録媒体である磁気ディスクと、この磁気ディス
ク上で情報の記録および再生を行う磁気ヘッドとを有
し、磁気ディスクの回転に伴なって発生する動圧を利用
して磁気ヘッドが磁気ディスク上に微少隙間を保って浮
上するように構成されている。

【０００４】図２４には従来の磁気ディスク装置で用い
ている磁気ヘッド装置における要部の概略構成が示され
ている。

【０００５】図中１は磁気ヘッドを示している。磁気ヘ
ッド１は、適宜な大きさに形成されたスライダ２と、こ
のスライダ２の後端面に薄膜形成技術などで作り込まれ
て磁気ディスクＭ上で情報の記録および再生を行う素子
３とで構成されている。なお、素子３は、磁極４を有
し、この磁極４が磁気ディスクＭ側に位置するように作
り込まれている。

【０００６】この磁気ヘッド１は、磁気ディスクＭ側に
位置する面とは反対側に位置する面のほぼ全域がヘッド
１の姿勢をディスク面に倣わせるために可撓性の部材で
形成されたジンバル５に接着剤６で固定されている。ジ
ンバル５は磁気ヘッド１を磁気ディスクＭに押し付ける
サスペンション７にスポット溶接などの手段で固定され
ている。サスペンション７の基端側は、これを回動自在
に支持する回動支持機構に接続されている。なお、サス
ペンション７にはピボット８が設けてあり、このピボッ
ト８を介して磁気へッド１の所定の位置にサスペンショ
ン７から押付力を加える構造となっている。

【０００７】一方、素子３には外部との信号の授受に供
される電極９が設けてあり、これら電極９にリード線１
０の一端側が接続され、このリード線１０の他端側はサ
スペンション７に沿って図示しない信号送受部に導かれ
ている。

【０００８】しかしながら、上記のように構成された従
来の磁気ヘッド装置にあっては次のような問題があっ
た。

【０００９】すなわち、最近では温度的に厳しい環境下
で安定した機能を発揮することが望まれている。しか
し、従来の構造では、ジンバル材料、ヘッド材料および
接着剤の熱膨張率の違いにより、磁気ヘッド１の浮上面
に、図２４中２点鎖線Ａで示すように微少な曲率変化が
生じる（クラウン形状）。この曲率変化は、磁気ヘッド
１の浮上量変動をもたらし、磁気へッド１の低浮上化お
よび記録密度向上の妨げとなっていた。

【００１０】また、最近では磁気ディスク装置の小型
化、高速化に伴なって、磁気ヘッド自体も小型化する方
向にある。このため、磁気ヘッド１と磁気ディスクＭと
の間で発生する動圧によって磁気ヘッド１を所定の姿勢
に保つ空気膜剛性が低下する方向にある。この傾向を補
って磁気ヘッド１を磁気ディスクＭに所定の姿勢で倣わ
せるには、磁気ヘッド１とサスペンション８との間に設
けられたジンバル５の柔軟性をより向上させる必要があ
る。

【００１１】しかし、従来の構造では、素子３と記録再
生アンプとの間で信号の授受を行うためのリード線１０
として比較的剛性の高いものを用いる必要があるため、
このリード線１０の剛性が磁気ヘッド１を磁気ディスク
Ｍに所定の姿勢で倣わせるのに妨げとなっていた。

【００１２】なお、この問題を解決する手段として、サ
スペンションもしくはジンバル上に、リソグラフィを用
いて配線を作り込むことが提案されている。このため、
かかる配線と磁気ヘッドに設けられる素子とを電気的に
接続する簡易な手法への要請も高まりつつある。

【００１３】また、最近では磁気ディスク装置の記録密
度向上の要求から、磁気ヘッド１と磁気ディスクＭとの
間の隙間をますます狭くする方向にあり、磁気ヘッド１
と磁気ディスクＭとが接触した状態で記録再生を行う接
触記録技術の開発も進められている。その一つの方式と
して、スライダの一部を磁気ディスクＭに接触させる方
式が提案されている（特開平７−３０７０６９号公報参
照）。この方式においては、磁気ヘッド１の一部に浮上
パッドを設け、サスペンション押付力の大部分を浮上力
で負担し、残りの小さな力を接触力に配分する。したが
って、接触力を安定に保つためには、浮上パッドにおい
て発生する浮上力を安定に保つ必要があり、浮上パッド
の姿勢がジンバルとの接着によってばらつくことは、浮
上ヘッドの場合と同じような問題が生じることになる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来の記
録再生装置におけるヘッド装置では、ヘッドとサスペン
ションとの接着による機械的結合構造に起因して環境温
度の変化に伴ってヘッド浮上面に変形が生じ、これが原
因して浮上量の変動が起こる問題があった。

【００１５】また、サスペンションもしくはジンバル上
にリソグラフィを用いて配線を作り込む場合に、これら
の配線とヘッドに設けられる記録再生用の素子とを電気
的に接続する簡易な手法の出現も望まれている。

【００１６】そこで本発明は、これらの問題を解決し、
ヘッドとサスペンションとの機械的および電気的結合を
容易化できるとともに、安定な浮上特性もしくは接触特
性を実現できるヘッド装置およびこれを用いてヘッドの
低浮上化および記録密度の向上を図れる記録再生装置を
提供することを目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係るヘッド装置では、情報記録媒体上で
情報の記録および再生を行う素子を備えたヘッドと、こ
のヘッドの前記素子の配置領域に対向する接合面および
該接合面に沿って一体的に設けられた配線を備え、上記
接合面において上記ヘッドとの機械的な結合をなすヘッ
ド支持部材とを備えている。

