JP2007271498A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度センサは、励振脚部3〜6と、検出脚部7,8と、固定部9,10と、検出脚部7,8の中心線を通るYZ平面に対して励振脚部3,4を対称に屈曲振動させると同時に励振脚部5,6を対称に屈曲振動させる励振手段と、Z軸方向に沿った検出脚部7,8の屈曲振動による電圧信号を取り出して、Z軸方向から加わった加速度を電圧信号に基づいて検出する検出手段とを有する。
【選択図】 図1
Description
また、従来の加速度センサでは、一定の加速度aが継続して加わる状況の場合、検出体1001に同一の力Fが継続して加わり、電荷の発生がなくなってしまうため、継続して加わる加速度aを検出するためには積分回路等が必要になるという問題点があった。
また、本発明の加速度センサの1構成例において、前記励振手段は、前記第1、第2、第3、第4の励振脚部に形成された第1、第2、第3、第4の励振電極と、この第1、第2、第3、第4の励振電極に電圧を印加し、前記平面に対して前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させると同時に前記第3、第4の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振回路とからなり、前記検出手段は、前記第1の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第1の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第1の検出電極と、前記第2の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第2の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第2の検出電極と、前記第1、第2、第3、第4の励振脚部の屈曲振動と前記加速度による力とに応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の屈曲振動による前記電圧信号を前記第1、第2の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する検出回路とからなるものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例は、さらに、前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部を有するものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例は、さらに、前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部と、前記基部と反対側の前記第2の検出脚部の端部を固定する第4の固定部とを有するものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例は、前記基部と反対側の前記第1、第2、第3、第4の励振脚部の端部にそれぞれ重りを設けたことを特徴とするものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例において、前記励振手段は、前記第1、第2の励振脚部に形成された第1、第2の励振電極と、この第1、第2の励振電極に電圧を印加し、前記平面に対して前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振回路とからなり、前記検出手段は、前記第1の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第1の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第1の検出電極と、前記第1、第2の励振脚部の屈曲振動と前記加速度による力とに応じて発生した前記第1の検出脚部の屈曲振動による前記電圧信号を前記第1の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する検出回路とからなるものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例は、前記第1、第2の固定部の代わりに、前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された支持用脚部と、前記基部と反対側の前記支持用脚部の端部を固定する第5の固定部とを有するものである。
また、本発明の加速度センサの1構成例は、前記基部と反対側の前記第1、第2の励振脚部の端部にそれぞれ重りを設けたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図、図2は図1の加速度センサの斜視図、図3(A)は図1の加速度センサのA−A線断面図、図3(B)は図1の加速度センサのB−B線断面図である。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図9は本発明の第2の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図、図10は図9の加速度センサの斜視図であり、図1〜図3と同様の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の加速度センサ1aは、基部2と、第1、第2の励振脚部3,4と、第3、第4の励振脚部5,6と、第1、第2の検出脚部7,8と、重り11〜14と、基部2と反対側の検出脚部7,8の端部を固定する第3、第4の固定部15,16とを備えている。
本実施の形態は第1の実施の形態の固定部9,10の代わりに固定部15,16を設けて、検出脚部7,8の端部を固定するようにしたものである。固定部15,16は、図示しない基台上に搭載される。これにより、基部2と励振脚部3〜6と検出脚部7,8と重り11〜14とが基台から浮くようにして加速度センサ1aが基台に固定される。
