JP2005114423A

JP2005114423A - 角速度センサ

Info

Publication number: JP2005114423A
Application number: JP2003346111A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Kawamura; 俊行川村; Toru Matsunaga; 融松永; Kazuo Kurihara; 一夫栗原; Shigeto Watanabe; 成人渡邊; Yoshiki Satou; 善記佐藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2003-10-03
Filing date: 2003-10-03
Publication date: 2005-04-28
Also published as: US7111511B2; US20050097954A1

Abstract

【課題】簡単な構成で量産効果が期待でき、振動子の寸法精度も比較的容易に満足できる検出感度に優れた角速度センサを提供する。
【解決手段】
基体２と圧電体３とを積層してなる四角柱状の振動子１ａと、上記圧電体３の対向する一方の主面３Ａであって上記基体２と接合される面に形成され、基準電位に接続される基準電極３ａと、上記圧電体３の対向する他方の主面３Ｂに上記振動子１ａの長手方向に沿って形成され、上記振動子１ａを振動させるための信号が供給される少なくとも１つの駆動電極３ｂと、上記圧電体３の対向する他方の主面３Ｂに上記駆動電極３ｂを挟む形で互いに平行に形成され、上記振動子１ａに生じるコリオリ力に応じた信号を出力するための少なくとも１対の検出電極３ｃ_１，３ｃ_２とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、ビデオカメラの手振れ検知や、バーチャルリアリティ装置における動作検知や、カーナビゲーションシステムにおける方向検知等に用いられる角速度センサに関する。

従来より、民生用の角速度センサとしては、棒状の振動子を所定の共振周波数で振動させておき、角速度の影響によって生じるコリオリ力を圧電素子等で検出することによって角速度を検出する、いわゆる振動ジャイロ型の角速度センサが広く使用されている。

このような角速度センサにおいて、振動子を駆動する方法としては、他励発振型駆動回路による方法と、自励発振型駆動回路による方法とがある。しかしながら、他励発振型駆動回路による方法は、振動子等の温度特性によって発振周波数と振動子の共振周波数とにずれが生じると急激にコリオリ力の検出感度が低下するという問題があり、実用化に至っていない。

そこで現在は、移相発振回路のループに振動子を組み入れた自励発振型駆動回路による角速度センサが一般的になっている。このような角速度センサでは、振動子の共振周波数で自励発振するので、温度特性による感度変化が少なく、広温度範囲において感度の安定した角速度出力を得ることができる（例えば、特許文献１参照）。

図７に示す従来の角速度センサは、三角柱状の恒弾性振動子１００の側面に、電極１０１ａ及び圧電体１０１ｂからなる第１の圧電素子１０１と、電極１０２ａ及び圧電体１０２ｂからなる第２の圧電素子１０２と、電極１０３ａ及び圧電体１０３ｂからなる第３の圧電素子１０３とがそれぞれ取り付けられた三角柱状の振動子１０４を備えている。例えば、恒弾性振動子１００は、恒弾性金属振動子である。

この従来の角速度センサは、第１の圧電素子１０１に接続された増幅器１０５と、増幅器１０５に接続された移相器１０６と、第２の圧電素子１０２及び第３の圧電素子１０３に接続された差動増幅器１０７と、差動増幅器１０７に接続された同期検波器１０８と、同期検波器１０８に接続されたローパスフィルタ１０９とを備えている。この従来の角速度センサにおいて、第２の圧電素子１０２及び第３の圧電素子１０３は、自励発振のために振動子１０４の振動を検出するとともに、振動子１０４に生じるコリオリ力を検出する。

このような三角柱状の振動子１０４を用いた角速度センサは、現在のところ最も感度が高く、主流となっている。しかしながら、このような角速度センサでは、構造が複雑なために、製造工程における量産効果を出すことが難しいという問題があった。例えば、三角形状に形成されている恒弾性振動子の一つ一つに圧電素子を接着する工程が必要になり、量産効果を出すことができないといった問題がある。また、小型化に伴い支持機構の精度や恒弾性金属振動子への圧電素子の接着精度が要求され、且つその接着による接着層の当該振動子に与える影響が増大するため、小型化による生産効率が悪く、コストアップが著しくなるという問題があった。