【００１８】また、上記目的を達成するために、請求項
２に係るヘッド装置では、情報記録媒体上で情報の記録
および再生を行う素子を備えたヘッドと、このヘッドの
前記素子の配置領域に対向する接合面および該接合面に
沿って一体的に設けられた配線を備え、上記接合面にお
いて上記素子と前記配線との電気的な接続および上記ヘ
ッドとの機械的な結合をなすヘッド支持部材とを備えて
いる。

【００１９】また、上記目的を達成するために、請求項
３に係るヘッド装置では、情報記録媒体上で情報の記録
および再生を行う素子を備えるとともに上記情報記録媒
体側に位置する面とは反対側に位置する面で上記素子の
配置領域近傍に突出部を備えたヘッドと、このヘッドの
前記突出部に対向する接合面および該接合面に沿って一
体的に設けられた配線を備え、上記接合面において上記
素子と前記配線との電気的な接続および上記ヘッドとの
機械的な結合をなすヘッド支持部材とを備えている。

【００２０】また、上記目的を達成するために、請求項
４に係るヘッド装置では、情報記録媒体上で情報の記録
および再生を行う素子を備えるとともに上記素子に電気
的に接続された第１の露出電極を備えたヘッドと、この
ヘッドの前記第１の露出電極に対向する第２の露出電極
を配置した接合面および上記第２の露出電極から上記接
合面に沿って一体的に設けられた配線を備え、上記接合
面において前記素子と前記配線との電気的な接続および
上記ヘッドとの機械的な結合をなすヘッド支持部材とを
備えている。

【００２１】なお、請求項４に係るヘッド装置におい
て、前記第１の露出電極が前記ヘッドの後端部に設けて
あり、前記ヘッド支持部材は前記ヘッドを機械的に結合
した状態下で前記接合面を形成している部分が折曲され
ていてもよい。

【００２２】さらに、請求項４に係るヘッド装置におい
て、前記ヘッド支持部材の前記接合面を形成している部
分には、前記第２の露出電極をそれぞれ独立に弾性支持
する弾性支持機構が設けられていてもよい。この弾性支
持機構は、前記第２の露出電極をそれぞれ分離配置する
ために前記接合面を形成している部分に設けられた切込
み、穴のいずれかで形成されていてもよい。

【００２３】また、各請求項に係るヘッド装置におい
て、前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドを前記情報記録
媒体上に倣わせるためのジンバル機能を備えていること
がこのましい。

【００２４】また、上記目的を達成するために、請求項
９に係る記録再生装置では、記録媒体層を備えるととも
に回転駆動される情報記録媒体と、この情報記録媒体に
対して情報の記録および再生を行う素子を備えたヘッド
と、このヘッドを先端部に搭載したヘッド支持部材と、
このヘッド支持部材の基端部を片持ち支持するとともに
回動自在に設けられた支持機構とを備えてなる記録再生
装置において、前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドの前
記素子の配置領域に対向する接合面および該接合面に沿
って一体的に設けられた配線を備え、上記接合面におい
て少なくとも上記ヘッドと機械的に結合していることを
特徴としている。

【００２５】また、上記目的を達成するために、請求項
１０に係る記録再生装置では、記録媒体層を備えるとと
もに回転駆動される情報記録媒体と、この情報記録媒体
に対して情報の記録および再生を行う素子を備えたヘッ
ドと、このヘッドを先端部に搭載したヘッド支持部材
と、このヘッド支持部材の基端部を片持ち支持するとと
もに回動自在に設けられた支持機構とを備えてなる記録
再生装置において、前記ヘッドは前記情報記録媒体側に
位置する面とは反対側に位置する面で前記素子の配置領
域近傍に突出部を備えており、前記ヘッド支持部材は前
記ヘッドの前記突出部に対向する接合面および該接合面
に沿って一体的に設けられた配線を備え、上記接合面に
おいて前記素子と上記配線との電気的な接続および上記
ヘッドとの機械的な結合をなしていることを特徴として
いる。

【００２６】また、上記目的を達成するために、請求項
１１に係る記録再生装置では、記録媒体層を備えるとと
もに回転駆動される情報記録媒体と、この情報記録媒体
に対して情報の記録および再生を行う素子を備えたヘッ
ドと、このヘッドを先端部に搭載したヘッド支持部材
と、このヘッド支持部材の基端部を片持ち支持するとと
もに回動自在に設けられた支持機構とを備えてなる記録
再生装置において、前記ヘッドは前記素子に電気的に接
続された第１の露出電極を備えており、前記ヘッド支持
部材は前記ヘッドの前記第１の露出電極に対向する第２
の露出電極を配置した接合面および上記第２の露出電極
から上記接合面に沿って一体的に設けられた配線を備
え、上記接合面において前記素子と前記配線との電気的
な接続および上記ヘッドとの機械的な結合をなしている
ことを特徴としている。

【００２７】本発明に係るヘッド装置では、ヘッドとヘ
ッド支持材との機械的結合部分がヘッドにおける素子の
配置領域あるいはその近傍のごく狭い範囲に限られる。
このため、構成材料の熱膨張率の違いによるヘッド浮上
面の曲率変動も、このごく狭い部分に限られ、それ以外
の部分は環境温度が変化しても曲率変化は生じない。し
たがって、環境温度の変化によるヘッド浮上面の曲率変
動を防止することが可能となり、ヘッドの低浮上化およ
び記録密度の向上化を図ることが可能となる。また、ヘ
ッドに設けられた第１の露出電極に対向する第２の露出
電極を配置した接合面および第２の露出電極から接合面
に沿って一体的に設けられた配線を備えてなるヘッド支
持部材を用い、上記接合面において素子と配線との電気
的な接続およびヘッドとの機械的な結合をなす構造を採
用すると、第１の露出電極と第２の露出電極とが対向し
ているので、接続用バンプ等で素子と配線とを簡単に接
続できる。この場合、ヘッド支持部材の前記接合面を形
成している部分に、第２の露出電極をそれぞれ独立に弾
性支持する弾性支持機構を設けておくと、たとえば接続
用バンプの大きさに異なりがあっても、この違いに対応
させて適切な圧力を印加した状態でたとえば超音波ボン
ディング等を実施できる。したがって、信頼性の高い電
気的接続を簡単に実現できる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら発明の
実施形態を説明する。