図11(A)は加速度センサ1aに加速度Gが加わったときの励振脚部3〜6と検出脚部7,8と重り11〜14の動きを模式的に示す斜視図、図11(B)は図11(A)の加速度センサ1aをP側から見た側面図、図11(C)は図11(A)の加速度センサ1aをQ側から見た側面図、図11(D)は図11(A)の加速度センサ1aをR側から見た側面図である。
以上により、本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図12は本発明の第3の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図、図13は図12の加速度センサの斜視図であり、図1〜図3、図9、図10と同様の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の加速度センサ1bは、基部2と、第1、第2の励振脚部3,4と、第3、第4の励振脚部5,6と、第1、第2の検出脚部7,8と、第1、第2の固定部9,10と、重り11〜14と、基部2と反対側の検出脚部7の端部を固定する第3の固定部15とを備えている。
図12の加速度センサ1bのA−A線断面は図3(A)に示したとおりであり、加速度センサ1bのB−B線断面は図3(B)に示したとおりである。また、加速度センサ1bの各電極の接続関係は図4に示したとおりである。
図14(A)は加速度センサ1bに加速度Gが加わったときの励振脚部3〜6と検出脚部7,8と重り11〜14の動きを模式的に示す斜視図、図14(B)は図14(A)の加速度センサ1bをP側から見た側面図、図14(C)は図14(A)の加速度センサ1bをQ側から見た側面図、図14(D)は図14(A)の加速度センサ1bをR側から見た側面図である。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。図15は本発明の第4の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図であり、図1〜図3、図9、図10、図12、図13と同様の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の加速度センサ1cは、基部2と、第1、第2の励振脚部3,4と、第3、第4の励振脚部5,6と、第1、第2の検出脚部7,8と、基部2の両端部を固定する第1、第2の固定部9,10と、重り11〜14と、基部2と反対側の検出脚部7,8の端部を固定する第3、第4の固定部15,16とを備えている。
図16(A)は加速度センサ1cに加速度Gが加わったときの励振脚部3〜6と検出脚部7,8と重り11〜14の動きを模式的に示す斜視図、図16(B)は図16(A)の加速度センサ1cをP側から見た側面図、図16(C)は図16(A)の加速度センサ1cをQ側から見た側面図、図16(D)は図16(A)の加速度センサ1cをR側から見た側面図である。
以上により、本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。図17は本発明の第5の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図であり、図1〜図3、図9、図10、図12、図13、図15と同様の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の加速度センサ1dは、基部2と、第1、第2の励振脚部3,4と、第1の検出脚部7と、第1、第2の固定部9,10と、重り11,12と、基部2と反対側の検出脚部7の端部を固定する第3の固定部15とを備えており、第3の実施の形態の加速度センサ1bから第3、第4の励振脚部5,6と第2の検出脚部8と重り13,14とを取り除いたものに相当する。
図19(A)は加速度センサ1dに加速度Gが加わったときの励振脚部3,4と検出脚部7と重り11,12の動きを模式的に示す斜視図、図19(B)は図19(A)の加速度センサ1dをP側から見た側面図、図19(C)は図19(A)の加速度センサ1dをR側から見た側面図である。
以上により、本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。図21は本発明の第6の実施の形態に係る加速度センサの構成を示す平面図であり、図1〜図3、図9、図10、図12、図13、図15、図17と同様の構成には同一の符号を付してある。
本実施の形態の加速度センサ1eは、基部2と、第1、第2の励振脚部3,4と、第1の検出脚部7と、重り11,12と、基部2と反対側の検出脚部7の端部を固定する第3の固定部15と、基部2から前記第1の方向と反対の方向(図21では下方向)に延びるように形成された支持用脚部17と、基部2と反対側の支持用脚部17の端部を固定する第5の固定部18とを備えており、第2の実施の形態の加速度センサ1aから第3、第4の励振脚部5,6と第2の検出脚部8と重り13,14と第4の固定部16とを取り除いて、支持用脚部17と固定部18とを追加したものに相当する。
本実施の形態においても、励振脚部3,4及び重り11,12は、第1の実施の形態と同様に屈曲振動する。加速度センサ1eに加速度Gが加わったときの基部2と励振脚部3,4と検出脚部7と重り11,12と支持用脚部17の動きは、図11で説明した第2の実施の形態の場合と同様であるので、詳細な説明は省略する。支持用脚部17の動きは検出脚部8と同様の動きとなる。
以上により、本実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
Claims (10)
- 板状の基部と、
この基部から第1の方向に延びるように形成された第1、第2の励振脚部と、
前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された第3、第4の励振脚部と、
前記第1、第2の励振脚部の真中に配置され、前記基部から前記第1の方向に延びるように形成された第1の検出脚部と、
前記第3、第4の励振脚部の真中に配置され、前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された第2の検出脚部と、