また、図８に示す従来の角速度センサは、円柱状の圧電セラミック振動子１１０の側面に６つの電極１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６が印刷された振動子１１７を備えている。ここで、第１乃至第３の電極１１１，１１２，１１３はそれぞれ独立した電極とされ、第４乃至第６の電極１１４，１１５，１１６は共通のグランド電位に接続される。また、この角速度センサーは、第１の電極１１１に接続された増幅器１１８と、増幅器１１８に接続された移相器１１９と、移相器１１９に接続された加算機１２０と、第２及び第３の電極１１２，１１３に接続された差動増幅器１２１と、差動増幅器１２１に接続された同期検波器１２２と、同期検波器１２２に接続されたローパスフィルタ１２３とを備えている。この角速度センサーでは、第１の電極１１１に電圧を印加することにより、振動子１１７を振動させるとともに、第２及び第３の電極１１２，１１３によって、振動子１１７に生じるコリオリ力を検出する。

この従来の角速度センサでは、上述したように電極１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６が振動子１１７に印刷されているために、振動子１１７に圧電素子を接着する必要がなく、比較的にシンプルな構造となっている。しかしながら、この従来の角速度センサでは、特に小型化を図った場合に、圧電セラミック振動子１１０の製造、並びに当該圧電セラミック振動子１１０への電極の印刷を精度良く行うことが難しいという問題があった。

すなわち、この従来の角速度センサでは、円柱状の圧電セラミック振動子１１０を用いているが、三角柱状や四角柱状のものに比べて、円柱状の圧電セラミック振動子１１０を精度良く製造することは難しい。しかも、この角速度センサでは、曲面上に電極を精度良く印刷することは容易ではない。このように、この角速度センサでは、円柱状の圧電セラミック振動子１１０を用いるために製造が難しく、量産効果が期待できない構造となっており、たとえ量産したとしても低コスト化を図ることは難しい。

さらに、図９に示す従来の角速度センサは、フェライト部２０２と圧電体である圧電セラミック部２０３ａとを積層してなる四角柱状の振動子２０１ａと、振動子２０１ａにおいて対向するフェライト部２０２の側面２０２ａの電極２０４及び圧電セラミック部２０３ａの側面２０３ａ１に配される電極２０３ｂ，２０３ｃと当該圧電セラミック部２０３ａとにより構成される圧電素子２０３とを備えている。そして、この角速度センサ２０１は、電極２０４及び電極２０３ｂ，２０３ｃとの間に電圧を印加して、圧電素子２０３により振動子２０１ａを振動させる。さらに角速度センサ２０１は、加算器２１０と、増幅器２１１と、移相器２１２とを備えており、これらと、圧電素子２０３の電極２０３ｂ，２０３ｃが、振動子２０１ａを振動させる振動駆動部として機能する。また、この角速度センサ２０１は、差動増幅器２１３と、加算器２１０の出力に接続されている同期検波器２１４と、ローパスフィルタ２１５とを備えており、これらと、圧電素子２０３の外側電極２０３ｂ，２０３ｃとが、フェライト部２０２の振動を検出する検出部として機能する。すなわち、角速度センサ２０１の圧電素子２０３は、振動駆動機能及びその振動を検出する機能を合わせ持っている。この構成にて、角速度センサ２０１は、振動子２０１ａに生じるコリオリ力を圧電素子２０３により検出することで、角速度を検出する。

この角速度センサでは、一面にのみ圧電素子を設ければよく、比較的にシンプルな構造となっている。しかしながら、この従来の角速度センサでは、駆動電極と検出電極が兼用されているため駆動電極の形状または寸法にて駆動効率を所望の値としようとすると検出効率も変化してしまい、駆動効率と検出効率を共に所望の値に調整することが難しいという問題があった。

特開２０００−１３１０７７号公報

すなわち、図７に示したような従来の角速度センサでは恒弾性金属振動子への圧電素子の接着や振動子支持機構などの構造が複雑になってしまう。また、図８に示すような従来の角速度センサでは円柱状の圧電セラミック振動子を用いるため、振動子を精度良く製造することは難しく、しかも、曲面上に電極を精度良く印刷することは容易ではない。そこで、本発明は、上述の如き従来の実情に鑑みて提案されたものであり、より簡単な構成で量産効果が期待でき、角速度センサとして本質的な特性を左右する振動子の寸法精度も比較的容易に満足できる検出感度に優れた角速度センサを提供することを目的とする。

