JP2007322200A - 慣性センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】慣性センサ素子1は、板状の基部2と、第1、第2の検出脚部3,4と、枠状の支持部5と、第1の検出脚部3に形成された第1の貫通孔6と、第2の検出脚部4に形成された第2の貫通孔7と、検出電極とを備えている。角加速度検出手段は、角加速度による力に応じて発生した第1、第2の検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極から受けて、この電圧信号を基に角加速度を検出する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の慣性センサ素子の1構成例は、さらに、前記検出された角加速度を時間で積分して角速度を求める積分手段を有するものである。
また、本発明の慣性センサ素子の1構成例は、さらに、加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する加速度検出手段を有するものである。
また、本発明の慣性センサ素子の1構成例において、前記検出電極は、前記第1乃至第6の検出電極からなり、前記加速度検出手段は、角加速度及び加速度が加わっていない初期状態において前記基部と前記第1、第2の検出脚部と前記支持部とが配置される平面に対して平行で、かつ前記第1の方向と直交する方向をX軸方向としたとき、X軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第6の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出するものである。
また、本発明の慣性センサ素子の1構成例は、さらに、X軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記X軸方向の加速度を検出する第1の加速度検出手段と、Y軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Y軸方向の加速度を検出する第2の加速度検出手段と、Z軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Z軸方向の加速度を検出する第3の加速度検出手段とを有するものである。
また、本発明の慣性センサ素子の1構成例は、前記第1の方向と直交する方向の前記基部の両端部にそれぞれ重りを設けたものである。
また、本発明では、加速度検出手段を設け、この加速度検出手段が加速度による力に応じて発生した第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を検出電極から受けることにより、角加速度に加えて加速度の大きさと向きを検出することができる。
また、本発明では、第1、第2、第3の加速度検出手段を設けることにより、X,Y,Zの3軸の廻りの角加速度に加えてX,Y,Zの3軸方向の加速度の大きさと向きを検出することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る慣性センサ素子の構成を示す平面図、図2は図1の慣性センサ素子の斜視図、図3(A)は図1の慣性センサ素子のA−A線断面図、図3(B)は図1の慣性センサ素子のB−B線断面図である。
慣性センサ素子1を例えば腕時計等の機器に搭載する場合には、慣性センサ素子1の支持部5が機器の筐体に固定される。
角加速度検出回路200は、Z軸廻りの角加速度αZによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極101〜106から受けて、この電圧信号を基に角加速度αZを検出する。なお、検出電極101〜106で検出されるのは、正確には検出脚部3,4の歪みに応じた電荷であるが、この電荷はバッファによって電圧に変換されるので、以後、検出電極101〜106の出力については電圧信号又は出力電圧と称することにする。
加速度検出回路201は、X軸方向の加速度aXによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極101〜106から受けて、この電圧信号を基に加速度aXを検出する。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図11は本発明の第2の実施の形態に係る慣性センサ素子の構成を示す平面図、図12は図11の慣性センサ素子の斜視図、図13(A)は図11の慣性センサ素子のA−A線断面図、図13(B)は図11の慣性センサ素子のB−B線断面図である。
慣性センサ素子1aを例えば腕時計等の機器に搭載する場合には、慣性センサ素子1aの支持部5が機器の筐体に固定される。
第1の角加速度検出回路400は、X軸廻りの角加速度αXによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜304,307〜310から受けて、この電圧信号を基に角加速度αXを検出する。なお、検出電極301〜312で検出されるのは、正確には検出脚部3,4の歪みに応じた電荷であるが、この電荷はバッファによって電圧に変換されるので、以後、検出電極301〜312の出力については電圧信号又は出力電圧と称することにする。
第1の加速度検出回路401は、X軸方向の加速度aXによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜312から受けて、この電圧信号を基に加速度aXを検出する。
第2の角加速度検出回路402は、Y軸廻りの角加速度αYによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜312から受けて、この電圧信号を基に角加速度αYを検出する。
第2の加速度検出回路403は、Y軸方向の加速度aYによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜304,307〜310から受けて、この電圧信号を基に加速度aYを検出する。
