JP4935127B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
2 凹部
3 IC
4 第1の振動素子
4a 脚部
4b 基台
5 第2の振動素子
5a 脚部
5b 基台
6 チップ部品
7 ケース
8 IC実装部
9 注入部
10 第1の溜まり部
11 第2の溜まり部
12 素子電極
13 部品電極
14 電極間溝
15 ワイヤー
16 位置決めマーク
20 シート基板
21 分割溝
22 ノズル
23 IC用接着剤
24 素子用接着剤
25 部品用接着剤
26 回転軸
Claims (1)
- 凹部を有する基板と、この基板の凹部にフェイスダウンにより実装されたICと、振動する2本の脚部とこの2本の脚部を固定する基台とにより音叉形状に構成されるとともに前記基板に取り付けられかつ前記ICに電気的に接続された振動素子と、前記ICを前記基板に接着固定するIC用接着剤とを備え、前記振動素子における脚部をICの上方に配置させるとともに、前記基板の凹部を、前記ICが実装されるためのIC実装部と、このIC実装部と繋がりかつ前記IC用接着剤を注入するノズルが入り込むための注入部と、IC実装部および注入部の深さよりも浅くかつ前記IC実装部と直接繋がらずに前記注入部と直接繋がって形成される溜まり部とで構成した角速度センサ。
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