【００２９】図１には本発明の第１の実施形態に係るヘ
ッド装置を組み込んだ記録再生装置、ここには磁気ディ
スク装置の分解斜視図が示されている。なお、ここでは
一例として磁気ディスク装置を取り上げるが、本発明は
これに限られるものではなく、同様の構成を有する他の
ヘッド装置および記録再生装置にも適用が可能である。

【００３０】同図において、２１は磁気ディスクを示し
ている。この磁気ディスク２１はスピンドル２２に装着
されて所定の回転数で回転される。磁気ディスク２１上
で浮上もしくは接触した状態で情報の記録再生を行う磁
気ヘッド２３は、ヘッド支持部材としての薄板状のサス
ペンション２４の先端に取り付けられている。このサス
ペンション２４の基端側は、図示しない駆動コイルを保
持するボビン部等を有するアクチュエータアーム２５の
一端に接続されている。このアクチュエータアーム２５
の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモ
ータ２６が設けられている。ボイスコイルモータ２６
は、アクチュエータアーム２５のボビン部に巻かれた図
示しない駆動コイルと、これを挟み込むように対向して
配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路
とで構成されている。アクチュエータアーム２５は、固
定軸２７の上下２箇所に設けられた図示しないボールベ
アリングによって保持され、ボイスコイルモータ２６に
よって回転揺動が自在にできるようになっている。

【００３１】磁気ヘッド２３およびサスペンション２４
は図２および図３に示すように構成されている。

【００３２】すなわち、磁気ヘッド２３は、スライダ３
１と、このスライダ３１の後端面に薄膜形成技術などで
作り込まれて磁気ディスクＭ上で情報の記録および再生
を行う素子３２とで構成されている。ここでは再生素子
としてＭＲ素子を用いる場合について説明する。素子３
２は、記録用の磁極と再生用の磁極とを有し、これら磁
極が磁気ディスクＭ側に位置するように作り込まれてい
る。磁気ヘッド２３の磁気ディスクＭ側に位置する面と
は反対側に位置する面で、素子３２が作り込まれている
領域の近傍にはサスペンション２４側に向けて局部的に
突出した突部３３が形成されている。また、素子３２の
端面、つまり磁気ヘッド２３の後端面で、突部３３が形
成されている部分に近い位置には、外部との信号の授受
に供される電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂが上述
した磁極１個につき２個の割合に露出状態で設けられて
いる。

【００３３】一方、サスペンション２４は、ジンバル機
能を発揮するように構成されている。そして、このサス
ペンション２４の先端部で、前述した磁気ヘッド２３の
突部３３および素子３２の配置領域に対向する面には接
合面３６が設定されている。サスペンション２４の接合
面３６が設定されている側の面にはリソグラフィ技術に
よって４本の図示しない配線が絶縁被覆された状態に形
成されている。そして、接合面３６には、図３に示すよ
うに、電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂと９０゜の
開き角をなす関係に電極３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８
ｂが露出状態に、かつ配線と接続状態に設けられてい
る。なお、配線の他端側はサスペンション２４に表面に
沿ってサスペンション２４の基端側へと導かれている。

【００３４】このように形成されたサスペンション２４
に対して磁気ヘッド２３が次のように電気的および機械
的に接続されている。すなわち、磁気ヘッド２３に設け
られた突部３３の図中上面が接着剤３９によってサスペ
ンション２４に設定された接合面３６に固定され、また
磁気ヘッド２４に設けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５
ａ，３５ｂとサスペンション２４の接合面３６に設けら
れた電極３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂの対応するも
の同士とが金ボール４０による超音波ボンデングによっ
て接続されている。

【００３５】このように、この例では、磁気ヘッド２３
とヘッド支持材であるサスペンション２４との機械的結
合部分を磁気ヘッド２３における素子３２の配置領域あ
るいはその近傍のごく狭い範囲に限定している。このた
め、構成材料の熱膨張率の違いによるヘッド浮上面の曲
率変動も、このごく狭い部分に限られ、それ以外の部分
は環境温度が変化しても曲率変化は生じない。したがっ
て、環境温度の変化によるヘッド浮上面の曲率変動を防
止することが可能となり、ヘッドの低浮上化および記録
密度の向上化を図ることが可能となる。

【００３６】また、磁気ヘッド２３におけるサスペンシ
ョン２４への接着固定部をスライダ３１の端部に設定し
ているので、スライダ３１の中央部に接着固定部が設定
されている場合と比較して、たとえば全体が凸に変形し
た場合での周辺部と頂点との高さの差を著しく小さくで
き、ヘッド浮上量変動という観点からはほとんど影響が
ないものとなる。

【００３７】また、磁気ヘッド２３に設けられた電極３
４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂに対して９０゜の開き角
をなすようにサスペンション２４側にも電極３７ａ，３
７ｂ，３８ａ，３８ｂを設けているので、対応する電極
同士を容易に接続することができ、サスペンション２４
側にリソグラフィ技術で配線を設けたことによる利点を
最大に発揮させることができる。

