JP2009156603A - 複合センサ - Google Patents
複合センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009156603A JP2009156603A JP2007332074A JP2007332074A JP2009156603A JP 2009156603 A JP2009156603 A JP 2009156603A JP 2007332074 A JP2007332074 A JP 2007332074A JP 2007332074 A JP2007332074 A JP 2007332074A JP 2009156603 A JP2009156603 A JP 2009156603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- axis direction
- support portion
- acceleration
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第1、第2アーム4、6、錘部14をZ軸方向で挟むように、Z軸の正方向に配置した第1対向基板24とZ軸の負方向に配置した第2対向基板26とを設け、第1アーム4により第2アーム6および支持部8を中空保持して、第1、第2対向基板24、26が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部14と第1対向基板24の各々の対向面に対向電極22を配置し、支持部8のZ軸方向における変位を抑制するストッパーを支持部8のZ軸方向に設けた構成である。
【選択図】図1
【解決手段】第1、第2アーム4、6、錘部14をZ軸方向で挟むように、Z軸の正方向に配置した第1対向基板24とZ軸の負方向に配置した第2対向基板26とを設け、第1アーム4により第2アーム6および支持部8を中空保持して、第1、第2対向基板24、26が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部14と第1対向基板24の各々の対向面に対向電極22を配置し、支持部8のZ軸方向における変位を抑制するストッパーを支持部8のZ軸方向に設けた構成である。
【選択図】図1
Description
本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーシ
ョン等、各種電子機器に用いる角速度や加速度を検出する複合センサに関する。
ョン等、各種電子機器に用いる角速度や加速度を検出する複合センサに関する。
以下、従来の複合センサについて説明する。
従来、角速度と加速度を検出する場合は、角速度を検出するには専用の角速度センサを用い、加速度を検出するには専用の加速度センサを用いていた。
したがって、各種電子機器において、角速度と加速度とを複合して検出する場合は、複
数の角速度センサと加速度センサを各種電子機器の実装基板に各々実装していた。
数の角速度センサと加速度センサを各種電子機器の実装基板に各々実装していた。
一般に、角速度センサは、音さ形状やH形状やT形状等、各種の形状の検出素子を振動
させて、コリオリ力の発生に伴う検出素子の状態変化を電気的に検知して角速度を検出するものであり、加速度センサは、加速度に伴う検出素子の状態変化を検知して加速度を検出するものである。
させて、コリオリ力の発生に伴う検出素子の状態変化を電気的に検知して角速度を検出するものであり、加速度センサは、加速度に伴う検出素子の状態変化を検知して加速度を検出するものである。
このような角速度センサや加速度センサを検出したい検出軸に対応させて、車両等の移
動体の姿勢制御装置やナビゲーション装置等に用いている。
動体の姿勢制御装置やナビゲーション装置等に用いている。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1および特許文献2が知られている。
特開2001−208546号公報
特開2001−74767号公報
上記構成では、検出したい角速度や加速度の検出軸に対応させて、角速度センサおよび
加速度センサを実装基板に各々実装するので実装面積を確保する必要があり、小型化を図
れないという問題点を有していた。
加速度センサを実装基板に各々実装するので実装面積を確保する必要があり、小型化を図
れないという問題点を有していた。
本発明は上記問題点を解決し、角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減し
て小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
て小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
