JP4935128B2 - 角速度センサの製造方法 - Google Patents
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Description
2 凹部
3 IC
4 第1の振動素子
4a 脚部
4b 基台
5 第2の振動素子
5a 脚部
5b 基台
6 チップ部品
7 ケース
8 IC実装部
9 注入部
10 第1の溜まり部
11 第2の溜まり部
12 素子電極
13 部品電極
14 電極間溝
15 ワイヤー
16 位置決めマーク
20 シート基板
21 分割溝
22 ノズル
23 IC用接着剤
24 素子用接着剤
25 部品用接着剤
26 回転軸
Claims (1)
- シート状のシート基板から、基板に取り付けられた検知軸を互いに90°交差させた2個の振動素子と、前記基板に実装され、かつ前記振動素子と電気的に接続されたICとを有する一個の角速度センサを複数個製造する角速度センサの製造方法において、前記シート基板上に前記振動素子および前記ICを複数個設けた後、前記シート基板に角速度を印加する際の回転軸の方向を、前記2個の振動素子のいずれの検知軸に対しても45°の方向にした角速度を印加することにより複数個の角速度センサの特性を検知する検知工程と、前記複数個の角速度センサの特性のばらつきを低減させるために前記複数個の角速度センサの特性を調整する調整工程とを行い、その後、前記シート基板を分割して前記複数個の角速度センサを一個毎に分離する分割工程を行うようにした角速度センサの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070603A JP4935128B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 角速度センサの製造方法 |
CN2007800088595A CN101400970B (zh) | 2006-03-15 | 2007-03-07 | 角速度传感器及其制造方法以及使用该角速度传感器的电子设备 |
US12/162,417 US8087296B2 (en) | 2006-03-15 | 2007-03-07 | Angular velocity sensor |
PCT/JP2007/054428 WO2007105559A1 (ja) | 2006-03-15 | 2007-03-07 | 角速度センサとその製造方法およびその角速度センサを用いた電子機器 |
CN201310052385.1A CN103196437B (zh) | 2006-03-15 | 2007-03-07 | 角速度传感器及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070603A JP4935128B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 角速度センサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007248189A JP2007248189A (ja) | 2007-09-27 |
JP4935128B2 true JP4935128B2 (ja) | 2012-05-23 |
Family
ID=38592671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006070603A Expired - Fee Related JP4935128B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 角速度センサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4935128B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7413865B2 (ja) | 2020-03-19 | 2024-01-16 | Toppanホールディングス株式会社 | 吊天井システム |
JP7415706B2 (ja) | 2020-03-19 | 2024-01-17 | Toppanホールディングス株式会社 | 吊天井システム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3736294A1 (de) * | 1987-10-27 | 1989-05-11 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Einrichtung zur funktionskontrolle von beschleunigungssensoren |
JPH08240611A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Hitachi Building Syst Eng & Service Co Ltd | 3軸加速度計の校正装置 |
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JP3969824B2 (ja) * | 1998-02-09 | 2007-09-05 | マイクロストーン株式会社 | 角速度センサ |
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JP5306570B2 (ja) * | 2005-04-18 | 2013-10-02 | パナソニック株式会社 | 振動ジャイロ |
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2006
- 2006-03-15 JP JP2006070603A patent/JP4935128B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7413865B2 (ja) | 2020-03-19 | 2024-01-16 | Toppanホールディングス株式会社 | 吊天井システム |
JP7415706B2 (ja) | 2020-03-19 | 2024-01-17 | Toppanホールディングス株式会社 | 吊天井システム |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007248189A (ja) | 2007-09-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
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