【００３８】図４には本発明の第２の実施形態に係るヘ
ッド装置、ここにも磁気ディスク装置に適用されるヘッ
ド装置が示されている。

【００３９】このヘッド装置も、大きく分けると、磁気
ヘッド２３ａと、先端部で磁気ヘッド２３ａを支持する
ヘッド支持部材としてのサスペンション２４ａとで構成
されている。

【００４０】磁気ヘッド２３ａは、スライダ３１と、こ
のスライダ３１の後端面に薄膜形成技術などで作り込ま
れて磁気ディスク上で情報の記録および再生を行う素子
３２とで構成されている。なお、素子３２は、記録用の
磁極と再生用の磁極とを有し、これら磁極が磁気ディス
ク側に位置するように作り込まれている。この例に係る
磁気ヘッド２３ａでは、図８に示すように、素子３２の
磁気ディスク側に位置する面とは反対側に位置する面に
外部との信号の授受に供される電極３４ａ，３４ｂ，３
５ａ，３５ｂが上述した磁極１個につき２個の割合に露
出状態で設けられている。

【００４１】一方、サスペンション２４ａは、バネ性の
ある高強度材料、たとえばバネ用ステンレス鋼やリン青
銅などで形成されており、具体的には図５に示すように
形成されている。すなわち、サスペンション２４ａの裏
面には磁気ヘッド２３ａと記録・再生アンプとの信号伝
送のための４本の配線４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ
が設けられている。この配線４１ａ，４１ｂ，４２ａ，
４２ｂは銅で形成されている。また、サスペンション２
４ａの先端部裏面には接合面４３が設定されている。そ
して、この接合面４３を形成している先端部４４には、
サスペンション２４ａの長手方向に延びる切込み４５が
幅方向に３本形成されており、これらの切込み４５によ
って先端部４４が弾性を持った４本のフィンガー４６
ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄに分割されている。

【００４２】各フィンガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４
６ｄの裏面には、対応する配線４１ａ，４１ｂ，４２
ａ，４２ｂに接続されるとともに磁気ヘッド２３ａに設
けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂとの電気
的接続に供される電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ
が露出状態で設けられている。

【００４３】なお、配線４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２
ｂは、具体的には図６に示すように、サスペンション２
４ａの裏面に設けられた絶縁層５０の上に形成され、さ
らにその上に形成された絶縁性のオーバーレイ層５１に
よって保護されている。また、電極４７ａ，４７ｂ，４
８ａ，４８ｂは、図７に示すように、各フインガ−４６
ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄの裏面に設けられた絶縁層
５２の上に形成され、その周囲が剥離防止ののための絶
縁性のオーバーレイ層５３で囲まれている。そして、露
出している表面は変質防止のためメッキ層５４で保護さ
れている。絶縁層５０，５２、オーバレイ層５１，５３
としては、有機絶縁材料、たとえばエポキシ、ポリイミ
ド樹脂などが用いられ、メッキ層５４としてはニッケ
ル、金などが用いられている。

【００４４】このように形成されたサスペンション２４
ａに対して磁気ヘッド２３ａが次のように電気的および
機械的に接続されている。すなわち、サスペンション２
４ａの各フインガー４６ａ，４６ｂ，４５ｃ，４６ｄの
上に形成された各電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ
の上に金ボールバンプ５５を形成し、これら金ボールバ
ンプ５５の上に磁気ヘッド２３ａに形成された電極３４
ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂを圧接し、この状態で各フ
インガー毎に、各フインガーの表面に超音波ツールで超
音波を作用させ、これによって電極４７ａ，４７ｂ，４
８ａ，４８ｂと電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂと
を超音波ボンデングしたものとなっている。

【００４５】図１０には金ボールバンプを用いた超音波
ボンディング技術によりサスペンション２４ａと磁気ヘ
ッド２３ａとを接続する場合の工程図が示されている。

【００４６】まず、サスペンション２４ａ上の電極４７
ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ上に金ボールバンプ５５を
それぞれワイヤボンディング法で形成する。

【００４７】次に、サスペンション２４ａ上のバンプ部
分と磁気ヘッド２３ａに設けられた電極３４ａ，３４
ｂ，３５ａ，３５ｂとを対向、位置決めした後に加圧
し、各フインガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄの表
面側に配置された超音波ツールにより金ボールバンプ５
５と磁気ヘッド２３ａの電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，
３５ｂとの接続部に超音波を印加することで両者を接続
する。

【００４８】この場合、独立して弾性変形可能なフイン
ガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ上に電極４７ａ，
４７ｂ，４８ａ，４８ｂが設けられているので、金ボー
ルバンプ５５の大きさにばらつきがあった場合でも、図
９に示すように、各フインガーを変形させることによっ
て各接続部に最適な加圧力を印加した状態で超音波ボン
ディングを実行でき、信頼性の高い接続を行うことがで
きる。

【００４９】次に、接続部に液状樹脂５６を滴下し、サ
スペンション２４ａと磁気ヘッド２４ａとの機械的結合
強度を増加させる（図４参照）。この場合、フインガー
４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄを形成するために設け
た切込み４５の存在により、液状樹脂がサスペンション
２４ａと磁気ヘッド２３ａとの接続部分に適切に回り込
み、液状樹脂により好ましいる補強を実現することがで
きる。なお、液状樹脂による補強、封止は使用条件など
に応じて省略することができる。

【００５０】この例においても、磁気ヘッド２３ａにお
けるサスペンション２４ａへの固定部をスライダ３１の
端部に設定しているので、スライダ３１の中央部に固定
部が設定されている場合と比較して、たとえば全体が凸
に変形した場合での周辺部と頂点との高さの差を著しく
小さくできる。