本発明に係る角速度センサは、基体と圧電体とを積層してなる四角柱状の振動子と、上記圧電体の対向する一方の主面であって上記基体と接合される面に形成され、基準電位に接続される基準電極と、上記圧電体の対向する他方の主面に上記振動子の長手方向に沿って形成され、上記振動子を振動させるための信号が供給される少なくとも１つの駆動電極と、上記圧電体の対向する他方の主面に上記駆動電極を挟む形で互いに平行に形成され、上記振動子に生じるコリオリ力に応じた信号を出力するための少なくとも１対の検出電極とを備え、上記駆動電極と上記基準電極との間に電圧を印加して上記圧電体により上記振動子を振動させるとともに上記振動子に生じるコリオリ力を上記圧電体により検出し、上記検出電極から上記コリオリ力に応じた信号として角速度検出信号を出力することを特徴とする。

この角速度センサは、さらに、上記圧電体の主面と対向する上記基体の２つの主面と該２つの主面に連続する少なくとも１つの側面に形成され、上記基準電極と導通する電極を備える構成とするができる。

また、この角速度センサは、上記振動子の幅方向の電極寸法を上記駆動電極と上記検出電極とで異ならしめたことを特徴とする。

ここで、上記駆動電極の幅をＷ１、上記検出電極の幅をＷ２とし、Ｗ１とＷ２との比率は１＜Ｗ１/Ｗ２≦２．６とする。好ましくは、上記Ｗ１とＷ２との比率は１．８＜Ｗ１/Ｗ２≦２．０とする。

本発明に係る角速度センサでは、圧電体の対向する一方の主面であって上記基体と接合される面に形成された基準電極と上記圧電体の対向する他方の主面に上記振動子の長手方向に沿って形成された駆動電極との間に電圧を印加して上記圧電体により上記振動子を振動させるとともに上記振動子に生じるコリオリ力を上記圧電体により検出し、上記圧電体の対向する他方の主面に上記駆動電極を挟む形で互いに平行に形成された１対の検出電極から上記コリオリ力に応じた信号として角速度検出信号を出力する。

この角速度センサでは、対向されて配されている電極の間の振動子が所定の質量をもつ基体部分を含んで構成しているのでコリオリ力の検出効率がよく、また基体の対向する２つの電極の間で導通があるために圧電体部分に当該振動子の駆動のための駆動電界を効率よく印加することができる。

また、この角速度センサは、基体と圧電体とを積層してなる四角柱状の振動子と、この振動子の対向される基体及び圧電体の各主面に配した電極とからなる構成としているので、恒弾性金属振動子に圧電体を接着したり、曲面に電極を印刷するといった工程を要することなく製造される。さらに、圧電セラミック等といった圧電体の母材とされるウェハ及び基体の母材とされるウェハに電極メッキを施すことにより電極を形成して張り合わせた後、四角柱振動子として個々に切り出すだけで、非常に精度の高い振動子を製造することができる。また、駆動効率と検出効率を各々調整が可能である。そして、これにより、駆動効率と検出効率を各々調整し所望の感度特性を得ることができる。

さらに、本発明では、圧電体の主面に配した、振動子を駆動させる駆動電極と、振動子に生じるコリオリ力を検出する検出電極の、振動子の幅方向の電極寸法を駆動電極と検出電極とで異ならせることによって、高感度の角速度センサを実現することができる。

さらに、圧電体と基体を積層した非常にシンプルな構造により構成されることから、この角速度センサは、小型化を進めても精度を損なわず量産効果も期待でき、コストパフォーマンスが高い。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。

図１は本発明を適用した角速度センサ１に備わる振動子１ａの外観斜視図であり、また、図２は上記角速度センサ１を使用するための回路の一例を示すブロック図である。

この実施の形態における角速度センサ１は、図１及び図２に示すように、振動ジャイロとして動作する振動子１ａを備えている。

振動子１ａは、基体２と圧電体３とを積層してなり、長手方向に対して垂直な平面で切断したときの断面の形状（以下、単に断面形状と称する）が矩形となる四角柱状に形成されている。この振動子１ａの基体２は、例えばアモルファスカーボンからなる。

圧電体３は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電セラミックスや水晶、ＬｉＴａＯ_３などの圧電単結晶などからなり、通常、分極処理により生成されている。

