JP5160974B2 - 二軸型角速度センサ - Google Patents
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Description
このように構成された検出用電極29からは、振動子3が励振されているときに、第1乃至第4のアーム部7,9,11,13のX軸及び/またはY軸回りの角速度によって生じた変位に相当する電圧が出力される。
3 振動子
5 中心部
7 第1のアーム部
9 第2のアーム部
11 第3のアーム部
13 第4のアーム部
15 第5のアーム部
15a 第5のアーム部の端部
17 第6のアーム部
17a 第6のアーム部の端部
19 第7のアーム部
19a 第7のアーム部の端部
21 第8のアーム部
21a 第8のアーム部の端部
23 駆動用電気−機械エネルギ変換素子(圧電薄膜層)
25 検出用電気−機械エネルギ変換素子(圧電薄膜層)
27 駆動用電極
29 検出用電極
31 錘部
Claims (5)
- 中心部を中心にしてX軸に沿って相反する方向に延びる第1及び第2のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸と直交するY軸に沿って相反する方向に延びる第3及び第4のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延びる第1のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第5及び第6のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延び、前記第1のX−Y軸と直交する第2のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第7及び第8のアーム部とを備えた非圧電材料からなる振動子と、
前記振動子の前記第1乃至第8のアーム部にそれぞれ設けられた複数の駆動用電気−機械エネルギ変換素子と、
前記振動子の前記第1乃至第4のアーム部にそれぞれ設けられた複数の検出用電気−機械エネルギ変換素子と、
前記第1乃至第8のアーム部に設けられた前記複数の駆動用電気−機械エネルギ変換素子に対して設けられ、前記振動子の前記中心部を前記X軸及び前記Y軸と直交するZ軸方向に変位させるように前記振動子を励振する際に電圧が印加される複数の駆動用電極と、
前記第1乃至第4のアーム部に設けられた前記複数の検出用電気−機械エネルギ変換素子に対してそれぞれ設けられて、前記振動子が励振されているときに、前記第1乃至第4のアーム部の前記X軸及び前記Y軸回りの角速度によって生じた変位に相当する電圧を検出する複数の検出用電極とを備えていることを特徴とする二軸型角速度センサ。 - 中心部を中心にしてX軸に沿って相反する方向に延びる第1及び第2のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸と直交するY軸に沿って相反する方向に延びる第3及び第4のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延びる第1のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第5及び第6のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延び、前記第1のX−Y軸と直交する第2のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第7及び第8のアーム部とを備えた圧電材料からなる振動子と、
前記第1乃至第8のアーム部に対して設けられ、前記振動子の前記中心部を前記X軸及び前記Y軸と直交するZ軸方向に変位させるように前記振動子を励振する際に電圧が印加される複数の駆動用電極と、
前記第1乃至第4のアーム部に設けられ、前記振動子が励振されているときに、前記第1乃至第4のアーム部の前記X軸及び前記Y軸回りの角速度によって生じた変位に相当する電圧を検出する複数の検出用電極とを備えていることを特徴とする二軸型角速度センサ。 - 中心部を中心にしてX軸に沿って相反する方向に延びる第1及び第2のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸と直交するY軸に沿って相反する方向に延びる第3及び第4のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延びる第1のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第5及び第6のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延び、前記第1のX−Y軸と直交する第2のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第7及び第8のアーム部とを備えた非圧電材料からなる振動子と、
前記振動子の前記第1乃至第4のアーム部にそれぞれ設けられた複数の駆動用電気−機械エネルギ変換素子と、
前記振動子の前記第1乃至第4のアーム部にそれぞれ設けられた複数の検出用電気−機械エネルギ変換素子と、
前記第1乃至第4のアーム部に設けられた前記複数の駆動用電気−機械エネルギ変換素子に対して設けられ、前記振動子の前記中心部を前記X軸及び前記Y軸と直交するZ軸方向に変位させるように前記振動子を励振する際に電圧が印加される複数の駆動用電極と、
前記第1乃至第4のアーム部に設けられた前記複数の検出用電気−機械エネルギ変換素子に対してそれぞれ設けられて、前記振動子が励振されているときに、前記第1乃至第4のアーム部の前記X軸及び前記Y軸回りの角速度によって生じた変位に相当する電圧を検出する複数の検出用電極とを備えていることを特徴とする二軸型角速度センサ。 - 中心部を中心にしてX軸に沿って相反する方向に延びる第1及び第2のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸と直交するY軸に沿って相反する方向に延びる第3及び第4のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延びる第1のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第5及び第6のアーム部と、前記中心部を中心にして前記X軸とY軸との間を延び、前記第1のX−Y軸と直交する第2のX−Y軸に沿って相反する方向に延び且つ前記中心部とは反対側に位置する端部がそれぞれ固定状態におかれた第7及び第8のアーム部とを備えた圧電材料からなる振動子と、
前記第1乃至第4のアーム部に対して設けられ、前記振動子の前記中心部を前記X軸及び前記Y軸と直交するZ軸方向に変位させるように前記振動子を励振する際に電圧が印加される複数の駆動用電極と、
前記第1乃至第4のアーム部に設けられ、前記振動子が励振されているときに、前記第1乃至第4のアーム部の前記X軸及び前記Y軸回りの角速度によって生じた変位に相当する電圧を検出する複数の検出用電極とを備えていることを特徴とする二軸型角速度センサ。 - 前記第1乃至第4のアーム部の前記中心部とは反対側に位置する端部には、それぞれ錘部が一体に設けられている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の二軸型角速度センサ。
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