上記目的を達成するために本発明は、特に、検出素子は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した2つの直交アームと、2つの前記第1アームの一端を支持する支持部と、2つの前記第1アームの他端を固定する固定部とを有し、互いに直交するX、Y、Z軸において、前記第1アームをX軸方向に配置し、前記第2アームをY軸方向に配置し、前記角速度検出部は、前記第2アームをX軸方向に振動させ、角速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき角速度を検出しており、前記加速度検出部は、加速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき加速度を検出しており、前記支持部を前記第1アームによって中空保持するとともに、前記支持部のZ軸方向の変位を抑制するストッパーを前記支持部または前記第2アームのZ軸方向に設け、前記支持部のZ軸方向の変位量が前記第1アームの抗折強度を超えない変位量になるように、前記ストッパーによって前記支持部のZ軸方向の変位を抑制した構成である。
上記構成により、角速度を検出するための角速度検出部と加速度を検出するための加速度検出部とを1つの検出素子に形成しているので、実装面積を低減でき小型化を図れる。
また、支持部を第1アームによって中空保持するとともに、支持部のZ軸方向の変位を抑制するストッパーを支持部または第2アームのZ軸方向に設けているので、通常の使用範囲を超えるような過度の加速度がZ軸方向に加わったとしても、ストッパーによって支持部のZ軸方向における変位を抑制できる。特に、支持部のZ軸方向の変位量が第1アームの抗折強度を超えない変位量になるように、ストッパーによって支持部のZ軸方向の変位を抑制するので、第1アームの抗折強度を越えるまで支持部が変位して、第1アームが破壊され、検出素子が破壊されることを抑制できる。
さらに、上記検出素子では、第2アームが駆動振動するので、第2アームのZ軸方向にストッパーを設けた場合、空気の粘性の影響を受けて駆動効率が悪化するが、支持部のZ軸方向にストッパーを設けることにより、第2アームの駆動振動に影響が生じず、第2アームの駆動効率の悪化を抑制できる。
図1は本発明の一実施の形態における複合センサの検出素子の分解斜視図、図2は図1のA−A断面図、図3は図1のA部の拡大斜視図である。
本発明の一実施の形態における複合センサは、角速度検出部と加速度検出部を有する検出素子2を備えている。
図1、図3において、検出素子2は、第1アーム4を第2アーム6に直交方向に連結して形成した2つの直交アームを有し、2つの第1アーム4の一端を支持部8にて支持し、2つの第1アーム4の他端をスリット10が設けられた方形状の枠体12に連結している。第1アーム4は第2アーム6の厚みよりも薄くした形状とし、第2アーム6は第2アーム6自身と対向するまでU字状に折曲して、折曲した先端部に錘部14を連結した形状としている。そして、第1アーム4と支持部8とは略同一直線上に配置し、第1アーム4および第2アーム6を検出素子2の中心に対して対称配置し、枠体12の一部にて実装基板に実装している。
また、互いに直交するX軸とY軸とZ軸において、第1アーム4をX軸方向に配置するとともに第2アーム6をY軸方向に配置した場合、Y軸の正側における互いに対向する第2アーム6には、Y軸の正側における2つの錘部14を互いに逆方向に駆動振動させる第1駆動電極16と第2駆動電極18を配置し、Y軸の負側における互いに対向する第2アーム6には、第2アーム6の歪を感知する感知電極20を配置している。これら第1、第2駆動電極16、18、感知電極20は、圧電層を介在させた上部電極と下部電極とから形成している。
さらに、図1、図2において、第1、第2アーム4、6、錘部14をZ軸方向で挟むように、Z軸の正側に配置した第1対向基板24とZ軸の負側に配置した第2対向基板26とを設けている。これら第1、第2対向基板24、26は、第2アーム6の錘部14と対向する対向部となる。第1アーム4により第2アーム6および支持部8を中空保持して、第1、第2対向基板24、26が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部14と第1対向基板24の各々の対向面に対向電極22を配置している。第2アーム6の錘部14と第1対向基板24との間隔は、対向電極22により静電容量変化を検出するために、近接させるようにしている。第2アーム6の錘部14と第2対向基板26との間隔は、錘部14をX軸方向に円滑に振動させるために、第2対向基板26にキャビティ30を設けて、一定の間隔を確保して近接させないようにしている。
そして、支持部8のZ軸方向の変位量が第1アーム4の抗折強度を超えない変位量になるように、支持部8のZ軸方向にストッパーを設け、このストッパーによって支持部8のZ軸方向の変位を抑制している。具体的なストッパーとしては、支持部8と対向する第2対向基板26の対向箇所に突起部28を設け、支持部8と突起部28との対向距離(h)が、第1アーム4の抗折強度を越えない間隔にしてZ軸の負方向への変位を抑制し、かつ、支持部8と突起部28との対向距離(h)よりも第1対向基板24と錘部14との対向距離(H)を小さくなるようにしてZ軸の正方向への変位を抑制している。
次に、角速度の検出について説明する。
図4は図1のA部の錘部の駆動振動状態を示す拡大斜視図である。