圧電体３には、その対向する一方の主面３Ａであって上記基体と接合される面に基準電極３ａが形成されている。さらに、この圧電体３には、その対向する他方の主面３Ｂに、駆動電極３ｂと、この駆動電極３ｂを挟む形で１対の検出電極３ｃ_１，３ｃ_２が、上記振動子１ａの長手方向に沿って互いに平行に分割されて形成されている。

この角速度センサ１において、圧電体３の厚さは基体２の厚さより薄く、例えば、圧電体３の厚さを０．２ｍｍ、基体２の厚さを０．８ｍｍとしている。

この角速度センサ１は、上記基体２と圧電体３とを積層して接合なる振動子１ａの上記圧電体３の対向する一方の主面３Ａに設けられている基準電極３ａと他方の主面３Ｂに設けられている駆動電極３ｂとの間に電圧を印加することにより上記振動子１ａを振動させるとともに上記振動子１ａに生じるコリオリ力を圧電体３により検出し、上記他方の主面３Ｂに設けられている検出電極３ｃ_１，３ｃ_２から上記コリオリ力に応じた信号として角速度検出信号を出力する。

この実施の形態における角速度センサ１では、上記圧電体３の主面と対向する上記基体２の２つの主面２Ａ，２Ｂと該２つの主面２Ａ，２Ｂに連続する少なくとも１つの側面２Ｃに互いに導通する電極２ａ，２ｂ，２ｃが形成されており、上記電極２ｂと基準電極３ａが接合されることで上記基準電極３ａと上記電極２ａ，２ｂ，２ｃが導通し、上記基体２と圧電体３が積層された振動子１ａを構成している。なお、上記基体２の全周面に導電性材料をメッキして電極を形成するようにしても良い。

そして、この角速度センサ１は、上記圧電体３の他方の主面３Ｂに形成された駆動電極３ｂと１対の検出電極３ｃ_１，３ｃ_２から、各々端子Ａ，Ｂ，Ｃが導出されているとともに、上記圧電体３の一方の主面３Ａに形成された基準電極３ａと導通する上記基体２の主面２Ａに設けられた電極２ａから端子Ｄが導出されている。

この角速度センサ１の圧電体３は、振動駆動機能及びその振動を検出する機能を合わせ持っている。これにより、角速度センサ１は、振動駆動機能により振動しているときに振動子１ａが回転することによって生じたコリオリ力を検出機能により検出する。

すなわち、この角速度センサ１は、図２に示すように、上記１対の検出電極３ｃ_１，３ｃ_２から導出された端子Ｂ，Ｃに加算器１０と差動増幅器１３が接続され、また、上記加算器１０の加算出力が増幅器１１により増幅されて供給される移相器１２の出力端が上記駆動電極３ｂから導出された端子Ａに接続されることにより、これらが振動子１ａを振動させる振動駆動部として機能するようになっている。なお、上記圧電体３の一方の主面３Ａに形成された基準電極３ａと導通する上記基体２の主面２Ａに設けられた電極２ａから導出されている端子Ｄは、所定の電位を持つ基準電圧端子に接続されている。

この角速度センサ１では、上記加算器１０、増幅器１１、移相器１２及び振動子１ａによって所謂移相発振回路を構成しており、この移相発振回路によって振動子１ａを自励振動させる。この自励振動による振動子１ａの振動方向は、駆動電極３ｂが設けられている圧電体３の主面３Ｂに対して垂直な方向であり、以下、単に振動方向と称する。

また、この角速度センサ１では、上記１対の検出電極３ｃ_１，３ｃ_２から導出された端子Ｂ，Ｃに接続された上記加算器１０及び上記差動増幅器１３の出力端が、同期検波器１４に接続され、この同期検波器１４がローパスフィルタ１５に接続されており、これらと圧電体３が、振動子１ａの回転を検出する検出部として機能する。

すなわち、角速度センサ１では、振動子１ａを振動方向に振動させているときに、振動子１ａが回転することによって当該振動子１ａに生じたコリオリ力を、圧電体３によって検出し、検出電極３ｃ_１，３ｃ_２から互いに逆極性の信号として出力し、差動増幅器１３に入力する。そして、差動増幅器１３にて増幅された出力は、同期検波器１４に入力され、同期検波が行われる。このとき、同期検波器１４には、同期検波を行うために、加算器１０からの出力が同期信号として供給される。そして、同期検波器１４からの出力が、ローパスフィルタ１５を介して、振動子１ａに生じたコリオリ力を検出することにより得られた角速度信号として出力される。