慣性センサ素子1aに原点O(基部2の中心)を通るZ軸廻りの角加速度αZが加わると、慣性センサ素子1aの基部2及び検出脚部3,4には角加速度αZと反対方向に慣性による力F=mαZが加わる。この慣性による力Fにより、基部2及び検出脚部3,4は、角加速度αZが加わっていない初期状態S0に対して、図29(A)、図29(B)の状態S1で示すように原点Oを通るZ軸を回転軸として角加速度αZと反対方向に回るように変形する。
第3の角加速度検出回路404は、Z軸廻りの角加速度αZによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜312から受けて、この電圧信号を基に角加速度αZを検出する。
第3の加速度検出回路405は、Z軸方向の加速度aZによる力に応じて発生した検出脚部3,4の歪みによる電圧信号を検出電極301〜304,307〜310から受けて、この電圧信号を基に加速度aZを検出する。
図33は本発明の第3の実施の形態に係る慣性センサ素子の構成を示す平面図である。本実施の形態の慣性センサ素子1bは、第1の実施の形態の慣性センサ素子1に対して、前記第1の方向と直交する第2の方向の基部2の両端部に重り8,9を設けたものである。
Claims (11)
- 板状の基部と、
この基部から第1の方向に延びるように形成された第1の検出脚部と、
前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された第2の検出脚部と、
前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定すると共に、前記基部と反対側の前記第2の検出脚部の端部を固定する支持部と、
前記基部との接続部から前記支持部との接続部まで前記第1の方向に沿って前記第1の検出脚部に形成された第1の貫通孔と、
前記基部との接続部から前記支持部との接続部まで前記第1の方向に沿って前記第2の検出脚部に形成された第2の貫通孔と、
前記第1、第2の検出脚部の各々に設けられた検出電極と、
角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記角加速度を検出する角加速度検出手段とを有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項1記載の慣性センサ素子において、
さらに、前記検出された角加速度を時間で積分して角速度を求める積分手段を有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項1又は2記載の慣性センサ素子において、
さらに、加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する加速度検出手段を有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項1記載の慣性センサ素子において、
前記検出電極は、
前記第1の検出脚部の両側面に形成された第1、第2の検出電極と、
前記第1の貫通孔によってできた前記第1の検出脚部の内側の壁面に前記第1、第2の検出電極と対向するように形成された第3の検出電極と、
前記第2の検出脚部の両側面に形成された第4、第5の検出電極と、
前記第2の貫通孔によってできた前記第2の検出脚部の内側の壁面に前記第4、第5の検出電極と対向するように形成された第6の検出電極とからなり、
前記角加速度検出手段は、角加速度及び加速度が加わっていない初期状態において前記基部と前記第1、第2の検出脚部と前記支持部とが配置される平面に対して平行で、かつ前記第1の方向と直交する方向をX軸方向、前記第1の方向と平行な方向をY軸方向、XY平面と直交する方向をZ軸方向としたとき、Z軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第6の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記角加速度を検出することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項3記載の慣性センサ素子において、
前記検出電極は、
前記第1の検出脚部の両側面に形成された第1、第2の検出電極と、
前記第1の貫通孔によってできた前記第1の検出脚部の内側の壁面に前記第1、第2の検出電極と対向するように形成された第3の検出電極と、
前記第2の検出脚部の両側面に形成された第4、第5の検出電極と、
前記第2の貫通孔によってできた前記第2の検出脚部の内側の壁面に前記第4、第5の検出電極と対向するように形成された第6の検出電極とからなり、
前記加速度検出手段は、角加速度及び加速度が加わっていない初期状態において前記基部と前記第1、第2の検出脚部と前記支持部とが配置される平面に対して平行で、かつ前記第1の方向と直交する方向をX軸方向としたとき、X軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第6の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出することを特徴とする慣性センサ素子。 - 板状の基部と、
この基部から第1の方向に延びるように形成された第1の検出脚部と、
前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された第2の検出脚部と、
前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定すると共に、前記基部と反対側の第2の検出脚部の端部を固定する支持部と、
前記第1、第2の検出脚部の各々に設けられた検出電極と、