【００５１】また、この例では、独立して弾性変形可能
なフインガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ上に電極
４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂを設けているので、磁
気ヘッド２３ａとサスペンション２４ａとを金ボールバ
ンプ５５を用いた超音波ボンディング技術で接続した場
合、金ボールバンプ５５の大きさにばらつきがあって
も、この大きさのばらつきをフィンガー高さの変化で吸
収することができるので、安定した接続を実現すること
ができる。

【００５２】図１１には本発明の第３の実施形態に係る
ヘッド装置、ここにも磁気ディスク装置に適用されるヘ
ッド装置が示されている。

【００５３】このヘッド装置も、大きく分けると、磁気
ヘッド２３ｂと、先端部で磁気ヘッド２３ｂを支持する
ヘッド支持部材としてのサスペンション２４ｂとで構成
されている。

【００５４】磁気ヘッド２３ｂは、先に説明した第２の
実施形態における磁気ヘッドと全く同じ構造に形成され
ている。したがって、同一部分を同一符号で示し、重複
する部分の詳しい説明は省略する。

【００５５】この例に係る磁気ヘッド装置が先に説明し
た第２の実施形態に係る磁気ヘッド装置と異なる点は、
サスペンション２４ｂにおいて接合面４３を形成してい
る先端部４４の形状にある。

【００５６】先に説明した第２の実施形態に係る磁気ヘ
ッド装置では、先端部４４に３本の切込みを設け、この
切込みで４本の独立したフインガーを構成し、これらフ
インガーにそれぞれ電極を設けているが、この例では切
込みの代わりに長穴５７を３本設け、この長穴５７の存
在で実質的に弾性変形可能に分離された４本の分離片５
８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄを設け、これら分離片５
８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄの裏面に第２の実施形態
と同様に構成された電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８
ｂを設けている。

【００５７】このように形成されたサスペンション２４
ｂに対して磁気ヘッド２３ｂが次のように電気的および
機械的に接続されている。すなわち、サスペンション２
４ｂの各分離片５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄの上に
形成された各電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂの上
に、図１３に示すように、金ボールバンプ５５を形成
し、これら金ボールバンプ５５の上に異方性導電ペース
ト５９を塗布し、その上に磁気ヘッド２３ｂに形成され
た電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂを圧接し、この
状態で加圧、加熱し、これによって電極４７ａ，４７
ｂ，４８ａ，４８ｂと電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３
５ｂとを接続したものとなっている。

【００５８】図１４には金ボールバンプ５５および異方
性導電ペースト５９を用いたボンディング技術により磁
気ヘッド２３ｂとサスペンション２４ｂとを接続する場
合の工程図が示されている。

【００５９】まず、サスペンション２４ｂに設けられた
電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ上に、金ボールバ
ンプ５５をワイヤボンディング法で形成する。

【００６０】次に、サスペンション２４ｂに形成された
電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂと磁気ヘッド２３
ｂに設けられ３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂとを対向
させ、その部分に異方性導電ぺースト５９を塗布し、位
置決めした上で加圧・加熱することで、金ボールバンプ
５５と磁気ヘッド２３ｂの電極３４ａ，３４ｂ，３５
ａ，３５ｂとを接続する。

【００６１】この場合、独立して弾性変形可能な分離片
５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ上に電極４７ａ，４７
ｂ，４８ａ，４８ｂが設けられているので、金ボールバ
ンプ５５の大きさにばらつきがあった場合でも、図１３
に示すように、各分離片を弾性変形させることによって
各接続部に均一に加圧力を印加した状態でボンディング
を実行でき、信頼性の高い接続を行うことができる。さ
らに、長穴５７の存在により異方性導電ペーストの接着
面積が増大するため、さらに良好な接合強度を得ること
ができる。

【００６２】したがって、この例に係るヘッド装置にお
いても第２の実施形態に係るヘッド装置と同様の効果を
得ることができる。

【００６３】図１５には本発明の第４の実施形態に係る
ヘッド装置、ここにも磁気ディスク装置に適用されるヘ
ッド装置が示されている。

【００６４】このヘッド装置も、大きく分けると、磁気
ヘッド２３ｃと、先端部で磁気ヘッド２３ｃを支持する
ヘッド支持部材としてのサスペンション２４ｃとで構成
されている。

【００６５】磁気ヘッド２３ｂは、先に説明した第２、
第３の実施形態における磁気ヘッドと同様に、スライダ
３１と、このスライダ３１の後端面に薄膜形成技術など
で作り込まれて磁気ディスク上で情報の記録および再生
を行う素子３２とで構成されている。なお、素子３２
は、記録用の磁極と再生用の磁極とを有し、これら磁極
が磁気ディスク側に位置するように作り込まれている。
そして、この磁気ヘッド２３ｃでは、後端面に外部との
信号の授受に供される電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３
５ｂ（ただし、電極３４ｂ，３５ａ，３５ｂは図示せ
ず）が上述した磁極１個につき２個の割合に露出状態で
設けられている。

【００６６】一方、サスペンション２４ｃは、ジンバル
機能を発揮するように構成されており、先端部に９０゜
に折り曲げた折曲部６０を備えている。そして、この折
曲部６０の内面に接合面６１が設定されている。サスペ
ンション２４ｃの接合面６１が設定されている側の面に
はリソグラフィ技術によって４本の図示しない配線が絶
縁被覆された状態に形成されている。そして、接合面６
１には、図１６に示すように、電極３４ａ，３４ｂ，３
５ａ，３５ｂと対向する関係に電極６２ａ，６２ｂ，６
３ａ，６３ｂが露出状態に、かつ配線と接続状態に設け
られている。なお、配線の他端側はサスペンション２４
ｃの裏面に沿ってサスペンション２４ｃの基端側へと導
かれている。