以上のように、この角速度センサ１では、圧電体３を用いて振動子１ａを振動させるとともに、そのときに振動子１ａに生じるコリオリ力を当該圧電体３によって検出し、この圧電体３によって検出されたコリオリ力に基づいて角速度を検出することができる。

このような構造の角速度センサ１では、同一面に検出電極３ｃ_１，３ｃ_２と駆動電極３ｂが配されているので、図３（Ａ）に示すように、導電性材料をメッキすることにより全周面に電極を形成した基体の母体であるウェハ２０と両面電極メッキを施すことにより各電極を形成した圧電体の母体であるウェハ３０とを積層させてこれらを接着し、図３（Ｂ）に示すように、四角柱状として個々に切り出すことにより、図３（Ｃ）に示すように、振動子１ａを製造することができる。このような工程により製造される振動子１ａは、非常に精度が高く、かつ超小型化が可能となる。さらに量産効果も得やすい構造とされる。また、圧電体の接着位置ずれにといった問題も解決することができる。また、基体は、上記圧電体と略同様の切削加工性を有していることから、基体のウェハと圧電体のウェハとから上述したように、振動子としての切り出しが容易とされる。

さらに、従来のように、恒弾性金属振動子に圧電素子を接着したり、曲面に電極を印刷するといった難しい工程を設ける必要がなくなる。

この角速度センサ１では、上記圧電体３の対向する一方の主面３Ａであって上記基体２と接合される面に基準電極３ａが形成されているが、上記基体２に導電性がある材料をメッキして、上記圧電体３の主面３Ａと対向する上記基体２の２つの主面２Ａ，２Ｂと該２つの主面２Ａ，２Ｂに連続する少なくとも１つの側面２Ｃに上記基準電極３aと導通する電極２ａ，２ｂ，２ｃを形成することによって、圧電体３に効率よく駆動電界を印加することが可能になり、感度向上を図ることが可能になる。なお、基体２を導電性がある材料で形成してもよい。

また、当然、小型化に伴って技術的な難しさが増し、精度を確保することが困難になると考えられるが、既にＬＳＩやヘッド加工などで確立されている微細加工技術を応用することにより、このような問題はクリアできる。従って、高精度の寸法精度が得られるため、振動子の周波数調整も簡略化することが可能になる。

また、自励発振型駆動回路を応用することにより、非常に簡単な回路によって高精度な角速度センサ１を構成することができる。

そして、この角速度センサ１は、自励発振型なので、他励発振型の角速度センサのように温度特性の影響によって感度が低下してしまうようなこともない。

また、この角速度センサ１では、同一面に形成された検出電極３ｃ_１，３ｃ_２と駆動電極３ｂの振動子１の幅方向の電極寸法を、図４に示すように、検出電極３ｃ_１，３ｃ_２と駆動電極３ｂとで異ならしめることによって、検出特性を最適化することができる。すなわち、駆動電極３ｂの形状や寸法を調整することで駆動効率を調整することができ、また、検出電極３ｃ_１，３ｃ_２の形状や寸法を調整することで検出効率を調整が可能になる。

上記角速度センサ１において、駆動電極３ｂの幅をＷ１、検出電極３ｃ_１，３ｃ_２の幅をＷ２とし、Ｗ１／Ｗ２を１〜２．８の範囲で変えた場合の感度を測定した結果を図５に示す。

この図５に示す感度特性から明らかなように、上記角速度センサ１は、Ｗ１とＷ２との比率が１＜Ｗ１/Ｗ２≦２．６の範囲でＷ１/Ｗ２＝１と同等以上の感度を示す。特に、１．８＜Ｗ１/Ｗ２≦２．０の範囲では、Ｗ１/Ｗ２＝１の場合と比較して２倍以上の感度が得られる。