互いに直交するX軸とY軸とZ軸において、図3、図4に示すように、第1アーム4をX軸方向に配置するとともに第2アーム6をY軸方向に配置した場合、第1、第2駆動電極16、18に共振周波数の交流電圧を印加して、第1、第2駆動電極16、18が配置された第2アーム6を起点に第2アーム6を駆動振動させ、それに伴って錘部14も第2アーム6の対向方向(実線の矢印と点線の矢印で記した駆動振動方向)に駆動振動させている。第1駆動電極16に印加する交流電圧と、第2駆動電極18に印加する交流電圧とは互いに逆位相に印加しており、Y軸の正側の各々の第2アーム6の幅が広がったり狭まったりするように互いに逆方向に振動させている。これに同調して、Y軸の負側に配置された2つの第2アーム6も互いに逆方向に振動し、Y軸を中心に対称に振動することになる。すなわち、4つの第2アーム6および4つの錘部14の全てが同調して第2アーム6の対向方向(駆動信号方向)に駆動振動し、この検出素子2における駆動振動方向はX軸方向となっている。
具体的な角速度の検出について説明する。
このような検出素子2において、例えば、Z軸の右回りに角速度が生じた場合は、錘部14の駆動振動と同調して、図4に示すように、錘部14に対して駆動振動方向と直交した方向(実線の矢印と点線の矢印で記したコリオリ方向)にコリオリ力が発生するので、第2アーム6にはZ軸の右回りの角速度に起因した歪が発生する。このとき、検出素子2のコリオリ方向はY軸方向となる。コリオリ力が発生した場合、第2アーム6に配置した各々の感知電極20により第2アーム6の歪を感知し、この感知電極20の極性によってコリオリ力の発生方向を見極められる。例えば、第2アーム6の内側と外側に感知電極20をそれぞれ2つずつ配置し、第2アーム6の内側の歪と外側の歪の違いを感知させて、コリオリ力の発生方向を見極めてもよい。第2アーム6の内側における歪の伸び率と外側における歪の伸び率とは異なるので、歪の違いを感知できる。Z軸の左回りの角速度が生じた場合も同様に第2アーム6の歪を感知すればよい。このように、角速度に起因した第2アーム6の歪を感知することにより角速度を検出することができる。
次に、加速度の検出について説明する。
互いに直交するX軸とY軸とZ軸において、第1アーム4をX軸方向に配置するとともに第2アーム6をY軸方向に配置し、Z軸方向に加速度が生じた場合は、図5に示すように、錘部14の全てがZ軸方向に変位しようとする。このとき、第1対向基板24と錘部14との対向距離(H)が小さくなり、すべての対向電極22間の静電容量が大きくなるように変化する。
X軸方向に加速度が生じた場合は、図6に示すように、第1アーム4に歪が生じつつ、第1対向基板24とX軸の正側の錘部14との対向距離(H1)と、第1対向基板24とX軸の負側の錘部14との対向距離(H2)において、一方の対向距離(H1)が大きくなれば他方の対向距離(H2)が小さくなる。すなわち、一方の対向電極22間の静電容量が大きくなり、他方の対向電極22間の静電容量が小さくなるように変化する。
Y軸方向に加速度が生じた場合は、図示していないが、第1対向基板24とY軸の正側の錘部14との対向距離と第1対向基板24とY軸の負側の錘部14との対向距離において、一方の対向距離が大きくなれば他方の対向距離が小さくなる。すなわち、対向電極22間の静電容量も一方が大きくなれば他方の静電容量変化が小さくなるように変化する。
このように、加速度に起因した対向電極22間の静電容量の変化を感知することにより加速度を検出することができる。特に、加速度の生じる向きによって、第1対向基板24と4つの錘部14との対向距離(H)が各々変化するので、これを感知することにより加速度の方向も同時に検出することができる。
ここで、通常の使用範囲を超えるような過度の加速度がZ軸方向に加わった場合、例えば、Z軸の負側に支持部8が変位した場合、図7に示すように、第2対向基板26に設けた突起部28に支持部8が当たる。すなわち、突起部28がストッパーとして機能し、支持部8のZ軸方向における変位が抑制される。一方、Z軸の正側に支持部8が変位した場合、図8に示すように、第1対向基板24に支持部8が当たる。第1対向基板24と錘部14との対向距離は、各々の対向面に設けた対向電極22の静電容量の変化を検出するために、狭く設定しているからである。すなわち、第1対向基板24がストッパーとして機能し、支持部8のZ軸方向における変位が抑制される。
特に、支持部8と突起部28との対向距離(h)と、第1対向基板24と錘部14との対向距離(H)とは、第1アーム4の抗折強度を越えない間隔であり、支持部8と突起部28との対向距離(h)よりも第1対向基板24と錘部14との対向距離(H)を小さくなるようにして、第1アーム4が破壊される前に支持部8のZ軸方向における変位を抑制している。
上記構成により、本発明の一実施の慣性力センサでは、角速度を検出するための角速度検出部と加速度を検出するための加速度検出部とを1つの検出素子に形成しているので、実装面積を低減でき小型化を図れる。
また、支持部8を第1アーム4によって中空保持するとともに、支持部8のZ軸方向の変位を抑制するストッパーを支持部8または第2アーム6のZ軸方向に設けているので、通常の使用範囲を超えるような過度の加速度がZ軸方向に加わったとしても、ストッパーによって支持部8のZ軸方向における変位を抑制できる。特に、支持部8のZ軸方向の変位量が第1アーム4の抗折強度を超えない変位量になるように、ストッパーによって支持部8のZ軸方向の変位を抑制するので、第1アーム4の抗折強度を越えるまで支持部8が変位して、第1アーム4が破壊され、検出素子2が破壊されることを抑制できる。