【００６７】このように形成されたサスペンション２４
ｃに対して磁気ヘッド２３ｃが次のように電気的および
機械的に接続されている。すなわち、折曲部６０に設け
られた電極６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂと磁気ヘッ
ド２３ｃに設けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３
５ｂとのいずれか一方に半球状の導体バンプ６４が設け
てあり、折曲部６０と磁気ヘッド２３ｃとは導体バンプ
６４によって所定の間隔に保たれている。そして、その
間隔は接着剤６５によって充填されている。この接着剤
６５には、金属の微小な粉が含まれており、導体バンプ
６４の半球状の部分が対向する電極と接触している付近
で導通する。したがって、接着剤６５は複数の電極にま
たがって塗布されているが、導通は対向する電極間のみ
で確保され、それ以外の組み合わせについては、実質的
に絶縁されている。

【００６８】接着剤６５は、電気的な結合と同時に磁気
ヘッド２３ｃとサスペンション２４ｃにおける折曲部６
０とを機械的に結合する役割も果たしている。

【００６９】したがって、上記構成であると、磁気ヘッ
ド２３ｃとサスペンション２４ｃとが、磁気ヘッド２３
ｃにおける素子形成面のみにおいて結合し、磁気ヘッド
２３ｃの浮上面の裏側の面を接着面として利用していな
いので、環境温度の変化による浮上面の曲率変動を防ぐ
ことが可能となり、低浮上化および記録密度向上を実現
できる。

【００７０】なお、磁気ヘッド２３ｃに、この磁気ヘッ
ド２３ｃを磁気ディスクに押さえつける力を作用させる
には、通常、磁気ヘッド２３ｃの浮上面の裏側の面の所
定位置に力を加える必要がある。上記例のように磁気ヘ
ッド２３ｃの後端部においてサスペンション２４ｃに結
合する構成であると、図１７に示すように、組立時にサ
スペンション２４ｃに初期変形を与え、押付力６６と同
時に適当な初期モーメント６７が発生するようにするこ
とにより、実質的な荷重作用位置６８をヘッドの位置に
設定することができる。

【００７１】図１８には本発明の第５の実施形態に係る
ヘッド装置、ここにも磁気ディスク装置に適用されるヘ
ッド装置が示されている。

【００７２】このヘッド装置も、大きく分けると、磁気
ヘッド２３ｄと、先端部で磁気ヘッド２３ｄを支持する
ヘッド支持部材としてのサスペンション２４ｄとで構成
されている。

【００７３】磁気ヘッド２３ｄは、先に説明した第４の
実施形態における磁気ヘッドと同様に、スライダ３１
と、このスライダ３１の後端面に薄膜形成技術などで作
り込まれて磁気ディスク上で情報の記録および再生を行
う素子３２とで構成されている。なお、素子３２は、記
録用の磁極と再生用の磁極とを有し、これら磁極が磁気
ディスク側に位置するように作り込まれている。そし
て、この磁気ヘッド２３ｄでは、後端面に外部との信号
の授受に供される電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ
（図２０参照）が上述した磁極１個につき２個の割合に
露出状態で設けられている。

【００７４】一方、サスペンション２４ｄは、バネ性の
ある高強度材料、たとえばバネ用ステンレス鋼やリン青
銅などで形成されており、基本的には図５に示したもの
と図１５に示したものとを組合わせた形状に形成されて
いる。したがって、図５と同一部分は同一符号で示し、
重複する部分の詳しい説明は省略する。

【００７５】すなわち、図１９に示すように、サスペン
ション２４ｄの先端部裏面には接合面４３が設定されて
いる。そして、この接合面４３を形成している先端部４
４には、サスペンション２４ｄの長手方向に延びる切込
み４５が幅方向に３本形成されており、これらの切込み
４５によって先端部４４が弾性変形可能な４本のフィン
ガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄに分割されてい
る。そして、これらのフィンガー４６ａ，４６ｂ，４６
ｃ，４６ｄは、それぞれ９０゜折曲されている。

【００７６】各フィンガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４
６ｄの裏面には、対応する配線４１ａ，４１ｂ，４２
ａ，４２ｂに接続されるとともに磁気ヘッド２３ａに設
けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂとの電気
的接続に供される電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ
が露出状態で設けられている。

【００７７】このように形成されたサスペンション２４
ｄに対して磁気ヘッド２３ｄが次のように電気的および
機械的に接続されている。すなわち、この例では第１の
実施形態と同様に、サスペンション２４ｄに設けられた
電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８と磁気ヘッド２３ｄ
に設けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂとが
図２０に示すように金ボールバンプ５５による超音波ボ
ンデングによって接続されている。

【００７８】図２１には金ボールバンプを用いた超音波
ボンディング技術によりサスペンション２４ｄと磁気ヘ
ッド２３ｄとを接続する場合の工程図が示されいる。

【００７９】まず、磁気ヘッド２３ｄに設けられた電極
３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ上に、金ボールバンプ
５５をワイヤボンディング法により形成する。

【００８０】続いて、サスペンション２４ｄに設けられ
た電極４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂと磁気ヘッド２
３ｄに設けられた電極３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ
とを対向、位置決めした上で加圧し、各フインガー４６
ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄの背面側に個別的に配置さ
れた超音波ツールによって金ボールバンプ５５と電極４
７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂとの接続部分に超音波を
印加することで、両者を接続する。

【００８１】この場合、独立して弾性変形可能なフイン
ガー４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ上に電極４７ａ，
４７ｂ，４８ａ，４８ｂが設けられているので、金ボー
ルバンプ５５の大きさにばらつきがあった場合でも、各
フインガーを弾性変形させることによって各接続部に均
一な加圧力を印加した状態で超音波ボンディングを実行
でき、信頼性の高い接続を行うことができる。