また、感度と離調度の関係を図６に示す。

ここで、離調度とは、縦方向の共振周波数と横方向の共振周波数の差であり、離調度が小さい程感度は高くなる。ＴＹＰＥ１はＷ１/Ｗ２＝１の場合を示しており、ＴＹＰＥ２はＷ１/Ｗ２＝１．９の場合を示している。この図６から明らかなように、離調度がどの範囲にあっても、Ｗ１/Ｗ２＝１の場合よりもＷ１/Ｗ２＝１．９の場合の方が圧倒的に感度が高い。

以上のような説明から明らかなように、この角速度センサ１は、非常にシンプルな構造を有し、小型化を進めても、精度を損なわず、量産効果も期待でき、コストパフォーマンスが高く、高感度のものとなる。また、角速度センサ１は、低コスト化、小型化、高感度化をさらに推進することを可能にするので、ビデオカメラ、バーチャルリアリティ装置等のさらなる小型化・ハイコストパフォーマンスの要求に応えることができる。

なお、基体２は、材料そのものに導電性があれば、本例のように導電性材料をメッキして電極を形成する必要は必ずしもない。また、コリオリ力は、振動子１ａの重さ（質量）に比例して大きくなるので、基体２の質量が大きい方がセンサとして感度が上がることとなる。このようなことを考慮に入れて基体２の材料を選択してもよい。

本発明を適用した角速度センサに備わる振動子の外観斜視図である。上記角速度センサを使用するための回路の一例を示すブロック図である。上記角速度センサの製造方法の一例を示す図である。上記角速度センサにおいて同一面に形成された検出電極と駆動電極の振動子の幅方向の電極寸法を示す模式図である。上記角速度センサにおいて、駆動電極と検出電極の幅を変えた場合の感度を測定した結果を示す図である。上記角速度センサにおいて、駆動電極と検出電極の幅を変えた場合の感度と離調度の関係を示す図である。従来の角速度センサの一例を示す図であり、（ａ）は当該角速度センサの全体構成を示す図であり、（ｂ）は振動子の部分を示す斜視図であり、（ｃ）は振動子の中央部分における断面を示す断面図である。従来の角速度センサの一例を示す図であり、（ａ）は当該角速度センサの全体構成を示す図であり、（ｂ）は振動子の部分を示す斜視図であり、（ｃ）は振動子の中央部分における断面を示す断面図である。従来の角速度センサの全体構成を示す図である。

符号の説明

１角速度センサ、１ａ振動子、２基体、２Ａ，２Ｂ主面、２Ｃ側面、２ａ，２ｂ，２ｃ電極、３圧電体、３Ａ，３Ｂ主面、３ａ基準電極、３ｂ駆動電極、３ｃ_１，３ｃ_２検出電極、１０加算器、１１増幅器、１２移相器、１３差動増幅器、１４同期検波器、１５ローパスフィルタ、２０，３０ウェハ

Claims

基体と圧電体とを積層してなる四角柱状の振動子と、
上記圧電体の対向する一方の主面であって上記基体と接合される面に形成され、基準電位に接続される基準電極と、
上記圧電体の対向する他方の主面に上記振動子の長手方向に沿って形成され、上記振動子を振動させるための信号が供給される少なくとも１つの駆動電極と、
上記圧電体の対向する他方の主面に上記駆動電極を挟む形で互いに平行に形成され、上記振動子に生じるコリオリ力に応じた信号を出力するための少なくとも１対の検出電極とを備え、
上記駆動電極と上記基準電極との間に電圧を印加して上記圧電体により上記振動子を振動させるとともに上記振動子に生じるコリオリ力を上記圧電体により検出し、上記検出電極から上記コリオリ力に応じた信号として角速度検出信号を出力することを特徴とする角速度センサ。
さらに、上記圧電体の主面と対向する上記基体の２つの主面と該２つの主面に連続する少なくとも１つの側面に形成され、上記基準電極と導通する電極を備えることを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。
上記振動子の幅方向の電極寸法を上記駆動電極と上記検出電極とで異ならしめたことを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。
上記駆動電極の幅をＷ１、上記検出電極の幅をＷ２とし、Ｗ１とＷ２との比率が１＜Ｗ１/Ｗ２≦２．６であることを特徴とする請求項３記載の角速度センサ。
上記駆動電極の幅をＷ１、上記検出電極の幅をＷ２とし、Ｗ１とＷ２との比率が１．８＜Ｗ１/Ｗ２≦２．０であることを特徴とする請求項３記載の角速度センサ。