前記第1の方向と直交する第2の方向の前記基部の両端部を固定する第1、第2の固定部と、
前記第1、第2の検出脚部の中心線を通り前記第1の方向と平行かつ前記第2の方向に対して垂直な平面に対して、前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させると同時に前記第3、第4の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振手段と、
前記第1、第2の方向と直交する第3の方向に沿った前記第1、第2の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出して、前記第3の方向から加わった加速度を前記電圧信号に基づいて検出する検出手段とを有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサにおいて、
前記励振手段は、
前記第1、第2、第3、第4の励振脚部に形成された第1、第2、第3、第4の励振電極と、
この第1、第2、第3、第4の励振電極に電圧を印加し、前記平面に対して前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させると同時に前記第3、第4の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振回路とからなり、
前記検出手段は、
前記第1の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第1の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第1の検出電極と、
前記第2の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第2の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第2の検出電極と、
前記第1、第2、第3、第4の励振脚部の屈曲振動と前記加速度による力とに応じて発生した前記第1、第2の検出脚部の屈曲振動による前記電圧信号を前記第1、第2の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する検出回路とからなることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1又は2記載の加速度センサにおいて、
前記第1、第2の固定部の代わりに、
前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部と、
前記基部と反対側の前記第2の検出脚部の端部を固定する第4の固定部とを有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1又は2記載の加速度センサにおいて、
さらに、前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部を有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1又は2記載の加速度センサにおいて、
さらに、前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部と、
前記基部と反対側の前記第2の検出脚部の端部を固定する第4の固定部とを有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の加速度センサにおいて、
前記基部と反対側の前記第1、第2、第3、第4の励振脚部の端部にそれぞれ重りを設けたことを特徴とする加速度センサ。 - 板状の基部と、
この基部から第1の方向に延びるように形成された第1、第2の励振脚部と、
この第1、第2の励振脚部の真中に配置され、前記基部から前記第1の方向に延びるように形成された第1の検出脚部と、
前記第1の方向と直交する第2の方向の前記基部の両端部を固定する第1、第2の固定部と、
前記基部と反対側の前記第1の検出脚部の端部を固定する第3の固定部と、
前記第1の検出脚部の中心線を通り前記第1の方向と平行かつ前記第2の方向に対して垂直な平面に対して、前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振手段と、
前記第1、第2の方向と直交する第3の方向に沿った前記第1の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出して、前記第3の方向から加わった加速度を前記電圧信号に基づいて検出する検出手段とを有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項7記載の加速度センサにおいて、
前記励振手段は、
前記第1、第2の励振脚部に形成された第1、第2の励振電極と、
この第1、第2の励振電極に電圧を印加し、前記平面に対して前記第1、第2の励振脚部を対称に屈曲振動させる励振回路とからなり、
前記検出手段は、
前記第1の検出脚部に形成され、前記第3の方向に沿った前記第1の検出脚部の屈曲振動による電圧信号を取り出す第1の検出電極と、
前記第1、第2の励振脚部の屈曲振動と前記加速度による力とに応じて発生した前記第1の検出脚部の屈曲振動による前記電圧信号を前記第1の検出電極から受けて、この電圧信号を基に前記加速度を検出する検出回路とからなることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項7又は8記載の加速度センサにおいて、
前記第1、第2の固定部の代わりに、
前記基部から前記第1の方向と反対方向に延びるように形成された支持用脚部と、
前記基部と反対側の前記支持用脚部の端部を固定する第5の固定部とを有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項7乃至9のいずれか1項に記載の加速度センサにおいて、
前記基部と反対側の前記第1、第2の励振脚部の端部にそれぞれ重りを設けたことを特徴とする加速度センサ。
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