角加速度及び加速度が加わっていない初期状態において前記基部と前記第1、第2の検出脚部と前記支持部とが配置される平面に対して平行で、かつ前記第1の方向と直交する方向をX軸方向、前記第1の方向と平行な方向をY軸方向、XY平面と直交する方向をZ軸方向としたとき、X軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記X軸廻りの角加速度を検出する第1の角加速度検出手段と、
Y軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Y軸廻りの角加速度を検出する第2の角加速度検出手段と、
Z軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Z軸廻りの角加速度を検出する第3の角加速度検出手段とを有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項6記載の慣性センサ素子において、
さらに、前記検出されたX軸廻りの角加速度を時間で積分してX軸廻りの角速度を求める第1の積分手段と、
前記検出されたY軸廻りの角加速度を時間で積分してY軸廻りの角速度を求める第2の積分手段と、
前記検出されたZ軸廻りの角加速度を時間で積分してZ軸廻りの角速度を求める第3の積分手段とを有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項6記載の慣性センサ素子において、
さらに、X軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記X軸方向の加速度を検出する第1の加速度検出手段と、
Y軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Y軸方向の加速度を検出する第2の加速度検出手段と、
Z軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Z軸方向の加速度を検出する第3の加速度検出手段とを有することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項6記載の慣性センサ素子において、
前記検出電極は、
前記第1の検出脚部の一方の側面に形成された第1、第2の検出電極と、
前記第1の検出脚部の他方の側面に形成された第3、第4の検出電極と、
前記第1の検出脚部の上面に形成された第5の検出電極と、
前記第1の検出脚部の下面に形成された第6の検出電極と、
前記第2の検出脚部の一方の側面に形成された第7、第8の検出電極と、
前記第2の検出脚部の他方の側面に形成された第9、第10の検出電極と、
前記第2の検出脚部の上面に形成された第11の検出電極と、
前記第2の検出脚部の下面に形成された第12の検出電極とからなり、
前記第1の角加速度検出手段は、X軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第4の検出電極及び前記第7乃至第10の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記X軸廻りの角加速度を検出し、
前記第2の角加速度検出手段は、Y軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第12の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Y軸廻りの角加速度を検出し、
前記第3の角加速度検出手段は、Z軸廻りの角加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第12の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Z軸廻りの角加速度を検出することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項8記載の慣性センサ素子において、
前記検出電極は、
前記第1の検出脚部の一方の側面に形成された第1、第2の検出電極と、
前記第1の検出脚部の他方の側面に形成された第3、第4の検出電極と、
前記第1の検出脚部の上面に形成された第5の検出電極と、
前記第1の検出脚部の下面に形成された第6の検出電極と、
前記第2の検出脚部の一方の側面に形成された第7、第8の検出電極と、
前記第2の検出脚部の他方の側面に形成された第9、第10の検出電極と、
前記第2の検出脚部の上面に形成された第11の検出電極と、
前記第2の検出脚部の下面に形成された第12の検出電極とからなり、
前記第1の加速度検出手段は、X軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第12の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記X軸方向の加速度を検出し、
前記第2の加速度検出手段は、Y軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第4の検出電極及び前記第7乃至第10の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Y軸方向の加速度を検出し、
前記第3の加速度検出手段は、Z軸方向の加速度による力に応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の歪みによる電圧信号を前記第1乃至第4の検出電極及び前記第7乃至第10の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記Z軸方向の加速度を検出することを特徴とする慣性センサ素子。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の慣性センサ素子において、
前記第1の方向と直交する方向の前記基部の両端部にそれぞれ重りを設けたことを特徴とする慣性センサ素子。
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