【００８２】そして、この例においても磁気ヘッド２３
ｄにおけるサスペンション２４ｄへの固定部を磁気ヘッ
ド２３ｄの端部のみとしているので、環境温度の変化に
よる浮上面の曲率変動を防ぐことが可能となり、低浮上
化および記録密度向上を実現できる。

【００８３】図２２および図２３には本発明の第６の実
施形態に係るヘッド装置、ここにも磁気ディスク装置に
適用されるヘッド装置が示されている。

【００８４】このヘッド装置も、大きく分けると、磁気
ヘッド２３ｅと、先端部で磁気ヘッド２３ｅを支持する
ヘッド支持部材としてのサスペンション２４ｅとで構成
されている。

【００８５】磁気ヘッド２３ｅは、先に説明した第５の
実施形態における磁気ヘッドと同様に、スライダ３１
と、このスライダ３１の後端面に薄膜形成技術などで作
り込まれて磁気ディスク上で情報の記録および再生を行
う素子３２とで構成されている。なお、素子３２は、記
録および再生に兼用される１つの磁極を有し、この磁極
が磁気ディスク側に位置するように作り込まれている。
そして、この磁気ヘッド２３ｅでは、後端面に外部との
信号の授受に供される電極３４ａ，３４ｂが露出状態で
設けられている。

【００８６】一方、サスペンション２４ｅは、バネ性の
ある高強度材料、たとえばバネ用ステンレス鋼やリン青
銅などで形成されており、基本的には図５に示したもの
と図１９に示したものとを組合わせた形状に形成されて
いる。

【００８７】すなわち、サスペンション２４ｅの先端部
７１は９０゜に折曲されており、この先端部７１には前
述した電極３４ａ，３４ｂより広い間隔にフインガー７
２ａ７２ｂが形成されている。そして、先端部７１の裏
側には接合面７３が設定されている。フインガー７２
ａ，７２ｂの表面には前述した各例と同様に電極７３
ａ，７３ｂが設けてあり、これら電極７３ａ，７３ｂは
サスペンション２４ｅの表面に前述した各例と同様に設
けられた配線７４ａ，７４ｂに接続されている。

【００８８】このように形成されたサスペンション２４
ｅに対して磁気ヘッド２３ｅが次のように電気的および
機械的に接続されている。すなわち、磁気ヘッド２３ｅ
は、このヘッドの後端面で電極３４ａ，３４ｂを避けた
位置において接着剤７５でフインガー７２ａ，７２ｂの
裏面に固定されている。そして、磁気ヘッド２３ｅに設
けられた電極３４ａ，３４ｂはリード線７６を介してサ
スペンション２４ｅに設けられた電極７３，７３ｂに接
続されている。

【００８９】したがって、上記構成であると、磁気ヘッ
ド２３ｅとサスペンション２４ｅとが、磁気ヘッド２３
ｅにおける素子形成面のみにおいて結合していることに
なるので、環境温度の変化による浮上面の曲率変動を防
ぐことが可能となり、低浮上化および記録密度向上を実
現できることになる。

【００９０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
環境温度の変化による浮上面の曲率変動を防ぐことがで
き、さらなる低浮上化および記録密度の向上化に寄与で
きる。また、サスペンションに設けられた配線とヘッド
との電気的接続の容易化および接続部分の信頼性を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るヘッド装置を組
み込んだ磁気ディスク装置の分解斜視図