さらに、上記検出素子2では、第2アーム6が駆動振動するので、第2アーム6のZ軸方向にストッパーを設けた場合、空気の粘性の影響を受けて駆動効率が悪化するが、支持部8のZ軸方向にストッパーを設けることにより、第2アーム6の駆動振動に影響が生じず、第2アーム6の駆動効率の悪化を抑制できる。
図9は、錘部14と第2対向基板26との対向距離に対する第2アーム6の駆動振動効率を示す特性図であるが、図9に示すように、対向距離が小さくなると駆動効率が悪化し、対向距離が大きくなると駆動効率が向上する。ここで、図9におけるA線よりも対向距離が大きくなると、第1アーム4が破壊されてしまう。また、図9におけるB線よりも駆動効率が悪くなると、第2アーム6を正常に駆動振動させることができない。駆動効率を満足するためには、図9におけるC線よりも対向距離を大きくする必要があるが、それでは、第1アーム4が破壊されてしまう。そこで、本発明では、支持部8と対向する第2対向基板24の対向箇所に突起部28を設けることにより、支持部8のZ軸方向における変位を抑制し、第1アーム4が破壊されるのを抑制している。これにより、錘部14と第2対向基板26との対向距離を小さくすることもないので、駆動効率も悪化しないものである。駆動効率が悪化すると、角速度が生じても検出感度が低下するが、上記構成により、角速度の検出感度の低下を抑制できる。また、第1アーム4の抗折強度を越えないように支持部8と突起部28との対向距離を最も大きくした場合が、駆動効率の悪化を抑制しつつ、検出素子2の破壊も抑制できるので望ましい。
なお、加速度検出部は、上記の検出素子2において、第2アーム6よりも薄く形成した第1アーム4にて、加速度に起因した第1アーム4のZ軸方向の歪を感知させ、加速度を検出するようにしてもよい。X軸、Y軸、Z軸のいずれの軸方向に加速度が発生しても、錘部14の変位によって、第1アーム4がZ軸方向に歪むので、これを感知すれば加速度を検出することができる。
また、支持部8のZ軸方向の変位を抑制するストッパーを第2アーム6のZ軸方向に設け、支持部8のZ軸方向の変位量が第1アーム4の抗折強度を超えない変位量になるように、ストッパーによって支持部8のZ軸方向の変位を抑制してもよい。具体的には、錘部14と対向する第2対向基板26の対向箇所に突起部28を設ければよい。ただし、駆動効率については、支持部8と対向する第2対向基板26の対向箇所に設けた方がよい。駆動効率の低減を図るために、支持部8や錘部14と対向する突起部28の対向面積はできるだけ小さい方がよく、突起部28の形状は針状等が望ましい。突起部28の強度を考慮する場合は、突起部28を複数設ければよい。
本発明に係る慣性力センサは、角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れるので、各種電子機器に適用できるものである。
2 検出素子
4 第1アーム
6 第2アーム
8 支持部
10 スリット
12 枠体
14 錘部
16 第1駆動電極
18 第2駆動電極
20 感知電極
22 対向電極
24 第1対向基板
26 第2対向基板
28 突起部
30 キャビティ
4 第1アーム
6 第2アーム
8 支持部
10 スリット
12 枠体
14 錘部
16 第1駆動電極
18 第2駆動電極
20 感知電極
22 対向電極
24 第1対向基板
26 第2対向基板
28 突起部
30 キャビティ
Claims (6)
- 加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子を備え、
前記検出素子は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した2つの直交アームと、2つの前記第1アームの一端を支持する支持部と、2つの前記第1アームの他端を固定する固定部とを有し、
互いに直交するX、Y、Z軸において、前記第1アームをX軸方向に配置し、前記第2アームをY軸方向に配置し、
前記角速度検出部は、前記第2アームをX軸方向に振動させ、角速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき角速度を検出しており、
前記加速度検出部は、加速度に起因した前記検出素子の状態変化に基づき加速度を検出しており、
前記支持部を前記第1アームによって中空保持するとともに、前記支持部のZ軸方向の変位を抑制するストッパーを前記支持部または前記第2アームのZ軸方向に設け、前記支持部のZ軸方向の変位量が前記第1アームの抗折強度を超えない変位量になるように、前記ストッパーによって前記支持部のZ軸方向の変位を抑制した複合センサ。 - 前記支持部のZ軸方向の変位を抑制するストッパーは前記支持部のZ軸方向に設けた請求項1記載の複合センサ。
- 前記第2アームは先端部に錘部を有する形状とした請求項1記載の複合センサ。
- 前記第2アームに対向する対向部を設け、前記第2アームと前記対向部の各々の対向面に対向電極を配置し、前記加速度検出部は、加速度に起因した前記第2アームと前記対向部の対向電極間の静電容量変化に基づき、加速度を検出する請求項1記載の複合センサ。
- 前記対向部は、前記第2アームをZ軸方向で挟むように、Z軸の正方向に配置した第1対向基板とZ軸の負方向に配置した第2対向基板であって、前記第1、第2対向基板の少なくともいずれか一方と前記第2アームとの対向面に前記対向電極を設け、前記ストッパーとして前記第1、第2対向基板の少なくともいずれか一方に突起部を形成した請求項4記載の複合センサ。