【図２】同ヘッド装置の側面図

【図３】図２におけるＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た
図

【図４】本発明の第２の実施形態に係るヘッド装置の側
面図

【図５】同ヘッド装置に組み込まれたサスペンションを
取り出して示す斜視図

【図６】図５におけるＣ−Ｃ線に沿って切断し矢印方向
に見た図

【図７】図５におけるＤ−Ｄ線に沿って切断し矢印方向
に見た図

【図８】同ヘッド装置における磁気ヘッドとサスペンシ
ョンとの接続部の結合形態を説明するための図

【図９】同結合形態の利点を説明するための図

【図１０】同結合工程の手順を説明するための図

【図１１】本発明の第３の実施形態に係るヘッド装置の
側面図

【図１２】同ヘッド装置に組み込まれたサスペンション
を取り出して示す斜視図

【図１３】同ヘッド装置における磁気ヘッドとサスペン
ションとの接続部の結合形態を説明するための図

【図１４】同結合工程の手順を説明するための図

【図１５】本発明の第４の実施形態に係るヘッド装置の
側面図

【図１６】図１５におけるＦ−Ｆ線に沿って矢印方向に
見た図

【図１７】同第４の実施形態に係るヘッド装置の変形例
を説明するための側面図

【図１８】本発明の第５の実施形態に係るヘッド装置の
側面図

【図１９】同ヘッド装置に組み込まれたサスペンション
を局部的に取り出して示す斜視図

【図２０】同ヘッド装置における磁気ヘッドとサスペン
ションとの接続部の結合形態を説明するための図

【図２１】同結合工程の手順を説明するための図

【図２２】本発明の第６の実施形態に係るヘッド装置の
要部を示す斜視図

【図２３】同要部の側面図

【図２４】磁気ディスク装置に組み込まれた従来のヘッ
ド装置の側面図

【符号の説明】

２３，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ…磁気
ヘッド ２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ…サス
ペンション ２５…アクチュエータアーム ３１…スライダ ３２…素子 ３３…突部 ３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂ，３７ａ，３７ｂ，３
８ａ，３８ｂ…電極 ３６，４３，６１，７３…接合面 ３９…接着剤 ４０…金ボール ４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ、７４ａ，７４ｂ…配
線 ４４，７１…先端部 ４５…切込み ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ、７２ａ，７２ｂ…フ
インガー ４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂ…電極 ５５…金ボールバンプ ５６，６５…樹脂 ５７…長穴 ５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ…分離片 ５９…異方性導電ペースト ６０…折曲部 ６２ａ６２ｂ，６３ａ，６３ｂ，７３ａ，７３ｂ…電極 ７６…リード線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 康人 東京都港区新橋３丁目３番９号 東芝エ ー・ブイ・イー株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】情報記録媒体上で情報の記録および再生を
   行う素子を備えたヘッドと、このヘッドの前記素子の配
   置領域に対向する接合面および該接合面に沿って一体的
   に設けられた配線を備え、上記接合面において上記ヘッ
   ドとの機械的な結合をなすヘッド支持部材とを具備して
   なることを特徴とするヘッド装置。
2. 【請求項２】情報記録媒体上で情報の記録および再生を
   行う素子を備えたヘッドと、このヘッドの前記素子の配
   置領域に対向する接合面および該接合面に沿って一体的
   に設けられた配線を備え、上記接合面において上記素子
   と前記配線との電気的な接続および上記ヘッドとの機械
   的な結合をなすヘッド支持部材とを具備してなることを
   特徴とするヘッド装置。
3. 【請求項３】情報記録媒体上で情報の記録および再生を
   行う素子を備えるとともに上記情報記録媒体側に位置す
   る面とは反対側に位置する面で上記素子の配置領域近傍
   に突出部を備えたヘッドと、このヘッドの前記突出部に
   対向する接合面および該接合面に沿って一体的に設けら
   れた配線を備え、上記接合面において上記素子と前記配
   線との電気的な接続および上記ヘッドとの機械的な結合
   をなすヘッド支持部材とを具備してなることを特徴とす
   るヘッド装置。
4. 【請求項４】情報記録媒体上で情報の記録および再生を
   行う素子を備えるとともに上記素子に電気的に接続され
   た第１の露出電極を備えたヘッドと、このヘッドの前記
   第１の露出電極に対向する第２の露出電極を配置した接
   合面および上記第２の露出電極から上記接合面に沿って
   一体的に設けられた配線を備え、上記接合面において前
   記素子と前記配線との電気的な接続および上記ヘッドと
   の機械的な結合をなすヘッド支持部材とを具備してなる
   ことを特徴とするヘッド装置。
5. 【請求項５】前記第１の露出電極は前記ヘッドの後端部
   に設けてあり、前記ヘッド支持部材は前記ヘッドを機械
   的に結合した状態下で前記接合面を形成している部分が
   折曲されていることを特徴とする請求項４に記載のヘッ
   ド装置。
6. 【請求項６】前記ヘッド支持部材の前記接合面を形成し
   ている部分には、前記第２の露出電極をそれぞれ独立に
   弾性支持する弾性支持機構が設けられていることを特徴
   とする請求項４または５に記載のヘッド装置。
7. 【請求項７】前記弾性支持機構は、前記第２の露出電極
   をそれぞれ分離配置するために前記接合面を形成してい
   る部分に設けられた切込み、穴のいずれかで形成されて
   いることを特徴とする請求項６に記載のヘッド装置。
8. 【請求項８】前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドを前記
   情報記録媒体上に倣わせるためのジンバル機能を備えて
   いることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に
   記載のヘッド装置。
9. 【請求項９】記録媒体層を備えるとともに回転駆動され
   る情報記録媒体と、この情報記録媒体に対して情報の記
   録および再生を行う素子を備えたヘッドと、このヘッド
   を先端部に搭載したヘッド支持部材と、このヘッド支持
   部材の基端部を片持ち支持するとともに回動自在に設け
   られた支持機構とを備えてなる記録再生装置において、
   前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドの前記素子の配置領
   域に対向する接合面および該接合面に沿って一体的に設
   けられた配線を備え、上記接合面において少なくとも上
   記ヘッドと機械的に結合していることを特徴とする記録
   再生装置。
10. 【請求項１０】記録媒体層を備えるとともに回転駆動さ
    れる情報記録媒体と、この情報記録媒体に対して情報の
    記録および再生を行う素子を備えたヘッドと、このヘッ
    ドを先端部に搭載したヘッド支持部材と、このヘッド支
    持部材の基端部を片持ち支持するとともに回動自在に設
    けられた支持機構とを備えてなる記録再生装置におい
    て、前記ヘッドは前記情報記録媒体側に位置する面とは
    反対側に位置する面で前記素子の配置領域近傍に突出部
    を備えており、前記ヘッド支持部材は前記ヘッドの前記
    突出部に対向する接合面および該接合面に沿って一体的
    に設けられた配線を備え、上記接合面において前記素子
    と上記配線との電気的な接続および上記ヘッドとの機械
    的な結合をなしていることを特徴とする記録再生装置。
11. 【請求項１１】記録媒体層を備えるとともに回転駆動さ
    れる情報記録媒体と、この情報記録媒体に対して情報の
    記録および再生を行う素子を備えたヘッドと、このヘッ
    ドを先端部に搭載したヘッド支持部材と、このヘッド支
    持部材の基端部を片持ち支持するとともに回動自在に設
    けられた支持機構とを備えてなる記録再生装置におい
    て、前記ヘッドは前記素子に電気的に接続された第１の
    露出電極を備えており、前記ヘッド支持部材は前記ヘッ
    ドの前記第１の露出電極に対向する第２の露出電極を配
    置した接合面および上記第２の露出電極から上記接合面
    に沿って一体的に設けられた配線を備え、上記接合面に
    おいて前記素子と前記配線との電気的な接続および上記
    ヘッドとの機械的な結合をなしていることを特徴とする
    記録再生装置。