- 前記対向部は、前記第2アームをZ軸方向で挟むように、Z軸の正方向に配置した第1対向基板とZ軸の負方向に配置した第2対向基板であって、前記第1対向基板と前記錘部との対向面に前記対向電極を設け、前記ストッパーとして前記第2対向基板に突起部を形成し、前記第1対向基板と前記錘部との対向距離は前記支持部と前記突起部との対向距離よりも小さくした請求項4記載の複合センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007332074A JP2009156603A (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 複合センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007332074A JP2009156603A (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 複合センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009156603A true JP2009156603A (ja) | 2009-07-16 |
Family
ID=40960805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007332074A Pending JP2009156603A (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 複合センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009156603A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013213754A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 |
JP2017015719A (ja) * | 2010-06-25 | 2017-01-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度検出素子とそれを用いた角速度センサ |
-
2007
- 2007-12-25 JP JP2007332074A patent/JP2009156603A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017015719A (ja) * | 2010-06-25 | 2017-01-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度検出素子とそれを用いた角速度センサ |
JP2013213754A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5205725B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4929918B2 (ja) | 複合センサ | |
JP5205970B2 (ja) | 慣性力センサ | |
JP2007256235A (ja) | 慣性力センサ | |
WO2010095412A1 (ja) | 慣性力センサ | |
WO2008059757A1 (fr) | Capteur | |
JP2008076265A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2009222475A (ja) | 複合センサ | |
JP2009156603A (ja) | 複合センサ | |
JP4858215B2 (ja) | 複合センサ | |
JP5125138B2 (ja) | 複合センサ | |
JP4687085B2 (ja) | 複合センサ | |
JP2007256234A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2008122263A (ja) | 角速度センサ | |
JP2008232704A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2009222476A (ja) | 複合センサ | |
JP2006226802A (ja) | 複合センサ | |
JP3783697B2 (ja) | 2軸検出型双音さ型振動ジャイロセンサ | |
JP2008261771A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2009250955A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2008232703A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2008190887A (ja) | センサ | |
JP2007198778A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2010197061A (ja) | 慣性力検出素子 | |
JP2007198779A (ja) | 慣性力センサ |